CN108103477A - 一种热丝cvd化学气相沉积的自动中心对准装置和方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置和方法,装置包括机架,所述机架上设置有模具固定架,所述模具固定架的两侧均设置有热丝定位架,一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架,所述瞄准镜安装架上活动设置有瞄准镜。将瞄准镜与模具放置在同一轴线上,利用瞄准镜找到模具的内孔中心,使得热丝正好穿过模具的内孔中心,能够有效地解决热丝容易歪斜,中心不正,生产效率低下,废品率高的问题,使得生产的涂层精度高,成品率得到大大提高。
Description
技术领域
本发明涉及金刚石化学气相沉积技术领域,尤其涉及一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置和方法。
背景技术
现有的热丝CVD化学气相沉积装置都是手工安装热丝,通过肉眼观察来确定中心,由于都是肉眼来观察热丝是否在模具内孔中心,所以偏差比较大,生产中花费的时间也比较长,效率低下,这样给企业造成很大的原材料的浪费。热丝歪斜后拉丝模具内孔受热不均匀,导致生产出来的纳米金刚石厚度不均匀,导致拉丝模具圆度不够,从而导致该模具生产出来的线材圆度比较差,从而产生大量的不合格品,尤其对一些公差要求范围比较小的产品,成品率非常低。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足,本发明提供了一种操作方便简单,精准对位的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置和方法。
为了实现上述目的,本发明采用的技术方案是:
一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,包括机架,所述机架上设置有模具固定架,所述模具固定架的两侧均设置有热丝定位架,一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架,所述瞄准镜安装架上活动设置有瞄准镜。
作为上述方案的进一步改进,所述模具固定架上设置有容模具放置的V型槽或楔形槽。
作为上述方案的进一步改进,所述热丝定位架包括弹簧定位架和压片定位架。
作为上述方案的进一步改进,所述弹簧定位架包括两侧的竖杆,架设在竖杆之间的横杆,架设在横杆前方的弹簧。
作为上述方案的进一步改进,所述横杆上还套设有定位环,所述定位环的圆周面上设置有容热丝卡入的限位槽。
作为上述方案的进一步改进,所述压片定位架包括竖直设置的立杆,所述立杆上套设有上压片和下压片,所述立杆上还螺纹连接有锁紧螺母,所述锁紧螺母分别位于上压片和下压片的上下表面。
一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准方法,包括以下步骤,
1)将模具放置在模具固定架上,将瞄准镜放置在瞄准镜安装架上;
2)调节瞄准镜的位置,将模具作为靶子,模具内孔作为靶心,找到模具的内孔中心位置;
3)将热丝穿过模具的内孔中心,热丝的两端固定在两侧的热丝定位架上;
4)继续利用瞄准镜进行校准,调节热丝的位置,使得热丝与模具的内孔中心完全对齐;
5)热丝位置调整完成后,固定热丝位置。
本发明的有益效果:
本发明一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置和方法,将瞄准镜与模具放置在同一轴线上,利用瞄准镜找到模具的内孔中心,使得热丝正好穿过模具的内孔中心,能够有效地解决热丝容易歪斜,中心不正,生产效率低下,废品率高的问题,使得生产的涂层精度高,成品率得到大大提高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然,所描述的附图只是本发明的一部分实施例,而不是全部实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得的其他设计方案和附图:
图1为本发明较佳实施例主视图;
图2为本发明较佳实施例俯视图;
图3为本发明较佳实施例中瞄准镜与模具的对齐示意图。
具体实施方式
以下将结合实施例和附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述,以充分地理解本发明的目的、特征和效果。显然,所描述的实施例只是本发明的一部分实施例,而不是全部实施例,基于本发明的实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例,均属于本发明保护的范围。
