CN106180080A - 一种防损伤的激光清洗装置 - Google Patents

一种防损伤的激光清洗装置 Download PDF

Info

Publication number
CN106180080A
CN106180080A CN201610788325.XA CN201610788325A CN106180080A CN 106180080 A CN106180080 A CN 106180080A CN 201610788325 A CN201610788325 A CN 201610788325A CN 106180080 A CN106180080 A CN 106180080A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
unit
scanning galvanometer
antisitic defect
cleaner
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610788325.XA
Other languages
English (en)
Inventor
龚传波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201610788325.XA priority Critical patent/CN106180080A/zh
Publication of CN106180080A publication Critical patent/CN106180080A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0035Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
    • B08B7/0042Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

本发明涉及一种防损伤的激光清洗装置,包括激光器、光束整形系统、扫描振镜系统、聚焦系统和控制系统,由所述激光器出射的激光束依次通过所述光束整形系统和扫描振镜和聚焦系统聚焦在待清洗工件表面,所述控制系统控制所述激光器和扫描振镜系统实时动态调整激光束焦点位置以完成清洗工作;所述光束整形系统用于将入射的高斯光束先整形为平顶光束再进行匀束变换,使激光边缘更加锐利且光强更加均匀,使用经变换的激光束可清洗物体表面而不造成损伤;所述检偏单元可隔离被激光表面反射的激光,避免反射的激光损伤光学器件。

