CN1083263A - 具有电子传输通道的平板型图象显示装置 - Google Patents

具有电子传输通道的平板型图象显示装置 Download PDF

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G·A·弗里森
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Abstract

一种平板型图象显示装置,具有一个发光屏幕和 大量的电子传输通道,此通道是通过电子与壁的相互 作用工作的。电子借助寻址系统从通道中被引出,尔 后这些电子被引向发光屏幕上的所希望的位置。一 个用于电子穿过的电绝缘材料的多孔隔板安置于寻 址系统和屏幕之间。为了能在隔板厚度方向施加大 电位差,隔板设有一个高阻层,或一个低阻材料图形, 或在其一侧设均衡层,另一侧设低阻层,并且至少在 孔壁上涂敷具有低的二次发射系数的材料。

Description

本发明涉及一种图象显示装置,此装置具有一个真空壳体,壳体上设有一个带显示屏的透明面板和一个背板,显示屏具有发光图象单元(象素)图形,所述显示装置包括:多个并置的电子传输装置,这些电子传输装置基本平行于面板延伸;设在所述传输装置和所述面板之间的一个寻址系统,用于为所希望的象素寻址;以及一个由绝缘材料制成的用于电子穿过的多孔隔板。
上述显示装置是平板型的,正如欧洲专利申请EP-A-464937中所公开的。平板型显示装置是这样一类装置,它包括透明的面板和与此面板隔开一小段距离安置的背板,面板的内表面设有(例如,六角形的)荧光粉点图形。如果(视频信号控制的)电子撞击发光屏幕,则会形成一个可通过面板的前侧观视的图象。如果需要的话,面板可以是平面的,或曲面的(例如,球面形的或柱面形的)。
EP-A-464937中描述的显示装置包括:多个并置的电子发射源;与电子发射源相配合的局部电子传输装置,每个电子传输装置具有高阻壁,此壁是由具有适于传输所发射的电子的二次发射系数的基本上电绝缘的材料制成的;以及导址系统,它包括多个电极(选择电极),这些电极可按行驱动,以便在面对发光屏幕的预定吸取位置上将电子从传输装置中引出,还包括用于将被引出的电子引向发光屏幕的象素的装置,以形成由象素组成的图象。
EP-A-464937中公开的图象显示装置的工作是基于这样的认识,如果在给定长度的壁上形成足够强的电场(通过在壁端之间施加电位差),当电子撞击高阻绝缘材料(例如,玻璃或合成材料)壁时,电子传输是可能的。撞击电子通过与壁的相互作用而引发二次电子,这些电子被吸引至更远的壁段并再次通过与壁的相互作用依次引发二次电子,等等。
从上述原理出发,可通过设置多个并置的“隔室”中的每一个以及一列吸取孔来实现一种平板型图象显示装置,所述隔室构成传输通道,所述吸取孔位于面对显示屏的一侧。实际上,吸取孔是沿垂直于通道延伸的“水平”线排列。通过增设按行排列的选择电极,形成一个寻址装置,采用此装置,电子可被选择性地从“隔室”中引出,这些电子被引向屏幕(并朝屏幕加速),以便通过激发象素形成由象素组成的图象。
EP-A-464937特别描述了一种多级寻址或选择系统。此多级选择系统采用多个预选吸取位置,预选吸取位置的数量相对于象素数量是减少的,并且直接或间接地与多个(精)选孔相配合,所述(精)选孔的数量与发光象素的数量相对应,该系统在(例如)吸取效率和/或所需的电连接/驱动器的数量方面提供了优越性。为控制预选位置,采用了一个预选电极图形,而为控制(精)选孔,采用了一个精选电极图形。
发光屏幕又称为荧光屏(flu    screen)。相关的显示装置的一个重要部件是荧光隔板(flu    spacer)。
荧光隔板位于精选电极和荧光屏的面板之间。由于荧光效率和饱和特性,使荧光屏和精选电极之间的电压尽可能高是最重要的。根据所使用的荧光粉,3千伏或更常用的5千伏是最低要求(的电压)。
