CN108279237A - 一种光学检测系统及检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种光学检测系统及检测方法。在本发明提供的光学检测系统中，通过与显微镜连接的第一分光器对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号，再由计算模块根据该第一分光器获取的电信号，计算待测区域处薄膜的特性参数，使得该光学检测系统不仅可以利用自动光学检测设备检测薄膜的膜质，以确定薄膜是否存在不良，还可以检测薄膜的特性参数，从而有效提升该测试系统测试功能的集成度，提高设备的利用率。

Description

一种光学检测系统及检测方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种光学检测系统及检测方法。
背景技术
AOI(Automatic Optical Inspection，自动光学检测)是液晶及微电子等行业广泛使用的测量手段，而其中AOI设备是液晶及微电子等行业广泛使用的检测设备；AOI设备可用于检测基板的表面的图型是否符合规定、是否存在坏点以及判定坏点的准确位置，如直接采用AOI设备对基板拍照得到较为清晰的图像，并通过对该图像的分析来对基板是否存在坏点进行检测。
然而对彩膜的薄膜特性参数的测试，需要另外通过其它测试设备来完成，设备利用率较低，进而导致使用成本较高。而且各种测试设备占用厂房大量空间，空间利用率较低。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种光学检测系统及检测方法，以解决自动光学检测设备测试功能集成度低的问题。
一方面，提供了一种光学检测系统，包括自动光学检测设备、定位装置、第一分光器和计算模块；
所述自动光学检测设备包括显微镜、反射光源和透射光源；
所述显微镜通过光纤分别与所述第一分光器和所述定位装置连接；所述第一分光器与所述计算模块连接；
所述定位装置，用于照亮薄膜表面，并调节所述显微镜聚焦在所述薄膜表面上的待测区域；
所述显微镜，用于接收经所述待测区域处薄膜反射或者透射的光信号，并将所述光信号传输至所述第一分光器；
所述第一分光器，用于对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号；
所述计算模块，用于根据所述第一分光器获取的电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数。
进一步地，当所述待测区域处薄膜为彩色色阻薄膜时，所述系统还包括：第二分光器；所述第二分光器的一端通过光纤与所述显微镜连接，所述第二分光器的另一端与所述计算模块连接；所述第二分光器，用于对光信号分光，并将波长在第二预设波段内的光信号转换为电信号；所述计算模块，用于根据所述第二分光器获取的电信号，计算所述彩色色阻薄膜的特性参数，其中，所述彩色色阻薄膜的特性参数包括色度和厚度；其中，所述彩色色阻包括红色色阻、绿色色阻和蓝色色阻中至少一种。
进一步地，当所述待测区域处薄膜为黑矩阵色阻薄膜时，所述系统还包括：光电倍增管；所述光电倍增管的一端通过光纤与所述显微镜连接，所述光电倍增管的另一端与所述计算模块连接；所述光电倍增管，用于将经所述黑矩阵色阻薄膜透射的光信号转换为增益的电信号；所述计算模块，用于根据所述光电倍增管获取的电信号，计算所述黑矩阵色阻薄膜的特性参数，其中，所述黑矩阵色阻薄膜的特性参数包括光密度。
进一步地，所述系统还包括：控制模块；所述控制模块的一端与所述显微镜连接，所述控制模块的另一端分别与所述第一分光器、所述第二分光器、所述光电倍增管和所述定位装置中至少一个设备连接；所述控制模块，用于通过控制所述第一分光器、所述第二分光器、所述光电倍增管和所述定位装置的开关状态，切换所述光学检测系统的测试功能。
进一步地，所述光学检测系统，用于当通过所述控制模块开启所述第一分光器、所述第二分光器和所述光电倍增管中至少一个设备时，检测薄膜的特性参数；当通过所述控制模块将所述第一分光器、所述第二分光器、所述光电倍增管和所述定位装置全部关闭时，由所述自动光学检测设备检测薄膜的膜质。
进一步地，所述第一分光器、所述第二分光器和所述光电倍增管设置在所述自动光学检测设备上，以随所述自动光学检测设备同步移动。
另一方面，还提供了一种光学检测方法，应用于上述光学检测系统，包括：
照亮薄膜表面，并调节显微镜聚焦在薄膜表面上的待测区域；
通过显微镜接收经所述待测区域处薄膜反射或者透射的光信号；
对所述光信号进行分光并滤波，获取滤波后的光信号；
将所述滤波后的光信号转换为电信号；
根据所述电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数。
进一步地，当所述显微镜接收的光信号为经所述待测区域处薄膜反射的光信号时，所述根据所述电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数的步骤，包括：根据所述电信号，确定所述经待测区域处薄膜反射的光信号的光照强度；根据所述光照强度，确定所述待测区域处薄膜的反射率；根据所述反射率，确定所述待测区域处薄膜的厚度。
进一步地，当所述显微镜接收的光信号为经所述待测区域处薄膜透射的光信号时，所述根据所述电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数的步骤，包括：根据所述电信号，确定所述经待测区域处薄膜透射的光信号的光照强度，得到第一光照强度；根据所述光照强度，确定所述待测区域处薄膜的透过率；根据所述透过率，确定所述待测区域处薄膜的色度和/或光密度。
进一步地，所述根据所述光照强度，确定所述待测区域处薄膜的透过率的步骤，包括：关闭透射光源，获取暗态下经待测区域处薄膜透射的光信号的光照强度，得到第二光照强度；将待测区域更换为参考样品，获取经参考样品透射的光信号的光照强度，得到第三光照强度；根据所述第一光照强度、第二光照强度和第三光照强度，确定所述待测区域处薄膜的透过率。
与现有技术相比，本发明包括以下优点：
本发明提供了一种光学检测系统及检测方法，在本发明提供的光学检测系统中，通过与显微镜连接的第一分光器对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号，再由计算模块根据该第一分光器获取的电信号，计算待测区域处薄膜的特性参数，使得该光学检测系统不仅可以利用自动光学检测设备检测薄膜的膜质，以确定薄膜是否存在不良，还可以检测薄膜的特性参数，从而有效提升该测试系统测试功能的集成度，提高设备的利用率。而且可以避免采用除自动光学检测设备以外的设备检测薄膜的特性参数，提升了该设备所在厂房的空间利用率。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种光学检测系统的剖面结构示意图；
图2是本发明实施例提供的另一种光学检测系统的剖面结构示意图；
图3是本发明实施例提供的一种光学检测系统的光路示意图之一；
图4是本发明实施例提供的一种光学检测系统的光路示意图之二；
图5是本发明实施例提供的一种光学检测方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的机或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图和实施例对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
参照图1，示出了本发明实施例提供的一种光学检测系统的剖面结构示意图。该光学检测系统可以用于显示技术领域，例如，可以对彩膜基板9中各类型薄膜进行测试。