Description

一种防损伤的激光清洗装置
技术领域
本发明属于激光应用技术领域,涉及一种激光清洗设备,尤其涉及一种可无伤清洗物体表面的物体表面激光清洗装置。
背景技术
物体基材如物体模具、焊缝表面、车身外壳、轮船外壳、橡胶制品表面、塑料制品表面、飞机蒙皮等,作为工业清洗中常见的对象在实际应用中容易产生油污、锈层,残留油漆,胶水、灰尘等污染物,从而导致其表面粗糙度和力学性能变化,影响使用性能,因此在使用一段时间后或在表面预处理前都需要对其表面进行清洗。由于清洗对象、清洗污垢、清洗工艺和清洗要求的特殊性,决定了物体清洗有别于一般的化学清洗和软表面清洗。传统的物体清洗方法虽然种类较多,应用范围较广,但是都存在自身的局限性,如机械清洗方法无法满足高清洁度高效率的清洗要求,且容易损伤物体基底材料;而湿化学清洗方法容易导致环境污染,清洗效率和清洁度也很有限;超声波清洗方法对微米级的污物颗粒无能为力,清洗后工件的干燥也是一大难题。
随着激光技术的发展,出现了使用激光清洗物体表面的清洗设备,如中国专利文献CN201410378197.2公开的一种光纤激光清洗机,CN201420434451.1公开的一种便携式激光清洗机,CN201310648282.1公开的一种手持式激光清洗机的光学整型装置等,以上激光现有清洗设备都可以实现物体表面清洁,但是在实际清洗过程中物体表面产生黑点或者发生灼伤现象。因此需要设计一种无损清洗物体表面的激光清洗装置。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷和改进需求,本发明提供了一种物体表面污物的激光清洗装置,由此解决现有技术清洗过程中物体基材表面易被激光灼烧破坏的问题,从而获得接近于基材原始表面粗糙度及物体亮泽的清洗表面,达到理想的清洗效果和清洗效率。
本发明采取的技术方案为:
一种防损伤的激光清洗装置,包括激光器、光束整形系统、扫描振镜系统、聚焦系统和控制系统,由所述激光器出射的激光束依次通过所述光束整形系统和扫描振镜,再通过所述聚焦系统聚焦在待清洗工件表面,所述控制系统控制所述激光器和扫描振镜系统实时动态调整激光束焦点位置以完成清洗工作;所述光束整形系统包括扩束单元、平顶光束变换单元和匀束光束变换单元;所述扩束单元和平顶光束变换单元用于将入射的高斯光束整形为平顶光束;所述匀束光束变换单元用于将入射的激光束进行匀束。
优选地,所述平顶光束变换单元为衍射光学元件(Diffraction OpticalElement, DOE),由一块平顶镜片构成。
优选地,所述匀束光束变换单元为DOE,由一组匀束镜片构成。
优选地,所述光束整形系统还包括检偏单元,所述检偏单元用于将待清洗工件表面反射的激光与所述激光器隔离;进一步优选地,所述检偏单元由平行放置的二正交偏振镜片构成;另一进一步优选地,所述检偏单元由平行放置一偏振镜片和一反射镜片构成。
作为前述技术方案的优选,所述聚焦系统包括可更换的聚焦镜头。
作为前述技术方案的优选,所述聚焦系统为变焦透镜,所述变焦透镜设置于所述扫描振镜末端,随所述扫描振镜转动。
本发明技术方案的有益效果为:
本发明采用几组光学变换系统将高斯波形的激光束变成平顶光束波形,再经过匀束变换使激光边缘更加锐利且光强更加均匀,使用经变换的激光光束可清洗物体表面而不造成损伤;设置检偏单元隔离被激光表面反射的激光,避免反射激光进入激光器损伤光学器件。
附图说明
图1为本发明实施例物体表面激光清洗装置的结构框图;
图2为本发明实施例激光清洗装置的光束整形系统结构框图;
图3为本发明实施例激光束变换示意图。
其中:
1.激光器;2.光束整形系统;21.扩束单元;22.平顶光束变换单元;23.匀束光束变换单元;24.检偏单元;3.扫描振镜;4.聚集系统;5.控制系统;6.待清洗工件;L.激光光路。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。
如图1所示,本实施例的一种防损伤的激光清洗装置,包括激光器1、光束整形系统2、扫描振镜3、聚焦系统4和控制系统5;
光束整形系统2设置于激光光路L中,用于对激光光束进行整形,如图2所示,包括扩束单元21、平顶光束变换单元22、匀束光束变换单元23和检偏单元24;如图3所示,激光依次通过扩束单元21和平顶光束变换单元22,原来高斯波形的激光束整形为平顶光束波形,再通过匀束光束变换单元23,平顶光束经匀束变换使光强更加均匀,经变换的激光束边缘更加锐利,便于在激光清洗过程中精确控制激光烧灼范围,从而避免损伤物体基材;作为一种实施方式,平顶光束变换单元22由一块DOE平顶镜片构成,匀束光束变换单元23由一组DOE匀束镜片构成;检偏单元10用以防止待清洗工件6表面反射的激光光路L逆向的激光对光学器件造成损伤,可以由平行放置的二正交偏振镜片构成,也可以由平行放置的一偏振镜片和一反射镜片构成。
扫描振镜3在控制系统5控制下按照清洗要求转动,调整激光焦点位置。
聚焦系统4设置于所述扫描振镜3的出射光路上,可随扫描振镜3转动;聚焦系统4可以使激光聚焦成很小的光斑照射在待清洗工件6表面,可以消除色差,同时也能够消除球差、慧差等像差,保证了当激光束焦点落在工件表面时在工件表面所成的像在一定范围内仍然清晰可见,从而能实现精密清洗;所述聚焦系统4可以设置离焦量,当待清洗工件6表面聚焦的激光可能对物体基材造成损伤时,可以通过调整离焦量,使激光在工件表面偏离一定距离,保证既可以完成清洗工作,又不致损伤工件。
作为一种实施方式,聚焦系统4包括可移动镜头,所述可移动镜头可以根据待清洗工件6的清洗幅面选择聚焦镜头;因为镜头越小,同等清洗情况下所需的激光功率越小,成本越低,在允许的情况下更换镜头,可使清洗成本更低。
作为一种实施方式,所述聚焦系统4使用设置在扫描振镜3末端的变焦透镜,所述变焦透镜与扫描振镜3合成一体可使清洗设备更为简化便捷,利于马路、船舶等需要便携式清洗设备的场合。
控制系统5通过控制激光器1和扫描振镜3,实时调整激光束焦点位置并完成清洗工作。
本实施例激光清洗装置工作时,激光器1发射激光束,激光束依次通过所述光束整形系统2、扫描振镜3和聚焦系统4直至到达待清洗工件6;具体的,激光束自激光器1出射,经过光学整形系统2内的扩束单元21、平顶光束变换单元22、匀束光束变换单元23和检偏单元24,再经过扫描振镜3和聚焦系统4到达待清洗工件6表面;所述扫描振镜3在所述控制系统5的作用下,沿着待清洗工件6的待清洗表面扫描。
上述各实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
应理解,上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于供本领域技术人员了解本发明的内容并据以实施,并非具体实施方式的穷举,并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围,其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (8)