精选板、荧光隔板和荧光屏是由绝缘材料例如玻璃制成的。在精选板的图形中设有(例如镍的)金属化层。在荧光屏上设有(例如)ITO(铟锡氧化物)的低阻透明导电层。此层上设有荧光粉层和黑底,荧光电流通过此导电层泄放。荧光隔板的典型厚度为0.5-1.0mm。精选电极和荧光屏上的ITO层之间的电位差应尽可能高。但在较大电位差时可能产生多种不希望的效应。本发明是基于这样的认识,两种效应是可分辨的,即,与穿过荧光隔板的“真空”电流不直接相关的效应和直接相关的效应。本发明的一个目的是要提供一种上述类型的显示装置,其中,这些不希望的效应的产生至少部分地为本发明所排除。一种上述类型的显示装置的特征在于,荧光隔板设有能在其宽度上维持大电位差的装置。
根据要消除的效应,本发明提供了不同的实施例:
1.关于与真空电流不直接相关的效应:
1.1为防止由于荧光隔板与精选电极或荧光屏间的不正确邻接而造成的场致发射:
1.1a在荧光隔板的电子进入侧(精选侧)设一高电阻层,或
1.1b在相邻的(精)选板和荧光隔板之间填充均衡(equalization)层,或
1.1c在荧光隔板的电子进入侧(精选侧)设一低阻图形。
1.2为防止荧光粉从屏幕上脱落:
1.2a在荧光隔板的电子射出侧(荧光屏侧)设一较低电阻层(此层对抑制外部电磁场的干扰也是有效的)。
2.关于与真空电流直接相关的效应:
2.1为防止场致发射:
2.1a在荧光隔板的多孔壁上设一“低δ”涂层,并且(可能)
2.1b将荧光隔板中孔的适宜形状设为在其长度的至少一部分上是锥形的,或在其长度的一部分上具有一个收敛结构。
其它措施:
荧光隔板形成为一个由至少两个分开的子隔板组成的系统,子隔板具有相连通的孔,在子隔板之间设有多孔导电板或导电层。
注意:“上述措施主要是用于荧光隔板,但也可能很好地用于此显示装置中的具有大电位差的其它隔板,比如,与粗选电极相邻的隔板,此隔板被称为粗选隔板。”
本发明的这些和其它方面将参照下面的实施例得以详细描述,附图中相同部件采用相同参考数字表示。
图1是一种(彩色)显示装置的一部分的部分剖开的透视图,此显示装置具有电子传输通道,包括一个多孔预选板和一个多孔精选板的寻址系统、以及荧光隔板,它们的部件未按比例示出;
图2是图1中所示类型的装置的一部分的剖面图;
图3示出图2的一个放大的细节;
图4-8是荧光隔板的不同实施例的剖面图;
图9-11是具有不同精选电极排列的三种精选板的正视图。
图1示出一种具有显示面板(窗口)3和与所述面板对置的后壁4的平板型图象显示装置。具有(例如,六角形的)红(R)、绿(G)和兰(B)发光荧光粉单元图形的显示屏7设在窗口3的内表面。在所示的实施例中,三元组的荧光粉单元位于垂直于显示屏的长轴的路线中(即,它们“垂直地交替排列”,见插图),但本发明不限于此。“水平地交替排列”方式也是可选择的。
电子源装置5靠近连接面板3和后壁4的壁2设置,电子源装置5(例如)是一个线状阴极,它通过电极提供大量的(例如600个)电子发射器,或者是相似数量的分立发射器。这些发射器的每一个用于提供较小的电流,因而多种阴极(冷阴极或热阴极)均适于用作发射器。发射器可由视频驱动电路来驱动。电子源装置5对着基本平行于屏幕延伸的一行电子传输通道的(电子)进入孔设置,这些通道由隔室6、6′、6″…等构成,在本例中一个隔室对应一个电子源。这些隔室具有由后壁4和隔断板12、12′…所界定的腔体11、11′、11″…。腔体11、11′…也可形成于后壁4中。各隔室的至少一个壁(最好是后壁)应具有高电阻并在给定的初级电子能范围内具有δ〉1的二次发射系数,所述高电阻至少在传输方向上适于本发明的用途(合适的材料为(例如)陶瓷材料、玻璃、有涂层的或无涂层的合成材料)。轴向传输电场是通过跨隔室6、6′、6″…高度施加电位差Vp而在隔室中形成的。