参照图1与图2,一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,包括机架1,所述机架1上设置有模具固定架2,所述模具固定架2上设置有容模具放置的V型槽14或楔形槽。所述模具固定架2的两侧均设置有热丝定位架,所述热丝定位架包括弹簧定位架和压片定位架,本实施例中一侧设置为弹簧定位架,一侧设置为压片定位架,实际应用时,热丝定位架还可以选用两个弹簧定位架或压片定位架,一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架3,所述瞄准镜安装架3上活动设置有瞄准镜4。
所述弹簧定位架包括两侧的竖杆5,架设在竖杆5之间的横杆6,架设在横杆6前方的弹簧7,热丝末端与弹簧7连接,被弹簧7拉直,所述横杆6上还套设有定位环8,热丝绕制在定位环8上,起到拉紧的作用,所述定位环8的圆周面上设置有容热丝卡入的限位槽9,热丝卡入限位槽9内,固定后不会在定位环8上左右移动,定位更加稳固。
所述压片定位架包括竖直设置的立杆10,所述立杆10上套设有上压片11和下压片12,所述立杆10上还螺纹连接有锁紧螺母13,所述锁紧螺母13分别位于上压片11和下压片12的上下表面。上压片11和下压片12相对的表面还可设置有容热丝卡入的卡槽,热丝的末端通过上压片11和下压片12固定,利用锁紧螺母13将上压片11和下压片12压紧,防止热丝移位。
一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准方法,包括以下步骤,
1)将模具放置在模具固定架上,将瞄准镜放置在瞄准镜安装架上;
2)2)调节瞄准镜的位置,将模具15作为靶子,模具内孔作为靶心,找到模具15的内孔中心位置;
3)将热丝穿过模具15的内孔中心,热丝的两端固定在两侧的热丝定位架上;
4)继续利用瞄准镜进行校准,调节热丝的位置,参照说明书附图3,a图显示为瞄准镜位置偏下,b图显示为瞄准镜位置偏上,c图显示为瞄准镜和模具15的视距不合适,d图显示为瞄准镜位置偏右,e图显示为瞄准镜位置偏右,f图显示的是瞄准镜和模具15的内孔中心完全对齐,此时将热丝移动至瞄准镜的准心位置,使得热丝与模具15的内孔中心完全对齐;
5)热丝位置调整完成后,固定热丝位置。
使用该方法进行热丝的定位能更加快捷,不需要反复调整热丝,能够大大缩短耗费的时间,而且生产出的纳米涂层比较均匀,圆度可以控制在0.005mm以内,成品率可以提高到95%以上,生产效率比传统的装置提高了50%以上,生产成本比传统的方法减少至少40%。
以上是对本发明的较佳实施例进行了具体说明,但本发明创造并不限于所述实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可作出种种的等同变型或替换,这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (7)
1.一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,包括机架,其特征在于:所述机架上设置有模具固定架,所述模具固定架的两侧均设置有热丝定位架,一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架,所述瞄准镜安装架上活动设置有瞄准镜。
2.根据权利要求1所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述模具固定架上设置有容模具放置的V型槽或楔形槽。
3.根据权利要求1所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述热丝定位架包括弹簧定位架和压片定位架。
4.根据权利要求3所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述弹簧定位架包括两侧的竖杆,架设在竖杆之间的横杆,架设在横杆前方的弹簧。
5.根据权利要求4所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述横杆上还套设有定位环,所述定位环的圆周面上设置有容热丝卡入的限位槽。
6.根据权利要求3所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,其特征在于:所述压片定位架包括竖直设置的立杆,所述立杆上套设有上压片和下压片,所述立杆上还螺纹连接有锁紧螺母,所述锁紧螺母分别位于上压片和下压片的上下表面。
7.一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准方法,其特征在于:包括以下步骤,
1)将模具放置在模具固定架上,将瞄准镜放置在瞄准镜安装架上;
2)调节瞄准镜的位置,将模具作为靶子,模具内孔作为靶心,找到模具的内孔中心位置;
3)将热丝穿过模具的内孔中心,热丝的两端固定在两侧的热丝定位架上;
4)继续利用瞄准镜进行校准,调节热丝的位置,使得热丝与模具的内孔中心完全对齐;
5)热丝位置调整完成后,固定热丝位置。
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