CN108183085A - 一种载台及生产线制作设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种载台及生产线制作设备，涉及显示基板的制作领域。载台包括：承载板，所述承载板的形成材料包括可形变材料，所述承载板划分为多个区域；与所述区域一一对应的控制单元，用于在对应的区域发生翘曲后，控制对应的区域发生抵消翘曲的形变。在本发明的方案中，载台设置有控制单元，通过控制单元来对承载板发生翘曲的区域进行形变，以抵消翘曲，可提高承载板的平坦度。在实际应用中，特别是进行激光切工艺，当承载板具有较高平坦度后，可以显著提高激光的聚集效果，从而保证切割工艺正常进行，可提供产品的制作良品率，因此对于厂商来讲，具有较高的实用价值。

Description

一种载台及生产线制作设备

技术领域

本发明涉及显示基板的制作领域，特别是指一种载台及生产线制作设备。

背景技术

目前显示基板大部分的制作工艺需要在载台上进行。以其中，切割工艺为例，玻璃基板被置于载台上，后随载台的移动，二者一同被放置于工作平台之上进行激光切割，依次经过脉冲激光及CO₂激光。正常情况下，脉冲激光聚焦于玻璃基板表面，后脉冲激光进行激光打点，从而在玻璃表面形成微裂纹。

现有的制作显示基板的载台是由铝合金+石英玻璃组成，长时间工作后会导致载台产生形变。一旦载台翘曲，会导致放在载台上的玻璃基板的平坦度产生变化，使得脉冲激光的无法正常聚焦于玻璃表面，从而造成切割不良。

发明内容

本发明的目的是提供一种载台及生产线制作设备，用于对载台承载面的平坦度进行自校准，以减小承载面的翘曲程度。

为实现上述目的，一方面，本发明的实施例提供一种载台，包括：

承载板，所述承载板的形成材料包括可形变材料，所述承载板划分为多个区域；

与所述区域一一对应的控制单元，用于在对应的区域发生翘曲后，控制对应的区域发生抵消翘曲的形变。

其中，所述载台还包括：

射频识别芯片，用于测量并记录所述承载板发生翘曲的区域和翘曲量。

其中，所述控制单元由为磁性材料形成。

其中，所述载台基板包括：第一基板、第二基板；

所述多个控制单元均匀设置在所述第一基板与所述第二基板之间；所述第一基板和第二基板的形成材料包括可形变材料。

其中，所述第一基板朝向所述第二基板的表面形成有多个凹槽结构；

所述多个控制单元设置在所述多个凹槽结构内。

其中，所述控制单元不超出所述第一基板朝向所述第二基板的表面，所述第一基板与所述第二基板贴合设置。

其中，所述可行变材料为铝。

另一方面，本发明的实施例还提供一种生产线制作设备，包括：

本发明实施例提供的载台；

执行模块，用于驱动承载板发生翘曲的区域所对应的控制单元工作，以使该控制单元控制其对应的区域发生抵消翘曲的形变。

其中，所述载台包括射频识别芯片，所述生产线制作设备包括：

射频读取模块，用于读取所述射频识别芯片记录的所述承载板发生翘曲的区域和翘曲量。

其中，所述执行模块包括：

计算电路，用于根据发生翘曲的区域的翘曲量，计算出该发生翘曲的区域所对应的控制单元的工作电流；

输出电路，用于向发生翘曲的区域所对应的控制单元提供所述工作电流。

本发明的上述方案具有如下有益效果：

在本发明的方案中，载台设置有控制单元，通过控制单元来对承载板发生翘曲的区域进行形变，以抵消翘曲，可提高承载板的平坦度。在实际应用中，特别是进行激光切工艺，当承载板具有较高平坦度后，可以显著提高激光的聚集效果，从而保证切割工艺正常进行，可提供产品的制作良品率，因此对于厂商来讲，具有较高的实用价值。

附图说明

图1为本发明实施例提供的载台的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的载台的另一结构示意图；

图3为本发明实施例提供的载台在实际应用中的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的载台在实际应用中的另一结构示意图；

图5为本发明实施例提供的载台在实际应用中的另一结构示意图。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。在下面的描述中，提供诸如具体的配置和组件的特定细节仅仅是为了帮助全面理解本发明的实施例。因此，本领域技术人员应该清楚，可以对这里描述的实施例进行各种改变和修改而不脱离本发明的范围和精神。另外，为了清楚和简洁，省略了对已知功能和构造的描述。

应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。

在本发明的各种实施例中，应理解，下述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。

针对现有载台长时间工作后出现翘曲问题，本发明提供一种解决方案。

一方面，本发明的实施例提供一种载台，如图1所示，包括：

承载板11，该承载板的形成材料包括可形变材料，承载板划分为多个区域(图2虚线框)；

与区域一一对应的控制单元12，用于在对应的区域发生翘曲后，控制对应的区域发生抵消翘曲的形变。

本实施例的载台设置有控制单元，通过控制单元来对承载板发生翘曲的区域进行形变，以抵消翘曲，可提高承载板的平坦度。在实际应用中，特别是进行激光切工艺，当承载板具有较高平坦度后，可以显著提高激光的聚集效果，从而保证切割工艺正常进行，可提供产品的制作良品率，因此对于厂商来讲，具有较高的实用价值。

具体地，以制作显示基板为例，显示基板在制作过程中，需要被载台运输到不同的加工点进行不同工艺的加工。因此载台每到一个加工点后，加工点对应的制作设备都需要对载台的翘曲度进行调整。为了方便这些不同的制作设备对载台平坦度的校准效率，作为优选方案，进一步参考图1，本实施例的载台还包括：

射频识别芯片13，用于测量并记录承载板发生翘曲的区域和翘曲量(也可以将承载板每个区域以及对应的翘曲量进行关联记录)。

具体地，上述射频识别芯片可以设置在载台非作业区上。当载台每运输至一个加工点，加工点都可以读取射频识别芯片13中记录的信息，从而快速获取承载板11发生翘曲的区域和翘曲量，并驱动对应的控制单元12对生翘曲的区域进行形变，以实现承载的自动校准，在自动校准后，启动相应的加工流程。

由此可见，基于该射频识别芯片的设计，可以提高生产线的生产效率。

下面结合实际应用对本实施例的载台进行详细介绍。

示例性地，本实施例的控制单元12由磁性材料制作，本实施例可以通过磁力使控制单元带动承载台产生抵消翘曲的形变。

其中，通过磁力，对控制单元12实现吸附或排斥，从而使控制单元12能够带动其对应的区域发生两种方向形变。

具体地，如图3、图4、图5所示，本实施例的承载板11包括：

第一基板111、第二基板112、玻璃盖板113、卡板114；

其中，多个控制单元12均匀设置在第一基板111与所述第二基板112之间；卡板114将玻璃盖板113固定在第一基板111远离第二基板112的表面；玻璃盖板113远离第一基板111的表面作为载台的承载面；

第一基板111和第二基板112由磁性材料制成，具体可以是顺磁材料也可以是磁材料。作为本实施例的优选方案，第一基板111和第二基板112由容易被形变的铝材料形成。控制单元12在通电后，控制第一基板111和第二基板112产生两种方向上的形变，对玻璃盖板113的平坦度进行校准。

具体地，第一基板111朝向第二基板112的表面形成有多个凹槽结构1111，本实施例的多个控制单元12设置在该多个凹槽结构1111内，例如：控制单元12与凹槽结构1111一一对应，每个控制单元12设置在其对应的凹槽结构1111内。

其中，控制单元12不超出第一基板111朝向第二基板112的表面，第一基板111与第二基板贴112贴合设置，从而形成包含控制单元12的内腔，该结构设计可以给控制单元12提供保护。

需要基于说明的是，上述玻璃盖板和卡板是载台的非必要部件，一般用于激光切割工艺的载台会有此设置。

进一步地，本实施例的射频识别芯片13可以设置在第二基板112远离第一基板111的一侧。

作为示例性介绍，假设本实施例的控制单元12如图2所示，呈矩阵式分布，则可以建立直角坐标系，每个控制单元12对应的区域都可以以坐标表示。作为优选方案，本实施例的射频识别芯片13可以设置在坐标系的原点上，使得射频识别芯片13还具有定位功能。

以上仅用于示例性介绍本实施例的载台。作为其他可行方案，本实施例的控制单元12还可以由热形变材料制成，通过对热形变材料进行热处理或冷处理，可以使控制单元13发生形变，从而带动承载台对应的区域也发生形变。或者本实施例的控制单元12还可以由电流变液构成，通过对电流变液加载电流或电场也可以驱使控制单元12带动承载台对应的区域发生形变。

对应地，另一方面，本发明的另一实施例还提供一种生产线制作设备，包括：

本发明上一实施例所提供的载台；

执行模块，用于驱动承载板发生翘曲的区域所对应的控制单元工作，以使该控制单元控制其对应的区域发生抵消翘曲的形变。

具体地，载台包括有：测量并记录承载板发生翘曲的区域和翘曲量的射频识别芯片。对应地，本实施例的生产线制作设备包括：

射频读取模块，用于读取射频识别芯片记录的承载板发生翘曲的区域和翘曲量。

在获取承载板发生翘曲的区域和翘曲量后，执行模块开始驱动控制单元对承载台进行平坦度的校准。

作为示例性介绍，本实施例的控制单元由磁性材料形成(例如永磁铁)，对应的上述执行模块可以向电磁装置加载磁场，以驱动控制单元带动对应的承载板的区域发生形变。具体地，本实施例的执行模块包括：

与控制单元一一对应的电磁单元，用于在加载工作电流后，通过磁力驱动对应的控制单元带动对应的区域发生形变；

处理单元，用于根据发生翘曲的区域的翘曲量，计算出该发生翘曲的区域所对应的电磁单元的工作电流；

驱动单元，用于对生翘曲的区域所对应的电磁单元加载由处理单元计算出的工作电流。

在实际应用中，载台的控制单元如图2所示，呈矩阵式分布，则可以基于控制单元建立直角坐标系，每个控制单元12对应的区域都可以通过坐标表示位置，即射频识别芯片13可以记录有将每个区域的坐标位置以及翘曲量进行关联记录。

当射频读取模块读取射频读取模块的信息后，若确定某一区域的翘曲量低于四周区域的翘曲量，则该区域发生了凹陷现象。对应地，执行模块可以向该凹陷区域的控制单元提供电磁场，使控制单元对凹陷区域对应的承载板产生排斥力，从而让凹陷区域相对四周区域形成一定程度的凸起形变，以抵消凹陷，例如使所有区域的翘曲量趋近一致实现平坦化的效果。

同理，某一区域的翘曲量大于四周区域的翘曲量，则该区域发生了凸起现象。对应地，执行模块可以向该凸起区域的控制单元提供电磁场，使控制单元对凸起区域对应的承载板产生吸引力，从而让凸起区域相对四周区域形成一定程度的凹陷形变，以抵消凸起例如使所有区域的翘曲量趋近一致实现平坦化的效果，

除上述校准方法外，作为其他可行方案，执行模块在确定某一区域的翘曲量，基于该翘曲量的大小，决定是否对该区域进行修正。例如翘曲量大于预设的阈值量，则说明该区域的翘曲现象严重，需要修正，之后通过磁力驱动控制单元对该区域进行形变，使其翘曲量趋近0或达到满足制作工艺的顺准。

进一步地，在实际应用中，本实施例的生产线制作设备包括有工作台，载台在工作台上完成相关制作工艺的作业。其中，上述电磁单元设置在工作台上，呈一平面结构，用于对载台承载板的区域进行平坦度的校准。

可以知道的是，如果工作台自身不平坦，也会在一定程度上影响电磁单元对载台平坦度的校准。为了消除这一影响，作为优选方案，本实施例还可以通过测量设备(如激光测量器)，预先对载板和工作台进行平坦度关联检测，确定出承载板每个区域相对于当前工作台的平坦度下的翘曲量，并将该确定出的翘曲量与其区域的位置数据关联记录至载板的射频识别芯片中。

基于上述射频识别芯片中的数据，后续在对载板区域的平坦度进行校准时，可修正工作台对载板区域所造成的影响，例如当工作台本身平坦度较差时，也可以按照射频识别芯片中的数据，通过电磁单元正确地对承载板每个区域的翘曲量进行合理校准。

当然，上述实现方式中控制单元由磁力带动承载台区域发生形变仅用于示例性介绍。作为其他方案，控制单元还可以由热形变材料制成，则上述电磁单元更换为加热单元，用于过对控制单元13进行热处理或冷处理，从而使控制单元13发生形变以带动承载台对应的区域也发生形变。或者，控制单元由电流变液构成，则上述电磁单元更换为输出单元，用于对控制单元加载电流或电场，也可以驱使控制单元12带动承载台对应的区域发生形变。

综上所述，基于本发明的载台以及生产线制作设备，在实际应用中，可以使用测量设备(如激光测量器)，预先对载板进行平坦度检测，确定承载板每个区域的翘曲量(对于用于显示基板的载台，测量精度在－0.01mm至+0.01mm之间)，并结合对应区域的位置数据关联记录至载板的射频识别芯片中。

后续当载板放置在生产线的传输装置上，每到一个生产线制作设备的作业位置时，生产线制作设备的射频读取模块读取射频识别芯片的数据，之后执行模块(如PC机)根据读取到的射频识别芯片的数据，驱动对应的控制单元工作，对载台的承载板的平坦度进行自校准，使承载台区域的形变量趋近于0。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种载台，其特征在于，包括：

承载板，所述承载板的形成材料包括可形变材料，所述承载板划分为多个区域；

与所述区域一一对应的控制单元，用于在对应的区域发生翘曲后，控制对应的区域发生抵消翘曲的形变。

2.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，还包括：

射频识别芯片，用于测量并记录所述承载板发生翘曲的区域和翘曲量。

3.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，

所述控制单元由为磁性材料形成。

4.根据权利要求3所述的载台，其特征在于，

所述载台基板包括：第一基板、第二基板；

其中，所述多个控制单元均匀设置在所述第一基板与所述第二基板之间；所述第一基板和第二基板的形成材料包括可形变材料。

5.根据权利要求4所述的载台，其特征在于，

所述第一基板朝向所述第二基板的表面形成有多个凹槽结构；

所述多个控制单元设置在所述多个凹槽结构内。

6.根据权利要求5所述的载台，其特征在于，

所述控制单元不超出所述第一基板朝向所述第二基板的表面，所述第一基板与所述第二基板贴合设置。

7.根据权利要求4所述的载台，其特征在于，

所述可行变材料为铝。

8.一种生产线制作设备，其特征在于，包括：

如权利要求1-7任一项所述的载台；

执行模块，用于驱动承载板发生翘曲的区域所对应的控制单元工作，以使该控制单元控制其对应的区域发生抵消翘曲的形变。

9.根据权利要求8所述的生产线制作设备，其特征在于，所述载台包括射频识别芯片，所述生产线制作设备包括：

射频读取模块，用于读取所述射频识别芯片记录的所述承载板发生翘曲的区域和翘曲量。

10.根据权利要求9所述的生产线制作设备，其特征在于，

所述生产线制作设备包括如权利要求3所述的载台；

所述执行模块包括：

与所述控制单元一一对应的电磁单元，用于在加载工作电流后，通过磁力驱动对应的控制单元带动对应的区域发生形变；

处理单元，用于根据发生翘曲的区域的翘曲量，计算出该发生翘曲的区域所对应的电磁单元的工作电流；

驱动单元，用于对生翘曲的区域所对应的电磁单元加载由处理单元计算出的工作电流。