CN108121370A - 一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统。其中，通过位于平衡室和需测控真空环境之间的第一流量调节阀来调控需测控真空环境的气体流量，通过平衡室使得需测控真空环境的气体流量等于压力气源的出气流量，只需测量压力气源的出气流量即可获得需测控真空环境的气体流量，即只需使流量计在恒定压力下工作而无需直接在真空下测量需测控真空环境的气体流量即可得到需测控真空环境的气体流量，由此解决了现有流量计无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高了真空环境的气体流量的测量精度，反映真空环境气体流量的真实情况。同时也实现对需测控真空环境气体流量的控制。

Description

一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统

技术领域

本发明涉及一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统。

背景技术

流量测量和控制在工业生产过程、能源计量、环境保护工程、交通运输、生物技术、科学实验以及海洋气象等领域都必不可少。如化工生产过程中必须控制流量、压强等操作条件，以使生产过程定态进行；又如在进行真空泵性能测试等科学研究中，往往也需要准确测量并控制流体流量。随着国家对环境保护工程提出更高的要求，对所需的流量测量技术将不断提出新的要求。因此，流量测量的准确性及技术应用的广泛性就显得尤为重要。

在真空状态下，气体流量密度小，限制了涡街流量计与超声流量计的正常使用。由于真空管道上安装流量计后增大了阻力，产生较大的压损将使动力损耗大大增加，因此孔板流量计、涡轮流量计、容积式流量计等均不适用。另外，流量计安装在负压管道后，由于流量波动极小，泄漏很难察觉。综上诉述，虽然当前关于气体流量测量的方法多种多样，但是基于这些方法设计的流量计一般仅针对非真空或真空度不高的情形。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统，能够解决现有流量计无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

本发明提供一种真空环境气体流量的测控方法，通过设于压力气源与需测控真空环境之间的压力恒定的平衡室，来保证压力气源的出气流量与需测控真空环境的气体流量相等，通过测量压力气源的出气流量获得需测控真空环境的气体流量；通过调节连接在平衡室与需测控真空环境之间的第一流量调节阀的开度，来调节需测控真空环境的气体流量。

根据本发明，在压力气源和平衡室之间设置多个并联的送气支路，每个送气支路上设有流量计和控制所在送气支路通断的开关阀，并且所有送气支路上的流量计的量程大小不同；根据压力气源的出气流量的预估值打开相应量程的流量计所在的送气支路，使得压力气源的出气经该送气支路进入平衡室，并且该送气支路中的流量计的测量值作为压力气源的出气流量以用于获得需测控真空环境的气体流量。

根据本发明，流量计为质量流量计或体积流量计；在压力气源的出气流量由体积流量计测得时，对压力气源的出气流量进行温度及压力补偿后作为需测控真空环境的气体流量；在压力气源的出气流量由质量流量计测得时，压力气源的出气流量作为需测控真空环境的气体流量。

根据本发明，保持平衡室的压力恒定某一压力。

根据本发明，在需测控真空环境的气体流量与预设的所需流量不同时，调节第一流量调节阀的开度，直至将需测控真空环境的气体流量调整至预设的所需流量。

本发明另一方面提供一种真空环境气体流量的测控系统，其特征在于，包括：连接在压力气源和需测控真空环境之间的压力恒定的平衡室，用来保证压力气源的出气流量与需测控真空环境的气体流量相等；连接在平衡室和需测控真空环境之间的第一流量调节阀，用来调节需测控真空环境的气体流量；以及位于连接在压力气源和平衡室之间的气路上的流量计，以通过测量压力气源的出气流量获得需测控真空环境的气体流量。

根据本发明，在压力气源和平衡室之间连接有多个并联的送气支路，每个送气支路上设有流量计和控制所在送气支路通断的开关阀，并且所有送气支路上的流量计的量程大小不同；流量传感器，流量传感器设于压力气源的下游以实时检测压力气源的出气流量；中控器，中控器与流量传感器、所有送气支路上的开关阀通讯连接；其中，中控器根据流量传感器的测量值控制与相应量程的流量计串联的开关阀，同时保持其他开关阀关闭，并且该送气支路中的流量计的测量值作为压力气源的出气流量以用于获得需测控真空环境的气体流量。