本发明实施例提供的光学检测系统包括自动光学检测设备1(Automatic OpticInspection，AOI)、定位装置2(Area marker光源)、第一分光器3和计算模块4。该自动光学检测设备1包括显微镜11、反射光源12和透射光源13，可以通过获取薄膜表面的图像，并对图像进行分析，检测薄膜的膜质，以供判断薄膜是否存在不良。该自动光学检测设备1中的显微镜11还通过光纤分别与第一分光器3和定位装置2连接，并且该第一分光器3除一端通过光纤与显微镜11连接外，该第一分光器3的另一端还与计算模块4连接。其中，定位装置2可以通过对位、对焦等方式确认测量位置，从而确定待测区域。显微镜11可以接收经该待测区域处薄膜反射或者透射的光信号，并将该光信号传输至第一分光器3，由该第一分光器3对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号，再由计算模块4根据该第一分光器3获取的电信号，计算待测区域处薄膜的特性参数。从而使得该光学检测系统不仅可以利用自动光学检测设备1检测薄膜的膜质，以确定薄膜是否存在不良，还可以检测薄膜的特性参数，从而有效提升该测试系统测试功能的集成度，提高设备的利用率。而且可以避免采用除自动光学检测设备1以外的设备检测薄膜的特性参数，提升了该设备所在厂房的空间利用率。
具体的，该第一分光器3包括衍射光栅和发光二极管阵列，由显微镜11接收并传输至第一分光器3的光信号通常为谱带较宽的复合光信号，该衍射光栅可以将该复合光信号分光成窄带宽的单色光信号。其中，该衍射光栅是通过有规律的结构，使入射光的振幅和/或相位受到周期性空间调制，从而实现对光信号的分光。由于该第一分光器3可以将波长在第一预设波段内的复合光信号分光成单色光信号，因此可以实现对光信号的滤波，滤除波长在第一预设波段外的光信号。该发光二极管阵列可以将滤波后的光信号转换为电信号，即将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号。其中，该第一分光器3获取的电信号可以由光谱来表示。计算模块4可以根据该光谱，计算待测区域处薄膜的特性参数。
综上所述，本发明提供的光学检测系统，可以通过与显微镜11连接的第一分光器3对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号，再由计算模块4根据该第一分光器3获取的电信号，计算待测区域处薄膜的特性参数，使得该光学检测系统不仅可以利用自动光学检测设备1检测薄膜的膜质，以确定薄膜是否存在不良，还可以检测薄膜的特性参数，从而有效提升该测试系统测试功能的集成度，提高设备的利用率。而且可以避免采用除自动光学检测设备1以外的设备检测薄膜的特性参数，提升了该设备所在厂房的空间利用率。
参照图2，在本发明的一个优选的实施例中，在图1的基础上，本发明实施例提供的光学检测系统还包括：第二分光器6、光电倍增管7(photomultiplier tube，PMT)和控制模块5。其中，该第二分光器6和光电倍增管7可以通过光纤与显微镜11连接。该第一分光器3、第二分光器6和光电倍增管7可以设置在自动光学检测设备1上，以随自动光学检测设备1同步移动。具体的，该第一分光器3、第二分光器6和光电倍增管7，可以加装在控制自动光学检测设备1中显微镜11移动的传动机构(Gantry)上，随显微镜11同步移动，避免第一分光器3、第二分光器6和光电倍增管7分别与显微镜11相连的光纤发生弯折，保障光路的稳定性。该控制模块5的一端与显微镜11连接，该控制模块5的另一端分别与第一分光器3、第二分光器6、光电倍增管7和定位装置2中至少一个设备连接，该控制模块5可以通过控制第一分光器3、第二分光器6、光电倍增管7和定位装置2的开关状态，切换光学检测系统的测试功能。
具体的，当该控制模块5开启第一分光器3、第二分光器6和光电倍增管7中至少一个设备时，该光学检测系统可以用于检测薄膜的特性参数。当通过该控制模块5将第一分光器3、第二分光器6和光电倍增管7全部关闭时，该光学检测系统可以利用自动光学检测设备1检测薄膜的膜质。在实际应用中，在开启第一分光器3、第二分光器6和光电倍增管7中至少一个设备时，可以通过开启定位装置2确定待测区域。
其中，当该控制模块5开启第一分光器3时，该第一分光器3可以用于对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号。由于无色薄膜或者黑色薄膜可以对各波长的可见光进行无差别吸收，因此，若该第一预设波段为可见光波段，可以利用第一分光器3检测无色薄膜或者黑色薄膜的特性参数，例如，若该第一预设波段为380nm-780nm，可以利用该第一分光器3检测黑矩阵(Black Matrix，BM)色阻薄膜、平坦层薄膜或者隔垫物薄膜的特性参数。
当该控制模块5开启第二分光器6时，该第二分光器6可以用于对光信号分光，并将波长在第二预设波段内的光信号转换为电信号。由于彩色色阻薄膜会对不同波长的可见光进行选择性吸收，影响检测薄膜特性参数的准确性，因此，可以利用近红外光等非可见光检测彩色色阻薄膜的特性参数。例如，若该第二预设波段为900nm-1600nm，可以利用该第二分光器6检测彩色色阻薄膜的特性参数。也就是说，当待测区域处薄膜为彩色色阻薄膜时，该光学检测系统可以通过控制模块5控制第二分光器6开启，该第二分光器6用于对光信号分光，并将波长在第二预设波段内的光信号转换为电信号。再由计算模块4根据第二分光器6获取的电信号，计算彩色色阻薄膜的特性参数。其中，彩色色阻薄膜的特性参数包括色度和厚度。彩色色阻包括红色色阻、绿色色阻和蓝色色阻中至少一种。
当该控制模块5开启光电倍增管7时，该光电倍增管7可以将微弱的光信号转换为增益的电信号。因此，当待测区域处薄膜为黑矩阵色阻薄膜时，透过黑矩阵色阻的光信号较微弱，可以通过该光电倍增管7将经黑矩阵色阻薄膜透射的光信号转换为增益的电信号，再由计算模块4根据光电倍增管7获取的电信号，计算黑矩阵色阻薄膜的特性参数。其中，黑矩阵色阻薄膜的特性参数包括光密度(Optical Density，OD)。其中，光电倍增管7是一种真空器件，包括光电阴极、电子倍增部和阳极等部件。具体用于当光照射到光电阴极时，光电阴极表面材料被光激发出光电子入射至电子倍增部，通过电子倍增部对光电子进行级联倍增形成二次电子，再由阳极将增益后的二次电子用阳极收集作为信号输出。
在实际应用中，如图3所示的光路示意图，当显微镜11接收经待测区域处薄膜透射的光信号时，显微镜11位于透射光源13相对待测区域的投影位置处。如图4所示的光路示意图，当显微镜11接收经待测区域处薄膜反射的光信号时，显微镜11和反射光源12位于待测区域所在平面的法线两侧，且显微镜11和反射光源12均与法线呈预设角度。例如，该预设角度可以为17°。在显微镜11接收光信号并将光信号传输至第一分光器3、第二分光器6和光电倍增管7中至少一个设备过程中，可以通过在显微镜11中设置的分光镜将光信号同时传输至电荷耦合器件(charge coupled device，CCD)相机，以供用户对薄膜的图像进行观测。在实际应用中，该光学检测系统还可以包括透过照明光源，该透过照明光源与透射光源13位于同一侧，用于对待测区域进行照明。
综上所述，本发明提供的光学检测系统，可以通过控制模块5控制第一分光器3、第二分光器6和光电倍增管7的开关状态，切换光学检测系统的测试功能，从而实现对不同类型的薄膜进行检测，获取对应的电信号，再由计算模块4根据对应的电信号，计算待测区域处薄膜的特性参数，使得该光学检测系统可以测试不同类型的薄膜的特性参数。从而进一步提升该测试系统测试功能的集成度，提高设备的利用率。
本发明实施例还提供了一种光学检测方法。该光学检测方法可以应用于上述的光学检测系统。参照图5，示出了本发明实施例提供的一种光学检测方法的流程图。
步骤501，照亮薄膜表面，并调节显微镜聚焦在薄膜表面上的待测区域。
具体的，可以通过定位装置2中的具有预设光照强度的光源照亮薄膜表面，以使显微镜可以获取薄膜表面的清晰图像，其中，该具有预设光照强度的光源可以为卤素光源。在确定待测区域时，可以先按照预设坐标调节显微镜移动至待测区域附近，再由定位装置对薄膜表面的图像进行识别，判断显微镜是否移动至待测区域，若未移动至待测区域，则控制显微镜进行微调，以聚焦在薄膜表面上的待测区域。例如，若待测区域为红色像素，则可以通过该定位装置调节显微镜移动至该红色像素的中心位置，以提高测量的准确性。
可以由定位装置2通过对位、对焦等方式确认测量位置，从而确定待测区域。
在确定待测区域所在的待测基板9时，可以通过抽检的方式进行选取，例如，可以从每80张基板9中选出一张基板9作为待测基板9，检测该待测基板9中的待测区域处薄膜的特性参数。从而可以降低长时间检测对产能的影响。
步骤502，通过显微镜接收经待测区域处薄膜反射或者透射的光信号。
在确定待测区域后，可以利用透射光源13照射待测区域，以使显微镜11接收经待测区域处薄膜透射的光信号。或者，利用反射光源12照射待测区域，以使显微镜11接收经待测区域处薄膜反射的光信号。
具体的，当需要检测待测区域处薄膜的色度或者光密度时，可以采用透射光源13照射待测区域，以获取透过该待测区域处薄膜的光信号的光照强度，进而可以获取待测区域处薄膜的透过率，并可以通过该薄膜的透过率计算得到薄膜的色度或者光密度。当需要检测待测区域处薄膜的厚度时，可以采用反射光源12按照预设角度照射待测区域，以获取经该待测区域处薄膜反射的光信号的光照强度，进而可以获取待测区域处薄膜的反射率，并可以通过该薄膜的反射率计算得到薄膜的厚度。
步骤503，对光信号进行分光并滤波，获取滤波后的光信号。
具体的，若对钝化层、隔垫物等无色薄膜的特性参数进行检测，可以将第一分光器3开启，通过第一分光器3对光信号分光，并滤除第一预设波段以外的光信号。若对彩色色阻薄膜的特性参数进行检测，可以将第二分光器6开启，通过第二分光器6对光信号分光，并滤除第二预设波段以外的光信号。
步骤504，将滤波后的光信号转换为电信号。
具体的，若待测区域处薄膜为无色薄膜或者彩色色阻薄膜，可以通过第一分光器3或者第二分光器6终端中的发光二极管阵列将光信号转换为电信号。若待测区域处薄膜为对光信号吸收率较高的黑色薄膜，可以通过光电倍增管7将光信号转换为增益的电信号，以避免信号强度太弱影响测试精度。
步骤505，根据该电信号，计算待测区域处薄膜的特性参数。
在计算模块4获取该电信号后，可以根据该电信号对应光信号传输的路径，确定对该电信号的计算方式。其中，光信号传输的路径包括光信号由反射光源12出射并经待测区域处薄膜反射，以及光信号由透射光源13出射并经待测区域处薄膜透射。
具体的，当显微镜11接收的光信号为经待测区域处薄膜反射的光信号时，可以根据该电信号，确定经待测区域处薄膜反射的光信号的光照强度，并根据该光照强度，确定待测区域处薄膜的反射率。再根据反射率，确定待测区域处薄膜的厚度。
在实际应用中，当显微镜11接收的光信号为经彩色色阻薄膜反射的光信号时，可以利用第二分光器6将该光信号转换为对应的电信号，根据该电信号对应光谱的幅值可以得到光信号的光照强度，在得到光照强度后，可以将经该彩色色阻薄膜反射的光信号光照强度除以对照样品的光照强度，并乘以与该彩色色阻薄膜对应的绝对补正系数，从而得到该彩色色阻薄膜对光信号的反射率。其中，对照样品可以为具有预设反射率的薄膜，例如，对照样品可以为表面形成有铝薄膜的基板9。在计算得到反射率后，便可以根据该彩色色阻薄膜对光信号的反射率，计算出该彩色色阻薄膜的厚度。
当显微镜11接收的光信号为经待测区域处薄膜透射的光信号时，可以根据该电信号，确定经待测区域处薄膜透射的光信号的光照强度，得到第一光照强度，并根据光照强度，确定待测区域处薄膜的透过率。再根据透过率，确定待测区域处薄膜的色度和/或光密度。在实际应用中，在根据光照强度，确定待测区域处薄膜的透过率时，可以先关闭透射光源13，获取暗态下经待测区域处薄膜透射的光信号的光照强度，得到第二光照强度。并将待测区域更换为参考样品，获取经参考样品透射的光信号的光照强度，得到第三光照强度。再根据第一光照强度、第二光照强度和第三光照强度，确定待测区域处薄膜的透过率。
在实际应用中，当显微镜11接收的光信号为经彩色色阻薄膜透射的光信号时，可以利用第二分光器6将该光信号转换为对应的电信号，根据该电信号对应光谱的幅值可以得到经该彩色色阻薄膜透射的光信号的第一光照强度。并可以获取经参考样品透射的光信号的光照强度，得到第三光照强度。在得到与待测区域处薄膜对应的该第一光照强度，以及与参考样品对应的第三光照强度后，可以通过将第一光照强度除以第三光照强度得到透过率。也可以获取暗态下经待测区域处薄膜透射的光信号的光照强度，得到第二光照强度，并将第一光照强度和第二光照强度分别减去第二光照强度，再相除。即通过公式：透过率＝(第一光照强度-第二光照强度)/(第三光照强度-第二光照强度)，计算得到该彩色色阻薄膜对光信号的透射率，以消除环境光对透过率测试结果的影响，提高测试结果的精度。在得到彩色色阻薄膜对光信号的透射率后，可以结合与该彩色色阻薄膜的颜色对应的系数曲线，计算该彩色色阻薄膜的色度。其中，由于人眼对不同颜色的视感度不同，不同颜色对应的系数曲线也不同。
在实际应用中，若待测区域处薄膜为黑矩阵色阻薄膜，也可以利用光电倍增管7将光信号转换为对应的电信号，以得到该黑矩阵色阻薄膜对应的第一光照强度，再利用素玻璃作为参考样品，得到透射光源13出射的光信号透过该参考样品后的第三光照强度，从而根据该第一光照强度和第三光照强度，得到该黑矩阵色阻薄膜对光信号的透过率，并根据该透过率计算得到该黑矩阵色阻薄膜的光密度。例如，可以取该透过率的负对数作为该黑矩阵色阻薄膜的光密度。其中，素玻璃是指表面未形成有薄膜的玻璃基板9。
综上所述，本发明提供的光学检测方法，通过确定待测区域，并接收经该待测区域处薄膜反射或者透射的光信号，再对该光信号进行分光并滤波，获取滤波后的光信号，以及将该滤波后的光信号转换为电信号，从而可以根据该电信号，计算得到待测区域处薄膜的特性参数。使得该光学检测系统不仅可以利用自动光学检测设备检测薄膜的膜质，以确定薄膜是否存在不良，还可以检测薄膜的特性参数，从而有效提升该测试系统测试功能的集成度，提高设备的利用率。而且可以避免采用除自动光学检测设备以外的设备检测薄膜的特性参数，提升了该设备所在厂房的空间利用率。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
以上对本发明所提供的一种光学检测系统及检测方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

Claims (10)

1.一种光学检测系统，其特征在于，包括自动光学检测设备、定位装置、第一分光器和计算模块；
所述自动光学检测设备包括显微镜、反射光源和透射光源；
所述显微镜通过光纤分别与所述第一分光器和所述定位装置连接；所述第一分光器与所述计算模块连接；
所述定位装置，用于照亮薄膜表面，并调节所述显微镜聚焦在所述薄膜表面上的待测区域；
所述显微镜，用于接收经所述待测区域处薄膜反射或者透射的光信号，并将所述光信号传输至所述第一分光器；
所述第一分光器，用于对光信号分光，并将波长在第一预设波段内的光信号转换为电信号；
所述计算模块，用于根据所述第一分光器获取的电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数。
2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，当所述待测区域处薄膜为彩色色阻薄膜时，所述系统还包括：第二分光器；
所述第二分光器的一端通过光纤与所述显微镜连接，所述第二分光器的另一端与所述计算模块连接；
所述第二分光器，用于对光信号分光，并将波长在第二预设波段内的光信号转换为电信号；
所述计算模块，用于根据所述第二分光器获取的电信号，计算所述彩色色阻薄膜的特性参数，其中，所述彩色色阻薄膜的特性参数包括色度和厚度；
其中，所述彩色色阻包括红色色阻、绿色色阻和蓝色色阻中至少一种。
3.根据权利要求2所述的光学检测系统，其特征在于，当所述待测区域处薄膜为黑矩阵色阻薄膜时，所述系统还包括：光电倍增管；
所述光电倍增管的一端通过光纤与所述显微镜连接，所述光电倍增管的另一端与所述计算模块连接；
所述光电倍增管，用于将经所述黑矩阵色阻薄膜透射的光信号转换为增益的电信号；
所述计算模块，用于根据所述光电倍增管获取的电信号，计算所述黑矩阵色阻薄膜的特性参数，其中，所述黑矩阵色阻薄膜的特性参数包括光密度。
4.根据权利要求3所述的光学检测系统，其特征在于，所述系统还包括：控制模块；
所述控制模块的一端与所述显微镜连接，所述控制模块的另一端分别与所述第一分光器、所述第二分光器、所述光电倍增管和所述定位装置中至少一个设备连接；
所述控制模块，用于通过控制所述第一分光器、所述第二分光器、所述光电倍增管和所述定位装置的开关状态，切换所述光学检测系统的测试功能。
5.根据权利要求4所述的光学检测系统，其特征在于，
所述光学检测系统，用于当通过所述控制模块开启所述第一分光器、所述第二分光器和所述光电倍增管中至少一个设备时，检测薄膜的特性参数；当通过所述控制模块将所述第一分光器、所述第二分光器、所述光电倍增管和所述定位装置全部关闭时，由所述自动光学检测设备检测薄膜的膜质。
6.根据权利要求3所述的光学检测系统，其特征在于，
所述第一分光器、所述第二分光器和所述光电倍增管设置在所述自动光学检测设备上，以随所述自动光学检测设备同步移动。
7.一种光学检测方法，应用于如权利要求1-6中任一项所述的光学检测系统，其特征在于，所述方法包括：
照亮薄膜表面，并调节显微镜聚焦在薄膜表面上的待测区域；
通过显微镜接收经所述待测区域处薄膜反射或者透射的光信号；
对所述光信号进行分光并滤波，获取滤波后的光信号；
将所述滤波后的光信号转换为电信号；
根据所述电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，当所述显微镜接收的光信号为经所述待测区域处薄膜反射的光信号时，所述根据所述电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数的步骤，包括：
根据所述电信号，确定所述经待测区域处薄膜反射的光信号的光照强度；
根据所述光照强度，确定所述待测区域处薄膜的反射率；
根据所述反射率，确定所述待测区域处薄膜的厚度。
9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，当所述显微镜接收的光信号为经所述待测区域处薄膜透射的光信号时，所述根据所述电信号，计算所述待测区域处薄膜的特性参数的步骤，包括：
根据所述电信号，确定所述经待测区域处薄膜透射的光信号的光照强度，得到第一光照强度；
根据所述光照强度，确定所述待测区域处薄膜的透过率；
根据所述透过率，确定所述待测区域处薄膜的色度和/或光密度。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述根据所述光照强度，确定所述待测区域处薄膜的透过率的步骤，包括：
关闭透射光源，获取暗态下经待测区域处薄膜透射的光信号的光照强度，得到第二光照强度；
将待测区域更换为参考样品，获取经参考样品透射的光信号的光照强度，得到第三光照强度；
根据所述第一光照强度、第二光照强度和第三光照强度，确定所述待测区域处薄膜的透过率。
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