1.一种防损伤的激光清洗装置,包括激光器(1)、光束整形系统(2)、扫描振镜系统(3)、聚焦系统(4)和控制系统(5),由所述激光器(1)出射的激光束依次通过所述光束整形系统(2)和扫描振镜(3),再通过所述聚焦系统(4)聚焦在待清洗工件(6)表面,所述控制系统(5)控制所述激光器(1)和扫描振镜系统(3)实时动态调整激光束焦点位置以完成清洗工作;其特征在于:
所述光束整形系统(2)包括扩束单元(21)、平顶光束变换单元(22)和匀束光束变换单元(23);所述扩束单元(21)和平顶光束变换单元(22)用于将入射的高斯光束整形为平顶光束;所述匀束光束变换单元(23)用于将入射的激光束进行匀束。
2.根据权利要求1所述的一种防损伤的激光清洗装置,其特征在于,所述平顶光束变换单元(22)为衍射光学元件,由一块平顶镜片构成。
3.根据权利要求1所述的一种防损伤的激光清洗装置,其特征在于,所述匀束光束变换单元(23)为衍射光学元件,由一组匀束镜片构成。
4.根据权利要求1所述的一种防损伤的激光清洗装置,其特征在于,所述光束整形系统(2)还包括检偏单元(10),所述检偏单元(10)用于将待清洗工件(6)表面反射的激光与所述激光器(1)隔离。
5.根据权利要求4所述的一种防损伤的激光清洗装置,其特征在于,所述检偏单元(10)由平行放置的二正交偏振镜片构成。
6.根据权利要求4所述的一种防损伤的激光清洗装置,其特征在于,所述检偏单元(10)由平行放置一偏振镜片和一反射镜片构成。
7.根据权利要求1至6任一项所述的一种防损伤的激光清洗装置,其特征在于,所述聚焦系统(4)包括可更换的聚焦镜头。
8.根据权利要求1至6任一项所述的一种防损伤的激光清洗装置,其特征在于,所述聚焦系统(4)为变焦透镜,所述变焦透镜设置于所述扫描振镜(3)末端,随所述扫描振镜(3)转动。
CN201610788325.XA 2016-08-31 2016-08-31 一种防损伤的激光清洗装置 Pending CN106180080A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610788325.XA CN106180080A (zh) 2016-08-31 2016-08-31 一种防损伤的激光清洗装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610788325.XA CN106180080A (zh) 2016-08-31 2016-08-31 一种防损伤的激光清洗装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106180080A true CN106180080A (zh) 2016-12-07

