CN1080402A - 干涉法自动调焦系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种干涉法自动调焦系统,它包括
光源[1]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、接收面[13]、微
机[16]、微动调焦机构[17],所述光源[1]采用激光管,
扩束镜[2]置于激光管[1]和准直镜[3]之间,来自准直
镜的光束经分束器[10]反射或透射后,到达分束器
[9],被分为两束光,一束透过分束器[9],经反射镜[8]
由原光路返回;另一束经分束器[9],反射后透过物镜
[6]入射到反射面[7]上,再经物镜[6]、分束器[9]返回,
上述返回的两束光形成干涉并可在接收面[13]上接
收。
Description
本发明涉及光学元件,更具体地说,本发明是关于激光干涉法自动调焦系统的。
随着微电子技术的迅速发展,对调焦技术的应用日益扩大。目前的调焦技术很多,按其原理可大致分为两类,一类为光电调焦,另一类为气动调焦。
1986年第1期的《光学仪器》杂志上公开了“轮廓光电自动调焦系统”一文,该文介绍了一种自动调焦方案。该方案的主要内容是:光源通过聚光镜以平行光照明轮廓分划板,通过反光镜、物镜,经硅片反射,成像于物镜的物面上,然后通过10倍物镜,经振子将直流信号转变成交流信号,再成像在光电头的接收面上,通过微机和微动调焦机构实现自动调焦。上述技术方案的不足之处是,精度较差,对光电信号处理比较复杂。
本发明的目的是,提供一种利用激光干涉原理设计的自动调焦系统,该系统精度高,灵敏度好,对光电信号处理较为简单。
本发明的自动调焦系统,包括电源[1]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、接收面[13]、微机[16]、微动调焦机构[17],所述光源[1]采用激光管,扩束器[2]设置于激光管[1]和准直镜[3]之间;来自准直镜[3]的平行光束经分束器[10]反射或透射后到达分束器[9],经分束器[9]分为两束平行光,一束透过分束器[9],经反射镜[8]由原光路返回;另一束经分束器[9]反射后透过物镜[6],入射到反射面[7]上,再经物镜[6]、分束器[9]返回;上述返回的两束光经过分束器[10]后到达接收面[13]。
在分束器[10]与接收面[13]之间还可设置透镜[11]。在透镜[11]和接收面[13]之间,或者在扩束镜[2]和准直镜[3]之间还可设
置针孔滤波器[12];在接收面[13]之前必要时也可设置分束器[14]和接收面[15]。
下面结合附图对本发明作进一步的描述。
图1和图2是本发明自动调焦系统的光路图,示出两种设计方案。
在图中,[1]为激光管,可采用氦-氖激光器作为光源。[2]为扩束镜,[3]为准直镜,[4]为标板,[5]为辅助物镜,[6]为物镜,[7]为反射面,[8]为反射镜,[9]和[10]为分束器,[11]为透镜,[12]为针孔滤波器,[13]为接收面,[14]为分束器,[15]为接收面,[16]为微机,[17]为微动调焦机构。
标板[4]、辅助物镜[5]、物镜[6]和反射面[7]组成需要调焦的主光路,若[7]为反射面(像面)时,则[4]为标板(物面)。反之也可以是[7]为物面,[4]为像面。扩束镜[2]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、反射镜[8]、分束器[9]和[10]组成了干涉光路。
调焦时,激光管[1]所发出的激光束,经扩束镜[2]扩束,通过准直镜[3]产生平行的激光束,经分束器[10]反射后偏转90°角传播,或者经分束器[10]透射后传播,在分束器[9]处分为两束光,一束光透过分束器[9]经反射镜[8]反射后沿原光路返回,再经过分束器[10]入射到接收面[13]成为参考光。接收面[13]可由光电接收器件或取景屏构成。另一束光经分束器[9]反射,偏转90°角,传输到物镜[6]聚焦成像在反射面[7]上,经反射面[7]反射后沿原光路返回,再经分束器[9]反射偏转90°角,形成物光与参考光相干涉,在接收面[13]上可接收到干涉条纹。干涉条纹的形状与调焦状态有关。所呈现的干涉条纹数反映出光学系统调焦的精确数量,一个干涉条纹表示离焦量为半个波长。为了实现自动调焦,首先把光干涉条纹通过光电接收器件转换成电信号,然后经过数字图像处理,得出与调焦相关的量。离焦时,干涉图为牛顿环状的亮暗相间的一系列同心环。当像面趋近物镜[6]焦面时,干涉环半径和相邻环间距逐渐变大,变宽,像面正好位于焦面时,干涉环消失,视场
亮度变成均匀的。
根据上述干涉条纹变化情况,就可方便地对主光路的调焦状态进行判读。这种判读既可在取景屏上由人眼进行,也可由微机通过光电接收器件和微动自动调焦机构自动进行。
必要时,还可设置透镜[11],用以控制图形视场大小,可使光束在焦点上滤波。若增设针孔滤波器[12],有利于去掉高频散斑。
还可设置分束器[14],用于把干涉光束分成两束接收光学图形,分别在接收面[13]和[15]上被接收,可对调焦状态进行监视。
下面给出一个实施例,以便对本发明作进一步了解。
光源[1]采用小型的氦-氖激光管。扩束镜[2]采用25倍显微物镜。准直镜[3]的焦距为156毫米。辅助物镜[5]的焦距为156毫米。物镜[6]的焦距为6.25毫米。分束器[9]的透反比为4∶6。分束器[10]和[14]的透反比均为5∶5。透镜[11]的焦距为80毫米。针孔滤波器[12]的直径为100微米。接收面[13]和[15]分别为512×1线阵CCD和取景屏。微机[16]可以是通用的计算机系统,也可以是专用的自动调焦识别、处理和控制电路。微动调焦机构[17]采用步进电机和微调机构。
本发明可广泛应用于各种照像摄影系统、显微缩排与照像系统、微电子工业中的照像制版系统、机器人视觉系统等领域中。
本发明的自动调焦系统与现有技术相比有下列积极效果:
1.精度高,调焦步进值为0.10微米,调焦误差小于0.22微米。
2.调节简便,易于识别。有目视监视部件,可对调焦状态进行监视。
3.结构简单,制作方便。
4.通用性强,本系统可以和任何要求调焦的光学系统组合,构成一个新的干涉调焦系统。
Claims (4)
1、一种干涉法自动调焦系统,包括光源[1]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、接收面[13]、微机[16]、微动调焦机构[17],其特征是,所述光源[1]采用激光管,扩束镜[2]设置于激光管[1]和准直镜[3]之间;来自准直镜[3]的平行光束经分束器[10]反射或透射后到达分束器[9],经分束器[9]分为两束平行光,一束透过分束器[9]经反射镜[8]由原光路返回,另一束经分束器[9]反射后透过物镜[6]入射到反射面[7]上,再经物镜[6]、分束器[9]返回;上述返回的两束光经过分束器[10]后到达接收面[13]。
2、根据权利要求1所述的调焦系统,其特征是,在分束器[10]与接收面[13]之间设置透镜[11]。
3、根据权利要求2所述的调焦系统,其特征是,在透镜[11]和接收面[13]之间,或者在扩束镜[2]和准直镜[3]之间设置针孔滤波器[12]。
4、根据权利要求1~3所述的调焦系统,其特征是,在接收面[13]之前设置分束器[14]和接收面[15]。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
CN 92104686 CN1080402A (zh) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 干涉法自动调焦系统 |
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CN 92104686 CN1080402A (zh) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 干涉法自动调焦系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN1080402A true CN1080402A (zh) | 1994-01-05 |
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ID=4940927
Family Applications (1)
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CN 92104686 Pending CN1080402A (zh) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 干涉法自动调焦系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN1080402A (zh) |
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-
1992
- 1992-06-18 CN CN 92104686 patent/CN1080402A/zh active Pending
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C01 | Deemed withdrawal of patent application (patent law 1993) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |