CN108075682A - 一种多支撑双向压电驱动器 - Google Patents

一种多支撑双向压电驱动器 Download PDF

Info

Publication number
CN108075682A
CN108075682A CN201810029486.XA CN201810029486A CN108075682A CN 108075682 A CN108075682 A CN 108075682A CN 201810029486 A CN201810029486 A CN 201810029486A CN 108075682 A CN108075682 A CN 108075682A
Authority
CN
China
Prior art keywords
piezoelectric vibrator
bearing
support leg
foot bearing
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810029486.XA
Other languages
English (en)
Inventor
吴越
曾祥莉
刘庆平
李新波
杨志刚
宋正义
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jilin University
Original Assignee
Jilin University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jilin University filed Critical Jilin University
Priority to CN201810029486.XA priority Critical patent/CN108075682A/zh
Publication of CN108075682A publication Critical patent/CN108075682A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/06Drive circuits; Control arrangements or methods

Landscapes

  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

本发明涉及一种多支撑双向压电驱动器,包括:第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第一支撑腿、第二支撑腿、第三支撑腿、第四支撑腿、第一脚支座、第二脚支座、第三脚支座和第四脚支座,其中:支撑腿布置在压电振子下表面,脚支座连接在支撑腿自由端。对所述压电振子其中两个压电振子施加交流电压使其往复弯曲变形,带动其中两脚支座相互靠近或远离,摩擦力使脚支座和支撑腿发生一定的扭动,促使脚支座上不同摩擦系数的材料分别与工作面相接触,从而使脚支座产生不同的位移,最终实现驱动器的定向移动。本发明实现了双向驱动,且具有结构简单、维护成本低、对工作面的要求较低和延长驱动器中压电陶瓷的使用寿命的优点。

Description

一种多支撑双向压电驱动器
技术领域
本发明属于压电驱动领域,具体涉及一种多支撑双向压电驱动器。
背景技术
传统的驱动器具有工作行程大、运动速度快和承载力大的特点,但是传统驱动器体积庞大且运动分辨率不高。现当代随着科学技术发展,微型机械、精密测量和生物医疗都对微型驱动器提出了更高的要求,要求微型驱动器必须实现小体积和高精度。新型微型驱动器主要利用形状记忆合金、磁致伸缩材料、电致伸缩材料和压电陶瓷进行驱动。其中,压电驱动微型驱动器具有定位精度高、响应速度快、抗电磁干扰、功耗小和驱动力大的优点,现有的压电驱动器主要有尺蠖型驱动和惯性驱动两类,但这两类驱动器结构较为复杂,多与工作面刚性接触,对工作环境要求高,易损耗构件不易更换。
发明内容
为了解决目前压电驱动器结构较为复杂,多与工作面刚性接触,对工作环境要求高,易损耗构件不易更换的问题,提出了一种多支撑双向压电驱动器,该驱动器由第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第一支撑腿、第二支撑腿、第三支撑腿和第四支撑腿、第一脚支座、第二脚支座、第三脚支座和第四脚支座组成,其中所述第一压电振子、第二压电振子和第三压电振子都由压电薄片材料粘贴在矩形弹性基体上构成,所述第一压电振子、第二压电振子与第三压电振子依次连接,所述第一支撑腿、第二支撑腿、第三支撑腿和第四支撑腿为相同的矩形薄片构件且具有一定的弹性,所述第一支撑腿一端布置在第一压电振子下表面、另一端为自由端,所述第二支撑腿一端连接在第一压电振子和第二压电振子之间的下表面、另一端为自由端,所述第三支撑腿一端连接在第二压电振子和第三压电振子之间的下表面、另一端为自由端,所述第四支撑腿一端连接在第三压电振子下表面、另一端为自由端,所述第一脚支座、第二脚支座、第三脚支座和第四脚支座为结构、大小和材料完全相同的圆柱形构件且都由低摩擦系数材料和高摩擦系数材料复合而成,所述四支撑腿的自由端与四脚支座连接且脚支座相同摩擦系数材料相邻布置。将驱动器放置在工作平面上,所述第一脚支座、第二脚支座、第三脚支座和第四脚支座与工作平面接触。对所述压电振子其中两个压电振子施加交流电压使其发生往复弯曲变形,带动其中两脚支座相互靠近或相互远离。在脚支座移动过程中,脚支座受到与移动方向相反的摩擦力,摩擦力使脚支座和支撑腿发生一定的扭动,促使脚支座上不同摩擦系数的材料分别与工作面相接触,从而使脚支座产生不同的位移,最终实现驱动器的定向移动。该驱动器的正向移动工作原理示意图如图2所示:该驱动器第二脚支座和第四脚支座的左半侧部分分别为第二高摩擦系数材料和第四高摩擦系数材料,右半侧部分分别为第二低摩擦系数材料和第四低摩擦系数材料,当压电振子未通电时,驱动器呈自然状态,支撑腿和脚支座未发生扭动,如图2(a)所示;当第二压电振子和第三压电振子同时受同相电驱动产生凹变形时,带动第二脚支座和第四脚支座相互远离,同时工作平面产生的摩擦力使第二脚支座和第四脚支座的支撑腿和脚支座发生一定扭动,致使第二脚支座的第二高摩擦系数材料和第四脚支座的第四低摩擦系数材料与工作面接触,此时第四脚支座的滑移距离明显大于第二脚支座的滑移距离,如图2(b)所示;当第二压电振子和第三压电振子同时产生凸变形时,带动第二脚支座和第四脚支座相互靠近,同时工作平面产生的摩擦力使第二脚支座和第四脚支座的支撑腿和脚支座发生方向的扭动,致使第二脚支座的第二低摩擦系数材料和第四脚支座的第四高摩擦系数材料与工作面接触,此时第二脚支座的滑移距离明显大于第四脚支座的滑移距离,如图2(c)所示;当第二压电振子和第三压电振子再次回到平衡位置时完成一个工作循环,如图2(d)所示。在压电振子通电往复弯曲变形的一个周期内,带动第二脚支座和第四脚支座相互远离或相互靠近,当第二脚支座和第四脚支座相互远离时,第四脚支座发生较大的滑移,而当第二脚支座和第四脚支座相互靠近时,第二脚支座发生较大的滑移,因此在一个通电周期内驱动器会产生一个向右的步长。该驱动器的反向移动工作原理示意图如图3所示:该驱动器第一脚支座和第三脚支座的左半侧部分分别为第一低摩擦系数材料和第三低摩擦系数材料,右半侧部分分别为第一高摩擦系数材料和第三高低摩擦系数材料,当压电振子未通电时,驱动器呈自然状态,支撑腿和脚支座未发生扭动,如图3(a)所示;当第一压电振子和第二压电振子同时受同相电驱动产生凹变形时,带动第一脚支座和第三脚支座相互远离,同时工作平面产生的摩擦力使第一脚支座和第三脚支座的支撑腿和脚支座发生一定扭动,致使第一脚支座的第一低摩擦系数材料和第三脚支座的第三高摩擦系数材料与工作面接触,此时第一脚支座的滑移距离明显大于第三脚支座的滑移距离,如图3(b)所示;当第一压电振子和第二压电振子同时产生凸变形时,带动第一脚支座和第三脚支座相互靠近,同时工作平面产生的摩擦力使第一脚支座和第三脚支座的支撑腿和脚支座发生方向的扭动,致使第一脚支座的第一高摩擦系数材料和第三脚支座的第三低摩擦系数材料与工作面接触,此时第三脚支座的滑移距离明显大于第一脚支座的滑移距离,如图3(c)所示;当第一压电振子和第二压电振子再次回到平衡位置时完成一个工作循环,如图3(d)所示。在压电振子通电往复弯曲变形的一个周期内,带动第一脚支座和第三脚支座相互远离或相互靠近,当第一脚支座和第三脚支座相互远离时,第一脚支座发生较大的滑移,而当第一脚支座和第三脚支座相互靠近时,第三脚支座发生较大的滑移,因此在一个通电周期内驱动器会产生一个向左的步长。因此,当第二压电振子和第三压电振子受相同交变电压驱动时,该驱动器实现正向驱动;当第一压电振子和第二压电振子受相同交变电压驱动时,该驱动器实现反向驱动。本发明实现了双向驱动,且具有结构简单、维护成本低、对工作面的要求较低和延长驱动器中压电陶瓷的使用寿命的优点。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
本发明一种多支撑双向压电驱动器,该驱动器由第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第一支撑腿、第二支撑腿、第三支撑腿和第四支撑腿、第一脚支座、第二脚支座、第三脚支座和第四脚支座组成,其中所述第一压电振子、第二压电振子和第三压电振子都由压电薄片材料粘贴在矩形弹性基体上构成,所述第一压电振子、第二压电振子与第三压电振子依次连接,所述第一支撑腿、第二支撑腿、第三支撑腿和第四支撑腿为相同的矩形薄片构件且具有一定的弹性,所述第一支撑腿一端布置在第一压电振子下表面、另一端为自由端,所述第二支撑腿一端连接在第一压电振子和第二压电振子之间的下表面、另一端为自由端,所述第三支撑腿一端连接在第二压电振子和第三压电振子之间的下表面、另一端为自由端,所述第四支撑腿一端连接在第三压电振子下表面、另一端为自由端,所述第一脚支座、第二脚支座、第三脚支座和第四脚支座为结构、大小和材料完全相同的圆柱形构件且都由低摩擦系数材料和高摩擦系数材料复合而成,所述四支撑腿的自由端与四脚支座连接且脚支座相同摩擦系数材料相邻布置。
工作时,将驱动器放置在工作平面上,所述第一脚支座、第二脚支座、第三脚支座和第四脚支座与工作平面接触。对所述压电振子其中两个压电振子施加交流电压使其发生往复弯曲变形,带动其中两脚支座相互靠近或相互远离。在脚支座移动过程中,脚支座受到与移动方向相反的摩擦力,摩擦力使脚支座和支撑腿发生一定的扭动,促使脚支座上不同摩擦系数的材料分别与工作面相接触,从而使脚支座产生不同的位移,最终实现驱动器的定向移动。该驱动器的正向移动工作原理示意图如图2所示:该驱动器第二脚支座和第四脚支座的左半侧部分分别为第二高摩擦系数材料和第四高摩擦系数材料,右半侧部分分别为第二低摩擦系数材料和第四低摩擦系数材料,当压电振子未通电时,驱动器呈自然状态,支撑腿和脚支座未发生扭动,如图2(a)所示;当第二压电振子和第三压电振子同时受同相电驱动产生凹变形时,带动第二脚支座和第四脚支座相互远离,同时工作平面产生的摩擦力使第二脚支座和第四脚支座的支撑腿和脚支座发生一定扭动,致使第二脚支座的第二高摩擦系数材料和第四脚支座的第四低摩擦系数材料与工作面接触,此时第四脚支座的滑移距离明显大于第二脚支座的滑移距离,如图2(b)所示;当第二压电振子和第三压电振子同时产生凸变形时,带动第二脚支座和第四脚支座相互靠近,同时工作平面产生的摩擦力使第二脚支座和第四脚支座的支撑腿和脚支座发生方向的扭动,致使第二脚支座的第二低摩擦系数材料和第四脚支座的第四高摩擦系数材料与工作面接触,此时第二脚支座的滑移距离明显大于第四脚支座的滑移距离,如图2(c)所示;当第二压电振子和第三压电振子再次回到平衡位置时完成一个工作循环,如图2(d)所示。在压电振子通电往复弯曲变形的一个周期内,带动第二脚支座和第四脚支座相互远离或相互靠近,当第二脚支座和第四脚支座相互远离时,第四脚支座发生较大的滑移,而当第二脚支座和第四脚支座相互靠近时,第二脚支座发生较大的滑移,因此在一个通电周期内驱动器会产生一个向右的步长。该驱动器的反向移动工作原理示意图如图3所示:该驱动器第一脚支座和第三脚支座的左半侧部分分别为第一低摩擦系数材料和第三低摩擦系数材料,右半侧部分分别为第一高摩擦系数材料和第三高低摩擦系数材料,当压电振子未通电时,驱动器呈自然状态,支撑腿和脚支座未发生扭动,如图3(a)所示;当第一压电振子和第二压电振子同时受同相电驱动产生凹变形时,带动第一脚支座和第三脚支座相互远离,同时工作平面产生的摩擦力使第一脚支座和第三脚支座的支撑腿和脚支座发生一定扭动,致使第一脚支座的第一低摩擦系数材料和第三脚支座的第三高摩擦系数材料与工作面接触,此时第一脚支座的滑移距离明显大于第三脚支座的滑移距离,如图3(b)所示;当第一压电振子和第二压电振子同时产生凸变形时,带动第一脚支座和第三脚支座相互靠近,同时工作平面产生的摩擦力使第一脚支座和第三脚支座的支撑腿和脚支座发生方向的扭动,致使第一脚支座的第一高摩擦系数材料和第三脚支座的第三低摩擦系数材料与工作面接触,此时第三脚支座的滑移距离明显大于第一脚支座的滑移距离,如图3(c)所示;当第一压电振子和第二压电振子再次回到平衡位置时完成一个工作循环,如图3(d)所示。在压电振子通电往复弯曲变形的一个周期内,带动第一脚支座和第三脚支座相互远离或相互靠近,当第一脚支座和第三脚支座相互远离时,第一脚支座发生较大的滑移,而当第一脚支座和第三脚支座相互靠近时,第三脚支座发生较大的滑移,因此在一个通电周期内驱动器会产生一个向左的步长。因此,当第二压电振子和第三压电振子受相同交变电压驱动时,该驱动器实现正向驱动;当第一压电振子和第二压电振子受相同交变电压驱动时,该驱动器实现反向驱动。本发明实现了双向驱动,且具有结构简单、维护成本低、对工作面的要求较低和延长驱动器中压电陶瓷的使用寿命的优点。
附图说明
图1是本发明一种多支撑双向压电驱动器结构示意图。
图2是本发明一种多支撑双向压电驱动器正向驱动过程示意图。
图3是本发明一种多支撑双向压电驱动器反向驱动过程示意图。
具体实施方式
参照图1、图2和图3,本发明一种多支撑双向压电驱动器由第一压电振子1、第二压电振子2、第三压电振子3、第一支撑腿4、第二支撑腿5、第三支撑腿6、第四支撑腿7、第一脚支座8、第二脚支座9、第三脚支座10和第四脚支座11组成;其中:
所述第一压电振子1、第二压电振子2和第三压电振子3都由压电薄片材料粘贴在矩形弹性基体上构成,所述第一压电振子1、第二压电振子2与第三压电振子3依次连接,所述第一支撑腿4、第二支撑腿5、第三支撑腿6和第四支撑腿7为相同的矩形薄片构件且具有一定的弹性,所述第一支撑腿4一端布置在第一压电振子1下表面、另一端为自由端,所述第二支撑腿5一端连接在第一压电振子1和第二压电振子2之间的下表面、另一端为自由端,所述第三支撑腿6一端连接在第二压电振子2和第三压电振子3之间的下表面、另一端为自由端,所述第四支撑腿7一端连接在第三压电振子3下表面、另一端为自由端,所述第一脚支座8、第二脚支座9、第三脚支座10和第四脚支座11为结构、大小和材料完全相同的圆柱形构件且都由低摩擦系数材料和高摩擦系数材料复合而成,所述四支撑腿的自由端与四脚支座连接且脚支座相同摩擦系数材料相邻布置。
工作时,将驱动器放置在工作平面上,所述第一脚支座、第二脚支座、第三脚支座和第四脚支座与工作平面接触。对所述压电振子其中两个压电振子施加交流电压使其发生往复弯曲变形,带动其中两脚支座相互靠近或相互远离。在脚支座移动过程中,脚支座受到与移动方向相反的摩擦力,摩擦力使脚支座和支撑腿发生一定的扭动,促使脚支座上不同摩擦系数的材料分别与工作面相接触,从而使脚支座产生不同的位移,最终实现驱动器的定向移动。该驱动器的正向移动工作原理示意图如图2所示:该驱动器第二脚支座和第四脚支座的左半侧部分分别为第二高摩擦系数材料和第四高摩擦系数材料,右半侧部分分别为第二低摩擦系数材料和第四低摩擦系数材料,当压电振子未通电时,驱动器呈自然状态,支撑腿和脚支座未发生扭动,如图2(a)所示;当第二压电振子和第三压电振子同时受同相电驱动产生凹变形时,带动第二脚支座和第四脚支座相互远离,同时工作平面产生的摩擦力使第二脚支座和第四脚支座的支撑腿和脚支座发生一定扭动,致使第二脚支座的第二高摩擦系数材料和第四脚支座的第四低摩擦系数材料与工作面接触,此时第四脚支座的滑移距离明显大于第二脚支座的滑移距离,如图2(b)所示;当第二压电振子和第三压电振子同时产生凸变形时,带动第二脚支座和第四脚支座相互靠近,同时工作平面产生的摩擦力使第二脚支座和第四脚支座的支撑腿和脚支座发生方向的扭动,致使第二脚支座的第二低摩擦系数材料和第四脚支座的第四高摩擦系数材料与工作面接触,此时第二脚支座的滑移距离明显大于第四脚支座的滑移距离,如图2(c)所示;当第二压电振子和第三压电振子再次回到平衡位置时完成一个工作循环,如图2(d)所示。在压电振子通电往复弯曲变形的一个周期内,带动第二脚支座和第四脚支座相互远离或相互靠近,当第二脚支座和第四脚支座相互远离时,第四脚支座发生较大的滑移,而当第二脚支座和第四脚支座相互靠近时,第二脚支座发生较大的滑移,因此在一个通电周期内驱动器会产生一个向右的步长。该驱动器的反向移动工作原理示意图如图3所示:该驱动器第一脚支座和第三脚支座的左半侧部分分别为第一低摩擦系数材料和第三低摩擦系数材料,右半侧部分分别为第一高摩擦系数材料和第三高低摩擦系数材料,当压电振子未通电时,驱动器呈自然状态,支撑腿和脚支座未发生扭动,如图3(a)所示;当第一压电振子和第二压电振子同时受同相电驱动产生凹变形时,带动第一脚支座和第三脚支座相互远离,同时工作平面产生的摩擦力使第一脚支座和第三脚支座的支撑腿和脚支座发生一定扭动,致使第一脚支座的第一低摩擦系数材料和第三脚支座的第三高摩擦系数材料与工作面接触,此时第一脚支座的滑移距离明显大于第三脚支座的滑移距离,如图3(b)所示;当第一压电振子和第二压电振子同时产生凸变形时,带动第一脚支座和第三脚支座相互靠近,同时工作平面产生的摩擦力使第一脚支座和第三脚支座的支撑腿和脚支座发生方向的扭动,致使第一脚支座的第一高摩擦系数材料和第三脚支座的第三低摩擦系数材料与工作面接触,此时第三脚支座的滑移距离明显大于第一脚支座的滑移距离,如图3(c)所示;当第一压电振子和第二压电振子再次回到平衡位置时完成一个工作循环,如图3(d)所示。在压电振子通电往复弯曲变形的一个周期内,带动第一脚支座和第三脚支座相互远离或相互靠近,当第一脚支座和第三脚支座相互远离时,第一脚支座发生较大的滑移,而当第一脚支座和第三脚支座相互靠近时,第三脚支座发生较大的滑移,因此在一个通电周期内驱动器会产生一个向左的步长。因此,当第二压电振子和第三压电振子受相同交变电压驱动时,该驱动器实现正向驱动;当第一压电振子和第二压电振子受相同交变电压驱动时,该驱动器实现反向驱动。本发明实现了双向驱动,且具有结构简单、维护成本低、对工作面的要求较低和延长驱动器中压电陶瓷的使用寿命的优点。

Claims (1)

1.一种多支撑双向压电驱动器,包括:第一压电振子(1)、第二压电振子(2)、第三压电振子(3)、第一支撑腿(4)、第二支撑腿(5)、第三支撑腿(6)和第四支撑腿(7),其特征在于还包括实现双向驱动的第一脚支座(8)、第二脚支座(9)、第三脚支座(10)和第四脚支座(11);其中所述第一压电振子(1)、第二压电振子(2)和第三压电振子(3)都由压电薄片材料粘贴在矩形弹性基体上构成,所述第一压电振子(1)、第二压电振子(2)与第三压电振子(3)依次连接,所述第一支撑腿(4)、第二支撑腿(5)、第三支撑腿(6)和第四支撑腿(7)为相同的矩形薄片构件且具有一定的弹性,所述第一支撑腿(4)一端布置在第一压电振子(1)下表面、另一端为自由端,所述第二支撑腿(5)一端连接在第一压电振子(1)和第二压电振子(2)之间的下表面、另一端为自由端,所述第三支撑腿(6)一端连接在第二压电振子(2)和第三压电振子(3)之间的下表面、另一端为自由端,所述第四支撑腿(7)一端连接在第三压电振子(3)下表面、另一端为自由端,所述第一脚支座(8)、第二脚支座(9)、第三脚支座(10)和第四脚支座(11)为结构、大小和材料完全相同的圆柱形构件且都由低摩擦系数材料和高摩擦系数材料复合而成,所述四支撑腿的自由端与四脚支座连接且脚支座相同摩擦系数材料相邻布置。
CN201810029486.XA 2018-01-12 2018-01-12 一种多支撑双向压电驱动器 Pending CN108075682A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810029486.XA CN108075682A (zh) 2018-01-12 2018-01-12 一种多支撑双向压电驱动器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810029486.XA CN108075682A (zh) 2018-01-12 2018-01-12 一种多支撑双向压电驱动器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108075682A true CN108075682A (zh) 2018-05-25

Family

ID=62156718

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810029486.XA Pending CN108075682A (zh) 2018-01-12 2018-01-12 一种多支撑双向压电驱动器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108075682A (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105846719A (zh) * 2016-06-12 2016-08-10 吉林大学 一种变阻尼压电驱动器
CN105871248A (zh) * 2016-06-12 2016-08-17 吉林大学 一种具有复合脚支座的定向驱动器
CN105915104A (zh) * 2016-06-12 2016-08-31 吉林大学 一种复合变阻尼定向驱动器
CN207766157U (zh) * 2018-01-12 2018-08-24 吉林大学 一种多支撑双向压电驱动器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105846719A (zh) * 2016-06-12 2016-08-10 吉林大学 一种变阻尼压电驱动器
CN105871248A (zh) * 2016-06-12 2016-08-17 吉林大学 一种具有复合脚支座的定向驱动器
CN105915104A (zh) * 2016-06-12 2016-08-31 吉林大学 一种复合变阻尼定向驱动器
CN207766157U (zh) * 2018-01-12 2018-08-24 吉林大学 一种多支撑双向压电驱动器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105871248B (zh) 一种具有复合脚支座的定向驱动器
CN105846713B (zh) 一种串联式压电定向驱动器
CN105846714B (zh) 一种步进压电驱动电机
CN207743899U (zh) 一种具有复合脚支座的双向驱动器
CN207766157U (zh) 一种多支撑双向压电驱动器
CN105915105B (zh) 一种惯性压电驱动器
CN105915104B (zh) 一种复合变阻尼定向驱动器
CN207801783U (zh) 一种新型软体压电驱动器
CN207743898U (zh) 一种多压电振子双向驱动器
CN105827147B (zh) 一种惯性压电驱动电机
CN205666769U (zh) 一种串联式压电定向驱动器
CN109889086A (zh) 一种三自由度压电驱动微纳操控机械臂及其激励方法
CN106059377B (zh) 一种步进压电驱动器
CN207743897U (zh) 一种双向压电驱动器
CN105846719B (zh) 一种变阻尼压电驱动器
CN207801784U (zh) 一种多支撑双向压电旋转驱动器
CN108075682A (zh) 一种多支撑双向压电驱动器
CN205666765U (zh) 一种具有复合脚支座的定向驱动器
CN108063563A (zh) 一种双向压电驱动器
CN207743900U (zh) 一种新型摩擦式直线压电驱动器
CN205666764U (zh) 一种步进压电驱动器
CN207801781U (zh) 一种具有复合脚支座的双向旋转驱动器
CN207801782U (zh) 一种多压电振子双向旋转驱动器
CN105846715B (zh) 一种变阻尼压电驱动电机
CN107959439A (zh) 一种具有复合脚支座的双向驱动器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination