CN108097339B - 一种纳流控芯片的制备方法 - Google Patents

一种纳流控芯片的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108097339B
CN108097339B CN201810020244.4A CN201810020244A CN108097339B CN 108097339 B CN108097339 B CN 108097339B CN 201810020244 A CN201810020244 A CN 201810020244A CN 108097339 B CN108097339 B CN 108097339B
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
cover plate
nano
channel
solution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810020244.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108097339A (zh
Inventor
殷志富
曲兴田
李金来
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jilin University
Original Assignee
Jilin University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jilin University filed Critical Jilin University
Priority to CN201810020244.4A priority Critical patent/CN108097339B/zh
Publication of CN108097339A publication Critical patent/CN108097339A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108097339B publication Critical patent/CN108097339B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components

Abstract

本发明涉及一种纳流控芯片的制备方法,属于纳米制造领域。将由聚甲基丙烯酸甲酯制成的盖板,完全浸没在丙酮乙醇溶液中,浸泡1min~1.5min,将由聚甲基丙烯酸甲酯制成的基板,浸泡丙酮乙醇溶液中,浸泡5s~10s,取出后,用纯净的氮气吹干,将处理的盖板与基板置于工作台上进行热压键合。优点是与未经丙酮乙醇溶液处理、直接用热压键合制成纳米通道的方法相比,其优势在于降低了基板部分由于热压健合造成的通道形状改变及通道尺寸变小,有效地提升了基板与盖板之间的键合程度,改善了键合效果,使二者更紧密。

Description

一种纳流控芯片的制备方法
技术领域
本发明涉及纳米制造领域,特别是涉及一种基于改变内部分子结构技术的纳米通道热压键合的方法。
背景技术
近年来,随着微流控芯片制造技术和纳米加工技术的不断发展,纳流控芯片也逐步得到了人们的重视与发展。纳流控芯片中纳米通道所具有的特殊性质如表面电荷,双电层,粘度增加和电渗流降低等使得纳流控芯片在医疗、生化分析等领域具有重要作用,为人们的生活带来了很大帮助。由聚合物:聚甲基丙烯酸甲酯PMMA或聚对苯二甲酸PET等纳流控芯片因其光学性质优良、绝缘性质好、成本低、制作周期短和生物兼容性好等优点正日益被人们所重视,其制造技术已经被世界各国研究人员所关注。
在聚合物纳流控芯片制造过程中,敞开的纳米沟道必须经过键合才能形成最终封闭纳米通道。其中,键合工艺是决定聚合物纳流控芯片制造质量的重要工序。而且对于一个纳流控芯片来说,纳米通道的尺寸决定了该芯片的工作状态与工作效率。然而,与传统的硅、玻璃和石英等纳流控芯片材料相比,聚合物杨氏模量较低,纳米沟道在键合过程中更容易产生变形,纳米通道尺寸通常会发生变化,还会导致盖板与基板键合不紧密,有缝隙。这样就会使芯片的工作效率降低。由于选材及工艺等问题,目前对于热压健合改变通道尺寸的现象解决起来比较困难。只能通过一些方法改变聚合物的性质来优化和改善此类现象。因此,热压键合后纳米通道尺寸改变一直是聚合物纳流控芯片制造过程中亟待解决的一大难题。
发明内容
本发明提供一种纳流控芯片的制备方法,以以往盖板与基底热压键合后纳米通道尺寸变小、形状无法确定、键合效果不理想的问题。
本发明采取的技术方案是,包括以下步骤:
(1)配制体积分数55%-65%的丙酮乙醇溶液,等分成两份,分别标号溶液1和溶液2;
(2)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的盖板,完全浸没在由步骤(1)中制成的溶液1中,浸泡1min~1.5min,取出盖板后,用纯净的氮气吹干,保证盖板上无灰尘杂质;
(3)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的基板,浸泡在由步骤(1)中制成的溶液2中,浸泡5s~10s,取出基板后,用纯净的氮气吹干,保证基板上无灰尘杂质;
(4)将由步骤(2)和步骤(3)处理的盖板与基板置于工作台上进行热压键合。
所述盖板上有微米沟道,基板上有纳米通道。
所述基板上的纳米通道包括纳米沟道和、或纳米凸起。
所述热压健合的参数为:温度85°,压力0.2MPa,时间15min。
本发明优点是与未经丙酮乙醇溶液处理、直接用热压键合制成纳米通道的方法相比,其优势在于降低了基板部分由于热压健合造成的通道形状改变及通道尺寸变小,有效地提升了基板与盖板之间的键合程度,改善了键合效果,使二者更紧密。
附图说明
图1是聚甲基丙烯酸甲酯PMMA基板经过60%的丙酮乙醇溶液处理5s后,在室温下材料表层杨氏模量测试结果;
图2是聚甲基丙烯酸甲酯PMMA盖板经过60%的丙酮乙醇溶液处理1min后,在室温下材料表层杨氏模量测试结果。
具体实施方式
实施例1
包括以下步骤:
(1)配制体积分数55%的丙酮乙醇溶液,即分别用量筒量取1000ml乙醇、550ml丙酮,混合,再等分成两份,分别标号溶液1和溶液2;
(2)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的盖板,完全浸没在由步骤(1)中制成的溶液1中,浸泡1.25min,取出盖板后,用纯净的氮气吹干,保证盖板上无灰尘杂质;
(3)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的基板,浸泡在由步骤(1)中制成的溶液2中,浸泡8s,取出基板后,用纯净的氮气吹干,保证基板上无灰尘杂质;
(4)将由步骤(2)和步骤(3)处理的盖板与基板置于工作台上进行热压键合;
所述盖板上有微米沟道,基板上有纳米通道;
所述基板上的纳米通道包括纳米沟道和、或纳米凸起;
所述热压健合的参数为:温度85°,压力0.2MPa,时间15min。
实施例2
包括以下步骤:
(1)配制体积分数60%的丙酮乙醇溶液,即分别用量筒量取1000ml乙醇、600ml丙酮,混合,等分成两份,分别标号溶液1和溶液2;
(2)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的盖板,完全浸没在由步骤(1)中制成的溶液1中,浸泡1min,取出盖板后,用纯净的氮气吹干,保证盖板上无灰尘杂质;
(3)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的基板,浸泡在由步骤(1)中制成的溶液2中,浸泡5s,取出基板后,用纯净的氮气吹干,保证基板上无灰尘杂质;
(4)将由步骤(2)和步骤(3)处理的盖板与基板置于工作台上进行热压键合;
所述盖板上有微米沟道,基板上有纳米通道;
所述基板上的纳米通道包括纳米沟道和、或纳米凸起;
所述热压健合的参数为:温度85°,压力0.2MPa,时间15min。
实施例3
包括以下步骤:
(1)配制体积分数65%的丙酮乙醇溶液,即分别用量筒量取1000ml乙醇、650ml丙酮,混合,等分成两份,分别标号溶液1和溶液2;
(2)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的盖板,完全浸没在由步骤(1)中制成的溶液1中,浸泡1.5min,取出盖板后,用纯净的氮气吹干,保证盖板上无灰尘杂质;
(3)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的基板,浸泡在由步骤(1)中制成的溶液2中,浸泡10s,取出基板后,用纯净的氮气吹干,保证基板上无灰尘杂质;
(4)将由步骤(2)和步骤(3)处理的盖板与基板置于工作台上进行热压键合;
所述盖板上有微米沟道,基板上有纳米通道;
所述基板上的纳米通道包括纳米沟道和、或纳米凸起;
所述热压健合的参数为:温度85°,压力0.2MPa,时间15min。
本发明经过60%丙酮乙醇溶液处理1min的聚甲基丙烯酸甲酯PMMA盖板,通过试验检测,表层50mm以内杨氏模量显著降低,也就是使盖板的硬度变“软”,见图2;这样在热压健合的过程中就会使盖板与基板连接的更加紧密,缝隙很小。经过60%丙酮乙醇溶液处理5s的聚甲基丙烯酸甲酯PMMA基板,通过试验检测,表层50mm以内杨氏模量显著升高,也就是使基板的硬度变“硬”,见图1,这样经过热压健合的时候,纳米通道就不会因为加热而发生很大的形变。

Claims (2)

1.一种纳流控芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)配制体积分数55%-65%的丙酮乙醇溶液,等分成两份,分别标号溶液1和溶液2;
(2)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的盖板,完全浸没在由步骤(1)中制成的溶液1中,浸泡1min~1.5min,取出盖板后,用纯净的氮气吹干,保证盖板上无灰尘杂质;所述盖板上有微米沟道,基板上有纳米通道;
(3)将由聚甲基丙烯酸甲酯PMMA制成的基板,浸泡在由步骤(1)中制成的溶液2中,浸泡5s~10s,取出基板后,用纯净的氮气吹干,保证基板上无灰尘杂质,所述基板上的纳米通道包括纳米沟道和、或纳米凸起;
(4)将由步骤(2)和步骤(3)处理的盖板与基板置于工作台上进行热压键合。
2.根据权利要求1所述的一种纳流控芯片的制备方法,其特征在于:所述热压键 合的参数为:温度85°,压力0.2MPa,时间15min。
CN201810020244.4A 2018-01-09 2018-01-09 一种纳流控芯片的制备方法 Active CN108097339B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810020244.4A CN108097339B (zh) 2018-01-09 2018-01-09 一种纳流控芯片的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810020244.4A CN108097339B (zh) 2018-01-09 2018-01-09 一种纳流控芯片的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108097339A CN108097339A (zh) 2018-06-01
CN108097339B true CN108097339B (zh) 2020-07-14

Family

ID=62219411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810020244.4A Active CN108097339B (zh) 2018-01-09 2018-01-09 一种纳流控芯片的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108097339B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115364913B (zh) * 2021-05-18 2024-04-12 中国科学院微电子研究所 一种热塑性芯片的键合方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7608160B2 (en) * 2004-10-13 2009-10-27 Rheonix, Inc. Laminated microfluidic structures and method for making
CN100503222C (zh) * 2005-01-27 2009-06-24 复旦大学 聚甲基丙烯酸甲酯微流控芯片溶剂辅助热压封装方法
CN102628870B (zh) * 2012-05-02 2014-06-18 南京大学 一种实现蛋白质快速荧光标记的微纳流控芯片及方法
CN103172018A (zh) * 2013-03-18 2013-06-26 哈尔滨工业大学 基于有机聚合物材质微流控芯片的有机溶剂辅助键合方法
CN104150436A (zh) * 2014-09-09 2014-11-19 哈尔滨工业大学 基于聚合物材质微流控芯片的有机溶剂混溶溶液浸泡键合方法
CN106179540A (zh) * 2015-05-08 2016-12-07 中国科学院深圳先进技术研究院 一种聚合物微控芯片及其溶剂辅助热键合方法
CN105032509B (zh) * 2015-06-02 2017-02-01 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 一种基于聚合物基板的微流控芯片的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108097339A (zh) 2018-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Chow et al. Microfluidic channel fabrication by PDMS-interface bonding
CN103058131B (zh) 一种高强度可逆键合微流控芯片的制作方法
CN103055981A (zh) 一种聚二甲基硅氧烷微流控芯片及其制备方法
EP2011777A3 (en) Articles for high temperature service and methods for their manufacture
CN108097339B (zh) 一种纳流控芯片的制备方法
US20140065035A1 (en) Method for manufacturing a microvalve device mounted on a lab-on-a-chip, and microvalve device manufactured by same
JP2006505418A (ja) 微小接合部付きコンポーネントの製造方法及び該製造方法により製造されたコンポーネント
CN105923599A (zh) 一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺
CN109894171A (zh) 一种可逆键合微流控芯片的方法
CN1683443A (zh) 一种以聚二甲基硅氧烷为基材的芯片简易不可逆键合方法
CN106475161A (zh) 一种微流控芯片的简易快捷键合方法
JP5570616B2 (ja) マイクロチップの製造方法
WO2023109698A1 (zh) 一种捕获循环肿瘤细胞的微流控芯片及其制作方法
WO2017063329A1 (zh) 一种耐高温各向同性粘结NdFeB磁体及其制备方法
CN101042396B (zh) 在有机玻璃微流控芯片通道表面修饰硅凝胶的方法
Zhao et al. Highly dynamic tempered in-mold thermocompression bonding of microfluidic chips: Process characteristics and bonding performances
CN102276862A (zh) 一种pmma芯片与pdms芯片的不可逆键合方法
CN104291267A (zh) 氯仿封装pmma微流控芯片
CN102701145A (zh) 一种高质量的pdms-聚烯烃类塑料不可逆键合的方法
Germash et al. Research of replication accuracy in some elastomer materials with different Young’s modulus
CN103144326B (zh) 一种光学膜体及光学膜体和光学膜母体的制造方法
CN208482481U (zh) 一种用于防止纳米通道键合密封堵塞的填充阻隔器
CN106540758A (zh) 微流控芯片
CN106200261B (zh) 一种具有双层纳米结构的金属/聚合物的制备方法
CN101251532B (zh) 微-纳流控芯片的二维纳米通道的制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant