CN108279367A - 吸附式测试装置 - Google Patents

Abstract

一种吸附式测试装置，包含一承载台、至少一密封件以及一抽气管路。承载台具有一承载面。密封件设置于承载面，且密封件包含一体成型的一第一密封部以及二第二密封部。第一密封部于承载面围绕出一吸附区，并且二第二密封部位于吸附区。第一密封部与二第二密封部共同将吸附区区分成二第一吸附范围和一第二吸附范围。抽气管路设置于承载台，且抽气管路具有一负压源连接口、二第一吸气口以及一第二吸气口。二第一吸气口分别连接于二第一吸附范围。第二吸气口连接于第二吸附范围，且负压源连接口连接于二第一吸气口与第二吸气口。

Description

吸附式测试装置

技术领域

本发明涉及一种测试装置，特别涉及一种吸附式测试装置。

背景技术

随着科技的进步，半导体元件的功能也同样日新月异，且搭载的功能越来越多样化。传统上，半导体元件在出厂前，往往会藉由测试程序，以确定半导体元件中的各项功能均正常。

一般而言，是将具有集成电路的半导体元件设置于承载台上进行测试。详细来说，承载台上配置有多个测试用电路板以及多个可伸缩式电性连接端子(pogo pin)。此外，承载台上还会设有载板，并且载板上设有电性接点，以与半导体元件电性连接。在进行半导体电路的测试前，需要先将载板组装在承载台上，以便经由载板电性连接测试用电路板与半导体元件。为了确保载板与电性连接端子能有良好电性接触，目前发展出经由真空吸附的方式以将不同尺寸的载板固设于承载台。

在现在使用真空吸附的测试装置中，形成于承载台上的吸附孔分布并不均匀，导致大尺寸的载板会因为吸附力不均匀而产生变形，进而使得载板的电性接点与电性连接端子之间的电性连接的效果较差。此外，在现有使用真空吸附的测试装置中，为了能吸附不同尺寸的载板，会将设置于承载台的一部分密封件做成可拆卸式；然而，可拆卸式的设计容易在两个密封件的连接处产生缝隙，导致抽气时无法有效提供良好的负压状态，使得吸附力不足而有载板脱落的风险存在。可拆卸式的密封件也容易遗失，而让使用者感到不便。

发明内容

鉴于以上的问题，本发明的目的在于揭露一种吸附式测试装置，有助于解决现有测试装置中大尺寸载板会因为吸附力不均匀而产生变形以及可拆卸式密封件会产生缝隙与容易遗失的问题。

本发明所揭露的吸附式测试装置包含一承载台、至少一密封件以及一抽气管路。承载台具有一承载面。密封件设置于承载面，且密封件包含一体成型的一第一密封部以及二第二密封部。第一密封部于承载面围绕出一吸附区，并且二第二密封部位于吸附区。第一密封部与二第二密封部共同将吸附区区分成二第一吸附范围和一第二吸附范围。抽气管路设置于承载台，且抽气管路具有一负压源连接口、二第一吸气口以及一第二吸气口。二第一吸气口分别连接于二第一吸附范围。第二吸气口连接于第二吸附范围，且负压源连接口连接于二第一吸气口与第二吸气口。

本发明另揭露的吸附式测试装置包含一承载台、至少一密封件以及一抽气管路。承载台具有一承载面。密封件设置于承载面，且密封件包含一体成型的一第一密封部以及一第二密封部。第一密封部于承载面围绕出一吸附区，且第二密封部位于吸附区。第一密封部与第二密封部共同将吸附区区分成一第一吸附范围和一第二吸附范围。抽气管路设置于承载台，且抽气管路具有一负压源连接口、一第一吸气口以及一第二吸气口。第一吸气口连接于第一吸附范围，且第二吸气口连接于第二吸附范围。负压源连接口连接于第一吸气口与第二吸气口。

根据本发明所揭露的吸附式测试装置，承载台的第一吸附孔与第二吸附孔分别位于吸附区的第一吸附范围以及第二吸附范围；藉此，当大尺寸的载板设置于承载台的承载面时，抽气管路能经由第一吸附孔与第二吸附孔平均地将吸附力作用至载板的中央位置与周边位置，有助于防止载板因为受力不平均而产生变形。另外，第二密封部一体成型地连接于第一密封部而不会有缝隙产生；藉此，当小尺寸载板设置于承载面时，能避免因为第二吸附范围与第一吸附范围相连通而造成负压效果下降的问题，有助于提供足够的吸附力以固定载板。此外，由于第二密封部一体成型地连接于第一密封部，故不会发生第二密封部遗失的问题。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为根据本发明第一实施例的吸附式测试装置的立体示意图；

图2为图1的吸附式测试装置的另一立体示意图；

图3为图1的吸附式测试装置的俯视示意图；

图4为大尺寸载板设置于图3的吸附式测试装置的俯视示意图；

图5为图4的大尺寸载板与吸附式测试装置的沿5-5剖面线的剖视示意图；

图6为小尺寸载板设置于图3的吸附式测试装置的俯视示意图；

图7为图6的小尺寸载板与吸附式测试装置的沿7-7剖面线的剖视示意图；

图8为根据本发明第二实施例的吸附式测试装置的立体示意图；

图9为图8的吸附式测试装置的俯视示意图。

其中，附图标记

1、1” 吸附式测试装置

2、2” 载板

10 承载台

110 承载面

111 电性连接端子

120 第一吸附孔

130 第二吸附孔

140 吸附区

141、141” 第一吸附范围

142、142” 第二吸附范围

20A、20B、20” 密封件

210 第一密封部

220、220” 第二密封部

30 抽气管路

310 负压源连接口

320A、320B、320C、320D 第一吸气口

330A、330B 第二吸气口

40 致动开关

M、O 中心

具体实施方式

以下在实施方式中详细叙述本发明的详细特征以及优点，其内容足以使任何熟习相关技艺者了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、权利要求范围及附图，任何熟习相关技艺者可轻易地理解本发明相关的目的及优点。以下的实施例进一步详细说明本发明的观点，但非以任何观点限制本发明的范畴。

请参照图1至图3。图1为根据本发明第一实施例的吸附式测试装置的立体示意图。图2为图1的吸附式测试装置的另一立体示意图。图3为图1的吸附式测试装置的俯视示意图。在本实施例中，吸附式测试装置1包含一承载台10、二密封件20A和20B、一抽气管路30以及一致动开关40，但密封件20A、20B的数量并不以此为限。在其他实施例中，密封件的数量可为一。

承载台10具有一承载面110以及位于承载面110的多个第一吸附孔120以及多个第二吸附孔130。在本实施例中，测试装置1是经由第一吸附孔120与第二吸附孔130抽气吸附的方式，以将一载板2(load board，请先参照图4)固设于承载面110上方。

二密封件20A、20B设置于承载台10的承载面110，且二密封件20A、20B相对于承载面110的中心M对称配置。密封件20A、20B例如但不限于是橡胶材质，其分别包含一体成型的的一第一密封部210以及二第二密封部220。在本实施例中，第一密封部210为一环形橡胶圈，且第二密封部220为一柱状橡胶条。第二密封部220的相对二端分别连接于第一密封部210的相异二侧。第一密封部210于承载面110围绕出一吸附区140，且二第二密封部220皆位于吸附区140。第一密封部210与二第二密封部220共同将吸附区140区分成二第一吸附范围141和一第二吸附范围142。详细来说，第二吸附范围142介于二第一吸附范围141之间。其中一第二密封部220与第一密封部210共同围绕出其中一第二吸附范围142，且另一第二密封部220与第一密封部210共同围绕出另一第二吸附范围142。承载台10的第一吸附孔120位于第一吸附范围141，且第二吸附孔130位于第二吸附范围142。此外，承载面110于吸附区140还设有多个电性连接端子111，其功能将于后续叙述。

抽气管路30设置于承载台10，且抽气管路30具有一负压源连接口310、四第一吸气口320A～320D以及二第二吸气口330A、330B。二第一吸气口320A、320B分别连接于被密封件20A围绕的吸附区140的二第一吸附范围141，且二第一吸气口320C、320D分别连接于被密封件20B围绕的吸附区140的二第一吸附范围141。二第二吸气口330A、330B分别连接于密封件20A的第二吸附范围142与密封件20B的第二吸附范围142。负压源连接口310连接于四第一吸气口320A～320D以及二第二吸气口330A、330B。负压源连接口310例如连接于一抽气帮浦，以提供负压的状态。当负压源连接口310所连接的抽气帮浦运转而提供负压源连接口310负压状态时，第二吸气口330A、330B常态地提供第二吸附范围142处于负压的状态而可吸附载板。另一方面，负压源连接口310与第一吸气口320A～320D之间的通气状态可藉由致动开关40来进行切换。

致动开关40例如但不限于为一按钮，其设置于承载台10。致动开关40可用以切换负压源连接口310与第一吸气口320A～320D之间的通气状态。详细来说，当致动开关40未开启时，致动开关40常态地使负压源连接口310与第一吸气口320A～320D的通气状态为关闭，此时负压源连接口310不会从第一吸气口320A～320D吸气，故第一吸附范围141不会呈现负压状态。当致动开关40开启时，致动开关40使负压源连接口310与第一吸气口320A～320D的通气状态开启，而令第一吸气口320A～320D所处的第一吸附范围141可吸附载板。本实施例的吸附式测试装置1设有致动开关40来控制负压源连接口310与第一吸气口320A～320D的通气状态，但本发明并不以此为限。在其他实施例中，吸附式测试装置可不设置致动开关，并且负压源连接口310与第一吸气口320A～320D以及第二吸气口330A、330B的通气状态常态地开启。

以下说明吸附式测试装置1吸附不同尺寸的载板的方式。请参照图3至图5。图4为大尺寸载板设置于图3的吸附式测试装置的俯视示意图。图5为图4的大尺寸载板与吸附式测试装置的沿5-5剖视线的剖视示意图。当具有大尺寸的载板2设置于承载台10的承载面110时，开启致动开关40以使负压源连接口310与第一吸气口320A～320D的通气状态切换至开启，因而二个吸附区140的第一吸附范围141和第二吸附范围142可共同将载板2吸附于承载面110上方。

图6为小尺寸载板设置于图3的吸附式测试装置的俯视示意图。图7为图6的小尺寸载板与吸附式测试装置的沿7-7剖视线的剖视示意图。当大尺寸的载板被移除并且替换成小尺寸的载板2”时，关闭致动开关40以使负压源连接口310与第一吸气口320A～320D的通气状态切换至关闭。于此状态下，二个吸附区140的第二吸附范围142可共同将载板2”吸附于承载面110上方。

在本实施例中，承载台10的第一吸附孔120与第二吸附孔130分别位于吸附区140的第一吸附范围141以及第二吸附范围142。藉此，当大尺寸的载板2设置于承载台10的承载面110时，抽气管路30能经由第一吸附孔120与第二吸附孔130平均地将吸附力作用至载板2的中央位置与周边位置，有助于防止载板2因为受力不平均而产生变形。此外，当小尺寸载板2”设置于承载面110时，可利用致动开关40来使负压源连接口310与第一吸气口320A～320D的通气状态关闭，以使第一吸附范围141停止抽气，如此可避免第一吸附范围141与第二吸附范围142同时抽气而造成第一吸附范围141发生空抽现象。

另外，在本实施例中，第二密封部220一体成型地连接于第一密封部210。相较于现有密封件的密封部之间因具有缝隙而会降低抽气泵提供的负压效果，本实施例的第一密封部210与第二密封部220因一体成型而不会有缝隙产生。藉此，当小尺寸载板2”设置于承载面110时，能避免因为第二吸附范围142与第一吸附范围141相连通而造成负压效果下降的问题，有助于提供足够的吸附力以固定载板2”。

当大尺寸载板2设置于承载面110时，可视需求来进一步防止载板2产生变形以提高电性测试的精确度。请复参照图3，本实施例的密封件20A、20B的二第二密封部220相对于吸附区140的中心O对称配置。此外，二第二密封部220的延伸方向实质上相互平行。藉此，能使施加在载板2的吸附力分布更加均匀。

此外，当小尺寸载板2”设置于承载面110时，为了提升第二密封部220的密封能力，本实施例的第一密封部210的厚度与第二密封部220的厚度相等。然而，在其他实施例中，第一密封部210的厚度可大于第二密封部220的厚度。

以下揭露另一种态样的吸附式测试装置。请同时参照图8和图9。图8为根据本发明第二实施例的吸附式测试装置的立体示意图。图9为图8的吸附式测试装置的俯视示意图。由于第二实施例和第一实施例相似，故以下仅就相异处进行说明。

在本实施例中，吸附式测试装置1”包含一承载台10、一密封件20”以及一抽气管路30。密封件20”包含一体成型的一第一密封部210以及一第二密封部220”。第一密封部210围绕出吸附区140，并且第一密封部210与第二密封部220”共同将吸附区140区分成第一吸附范围141”以及一第二吸附范围142”。

当具有大尺寸的载板设置于承载面110时，吸附区140的第一吸附范围141”和第二吸附范围142”共同将载板吸附于承载面110上方。当小尺寸的载板设置于承载面110时，吸附区140的第二吸附范围142”将载板吸附于承载面110上方。

综上所述，本发明所揭露的吸附式测试装置中，承载台的第一吸附孔与第二吸附孔分别位于吸附区的第一吸附范围以及第二吸附范围；藉此，当大尺寸的载板设置于承载台的承载面时，抽气管路能经由第一吸附孔与第二吸附孔平均地将吸附力作用至载板的中央位置与周边位置，有助于防止载板因为受力不平均而产生变形。另外，第二密封部一体成型地连接于第一密封部而不会有缝隙产生；藉此，当小尺寸载板设置于承载面时，能避免因为第二吸附范围与第一吸附范围相连通而造成负压效果下降的问题，有助于提供足够的吸附力以固定载板。此外，由于第二密封部一体成型地连接于第一密封部，故不会发生第二密封部遗失的问题。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种吸附式测试装置，其特征在于，包含：

一承载台，具有一承载面；

至少一密封件，设置于该承载面，该至少一密封件包含一体成型的一第一密封部以及二第二密封部，该第一密封部于该承载面围绕出一吸附区，该二第二密封部位于该吸附区，该第一密封部与该二第二密封部共同将该吸附区区分成二第一吸附范围和一第二吸附范围；以及

一抽气管路，设置于该承载台，该抽气管路具有一负压源连接口、二第一吸气口以及一第二吸气口，该二第一吸气口分别连接于该二第一吸附范围，该第二吸气口连接于该第二吸附范围，且该负压源连接口连接于该二第一吸气口与该第二吸气口。

2.根据权利要求1所述的吸附式测试装置，其特征在于，该第二吸附范围介于该二第一吸附范围之间。

3.根据权利要求1所述的吸附式测试装置，其特征在于，该第二密封部的相对二端分别连接于该第一密封部的相异二侧。

4.根据权利要求1所述的吸附式测试装置，其特征在于，该至少一密封件的数量为二，且该二密封件相对于该承载面的中心对称配置。

5.根据权利要求1所述的吸附式测试装置，其特征在于，该二第二密封部相对于该吸附区的中心对称配置。

6.根据权利要求1所述的吸附式测试装置，其特征在于，该二第二密封部的延伸方向相互平行。

7.根据权利要求1所述的吸附式测试装置，其特征在于，更包含设置于该承载台的一致动开关，该致动开关能够封闭或开启该负压源连接口与该至少一吸气口的通氣状态。

8.根据权利要求1所述的吸附式测试装置，其特征在于，该第一密封部的厚度与该二第二密封部的厚度相等。

9.根据权利要求1所述的吸附式测试装置，其特征在于，该承载面于该吸附区设有至少一电性连接端子。

10.一种吸附式测试装置，其特征在于，包含：

一承载台，具有一承载面；

至少一密封件，设置于该承载面，该至少一密封件包含一体成型的一第一密封部以及一第二密封部，该第一密封部于该承载面围绕出一吸附区，该第二密封部位于该吸附区，该第一密封部与该第二密封部共同将该吸附区区分成一第一吸附范围和一第二吸附范围；以及

一抽气管路，设置于该承载台，该抽气管路具有一负压源连接口、一第一吸气口以及一第二吸气口，该第一吸气口连接于该第一吸附范围，该第二吸气口连接于该第二吸附范围，且该负压源连接口连接于该第一吸气口与该第二吸气口。