CN108172536A - 一种晶片清洗及干燥用花篮装置 - Google Patents

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胡梦媛
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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Abstract

本发明公开了一种晶片清洗及干燥用花篮装置，包括：花篮外框(3)，在所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31)，以上固定槽(31)与晶片夹持装置相配合，所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片夹持片(102)，两者之间夹有晶片(2)，所述第一晶片夹持片(101)的至少两个面设置有凸起部，且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内，由此两个夹持片稳定无晃动。

Description

一种晶片清洗及干燥用花篮装置
技术领域
本发明属于晶片加工工艺技术领域，尤其涉及一种用于晶片清洗及干燥 过程降低碎片率的花篮。
背景技术
众所周知，在半导体激光器芯片制造工艺流程中，减薄后的3寸INP晶 片厚度约100μm左右，薄且脆，而在清洗时，特别是多个晶片同时清洗，通 常需要将晶片置于花篮中，在清洗和干燥过程中，减薄后的INP晶片极易发 生碎裂。目前，在芯片加工技术领域，晶片的清洗及干燥装置多采用的聚四 氟乙烯材料的花篮，现有技术通常使用的晶片清洗及干燥花篮其实物图如图1 所示，晶片的放置位置，其间隙过大，超出晶片厚度许多倍，这就易导致存 在以下问题：
(1)在晶片的清洗干燥过程，手持花篮，晶片易晃动不稳，与花篮内壁 相撞(2)晶片在烧杯中，进行有机溶液的清洗时，晶片处于水平放置，容易 流出(3)在用甩干机进行甩干晶片作业过程，晶片易卡在甩干机内壁等，以 上现象都易引起晶片碎裂，影响FAB良率。因此，在INP晶片制造工艺流程 中，结构紧凑、清洗及干燥过程安稳牢靠的花篮对于降低晶片碎片率，提高 产品良率十分重要。
发明内容
本发明的发明目的在于提供一种晶片清洗及干燥用花篮装置。
本发明解决上述技术问题所采取的技术方案如下：
一种晶片清洗及干燥用花篮装置，包括：花篮外框(3)，在所述花篮外 框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31)，以上固定槽(31)与晶片 夹持装置相配合，所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片 夹持片(102)，两者之间夹有晶片(2)，所述第一晶片夹持片(101)的至少 两个面设置有凸起部，且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内， 由此两个夹持片稳定无晃动。
优选的是，所述花篮夹具内部为圆形，尺寸为三寸，外部为椭圆形。
优选的是，晶片夹持装置与花篮外框属于面接触。
本发明在清洗及干燥晶片过程中，移动花篮，晶片基本无晃动，可有效 减少因为晶片与花篮的撞击引起的碎片率的问题。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说 明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优 点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实 现和获得。
附图说明
下面结合附图对本发明进行详细的描述，以使得本发明的上述优点更加 明确。
图1是现有技术晶片清洗及干燥用花篮装置的结构示意图；
图2是本发明晶片清洗及干燥用花篮装置的晶片夹持装置的结构示意图；
图3是本发明晶片清洗及干燥用花篮装置的晶片夹持装置的结构示意图；
图4是本发明晶片清洗及干燥用花篮装置的结构示意图；
图5是本发明晶片清洗及干燥用花篮装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细地说明。
如图1到5所示，本发明的目的在于提供一种降低3寸INP晶片清洗及 干燥过程碎片率的花篮装置，其中，晶片、晶片夹持装置、花篮外框均可实 现无晃动的接触，夹持，有效降低减薄后的3寸INP晶片在清洗及干燥过程， 由于晶片在花篮中放置不稳定而引起的碎片率。
具体来说，一种晶片清洗及干燥用花篮装置，包括：花篮外框(3)，在 所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31)，以上固定槽(31) 与晶片夹持装置相配合，所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第 二晶片夹持片(102)，两者之间夹有晶片(2)，所述第一晶片夹持片(101) 的至少两个面设置有凸起部，且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起 部内，由此两个夹持片稳定无晃动，此外，在第一晶片夹持片(101)的凸起 部上还设置有对应的孔1011。
优选的是，所述花篮夹具内部为圆形，尺寸为三寸，外部为椭圆形。
优选的是，晶片夹持装置与花篮外框属于面接触。
本发明在清洗及干燥晶片过程中，移动花篮，晶片基本无晃动，可有效 减少因为晶片与花篮的撞击引起的碎片率的问题。
其中，以上晶片夹持装置，其尺寸为3寸，用于晶片的无松动固定，避 免清洗及干燥过程晶片的晃动。花篮外框，用于安放花篮夹持装置，与花篮 夹具紧密配合，安稳牢靠实现多片晶片同时清洗干燥。花篮夹具内部为圆形， 尺寸为三寸，外部为椭圆形。两片复合式夹具将晶片夹持在中间，稳定牢靠， 无晃动。晶片夹持装置与花篮外框属于面接触(最外侧圆环)，因此在清洗及 干燥晶片过程中，移动花篮，晶片基本无晃动，可有效减少因为晶片与花篮 的撞击引起的碎片率的问题。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限 制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的 技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或 者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作 的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种晶片清洗及干燥用花篮装置，包括：花篮外框(3)，在所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31)，以上固定槽(31)与晶片夹持装置相配合，其特征在于，所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片夹持片(102)，两者之间夹有晶片(2)，所述第一晶片夹持片(101)的至少两个面设置有凸起部，且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内，由此两个夹持片稳定无晃动。
2.根据权利要求1所述的晶片清洗及干燥用花篮装置，其特征在于，所述花篮夹具内部为圆形，尺寸为三寸，外部为椭圆形。
3.根据权利要求1或2所述的晶片清洗及干燥用花篮装置，其特征在于，晶片夹持装置与花篮外框属于面接触。
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