CN108061971A - 一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统 - Google Patents

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周伟
赵树森
陈�峰
林学春
于海娟
张玲
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Abstract

本发明公开了一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，包括第一平凹非球面透镜和第二平凸非球面透镜，所述的第一平凹非球面透镜的第一面面型为平面，所述的第一平凹非球面透镜的第二面面型为非球面，所述的第二平凸非球面透镜的第一面面型为非球面，所述的第二平凸非球面透镜的第二面面型为平面，所述的第一平凹非球面透镜和第二平凸非球面透镜同轴等高，所述的第一平凹非球面透镜的第一面与第二平凸非球面透镜的第二面相互平行。本发明适用性强，易于移植，只需在原有准直光路系统中增设一个激光光束整形系统即可，且易于装配和调试，适合广泛地推广和使用。

Description

一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统
技术领域
本发明属于一种激光清洗技术领域，具体涉及一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统。
背景技术
传统工业清洗方法包括机械摩擦清洗法、化学腐蚀清洗法、液体固体喷射清洗法和高频超声清洗法，尽管它们在工业清洗行业得到了广泛的应用，但在我国环境保护法规要求越来越严格和高精密器件应用越来越广泛的情况下传统清洗方法的应用受到了很大的限制。
激光清洗技术是利用激光聚焦能量密度高的特点，使被其照射的表面污染物污染层瞬间气化或者剥离，从而脱离物体表面，达到清洗的目的。然而，如何真正做到无损清洗，一直是激光清洗的亟需解决的问题。现有技术中，激光清洗机的光路系统都是直接将激光光束聚焦成光斑来对工件进行清洗，没有考虑聚焦后的光斑能量分布不均匀的问题，导致激光清洗过程中无法真正做到无损清洗，一定程度上会损伤工件基材。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足提供一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，其适用性强，易于移植，只需在原有准直光路系统中增设一个激光光束整形系统即可，且易于装配和调试，适合广泛地推广和使用。
为实现上述技术目的，本发明采取的技术方案为：
一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，其中：包括第一平凹非球面透镜和第二平凸非球面透镜，所述的第一平凹非球面透镜的第一面面型为平面，所述的第一平凹非球面透镜的第二面面型为非球面，所述的第二平凸非球面透镜的第一面面型为非球面，所述的第二平凸非球面透镜的第二面面型为平面，所述的第一平凹非球面透镜和第二平凸非球面透镜同轴等高，所述的第一平凹非球面透镜的第一面与第二平凸非球面透镜的第二面相互平行。
为优化上述技术方案，采取的具体措施还包括：
上述的第一平凹非球面透镜的第二面型为凹弧面。
上述的第二平凸非球面透镜的第一面型为凸弧面。
上述的第一平凹非球面透镜位于第二平凸非球面透镜的左侧。
上述的第一平凹非球面透镜的左侧安装有光纤且光线位于第一平凹非球面透镜的轴线上。
本发明将高斯光束整形成平顶光束，达到无损清洗的目的。本发明通过第一、第二非球面透镜的组合，将激光光束高斯能量分布转换成平顶分布，清洗效果好，不会对工件基材造成损伤。
本发明的优点在于以下几点：适用性强，易于移植，只需在原有准直光路系统中增设一个激光光束整形系统即可，且易于装配和调试，适合广泛地推广和使用。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
其中的附图标记为：第一平凹非球面透镜1、第二平凸非球面透镜2。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作出进一步说明：
一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，其中：包括第一平凹非球面透镜1和第二平凸非球面透镜2，所述的第一平凹非球面透镜1的第一面面型为平面，所述的第一平凹非球面透镜1的第二面面型为非球面，所述的第二平凸非球面透镜2的第一面面型为非球面，所述的第二平凸非球面透镜2的第二面面型为平面，所述的第一平凹非球面透镜1和第二平凸非球面透镜2同轴等高，所述的第一平凹非球面透镜1的第一面与第二平凸非球面透镜2的第二面相互平行。
实施例中，第一平凹非球面透镜1的第二面型为凹弧面。
实施例中，第二平凸非球面透镜2的第一面型为凸弧面。
实施例中，第一平凹非球面透镜1位于第二平凸非球面透镜2的左侧。
实施例中，第一平凹非球面透镜1的左侧安装有光纤且光线位于第一平凹非球面透镜1的轴线上。
以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，应视为本发明的保护范围。

Claims (5)

1.一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，其特征在于：包括第一平凹非球面透镜(1)和第二平凸非球面透镜(2)，所述的第一平凹非球面透镜(1)的第一面面型为平面，所述的第一平凹非球面透镜(1)的第二面面型为非球面，所述的第二平凸非球面透镜(2)的第一面面型为非球面，所述的第二平凸非球面透镜(2)的第二面面型为平面，所述的第一平凹非球面透镜(1)和第二平凸非球面透镜(2)同轴等高，所述的第一平凹非球面透镜(1)的第一面与第二平凸非球面透镜(2)的第二面相互平行。
2.根据权利要求1所述的一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，其特征在于：所述的第一平凹非球面透镜(1)的第二面型为凹弧面。
3.根据权利要求1所述的一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，其特征在于：所述的第二平凸非球面透镜(2)的第一面型为凸弧面。
4.根据权利要求1所述的一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，其特征在于：所述的第一平凹非球面透镜(1)位于第二平凸非球面透镜(2)的左侧。
5.根据权利要求1所述的一种用于激光清洗系统防基材损伤的光束整形系统，其特征在于：所述的第一平凹非球面透镜(1)的左侧安装有光纤且光线位于第一平凹非球面透镜(1)的轴线上。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111229733A (zh) * 2020-01-08 2020-06-05 天津大学 一种纤维增强复合材料表面处理方法
CN111323926A (zh) * 2020-04-07 2020-06-23 中国科学院半导体研究所 高斯光束整形镜、光学系统及其应用
CN112255813A (zh) * 2020-11-06 2021-01-22 北京卓镭激光技术有限公司 一种小型紫外激光器扩束准直装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201287242Y (zh) * 2008-10-21 2009-08-12 东莞祺盛机械有限公司 激光光束整形装置
CN102681171A (zh) * 2012-05-17 2012-09-19 长春迪瑞医疗科技股份有限公司 一种用于白细胞分类计数仪的激光整形照明系统
CN202861625U (zh) * 2012-08-31 2013-04-10 四川汉能光伏有限公司 一种新型薄膜太阳电池激光刻蚀装置
CN105278011A (zh) * 2014-06-30 2016-01-27 中国人民解放军国防科学技术大学 一种光纤激光准直整形装置及其设计方法
CN205581428U (zh) * 2016-04-28 2016-09-14 武汉大学 一种高斯光束整形扩束系统
CN106168713A (zh) * 2016-09-06 2016-11-30 山东理工大学 一种用于高斯光束变换为平顶光束的双非球面透镜整形镜头
CN106443890A (zh) * 2016-12-12 2017-02-22 长春理工大学 一种基于非球面整形器的高效空间光至单模光纤耦合系统
CN106526820A (zh) * 2016-11-07 2017-03-22 长春理工大学 一种基于非球面整形镜的高发射效率空间激光通信天线
CN107309556A (zh) * 2016-04-14 2017-11-03 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光钻孔装置及方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201287242Y (zh) * 2008-10-21 2009-08-12 东莞祺盛机械有限公司 激光光束整形装置
CN102681171A (zh) * 2012-05-17 2012-09-19 长春迪瑞医疗科技股份有限公司 一种用于白细胞分类计数仪的激光整形照明系统
CN202861625U (zh) * 2012-08-31 2013-04-10 四川汉能光伏有限公司 一种新型薄膜太阳电池激光刻蚀装置
CN105278011A (zh) * 2014-06-30 2016-01-27 中国人民解放军国防科学技术大学 一种光纤激光准直整形装置及其设计方法
CN107309556A (zh) * 2016-04-14 2017-11-03 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光钻孔装置及方法
CN205581428U (zh) * 2016-04-28 2016-09-14 武汉大学 一种高斯光束整形扩束系统
CN106168713A (zh) * 2016-09-06 2016-11-30 山东理工大学 一种用于高斯光束变换为平顶光束的双非球面透镜整形镜头
CN106526820A (zh) * 2016-11-07 2017-03-22 长春理工大学 一种基于非球面整形镜的高发射效率空间激光通信天线
CN106443890A (zh) * 2016-12-12 2017-02-22 长春理工大学 一种基于非球面整形器的高效空间光至单模光纤耦合系统

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111229733A (zh) * 2020-01-08 2020-06-05 天津大学 一种纤维增强复合材料表面处理方法
CN111323926A (zh) * 2020-04-07 2020-06-23 中国科学院半导体研究所 高斯光束整形镜、光学系统及其应用
CN111323926B (zh) * 2020-04-07 2021-05-11 中国科学院半导体研究所 高斯光束整形镜、光学系统及其应用
CN112255813A (zh) * 2020-11-06 2021-01-22 北京卓镭激光技术有限公司 一种小型紫外激光器扩束准直装置

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