CN108118124A - 冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置及真空感应退火方法 - Google Patents

冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置及真空感应退火方法 Download PDF

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CN108118124A CN201711443759.7A CN201711443759A CN108118124A CN 108118124 A CN108118124 A CN 108118124A CN 201711443759 A CN201711443759 A CN 201711443759A CN 108118124 A CN108118124 A CN 108118124A
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Abstract

本发明提供一种冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，包括真空罩组件、感应线圈组件、真空系统组件等；真空罩组件包括至少一组真空罩单件，真空罩单件包括真空罩、底板以及热靴组，热靴组包括至少一组热靴单件，热靴单件包括两组热靴，两组热靴形成用于容纳钛带卷的腔体；感应线圈组件包括感应线圈、感应线圈升降部件和感应线圈移动部件，感应线圈与谐振电容器和变频电源柜连接；感应线圈升降部件包括升降架和卷扬机构，感应线圈移动部件包括行走轨道和移动小车。本发明退火装置结构精简，可实现多工位操作，大大提高设备的利用率和提高退火效率。本发明还公开一种真空感应退火方法，能实现多工位退火，热效率高，经济效益好。

Description

冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置及真空感应 退火方法
技术领域
本发明涉及钛带卷加工技术领域，特别地，涉及一种冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置及真空感应退火方法。
背景技术
钛带卷真空感应直接加热退火装置中的感应加热方法是成熟的技术，原理上是可行的。而将感应直接加热方法用于钛卷真空退火，与传统的钛卷真空加热退火方法相比则是一种全新的思路，需要对设备和工艺进行全新的设计。
现有的冷轧钛带卷真空退火炉分为电阻带加热炉和罩式加热炉。真空下都是利用热辐射间接加热，热效率低，且都是在线加热、在线冷却，设备有效利用率低。本申请人于2014年06月05日申请了一篇关于“一种冷轧钛带卷真空感应直接加热退火装置”的发明专利，降低电耗效益明显，产能提升经济效益明显。
在此基础上，设计一种设备利用率更高、加热效率更高以及经济效益更好的真空退火装置具有重要的意义。
发明内容
本发明的第一目的在于提供一种设备利用率更高、加热效率更高以及经济效益更好的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，具体方案如下：
一种冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，包括真空罩组件、感应线圈组件、真空系统组件以及氩气和冷却水管路组件；
所述真空罩组件包括一组真空罩单件以及至少两组并列设置的真空罩单件，所述真空罩单件包括真空罩、底板以及热靴组，所述真空罩可拆卸式设置在所述底板上；所述热靴组设置在所述真空罩内且其包括一组热靴单件以及至少两组并列设置的热靴单件，所述热靴单件包括两组U形环状结构的热靴，两组热靴形成用于容纳钛带卷的腔体，所述热靴单件的热耗不超过钛带卷的热耗的10％-20％；所述真空罩上设置有真空抽气接口、钛卷测温接口、冷却水出水接口、冷却水进水接口和氩气管路接口，所述真空抽气接口、钛卷测温接口、冷却水出水接口、冷却水进水接口和氩气管路接口上均设置有阀门，所述真空抽气接口与所述真空系统组件相连；
所述感应线圈组件用于给所述真空罩单件中的钛带卷进行加热，其包括感应线圈、感应线圈升降部件以及感应线圈移动部件，所述感应线圈与谐振电容器和变频电源柜可断开式连接；所述感应线圈升降部件包括升降架以及卷扬机构，所述感应线圈通过所述卷扬机构可升降式设置在所述升降架上；所述感应线圈移动部件包括设置在地面上的行走轨道以及移动小车，所述移动小车上设有与所述行走轨道相匹配的行走机构；
所述真空系统组件包括真空机组以及真空管路，所述真空机组通过所述真空管路与所述真空罩可断开式连接；
所述氩气和冷却水管路组件包括与所述真空罩单件一一对应设置的氩气和冷却水管单件，所述氩气和冷却水管单件包括氩气管路、冷却水管路以及阀件，所述氩气管路和所述冷却水管路上均设有所述阀件；所述冷却水出水接口和所述冷却水进水接口与所述冷却水管路连接，所述氩气管路接口与所述氩气管路连接。
以上技术方案中优选的，所述真空罩组件包括至少两组并列设置的真空罩单件，实现多工位施工；
所述行走机构的行走通过操作控制柜进行控制；所述移动小车上的电气设备通过安装于行走轨道两侧的履带式电缆桥架中的电缆进行供电；
所述底板通过底板基础设置在施工地面上，所述底板上表面设置有四个真空罩吊装引导桩，所述真空罩上设有与四个所述真空罩吊装引导桩相对应的真空罩引导桩孔；所述底板相对的两个侧面均设置有两个对称布置的吊装桩。
以上技术方案中优选的，所述真空罩采用剖分结构，由两片半圆不导磁弧形板材拼接而成；所述两片半圆弧形板材的拼接处间隔有绝缘垫板；所述两片半圆弧形板材由带绝缘垫的紧固装置紧固连接；所述真空罩在所述底板上部通过锁紧环锁紧，所述底板与所述真空罩之间通过密封圈密封；
所述底板由两片不导磁板材拼接而成；所述底板在拼接口处设有绝缘垫板；两片不导磁板材由带绝缘垫的紧固装置紧固连接。
以上技术方案中优选的，还包括与所述真空机组连接的真空测量系统，所述真空机组中的真空泵由罗茨泵和滑阀泵两级复合组成；所述真空测量系统由电阻规和电离规两级复合组成。
以上技术方案中优选的，所述变频电源柜用于将三相交流电源变换成单相交流中频电源供给感应线圈。
以上技术方案中优选的，所述热靴通过隔热装置设置在所述真空罩内，所述隔热装置包括一块隔热板或者层叠设置的至少两块隔热板；
所述真空罩通过锁紧环可拆卸式设置在所述底板上。
采用本发明的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，效果是：
1、本发明的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置包括真空罩组件、感应线圈组件、真空系统组件以及氩气和冷却水管路组件；真空罩组件包括至少一组真空罩单件，真空罩单件包括真空罩、底板以及热靴组，热靴组包括至少一组热靴单件，热靴单件包括两组U形环状结构的热靴，两组热靴形成用于容纳钛带卷的腔体，热靴单件的热耗不超过钛带卷的热耗的10％-20％；感应线圈组件包括感应线圈、感应线圈升降部件以及感应线圈移动部件，感应线圈与谐振电容器和变频电源柜连接；感应线圈升降部件包括升降架以及卷扬机构，感应线圈移动部件包括行走轨道以及移动小车；真空系统组件包括真空机组以及真空管路；氩气和冷却水管路组件包括与真空罩单件一一对应设置的氩气和冷却水管单件。整体结构精简；可采用一套感应线圈组件和多套真空罩单件匹配，实现多工位按序退火，大大提高设备利用率；本发明采用热靴单件和感应线圈的组合，且此处优选热靴单件的热耗不超过钛带卷的热耗的10％-20％，改进了真空退火加热方式(钛带卷和热靴单件在电磁感应下本身直接发热，钛卷外圈发热向钛卷内部逐圈导热，热靴单件发热向钛带卷外部至内部导热)，优点是：a、由外热改善为自身发热，可实现材料加热温度的准确控制，带卷加热温度均匀性可达到±10℃，完全满足钛带卷热处理要求；b、增大钛卷受热面积，提高加热效率。
2、本发明中行走机构的行走通过操作控制柜进行控制，所述移动小车上的电气设备通过安装于行走轨道两侧的履带式电缆桥架中的电缆进行供电，控制方便；真空罩吊装引导桩、真空罩引导桩孔和吊装桩的组合设计，便于真空罩吊装，能实现真空罩和底板的精准安装。
3、本发明中真空罩和底板的具体结构设计，真空罩与底板密封连接并锁紧后形成密封腔，能够保证全工况下的真空度要求；所述真空罩和所述底板的组合通水冷却后最高温度不超过60℃。
4、本发明中真空系统组件的设计、采用真空机组中的真空泵由罗茨泵和滑阀泵两级复合组成以及采用真空测量系统由电阻规和电离规两级复合组成的设计，确保满足退火过程中的真空度需求。
5、本发明中所述变频电源柜用于将三相交流电源变换成单相中频交流电源供给感应线圈，感应线圈上建立的交变磁场使钛带卷外圈和热靴外圈产生很大的感应电流而迅速发热，确保能通过真空退火加热方式的改变而实现钛带卷的退火处理。
本发明还提供一种真空感应加热退火方法，包括以下步骤：
在底板上铺隔热板；装入下部的热靴；装入钛带卷；装入上部的热靴；
装上真空罩，真空罩上的真空罩引导桩孔对好所述底板上相对应的真空罩吊装引导桩后落下；锁紧锁紧环；
通过卷扬机构带动感应线圈上升到位；通过行走机构带动移动小车移动至相应工位；通过卷扬机构带动感应线圈下降到位；
接好所述真空罩上的真空抽气接口、钛卷测温接口、冷却水出水接口、冷却水进水接口和氩气管路接口；接好感应线圈、谐振电容器以及变频电源柜；
启动真空机组抽气；真空机组抽气至工艺规定的真空度，开启变频电源柜使得感应线圈通电加热；
按工艺规定的加热升温曲线调节电功率和频率，并继续抽气至规定的真空度；
按工艺规定充入氩气；
达到工艺规定的加热温度和保温时间后切断电源，确保感应线圈断电；
断开感应线圈同谐振电容器和变频电源柜的连接；通过卷扬机构带动感应线圈上升到位；断开所述真空罩上的真空抽气接口和钛卷测温接口；
通过行走机构带动移动小车移动至下一待加热工位；
加热好的真空罩和底板通冷却水进行冷却降温，真空罩、底板、热靴以及钛带卷冷却完成后，打开真空罩和位于上部的热靴即可取出钛带卷；
重复上述操作实现下一工位的加热退火操作。
以上技术方案中优选的，真空罩和底板通冷却水进行冷却降温时，感应线圈能对至少一个其他工位上的真空罩进行通电加热。
应用本发明的真空感应退火方法，可实现钛带卷加热温度的准确控制；多工位操作，可分别进行加热和降温，设备利用率高，大幅度提高退火效率。加热方式改变，由外热改善为自身发热，加热效率得到大大提高。
除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本发明还有其它的目的、特征和优点。下面将参照附图，对本发明作进一步详细的说明。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1是实施例1中冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置的结构示意图(示意了三个工位，中间工位中：虚线示意了感应线圈上升到位时的位置，实线示意了感应线圈下降到位时的位置)；
图2是图1内中间工位的E向示图；
图3是图1中真空罩的局部剖视图(四分之一剖视)；
图4是图1中真空罩的俯视图；
图5是图4中的C放大图；
图6是图2中底板的俯视图；
图7是图3中的热靴单件的正面图(四分之一剖视)；
图8是图7的俯视图；
图9是实施例1中电气系统框图；
1、真空罩组件，1.1、真空罩，A1、真空抽气接口，A2、钛卷测温接口，A3、冷却水出水接口，A4、冷却水进水接口，A5、氩气管路接口，A6、真空罩引导桩孔，1.2、底板，B1、真空罩吊装引导桩，B2、吊装桩，1.3、热靴组，1.31、热靴，D、穿孔槽，1.4、底板基础，1.5、绝缘垫板，1.6、隔热装置，1.7、锁紧环；
2、感应线圈组件，2.1、感应线圈，2.2、感应线圈升降部件，2.21、升降架，2.22、卷扬机构，2.3、感应线圈移动部件，2.31、行走轨道，2.32、移动小车，2.33、操作控制柜，2.4、谐振电容器，2.5、变频电源柜；
3、真空系统组件，3.1、真空机组，3.2、真空管路；
4、钛带卷。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明，但是本发明可以根据权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
实施例1：
一种冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，详见图1-图6(图1示意了三个工位)，具体包括真空罩组件1、感应线圈组件2、真空系统组件3以及氩气和冷却水管路组件，详情如下；
所述真空罩组件1包括三组并列且相互独立设置的真空罩单件，所述真空罩单件包括真空罩1.1、底板1.2以及热靴组1.3，具体结构是：
所述真空罩1.1通过锁紧环1.7可拆卸式设置在所述底板1.2上，此处优选：所述真空罩1.1采用剖分结构，由两片半圆不导磁弧形板材拼接而成；所述两片半圆弧形板材的拼接处间隔有绝缘垫板1.5，详见图4和图5；所述两片半圆弧形板材由带绝缘垫的紧固装置紧固连接；所述底板与所述真空罩之间通过密封圈密封。所述真空罩上设置有真空抽气接口A1、钛卷测温接口A2、冷却水出水接口A3、冷却水进水接口A4和氩气管路接口A5；所述真空抽气接口A1、钛卷测温接口A2、冷却水出水接口A3、冷却水进水接口A4和氩气管路接口A5上均设置有阀门，所述真空抽气接口A1与所述真空系统组件3相连。
所述底板1.2由两片不导磁板材拼接而成；所述底板1.2在拼接口处设有绝缘垫板1.5；两片不导磁板材由带绝缘垫的紧固装置紧固连接。所述底板1.2通过底板基础1.4设置在施工地面上，所述底板1.2上表面设置有四个真空罩吊装引导桩B1，所述真空罩1.1上设有与四个所述真空罩吊装引导桩B1相对应的真空罩引导桩孔A6；所述底板相对的两个侧面均设置有两个对称布置的吊装桩B2，详见图6。
真空罩的其他结构以及真空罩和底板的连接方式可参照申请号为201410246588.9的发明专利。所述真空罩和所述底板的组合应能保证全工况下的真空度要求；所述真空罩和所述底板的组合通水冷却后最高温度不超过60℃。
所述热靴组1.3设置在所述真空罩1.1内且其包括一组热靴单件(即此处采用一个真空罩内放置一组热靴单件的组合方式)，详见图3、图7和图8，所述热靴单件包括两组U形环状结构的热靴1.31，热靴1.31上开设有四个圆周均布的穿孔槽D，两组热靴形成用于容纳钛带卷4的腔体(此处优选热靴通过隔热装置1.6设置在所述真空罩1.1内；所述隔热装置包括一块隔热板或者层叠设置的至少两块隔热板)，所述热靴单件的热耗不超过钛带卷的热耗的10％-20％，热靴所采用的材料的导热系数要大于钛的导热系数(具体大多少可以根据实际情况决定)，使钛带卷外圈和热靴外圈的温升速率匹配，从而能够实现：钛卷外圈发热向钛卷内部径向导热。热靴外圈发热向钛卷上、下端部及内圈导热，通过热靴的作用，钛卷上、下端部受热并向钛卷内部轴向导热，钛卷内圈受热并向钛卷内部径向导热。热靴的设计非常重要，由导热系数计算式W*m2k/m，通过使用热靴，增大了导热面积m2，减小了导热长度m。经对幅宽1300mm，卷重8.5吨的典型钛卷测算，对比单外圈受热，使用热靴后导热面积为单外圈时的1.9倍，导热长度为单外圈时的1/2以下，即导热能力提高3.8倍以上。热靴式感应加热方式能大幅度提高导热能力，使钛卷外表面全方位受热，对提高加热效率和缩短工序时间作用明显。
所述感应线圈组件2用于给所述真空罩单件中的钛带卷进行加热，其包括感应线圈2.1、感应线圈升降部件2.2以及感应线圈移动部件2.3，详见图1和图2，具体是：
所述感应线圈2.1与谐振电容器2.4和变频电源柜2.5可断开式连接，所述变频电源柜用于将三相交流电源变换成单相中频交流电源供给感应线圈，具体是：变频电源柜送电，在谐振电容器2.4的辅助作用下，感应线圈上建立的交变磁场使钛卷外圈和热靴外圈产生很大的感应电流而迅速发热。控制变频电源柜的输出功率，使钛卷外圈和热靴外圈的温升速率满足工艺要求。通过测量钛卷中部相对冷点的温度，控制变频电源柜的输出功率，获得更精确的再结晶温度。电气系统框图详见图9，电气控制系统由西门子PLC S7/200组成，用于对整个装置实行过程控制和数据记录。
所述感应线圈升降部件2.2包括升降架2.21以及卷扬机构2.22，所述感应线圈通过所述卷扬机构可升降式设置在所述升降架上，当需要加热时，卷扬机构带动感应线圈下降至升降架的适当位置，当不需要加热时，卷扬机构带动感应线圈上升至升降架的适当位置。
所述感应线圈移动部件2.3包括设置在地面上的行走轨道2.31以及移动小车2.32，所述移动小车上设有与所述行走轨道相匹配的行走机构，所述行走机构的行走通过操作控制柜2.33进行控制；所述移动小车上的电气设备通过安装于行走轨道两侧的履带式电缆桥架中的电缆进行供电。
所述真空系统组件3包括真空机组3.1以及真空管路3.2，所述真空机组3.1通过所述真空管路与所述真空罩1.1连接。还包括与所述真空机组3.1连接的真空测量系统(一般真空机组和真空测量系统配套使用)，所述真空机组3.1中的真空泵由罗茨泵和滑阀泵两级复合组成；所述真空测量系统由电阻规和电离规两级复合组成。
所述氩气和冷却水管路组件包括与所述真空罩单件一一对应设置的氩气和冷却水管单件(氩气和冷却水管单件设置在真空罩单件对应的施工地面上，即每个工位设置一组氩气和冷却水管单件，此处未图示氩气和冷却水管单件)，所述氩气和冷却水管单件包括氩气管路、冷却水管路以及阀件，所述氩气管路和所述冷却水管路上均设有所述阀件；所述冷却水出水接口A3和所述冷却水进水接口A4与所述冷却水管路连接，所述氩气管路接口A5与所述氩气管路连接。
所述移动小车上安装谐振电容器、变频电源柜和真空系统组件，使得谐振电容器、变频电源柜、真空系统组件以及感应线圈一起同步移动至相应工位。
采用本实施例的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置的真空感应加热退火方法，具体包括以下步骤：
在底板1.2上铺隔热板；装入下部的热靴；装入钛带卷；装入上部的热靴；
装上真空罩1.1，真空罩上的真空罩引导桩孔A6对好所述底板1.2上相对应的真空罩吊装引导桩B1后落下；锁紧锁紧环1.7；
通过卷扬机构2.22带动感应线圈2.1上升到位；通过行走机构带动移动小车移动至相应工位；通过卷扬机构2.22带动感应线圈2.1下降到位(确保热靴单件和钛带卷均处于感应线圈通电后产生的磁场中)；
接好所述真空罩1.1上的真空抽气接口、钛卷测温接口、冷却水出水接口、冷却水进水接口和氩气管路接口；接好感应线圈、谐振电容器以及变频电源柜；
启动真空机组抽气；真空机组抽气至工艺规定的真空度，开启变频电源柜使得感应线圈通电加热；
按工艺规定的加热升温曲线调节电功率和频率，并继续抽气至规定的真空度；
按工艺规定充入氩气；
达到工艺规定的加热温度和保温时间后切断电源，确保感应线圈断电；
断开感应线圈同谐振电容器和变频电源柜的连接；通过卷扬机构2.22带动感应线圈2.1上升到位；断开所述真空罩1.1上的真空抽气接口和钛卷测温接口；
通过行走机构带动移动小车移动至下一待加热工位；
加热好的真空罩和底板通冷却水进行冷却降温，真空罩、底板、热靴以及钛带卷冷却完成后，打开真空罩和位于上部的热靴即可取出钛带卷；
重复上述操作实现下一工位的加热退火操作。
在真空罩和底板通冷却水进行冷却降温时，感应线圈能对至少一个其他工位上的真空罩进行通电加热。
应用本实施例的技术方案，效果是：
1、冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，整体结构精简。
2、可采用一套感应线圈组件和多套真空罩单件匹配，实现多工位按序退火，大大提高设备利用率。感应线圈组件通过感应线圈、升降架、卷扬机构、移动小车、行走轨道等组合，操作方便。
3、本发明采用热靴单件和感应线圈的组合，改进了真空退火炉加热方式(钛带卷和热靴单件在电磁感应下本身直接发热，钛卷外圈发热向钛卷内部逐圈导热，热靴单件发热向钛带卷外部至内部导热)，优点是：a、由外热改善为自身发热，可实现材料加热温度的准确控制，带卷加热温度均匀性可达到±10℃，完全满足钛带卷热处理要求；b、增大钛卷受热面积，提高加热效率。热效率可达到0.8以上，具有明显的经济效益。钛带卷退火工序电耗由原电阻带加热炉的1000kwh/吨降低到200kwh/吨以下。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，其特征在于：包括真空罩组件(1)、感应线圈组件(2)、真空系统组件(3)以及氩气和冷却水管路组件；
所述真空罩组件(1)包括一组真空罩单件以及至少两组并列设置的真空罩单件，所述真空罩单件包括真空罩(1.1)、底板(1.2)以及热靴组(1.3)，所述真空罩(1.1)可拆卸式设置在所述底板(1.2)上；所述热靴组(1.3)设置在所述真空罩(1.1)内且其包括一组热靴单件以及至少两组并列设置的热靴单件，所述热靴单件包括两组U形环状结构的热靴，两组热靴形成用于容纳钛带卷的腔体，所述热靴单件的热耗不超过钛带卷的热耗的10％-20％；所述真空罩(1.1)上设置有真空抽气接口(A1)、钛卷测温接口(A2)、冷却水出水接口(A3)、冷却水进水接口(A4)和氩气管路接口(A5)，所述真空抽气接口(A1)、钛卷测温接口(A2)、冷却水出水接口(A3)、冷却水进水接口(A4)和氩气管路接口(A5)上均设置有阀门，所述真空抽气接口(A1)与所述真空系统组件(3)相连；
所述感应线圈组件(2)用于给所述真空罩单件中的钛带卷进行加热，其包括感应线圈(2.1)、感应线圈升降部件(2.2)以及感应线圈移动部件(2.3)，所述感应线圈(2.1)与谐振电容器(2.4)和变频电源柜(2.5)可断开式连接；所述感应线圈升降部件(2.2)包括升降架(2.21)以及卷扬机构(2.22)，所述感应线圈通过所述卷扬机构可升降式设置在所述升降架上；所述感应线圈移动部件(2.3)包括设置在地面上的行走轨道(2.31)以及移动小车(2.32)，所述移动小车上设有与所述行走轨道相匹配的行走机构；
所述真空系统组件(3)包括真空机组(3.1)以及真空管路(3.2)，所述真空机组(3.1)通过所述真空管路与所述真空罩(1.1)可断开式连接；
所述氩气和冷却水管路组件包括与所述真空罩单件一一对应设置的氩气和冷却水管单件，所述氩气和冷却水管单件包括氩气管路、冷却水管路以及阀件，所述氩气管路和所述冷却水管路上均设有所述阀件；所述冷却水出水接口(A3)和所述冷却水进水接口(A4)与所述冷却水管路连接，所述氩气管路接口(A5)与所述氩气管路连接。
2.根据权利要求1所述的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，其特征在于：所述真空罩组件(1)包括至少两组并列设置的真空罩单件，实现多工位施工；
所述行走机构的行走通过操作控制柜(2.33)进行控制；所述移动小车上的电气设备通过安装于行走轨道两侧的履带式电缆桥架中的电缆进行供电；
所述底板(1.2)通过底板基础(1.4)设置在施工地面上，所述底板(1.2)上表面设置有四个真空罩吊装引导桩(B1)，所述真空罩(1.1)上设有与四个所述真空罩吊装引导桩(B1)相对应的真空罩引导桩孔(A6)；所述底板相对的两个侧面均设置有两个对称布置的吊装桩(B2)。
3.根据权利要求1所述的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，其特征在于：所述真空罩(1.1)采用剖分结构，由两片半圆不导磁弧形板材拼接而成；所述两片半圆弧形板材的拼接处间隔有绝缘垫板(1.5)；所述两片半圆弧形板材由带绝缘垫的紧固装置紧固连接；所述真空罩(1.1)在所述底板上部通过锁紧环锁紧，所述底板与所述真空罩之间通过密封圈密封；
所述底板(1.2)由两片不导磁板材拼接而成；所述底板(1.2)在拼接口处设有绝缘垫板(1.5)；两片不导磁板材由带绝缘垫的紧固装置紧固连接。
4.根据权利要求1所述的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，其特征在于：还包括与所述真空机组(3.1)连接的真空测量系统，所述真空机组(3.1)中的真空泵由罗茨泵和滑阀泵两级复合组成；所述真空测量系统由电阻规和电离规两级复合组成。
5.根据权利要求1所述的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，其特征在于：所述变频电源柜用于将三相交流电源变换成单相中频交流电源供给感应线圈。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，其特征在于：所述热靴通过隔热装置(1.6)设置在所述真空罩(1.1)内，所述隔热装置包括一块隔热板或者层叠设置的至少两块隔热板；
所述真空罩(1.1)通过锁紧环(1.7)可拆卸式设置在所述底板(1.2)上。
7.一种真空感应加热退火方法，其特征在于：采用如权利要求6所述的冷轧钛带卷多工位热靴式真空感应加热退火装置，真空感应加热退火方法包括以下步骤：
在底板(1.2)上铺隔热板；装入下部的热靴；装入钛带卷；装入上部的热靴；
装上真空罩(1.1)，真空罩上的真空罩引导桩孔(A6)对好所述底板(1.2)上相对应的真空罩吊装引导桩(B1)后落下；锁紧锁紧环(1.7)；
通过卷扬机构(2.22)带动感应线圈(2.1)上升到位；通过行走机构带动移动小车移动至相应工位；通过卷扬机构(2.22)带动感应线圈(2.1)下降到位；
接好所述真空罩(1.1)上的真空抽气接口、钛卷测温接口、冷却水出水接口、冷却水进水接口和氩气管路接口；接好感应线圈、谐振电容器以及变频电源柜；
启动真空机组抽气；真空机组抽气至工艺规定的真空度，开启变频电源柜使得感应线圈通电加热；
按工艺规定的加热升温曲线调节电功率和频率，并继续抽气至规定的真空度；
按工艺规定充入氩气；
达到工艺规定的加热温度和保温时间后切断电源，确保感应线圈断电；
断开感应线圈同谐振电容器和变频电源柜的连接；通过卷扬机构(2.22)带动感应线圈(2.1)上升到位；断开所述真空罩(1.1)上的真空抽气接口和钛卷测温接口；
通过行走机构带动移动小车移动至下一待加热工位；
加热好的真空罩和底板通冷却水进行冷却降温，真空罩、底板、热靴以及钛带卷冷却完成后，打开真空罩和位于上部的热靴即可取出钛带卷；
重复上述操作实现下一工位的加热退火操作。
8.根据权利要求7所述的真空感应加热退火方法，其特征在于：真空罩和底板通冷却水进行冷却降温时，感应线圈能对至少一个其他工位上的真空罩进行通电加热。
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