壁材料的电阻具有这样的值,即,在隔室中轴向上用于电子传输所需的场强为每厘米一百至几百伏的情况下,最小可能的总电流量(最好小于例如10mA)在壁中流动。通过在电子源行5和隔室6、6′、6″…之间施加几十至几百伏的电压(电压值取决于实际情况),电子被从电子源向隔室加速,尔后它们撞击隔室并引发二次电子。
本发明采纳了EP-A-400750和EP-A-436997中公开的观点,即,如果在隔室的纵向施加足够强的电场,在具有高阻的基本电绝缘材料壁的隔室中,真空电子传输是可能的。EP-A-400750和EP-A-436997的内容在此引作参考。
隔室与设在面板3内壁的发光屏幕7之间的空间容纳(分级)寻址系统100,该系统包括一个(有源)预选板10a、一个(无源)防直射或障板10b和一个(有源)(精)选板10c(还见图2)。寻址系统100由多孔电绝缘材料板形式的荧光隔板101与发光屏幕7分隔开。
图2以剖面图的形式更详细地示出了图1的显示装置的一部分,尤其是寻址系统100,此系统包括带孔8、8′、8″…的预选板10a和带多组孔R、G、B的精选板10c。在这种情况中,精选孔R、G、B与各预选孔8、8′等相配合。在图2中孔R、G、B是共面的。不过,它们实际上位于与荧光粉点图形(见图1)相对应的结构中。在此情况中,具有孔108、108′…的障板10b设在预选板10a和精选板10c之间,此障板防止来自传输通道6的电子径直穿过精选孔撞击到显示屏上(被称为不希望的“直射”)。
具有传输腔体11、11′…的电子传输通道6形成于寻址系统100和后壁4之间。为了能通过孔8、8′…将电子从通道6中引出,在孔间延伸并围绕各孔的可寻址金属预选电极9、9′等以平行于显示屏的长轴的(“水平”)行形式排列在(例如)板10a的显示屏侧。
孔8、8′…的壁可能是金属化的。
与板10a相似,精选板10c设有“水平取向的”可寻址(精)选电极行,以实现精选。在这种情况下,精选电极的相应行直接地或电容性地互连的可能性是重要的。事实上,预选已经进行,电子基本上不会着落在错误位置上。这意味着,只有三个独立形成的精选电极的一组或少量组需要这种精选模式。
预选电极9、9′…接受一个线性增大的直流电压,例如,通过将它们接至分压电阻器上。分压电阻器按如此方式连至电压源,即,在传输通道的长度上形成正确的电位分布,以在通道中实现电子传输。驱动可这样实现,例如将一个(例如250伏的)脉冲加至相邻的预选电极上一小段时间,并接着将例如200伏的更短持续脉冲加至所希望的精选电极。当然,应保证行选择脉冲与视频信息同步。视频信息被加至例如驱动发射器的独立的G1电极(图1),此信息可以以例如一个时间或幅度调制的信号的形式施加。
应当注意到,图2所示的障板10b的结构的各种改变是可能的。例如,板10b可在两侧与隔板102、103中的一个或两个结合成为一体。在这种情况下,隔板103可称作粗选隔板,而隔板102可称为阻挡隔板或“障碍(chicane)”隔板。
如果没有(常规的)电子通过荧光隔板101传输,在大电位差时可观察到两种现象,这两种现象均由以下事实引起,荧光隔板不能在所有位置均精确地与精选电极13、13′、13″或荧光屏7邻接。首先是存在来自精选电极的场致发射,其次是荧光粉可能从屏幕上局部脱落。为清楚起见,图3示出了图2的剖面的一个放大的细节(理想状态)。
如果(荧光)隔板和精选电极由于(例如)不均匀或灰尘颗粒而在一给定位置不能正确邻接,并且尤其是在此情况涉及较大表面时,靠近精选金属化层的隔板的电位可能明显升高,并且在极端情况下甚至变得基本上等于荧光屏电压。这是由隔板材料的电导引起的。在隔板上的给定点的电位可由从给定点至荧光屏和精选电极的电阻器上的分压来确定。图4示意性地示出这种情况。由于在选择电极和隔板之间存在小的间隙,作为这种效应的一个结果,场致发射容易形成。实际上,这会导致在荧光屏上产生反复的大多为短时的光闪烁。在场致发射期间,电子的一部分用于降低隔板的电位,因而场致发射会停止。相应地,在电位通过电导再次高至足以进行下一次的短时场致发射之前要经历一段时间。场致发射也可能持续较长时间。这会发生在下列情况下,即,当(作为场致发射的结果)在荧光隔板上形成的二次电子可容易地向荧光屏传输时(跳跃电子)。在这种情况下,精选电极处的场在一定条件下可能以维持场致发射的方式升高。
为抑制由于间隙造成的场致发射,可采取不同的措施。一种可能是对板的均匀性、金属化层的均匀性和诸如灰尘等污染的防备进行严格要求。一种更可靠的方式示于图4A中。在荧光隔板101的精选侧设一高阻层14。此层应具有这样的电阻,即,与玻璃的电阻相比,它构成一短路,这样一方面可使隔板的低侧维持在精选电极的电压上(这决定了电阻的上限),另一方面,从选择电极的角度看,它是高阻的(这决定了下限)。现在隔板只需要逐点与精选电极邻接,而不存在产生场致发射的间隙。层14应具有足够高的电阻,以维持所限定的不同选择电极之间的难以处理的“短路”(精选电极的互连会导致更多的并联电阻)。在26英寸的显示器中,对于具有大约5×1012Ωcm的电阻率的窗口玻璃的荧光隔板而言,此层的每平方单位电阻大约在1010至1011Ω的范围内。具有这样的每平方单位电阻的薄层可按不同方式制备。在一个实施例中,采用了包含Sb2O3-SnO2的胶粒的薄层。In2O3也是可选的。
防止由于间隙引起的场致发射的第二种方法是,在隔板101和精选电极之间的空间中填充非常高的电阻的或(基本上)绝缘材料的薄层15,以便总是形成良好的接触。这种方法示于图4B中。所需的“填充”的电阻率取决于间隙的尺寸和隔板材料的电阻率。隔板低侧的电压将非常接近选择电极的电压。在实验时采用了聚酰亚胺中间层。
防止场致发射的第三种方法是在隔板101的精选侧形成图形化低阻层(例如金属化层)。如果此图形选择与精选电极的图形相同,就将不存在短路且隔板在精选侧的电位仍然是确定的。这种解决方法比(例如)仅采用高阻层成本要高。就耗能而言,设置为图形的导体比高阻层更有益。
如果荧光隔板101不与荧光屏7准确邻接,在隔板和屏幕之间会局部地产生较大电位差,正如在精选处存在间隙时的情形。这种情况示于图5中。除了不均匀和尘粒之外,由于ITO层17上存在的荧光粉末或黑底,隔板和屏幕之间的接触难以确定。实际上,这意味着,若无任何措施,荧光粉末(和/或黑底)可能在高荧光屏电压下从ITO低层上脱落并可能被引向隔板;这种情况发生的程度取决于荧光粉末在屏幕上的粘附性。防止这种情况发生的一个简单措施是在隔板的荧光屏侧形成导电层16。与精选侧的层相比,此层应是较低电阻的。一种可能性是将此层选择为如此低阻的,以便通过板外缘(显示边缘)的接触足以确定电位。例如,对于26英寸显示器,它带有0.5mm厚的荧光隔板,此隔板具有5×1012Ω的电阻率,并处在10千伏的荧光屏电压下,那么电阻层应具有小于约105Ω的每平方单位电阻,以便与荧光屏的电位差(仅作为分压的一个结果)小于约10伏。所容许的电位差取决于荧光粉或黑底的粘附性以及间隙的尺寸。10伏的电位差值是一个例子。此层的每平方单位电阻最好选择为比上述的105Ω小得多。例如,一金属层(如镍)或低阻ITO层是合适的。此外,此层可用于屏蔽显示器免受电磁干扰(EMS),这是一个显著的优点。
如果电子穿过精选电极13、13′、13″…中的孔,荧光隔板的壁将被充电。这种充电主要是由从荧光屏上反向散射的电子实现的,并在隔板壁上引发二次电子,这些电子也被朝着荧光屏传输。保证荧光隔板的壁是不良的二次发射器是有益的,这可通过选择合适的隔板材料或形成合适的涂层来实现,后者似乎是最容易的方法。就场致发射的抑制而言,理想情况是二次发射系数δ总小于1。很明显,考虑到前面提及的效应,所述涂层最好具有足够高的电阻,以便荧光隔板的精选侧与荧光屏侧不是“短路的”。图6示出形成不同涂层的位置。所述的“低δ”涂层18可遍布隔板101设置,例如设在涂层14和16上;实际上,这常常比仅仅在孔壁上形成涂层要简单。
关于“低δ”涂层,已从有机层中获得经验。例如采用聚酰亚胺涂层得到了良好的结果。对于一个改进的恒定高压,在没有真空电流的情况下,无机低δ涂层也是可用的。
精选电极处的电场和不希望的场致发射可通过适当选择荧光隔板孔的形状来降低。用于降低选择电极处的电场和大致方法是:
1.在给定荧光隔板厚度的情况下,孔直径选择得应尽可能大,至少在精选侧是这样。在选择电极处电场的大小基本上与直径(在精选侧)成反比。
2.在邻近精选的一个区域中,使孔具有圆锥形状是有益的,这样在从选择电极向荧光屏方向观视时,孔的直径将是较小的。
除了由希望使精选电极处的电场降至最小而产生的要求外,还有两个应尽可能考虑到的先决条件:
3.在荧光屏侧孔应具有最大可能的直径,以在荧光屏上获得最大可能的光点(防止可能的饱和效应)和着落裕量(防止电子撞击孔壁)。
4.在精选侧孔直径最好如此小,以便精选金属化图形的周边区域为荧光隔板结构所覆盖。实验得知,如果不这样,场致发射会容易地从金属化层的边缘产生。在精选板中在荧光屏侧围绕孔的金属化层的尺寸由孔和金属化线路之间的距离所限定。
可满足这些要求的孔形状示于图7A(具有约0.4mm的直径的柱形孔)、图7B(向荧光屏方向变宽的圆锥形孔)和图7C(空心陀螺形的,即从两侧向中心孔变细)。
按图7B所示的几何形状进行了许多涉及恒定电压的实验;这种几何状态可容易地实现,并且精选金属化层止于隔板材料(窗口玻璃)的远下方。典型尺寸是:厚度为0.5mm,精选侧孔直径为0.3mm,荧光屏侧孔直径0.5mm。大于10千伏的荧光屏电压可采用这样的荧光隔板实现,此隔板在精选侧涂有高阻ATO层(见上),而在荧光屏侧涂(例如)镍层,并且在整体上设薄的聚酰亚胺涂层。采用带2μm镍涂层的玻璃精选板。
进一步增大精选电极之间的电压的方法是采用两个(或多个)级联(in    cascade)的子隔板101a、101b,并将带同轴孔的金属板101C(或金属化板或按另外的方式实现导电的板)插在子隔板间。这种双隔板示于图8中。现在高压可分布于两个隔板上。导电夹板用于确定中间的电位,为此在所示的实施例中它不能被选择为任意薄的。对于厚度为0.5mm和孔径为0.4mm的两隔板而言,夹板厚度为0.1-0.2mm是合适的。分立的隔板的几何形状可在给定的限制范围内自由选择,以实现最佳的电压稳定性。(导电夹板可由设在隔板之一上的导电层替代)。为确定电位,两隔板均在荧光屏侧和精选侧设有导电层。隔板101a的精选侧的导电层应是高阻的。两隔板最好涂敷低δ涂层。
以上对显示装置的寻址系统按两级进行了描述。不过,寻址系统采用两级以上也具相同优越性。在某些应用中寻址系统可以是单级的。
应当指出,电子传输通道的长度或并置的传输通道的数量对图象质量而言基本上是不重要的。因此对于具有短轴和长轴的显示屏而言,任何纵横比都是可能的,例如4∶3;14∶9;16∶9。电子传输通道通常平行于显示屏的短轴排列,但在某些情况下它们平行于长轴排列是有益的。一个预选孔可与(例如)两个精选孔(两孔组式选择)、三个精选孔(三孔组式选择)、四个精选孔(四孔组成选择)、六个精选孔(六孔组式选择)相配合。图2示出的状态中,三个精选孔“R”、“G”和“B”与一个预选孔9配合。对于三个精选孔的排列而言存在各种可能性。
就显示效果而言,采用三元式(三孔之间是对称的)精选结构是有益的。图1示出了沿垂直路线排列的R、B、G彩色(荧光粉)点结构。很明显,对于互连的同色点而言,精选电极或“线路”13、13′、13″…是“水平”排列的,如图2所示。线路也可使不同色彩互连,这种想法会引出一连串新的可能性。下述结构的基本原理是,一条线路穿过各三元组的中心,而余下的两个点分别由上面的和下面的线路驱动。在断电过程中中央线路可导致负充电,但由于障板中的进入孔位于此线路正对面,因而这对于其它两孔的寻址没有严重影响。图9、10和11示出这种想法的一些实施情况,它们采用垂直点线结构。在所有这些情况中,采用同色间水平线路直连方案也是可选的。不过,在图9中单位显示高度上水平线路23、23′、23″…的数量为直连式方案中的三分之一,且在图10和11中此数量也明显比直连式方案中少,并保持固有的优越性。在图11中,三元组的偶数列和奇数列相互间稍有错位,在多列式(column-multiplexed)显示中,这是一个对效果和粗选线路图形均有吸引力的特征。
在参阅图4A描述的特定实施例中提到了层14在1010和1011Ω之间的每平方单位电阻。更一般的情况下这个值在109和1014Ω之间。
参阅图6注意到给在隔板中的孔壁提供具有低二次发射系数δ(例如可采用象TiO2之类的无机材料)的层是有利的。
对层14和层18可采用相同的材料,这会使得显示装置的制造变得更容易。
为了制造层14(若需要的话,也对于层18),采用包括了Cr2O3颗粒、玻璃颗粒和例如异丙醇的有机粘合剂的悬胶液是有利的。所述悬胶液可通过例如旋压(spinning)或喷涂以形成涂层来提供。所述涂层在例如400和500℃之间温度范围通过加热步骤透入到具有所需电阻的层中。在将隔板相对(精)选板放置后,通过执行加热步骤,在(精)选板和隔板之间可能的间隙中充满了在所述加热步骤中熔融的涂层中的玻璃。因此在这种情况下,高欧姆层也具有平滑化(smoothening)层的功能。

Claims (10)

1、一种图象显示装置,具有一个真空壳体,此壳体设有一个透明面板和一个背板,面板带有具有发光象素图形的显示屏,所述显示装置包括:多个并置的电子传输装置,这些传输装置基本上平行于面板延伸;一个寻址系统,它位于所述传输装置和面板之间,用于所希望的象素的寻址;以及一个电绝缘材料制成的多孔传输隔板,用于让电子穿过,其特征在于,隔板设有能维持其厚度上的大电位差的装置。
2、如权利要求1所述的图象显示装置,其特征在于,在电子进入孔的一侧,隔板表面设有高电阻层。
3、如权利要求1所述的图象显示装置,其特征在于,在电子进入孔的一侧,隔板表面设有均衡层。
4、如权利要求1所述的图象显示装置,其特征在于,在电子进入孔的一侧,隔板表面设有低阻导电材料的图形。
5、如权利要求1所述的图象显示装置,其特征在于,在电子离开孔的一侧,隔板表面设有低阻导电层。
6、如权利要求1所述的图象显示装置,其特征在于,隔板的孔壁上涂有具有低的二次发射系数的材料层。
7、如权利要求1所述的图象显示装置,其特征在于,从其电子射出侧看,隔板孔至少在其长度的一部分上锥形的或在其长度的一部分上具有收敛结构。
8、如权利要求1所述的图象显示装置,其特征在于,从其电子进入侧看,隔板孔在其长度的至少一部分上是锥形的或在其长度的一部分上具有收敛结构。
9、如权利要求1所述的图象显示装置,其特征在于,隔板包括至少两个子隔板,这些子隔板隔开一小段距离设置并具有相通的孔,在子隔板间设有一个多孔的导电板或导电层。
10、一种图象显示装置,具有一个真空壳体,此壳体设有一个透明面板和一个背板,面板带有具有发光象素图形的显示屏,所述显示装置包括:多个并置的电子传输装置,这些传输装置基本上平行于面板延伸;一个寻址系统,它位于所述传输装置和面板之间,用于所希望的象素的寻址;以及一个电绝缘材料制成的多孔传输隔板,用于让电子穿过,其特征在于,寻址系统包括一个预选装置和一个精选装置,精选装置包括一个多孔板,该多孔板在其面对显示屏的一侧设有金属精选电极图形,每一电极与多个孔相配合,隔板邻近精选电极图形,隔板的孔与精选板的孔连通,并且与精选板的各孔相邻的精选电极的周边区域由隔板结构所覆盖。
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