根据本发明，流量计为质量流量计或体积流量计；气体流量测控系统还包括：测量平衡室中温度的第一温度计；测量需测控真空环境内温度的第二温度计；测量平衡室中压力的大气压力计；测量需测控真空环境内压力的压力计；第一温度计、第二温度计、大气压力计和压力计均与中控器通讯连接；中控器在相应量程的流量计为体积流量计时，对该流量计的测量值进行温度及压力补偿后作为需测控真空环境的气体流量；中控器在相应量程的流量计为质量流量计时，将该流量计的测量值直接作为需测控真空环境的气体流量。

根据本发明，中控器与第一流量调节阀通讯连接，中控器在需测控真空环境的气体流量与预设的所需流量不同时，调节第一流量调节阀的开度，直至将需测控真空环境的气体流量调整至预设的所需流量。

根据本发明，平衡室的压力恒定在标准大气压。

(三)有益效果

本发明的有益效果是：

本发明的真空环境气体流量的测控方法，只需测量压力气源的出气流量即可获得需测控真空环境的气体流量，即只需使流量计在某一压力下工作而无需直接测量需测控真空环境的气体流量即可得到需测控真空环境的气体流量，由此解决了现有流量计无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高在真空环境的气体流量的测量精度。同时，也可以实现对需测控真空环境的气体流量的控制。

本发明的真空环境气体流量的测控系统，通过第一流量调节阀来调控需测控真空环境的气体流量，通过平衡室使得需测控真空环境的气体流量等于压力气源的出气流量，只需测量压力气源的出气流量即可获得需测控真空环境的气体流量，即只需使流量计在某一压力下工作而无需直接在真空下测量需测控真空环境的气体流量即可得到需测控真空环境的气体流量，由此解决了现有流量计无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高了真空环境的气体流量的测量精度，反映真空环境的气体流量的真实情况。同时，也可以实现对需测控真空环境的气体流量的控制。

附图说明

图1为如下具体实施方式提供的真空环境气体流量的测控系统的结构示意图；

图2为利用具体实施方式提供的真空环境气体流量的测控系统的真空环境气体流量的测控方法的流程示意图；

图3为如下具体实施方式中维持平衡室的压力恒定的原理示意图。

【附图标记】

1：压力气源；2：第二流量调节阀；3：流量传感器；4：开关阀；4’：第一开关阀；4”：第二开关阀；5：流量计；5’：第一流量计；5”：第二流量计；6：送气支路；7：平衡室；8：压差计；9：第一温度计；10：大气压力计；11：第一流量调节阀；12：第二温度计；13：需测控真空环境；14：送气主路；15：压力计。

具体实施方式

为了更好的解释本发明，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本发明作详细描述。

参照图1，本实施例提供一种真空环境气体流量的测控系统，该测控系统用于连接在现有需测控真空环境13和为该需测控真空环境13提供气流的压力气源1之间。

具体地，本实施例的测控系统包括平衡室7、第一流量调节阀11和流量计5。平衡室7连接在压力气源1和需测控真空环境13之间且为压力恒定的，该平衡室7用来保证平衡室7的气体进入需测控真空环境13内的量等于从压力气源1输送气体进入平衡室7的气体量，进而也保证压力气源1的出气流量与需测控真空环境13的气体流量相等。第一流量调节阀11连接在平衡室7和需测控真空环境13之间，用来调节需测控真空环境13的气体流量。流量计5位于连接在压力气源1和平衡室7之间的气路上，以通过测量压力气源1的出气流量获得需测控真空环境13的气体流量。

由此，通过第一流量调节阀11来调控需测控真空环境13的气体流量，通过平衡室7使得需测控真空环境13的气体流量等于压力气源1的出气流量，只需测量压力气源1的出气流量即可获得需测控真空环境13的气体流量，即只需使流量计5在标准压力下工作而无需直接在真空下测量需测控真空环境13的气体流量即可得到需测控真空环境13的气体流量，由此解决了现有流量计5无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高了真空环境的气体流量的测量精度，反映真空环境的气体流量的真实情况。同时，也可以实现对需测控真空环境13的气体流量的控制。