Family

ID=58086960

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610788325.XA Pending CN106180080A (zh) 2016-08-31 2016-08-31 一种防损伤的激光清洗装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106180080A (zh)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106873124A (zh) * 2016-12-27 2017-06-20 广东工业大学 一种自动调节焦距的方法
CN107309222A (zh) * 2017-08-25 2017-11-03 济南高能清扬激光清洗有限公司 一种长焦深激光清洗头装置及清洗方法
CN107321721A (zh) * 2017-08-28 2017-11-07 深圳光韵达光电科技股份有限公司 一种smt钢网清洗装置及清洗方法
CN108098148A (zh) * 2017-12-28 2018-06-01 北京工业大学 一种激光清洗装置
CN108422082A (zh) * 2017-02-15 2018-08-21 南京帝耐激光科技有限公司 激光加工设备、激光加工方法及其应用
CN110560432A (zh) * 2019-10-23 2019-12-13 南京先进激光技术研究院 一种基于同步并行加工的激光清洗装置及方法
CN111229733A (zh) * 2020-01-08 2020-06-05 天津大学 一种纤维增强复合材料表面处理方法
CN111571003A (zh) * 2020-05-20 2020-08-25 北京兆维科技开发有限公司 一种用于修复柔性oled显示器件缺陷的装置
CN111822849A (zh) * 2019-04-22 2020-10-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 激光处理系统及处理方法
CN112355481A (zh) * 2020-10-30 2021-02-12 广西壮族自治区特种设备检验研究院 一种钢件表面激光发蓝处理方法
CN112605068A (zh) * 2020-12-15 2021-04-06 湖南大学 一种耐辐照可变焦激光清洗装置及使用方法
CN113102388A (zh) * 2021-03-26 2021-07-13 国网上海市电力公司 一种电力设备的激光除污设备
CN113857158A (zh) * 2021-11-02 2021-12-31 广州汉马自动化控制设备有限公司 一种激光表面清洗机
CN115365231A (zh) * 2022-07-04 2022-11-22 深圳华工新能源装备有限公司 锂离子电池极片清洗方法和清洗装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5470154A (en) * 1991-04-18 1995-11-28 Osaka Sanso Kogyo Ltd. Method of cleaning the reflector mirror in an optical dew point meter and an optical dew point meter equipped with a cleaning device
CN201223863Y (zh) * 2007-09-30 2009-04-22 南开大学 窄脉宽激光自动除污机
CN201903697U (zh) * 2010-09-17 2011-07-20 北京工业大学 一种输出为均匀线光斑的激光光束变换整形器
CN103955061A (zh) * 2014-04-22 2014-07-30 北京航天控制仪器研究所 一种激光清洗机的均匀光斑面扫描装置
WO2015180361A1 (zh) * 2014-05-30 2015-12-03 宁德新能源科技有限公司 锂离子电池极片涂层清洗装置
CN105583200A (zh) * 2016-02-01 2016-05-18 龚传波 一种激光清洗设备
CN206392520U (zh) * 2016-08-31 2017-08-11 龚传波 一种防损伤的激光清洗装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5470154A (en) * 1991-04-18 1995-11-28 Osaka Sanso Kogyo Ltd. Method of cleaning the reflector mirror in an optical dew point meter and an optical dew point meter equipped with a cleaning device
CN201223863Y (zh) * 2007-09-30 2009-04-22 南开大学 窄脉宽激光自动除污机
CN201903697U (zh) * 2010-09-17 2011-07-20 北京工业大学 一种输出为均匀线光斑的激光光束变换整形器
CN103955061A (zh) * 2014-04-22 2014-07-30 北京航天控制仪器研究所 一种激光清洗机的均匀光斑面扫描装置
WO2015180361A1 (zh) * 2014-05-30 2015-12-03 宁德新能源科技有限公司 锂离子电池极片涂层清洗装置
CN105583200A (zh) * 2016-02-01 2016-05-18 龚传波 一种激光清洗设备
CN206392520U (zh) * 2016-08-31 2017-08-11 龚传波 一种防损伤的激光清洗装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106873124A (zh) * 2016-12-27 2017-06-20 广东工业大学 一种自动调节焦距的方法
CN108422082A (zh) * 2017-02-15 2018-08-21 南京帝耐激光科技有限公司 激光加工设备、激光加工方法及其应用
CN107309222A (zh) * 2017-08-25 2017-11-03 济南高能清扬激光清洗有限公司 一种长焦深激光清洗头装置及清洗方法
CN107321721A (zh) * 2017-08-28 2017-11-07 深圳光韵达光电科技股份有限公司 一种smt钢网清洗装置及清洗方法
CN108098148A (zh) * 2017-12-28 2018-06-01 北京工业大学 一种激光清洗装置
CN111822849A (zh) * 2019-04-22 2020-10-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 激光处理系统及处理方法
CN111822849B (zh) * 2019-04-22 2022-07-19 大族激光科技产业集团股份有限公司 激光处理系统及处理方法
CN110560432A (zh) * 2019-10-23 2019-12-13 南京先进激光技术研究院 一种基于同步并行加工的激光清洗装置及方法
CN111229733A (zh) * 2020-01-08 2020-06-05 天津大学 一种纤维增强复合材料表面处理方法
CN111571003A (zh) * 2020-05-20 2020-08-25 北京兆维科技开发有限公司 一种用于修复柔性oled显示器件缺陷的装置
CN112355481A (zh) * 2020-10-30 2021-02-12 广西壮族自治区特种设备检验研究院 一种钢件表面激光发蓝处理方法
CN112605068A (zh) * 2020-12-15 2021-04-06 湖南大学 一种耐辐照可变焦激光清洗装置及使用方法
CN113102388A (zh) * 2021-03-26 2021-07-13 国网上海市电力公司 一种电力设备的激光除污设备
CN113857158A (zh) * 2021-11-02 2021-12-31 广州汉马自动化控制设备有限公司 一种激光表面清洗机
CN115365231A (zh) * 2022-07-04 2022-11-22 深圳华工新能源装备有限公司 锂离子电池极片清洗方法和清洗装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106180080A (zh) 一种防损伤的激光清洗装置
CN206392520U (zh) 一种防损伤的激光清洗装置
CN111458776B (zh) 一种飞秒光丝干涉直写啁啾体光栅制备方法及装置
CN205518834U (zh) 一种激光清洗设备
CN112859538B (zh) 一种基于声光偏转器的双光子聚合激光直写加工系统
CN105583200A (zh) 一种激光清洗设备
CN105215007A (zh) 物体表面污染物清洗用的光路系统
CN104959349A (zh) 激光清洗装置
CN101821659A (zh) 色差共聚焦传感器
CN111940421B (zh) 一种高效激光清洗装置及方法
CN107065155A (zh) 一种激光清洗用可变焦光学单元及激光清洗装置
CN204746993U (zh) 激光清洗装置
CN107309222A (zh) 一种长焦深激光清洗头装置及清洗方法
CN106908946A (zh) 一种简化的双光束光镊系统
CN108627982A (zh) 光学系统及其光学装置
CN111571005A (zh) 可切换光路的激光冲击强化系统及其方法
CN106773025A (zh) 调焦镜头及振镜式激光扫描系统
KR102242926B1 (ko) 웨이퍼 검사를 위한 렌즈 어레이 기반 조명
CN105772446B (zh) 一种适于标准件原材料的清洗装置及其方法
CN109557675B (zh) 基于非球面镜像差效应的长焦深激光光束均匀化光学系统
CN104526160B (zh) 一种激光加工方法及激光加工系统
CN216485792U (zh) 一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置
CN205868979U (zh) 一种适于标准件原材料的清洗装置
CN212665191U (zh) 可切换光路的激光冲击强化系统
CN113960783A (zh) 一种基于平凸透镜的平顶光整形激光扫描装置及工作方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20161207