进一步，在本实施例中，在压力气源1和平衡室7之间连接有多个并联的送气支路6，即送气支路6的进气口与压力气源1的出气口连通，送气支路6的出气口与平衡室7的进气口连通，而各个送气支路6彼此不连通。每个送气支路6上设有流量计5和开关阀4(优选为真空阀)，每个开关阀4均控制所在送气支路6的通断。而所有送气支路6上的流量计5的量程大小不同，但每个流量计5在各自的量程内测量精度高。如在进行小气体流量的测量时可选用质量流量计，在进行大气体流量测量时可选取涡街流量计或者漩涡流量计，其中每种类型的流量计可选取多个不同的口径，以覆盖各个量程区域，确保在各个量程内都有最大的测量精度。

更进一步，在压力气源1的下游设置流量传感器3，该流量传感器3实时检测压力气源1的出气流量。具体地，所有送气支路6的进气口经过一个送气主路14与压力气源1的出气口连通。流量传感器3设置在该送气主路14上。该流量传感器3具有宽量程，流量传感器3的量程覆盖上述各个流量计5的量程，但测量精度相比于上述各个流量计5较低。

利用中控器与流量传感器3、所有送气支路6上的开关阀4通讯连接，中控器根据流量传感器3的测量值控制与相应量程的流量计5串联的开关阀4，同时保持其他开关阀4关闭，并且该送气支路6中的流量计5的测量值作为需测控真空环境13的气体流量以用于获得需测控真空环境13的气体流量。

由此，通过流量传感器3先预估压力气源1的出气流量值，然后根据该出气流量的预估值选择量程包含该值的流量计5，若出气流量的预估值恰好在多个流量计5的交叉测量范围内，则优先选取具有更高精度的流量计作为上述“相应量程的流量计5”。并控制选择的流量计5所在的送气支路6的开关阀4打开，进而使得从压力气源1的出气通过该送气支路6进入平衡室7，并且经过选择的流量计5进行测量。由此，在多种并联的不同量程流量计5中选取合适量程的流量计5进行流量测试，实现了对流量进行精确测量，提高了测量精度，并且同时使得整个测控系统能够满足大流量、宽量程的测试需求。其中，各个流量计5的类型可以根据所应用的工况中的流量大小进行匹配。

更进一步，所有送气支路6上的流量计5中全部或部分为体积流量计。测控系统还包括测量平衡室7中温度的第一温度计9和测量需测控真空环境13内温度的第二温度计12以及测量平衡室7中压力的大气压力计10和测量需测控真空环境13内压力的压力计15。第一温度计9、第二温度计12、大气压力计10和压力计15均与中控器通讯连接，中控器在所选择的相应量程的流量计5为体积流量计时，对该流量计5的测量值进行温度及压力补偿后作为需测控真空环境13的气体流量。如此，需测控真空环境13的气体流量的测量精度更高。

其中，若平衡室7的温度及压力与需测控真空环境13的温度及压力不同，由于流量计5为体积流量计，需要按照如下公式进行温度及压力补偿，温度及压力补偿后的流量值的大小即为测得的准确流量值：

其中，Q_n为需测控真空环境13的气体流量；Q_d为流量计5测得的气体流量；p_w为需测控真空环境13的绝对压力，由压力计测得；p_n为平衡室7内的绝对压力，由大气压力计测得；T_n为需测控真空环境13的绝对温度，由温度计测得；T_w为平衡室7的绝对温度，由温度计测得。

在本实施例中，所有送气支路6上的流量计5中部分为体积流量计，部分为质量流量计。中控器在所选择的相应量程的流量计5为质量流量计时，将该流量计5的测量值直接作为需测控真空环境13的气体流量。

进一步，保持平衡室7的压力恒定某一压力，例如大气压，例如平衡室的压力恒定在一个正压值，比如1.5atm。在平衡室7上设有大气压力计10和压差计8，二者与中控器通讯连接。在压力气源1的下游设有调节其出气流量的第二流量调节阀2，在本实施例中即在送气主路14上设置第二流量调节阀2，第二流量调节阀2与中控器通讯连接。中控器根据大气压力计10和压差计8的测量值调节第二流量调节阀2以保持平衡室7中的压力恒定。

优选地，压差计8和第一温度计9设置在平衡室7的中心位置，以确保更为精准地反映平衡室7的压力及温度情况。

进一步，中控器与第一流量调节阀11通讯连接，中控器在需测控真空环境的气体流量与预设的所需流量不同时，控制第一流量调节阀11的开度，直至将需测控真空环境的气体流量调整至预设的所需流量。由此，结合精确的测量，也可实现精确的调控需测控真空环境13的气体流量。

在本实施例中，压力气源1为压力气瓶，需测控真空环境13为真空室。多个流量计5中的一个或多个可以为涡街流量计。

当然，本发明不局限于图1中示出的，在其他实施例中，带有流量计和阀门的送气支路可和平衡室的位置对调，即送气支路可连接在平衡室与需测控真空环境之间，流量计位于连接在平衡室与需测控真空环境之间的气路上且位于平衡室和第一流量调节阀之间。此设置的好处在于，防止压力气源的出气直接对准流量测量装置，防止流量测量装置的损坏，延长使用寿命。当然，需确保流量计安装在平衡室附近，使流量计在平衡室维持的稳定压力下工作，进而达到精准测量的目的。此外，也可设置多个平衡室，多个平衡室与流量计的组合都在本专利的保护范围内。

综上，结合图2，利用本实施例提供的测控系统的真空环境气体流量的测控方法为：

通过调节连接在平衡室7与需测控真空环境13之间的第一流量调节阀11的开度，来调节需测控真空环境13的气体流量；

通过设于压力气源1与需测控真空环境13之间的压力恒定的平衡室7，来保证压力气源1的出气流量与需测控真空环境13的气体流量相等，通过测量压力气源1的出气流量获得需测控真空环境13的气体流量。

由此，该测试方法只需测量压力气源1的出气流量即可获得需测控真空环境13的气体流量，即只需使流量计5在某一压力下工作而无需直接测量需测控真空环境13的气体流量即可得到需测控真空环境13的气体流量，由此解决了现有流量计5无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高在真空环境的气体流量的测量精度。同时，也可以实现对需测控真空环境13的气体流量的控制。

进一步，在本实施例中，根据流量传感器2判断的压力气源1的出气流量的预估值来打开相应量程的流量计5所在的送气支路6中的开关阀4，使得压力气源1的出气经该送气支路6进入平衡室7，并且该送气支路6中的流量计5的测量值作为压力气源1的出气流量以用于获得需测控真空环境13的气体流量。

更进一步，在压力气源1的出气流量由体积流量计测得时，对压力气源1的出气流量进行温度及压力补偿后作为需测控真空环境13的气体流量。在压力气源1的出气流量由质量流量计测得时，压力气源1的出气流量作为需测控真空环境的气体流量。

其中，需要按照如下公式进行温度补偿，温度补偿后的流量值的大小即为测得的准确流量值：

其中，Q_n为需测控真空环境13的气体流量，Q_d为流量计5测得的气体流量，p_w为需测控真空环境13的绝对压力，p_n为平衡室7内的绝对压力，T_n为需测控真空环境13的绝对温度，T_w为平衡室7的绝对温度。

当需测控真空环境的气体流量与所需流量不同时，中控器控制第一流量调节阀的开度直至需测控真空环境的气体流量等于预设的所需流量为止。由此，结合精确的测量，也可实现精确的调控需测控真空环境13的气体流量。

此外，在本实施例中的测控系统和测控方法中，对平衡室的压力控制的原理如图3，中控器包括工控机和PLC，大气压力计的作用是标定平衡室中压强为某一压力，压差计的作用是将升降压的情况反映给工控机，工控机的作用是将压力信号转换成流量信号以进一步用于控制第二流量调节阀的开度。压差计8和大气压力计9的读数变为压力信号输送给工控机的主控芯片，主控芯片将数据发送给上位机PLC，上位机PLC根据接收到的数据，对第二流量调节阀2发送相应的控制命令。

第二流量调节阀2的开度在平衡室7的压力出现变化时随时调节，例如，在调节第一流量调节阀11后，平衡室7内的压力会改变，此时，需要调节第二流量调节阀2的开度来维持平衡室7的压力恒定，也使得压力气源1的供气满足需测控真空环境13对气流流量的要求。

如下以三组不同的压力气源1的出气流量作为实例：

第一组，对压力气源1的出气流量为500sccm进行测量，多个流量计5中包括第一流量计5’(为MFC质量流量计)和第二流量计5”(为涡街流量计)：

测控系统启动后，由压力气源1开始向平衡室7进气，流量传感器3对压力气源1的出气流量进行判断，中控器选定第一流量计5’，开启第一流量计5’所处送气支路6的第一开关阀4’，而后平衡室7产生压差，中控器根据压差计8和大气压力计10的测量值对第二流量调节阀2发送相应的控制命令；

第二流量调节阀2调整从压力气源1进入平衡室7内的气体流量，维持平衡室7内压强，这时进入平衡室7的流量就是进入需测控真空环境13的气体流量；

判断此时第一流量计5’的测量值是否等于所需流量，如是，则保持不变，如否，则调节第一流量调节阀的开度，当第一流量调节阀11的开度调节后，平衡室7的压力变化，因此调节第二流量调节阀2至平衡室7的压力恢复至标定压力，然后判断此时第一流量计5’的测量值是否等于所需流量，如此循环，直至第一流量计5’的测量值等于所需流量位置。

第二组，对压力气源1的出气流量为10slm进行测量：

压力气源1中的气体经流量传感器3判断，中控器选定第二流量计5”，开启第二流量计5”所处送气支路6的开关阀4”，气体到平衡室7，进而进入需测控真空环境13；

若中控器比较第一温度计和第二温度计测量的平衡室7的温度与需测控真空环境13的温度不同，由于第二流量计5”为体积流量计，需进行温度及压力补偿。

第三组，获取流量为10slm的气体流量。

在平衡室压力恒定后，流量传感器2对从压力气源1的出气流量进行判断自动切换合适的流量计5进行测量。若流量显示小于10slm，则增大第一流量调节阀11的开度，控制流量为10slm；若流量显示大于10slm，则减小第一流量调节阀11的开度，控制流量为10slm。

综上，随着流量测量和控制技术在工业生产过程、环境保护工程、科学实验等领域的要求不断提高，提高流量测量的精度及量程成为一个需要解决的实际问题。本实施例公开了一种具有高精度、宽量程的真空下气体流量测量和控制的方法及系统。并进一步由于每个流量计5都有其适用的测量范围，本实施例可以实现对气体进行流量大小的智能判断，控制开启可最大精度测量该流量的流量计5处的开关阀，然后根据平衡室7和需测控真空环境13的温度不同，对测得的流量大小进行温度补偿，进而实现高精度、宽量程、智能化的优点。同时，本实施例的测控系统和测控方法无需更换所用结构就可以进行宽量程调节。并且，包括本实施例的测控系统和测控方法不限于对真空泵的流量测量，还可以进行医学、石油化工、天然气、环境保护等工业化进程中的流量测量检测。可应用于工业生产过程、能源计量、环境保护工程、交通运输、科学实验等多个领域，包括但不限于汽车引擎领域。

以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种真空环境气体流量的测控方法，其特征在于，

通过设于压力气源(1)与需测控真空环境(13)之间的压力恒定的平衡室(7)，来保证所述压力气源(1)的出气流量与所述需测控真空环境(13)的气体流量相等，通过测量所述压力气源(1)的出气流量获得所述需测控真空环境(13)的气体流量；

通过调节连接在所述平衡室(7)与所述需测控真空环境(13)之间的第一流量调节阀(11)的开度，来调节所述需测控真空环境(13)的气体流量。

2.根据权利要求1所述的真空环境气体流量的测控方法，其特征在于，

在所述压力气源(1)和所述平衡室(7)之间或者所述平衡室(7)和需测控真空环境(13)之间设置多个并联的送气支路(6)，每个所述送气支路(6)上设有流量计(5)和控制所在送气支路(6)通断的开关阀(4)，并且所有所述送气支路(6)上的流量计(5)的量程大小不同；

根据所述压力气源(1)的出气流量的预估值打开相应量程的流量计(5)所在的送气支路(6)，使得所述压力气源(1)的出气经该送气支路(6)进入所述平衡室(7)，并且该送气支路(6)中的流量计(5)的测量值作为所述压力气源(1)的出气流量以用于获得所述需测控真空环境(13)的气体流量。

3.根据权利要求2所述的真空环境气体流量的测控方法，其特征在于，

所述流量计(5)为质量流量计或体积流量计；

在所述压力气源(1)的出气流量由所述体积流量计测得时，对所述压力气源(1)的出气流量进行温度及压力补偿后作为所述需测控真空环境的气体流量；

在所述压力气源(1)的出气流量由所述质量流量计测得时，所述压力气源(1)的出气流量作为所述需测控真空环境的气体流量。

4.根据权利要求1所述的真空环境气体流量的测控方法，其特征在于，

保持所述平衡室的压力恒定在某一压力。

5.根据权利要求4所述的真空环境气体流量的测控方法，其特征在于，

在需测控真空环境的气体流量与预设的所需流量不同时，调节所述第一流量调节阀(11)的开度，直至将需测控真空环境的气体流量调整至预设的所需流量。

6.一种真空环境气体流量的测控系统，其特征在于，包括：

连接在压力气源(1)和需测控真空环境(13)之间的压力恒定的平衡室(7)，用来保证所述压力气源(1)的出气流量与所述需测控真空环境(13)的气体流量相等；

连接在所述平衡室(7)和所述需测控真空环境(13)之间的第一流量调节阀(11)，用来调节所述需测控真空环境(13)的气体流量；以及

位于连接在所述压力气源(1)和所述平衡室(7)之间的气路上的流量计(5)，以通过测量所述压力气源(1)的出气流量获得所述需测控真空环境(13)的气体流量。

7.根据权利要求6所述的真空环境气体流量的测控系统，其特征在于，

在所述压力气源(1)和所述平衡室(7)之间连接有多个并联的送气支路(6)，每个所述送气支路(6)上设有所述流量计(5)和控制所在送气支路(6)通断的开关阀(4)，并且所有所述送气支路(6)上的流量计(5)的量程大小不同；

流量传感器(3)，所述流量传感器(3)设于所述压力气源(1)的下游以实时检测所述压力气源(1)的出气流量；

中控器，所述中控器与所述流量传感器(3)、所有所述送气支路(6)上的开关阀(4)通讯连接；

其中，所述中控器根据所述流量传感器(3)的测量值控制与相应量程的流量计(5)串联的开关阀(4)，同时保持其他开关阀(4)关闭，并且该送气支路(6)中的流量计(5)的测量值作为所述压力气源(1)的出气流量以用于获得所述需测控真空环境(13)的气体流量。

8.根据权利要求7所述的真空环境气体流量的测控系统，其特征在于，

所述流量计(5)为质量流量计或体积流量计；

所述气体流量测控系统还包括：

测量所述平衡室(7)中温度的第一温度计(9)；

测量所述需测控真空环境(13)内温度的第二温度计(12)；

测量所述平衡室(7)中压力的大气压力计(10)；

测量所述需测控真空环境(13)内压力的压力计(15)；

所述第一温度计(9)、所述第二温度计(12)、所述大气压力计(10)和所述压力计(15)均与所述中控器通讯连接；

所述中控器在所述相应量程的流量计(5)为体积流量计时，对该流量计(5)的测量值进行温度补偿后作为所述需测控真空环境(13)的气体流量；

所述中控器在所述相应量程的流量计(5)为质量流量计时，将该流量计(5)的测量值直接作为所述需测控真空环境(13)的气体流量。

9.根据权利要求7所述的真空环境气体流量的测控系统，其特征在于，

所述中控器与所述第一流量调节阀(11)通讯连接，所述中控器在需测控真空环境的气体流量与预设的所需流量不同时，调节所述第一流量调节阀(11)的开度，直至将需测控真空环境的气体流量调整至预设的所需流量。

10.根据权利要求6所述的真空环境气体流量的测控系统，其特征在于，

所述平衡室(7)的压力恒定在某一压力。