CN2127178Y - 激光干涉调焦装置 - Google Patents
激光干涉调焦装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2127178Y CN2127178Y CN 92224920 CN92224920U CN2127178Y CN 2127178 Y CN2127178 Y CN 2127178Y CN 92224920 CN92224920 CN 92224920 CN 92224920 U CN92224920 U CN 92224920U CN 2127178 Y CN2127178 Y CN 2127178Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- beam splitter
- receiving plane
- lens
- collimating mirror
- object lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种激光干涉调焦装置,它包
括光源(1)、准直镜(3)、物镜(6)、反射面(7)、接收面
(13),所述光源(1)采用激光管,扩束镜(2)置于激光
管(1)和准直镜(3)之间,来自准直镜的光束经分束器
(10)反射或透射后,到达分束器(9),被分为两束光,
一束透过分束器(9),经反射镜(8)由原光路返回;另
一束经分束器(9),反射后透过物镜(6)入射到反射面
(7)上,再经物镜(6)、分束器(9)返回,上述返回的两
束光形成干涉并可在接收面(13)上接收。
Description
本实用新型涉及光学元件,更具体地说,本实用新型是关于激光干涉调焦装置的。
随着微电子技术的迅速发展,对调焦技术的应用日益扩大。目前的调焦技术很多,按其原理可大致分为两类,一类为光电调焦,另一类为气动调焦。
1986年第1期的《光学仪器》杂志上公开了“轮廓光电自动调焦系统”一文,该文介绍了一种调焦方案。该方案的主要内容是:光源通过聚光镜以平行光照明轮廓分划板,通过反光镜、物镜,经硅片反射,成像于物镜的物面上,然后通过10倍物镜,经振子将直流信号转变成交流信号,再成像在光电头的接收面上。上述技术方案的不足之处是,精度较差,对光电信号处理比较复杂。
本实用新型的目的是,提供一种利用激光干涉原理设计的调焦装置,该装置精度高,灵敏度好,对光电信号处理较为简单。
本实用新型的调焦装置,包括电源[1]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、接收面[13],所述光源[1]采用激光管,扩束器[2]设置于激光管[1]和准直镜[3]之间;来自准直镜[3]的平行光束经分束器[10]反射或透射后到达分束器[9],经分束器[9]分为两束平行光,一束透过分束器[9],经反射镜[8]由原光路返回;另一束经分束器[9]反射后透过物镜[6],入射到反射面[7]上,再经物镜[6]、分束器[9]返回;上述返回的两束光经过分束器[10]后到达接收面[13]。
在分束器[10]与接收面[13]之间还可设置透镜[11]。在透镜[11]和接收面[13]之间,或者在扩束镜[2]和准直镜[3]之间还可设置针孔滤波器[12];在接收面[13]之前必要时也可设置分束器[14]和接收面[15]。
下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。
图1和图2是本实用新型调焦装置的光路图,示出两种设计方案。
在图中,[1]为激光管,可采用氦一氖激光器作为光源。[2]为扩束镜,[3]为准直镜,[4]为标板,[5]为辅助物镜,[6]为物镜,[7]为反射面,[8]为反射镜,[9]和[10]为分束器,[11]为透镜,[12]为针孔滤波器,[13]为接收面,[14]为分束器,[15]为接收面。
标板[4]、辅助物镜[5]、物镜[6]和反射面[7]组成需要调焦的主光路,若[7]为反射面(像面)时,则[4]为标板(物面)。反之也可以是[7]为物面,[4]为像面。扩束镜[2]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、反射镜[8]、分束器[9]和[10]组成了干涉光路。
调焦时,激光管[1]所发出的激光束,经扩束镜[2]扩束,通过准直镜[3]产生平行的激光束,经分束器[10]反射后偏转90°角传播,或者经分束器[10]透射后传播,在分束器[9]处分为两束光,一束光透过分束器[9]经反射镜[8]反射后沿原光路返回,再经过分束器[10]入射到接收面[13]成为参考光。接收面[13]可由光电接收器件或取景屏构成。另一束光经分束器[9]反射,偏转90°角,传输到物镜[6]聚焦成像在反射面[7]上,经反射面[7]反射后沿原光路返回,再经分束器[9]反射偏转90°角,形成物光与参考光相干涉,在接收面[13]上可接收到干涉条纹。干涉条纹的形状与调焦状态有关。离焦时,干涉图为牛顿环状的亮暗相间的一系列同心环。当像面趋近物镜[6]焦面时,干涉环半径和相邻环间距逐渐变大,变宽,像面正好位于焦面时,干涉环消失,视场亮度变成均匀的。
根据上述干涉条纹变化情况,就可方便地对主光路的调焦状态进行判读。这种判读既可在取景屏上由人眼进行,也可由微机通过光电转换自动进行。
必要时,还可设置透镜[11],用以控制图形视场大小,可使光束在焦点上滤波。若增设针孔滤波器[12],有利于去掉高频散斑。
还可设置分束器[14],用于把干涉光束分成两束接收光学图形,分别在接收面[13]和[15]上被接收,可对调焦状态进行监视。
下面给出一个实施例,以便对本实用新型作进一步了解。
光源[1]采用小型的氦一氖激光管。扩束镜[2]采用25倍显微物镜。准直镜[3]的焦距为156毫米。辅助物镜[5]的焦距为156毫米。物镜[6]的焦距为6.25毫米。分束器[9]的透反比为4:6。分束器[10]和[14]的透反比均为5:5。透镜[11]的焦距为80毫米。针孔滤波器[12]的直径为100微米。接收面[13]和[15]分别为512×1线阵CCD和取景屏。
本实用新型可广泛应用于各种照像摄影系统、显微缩排与照像系统、微电子工业中的照像制版系统、机器人视觉系统等领域中。
本实用新型的调焦装置与现有技术相比有下列积极效果:
1.精度高,调焦步进值为0.10微米,调焦误差小于0.22微米。
2.调节简便,易于识别。有目视监视部件,可对调焦状态进行监视。
3.结构简单,制作方便。
4.通用性强,本装置可以和任何要求调焦的光学系统组合,构成一个新的干涉调焦系统。
Claims (4)
1、一种激光干涉调焦装置,包括光源[1]、准直镜[3]、物镜[6]、反射面[7]、接收面[13],其特征是,所述光源[1]采用激光管,扩束镜[2]设置于激光管[1]和准直镜[3]之间;来自准直镜[3]的平行光束经分束器[10]反射或透射后到达分束器[9],经分束器[9]分为两束平行光,一束透过分束器[9]经反射镜[8]由原光路返回,另一束经分束器[9]反射后透过物镜[6]入射到反射面[7]上,再经物镜[6]、分束器[9]返回;上述返回的两束光经过分束器[10]后到达接收面[13]。
2、根据权利要求1所述的调焦装置,其特征是,在分束器[10]与接收面[13]之间设置透镜[11]。
3、根据权利要求2所述的调焦装置,其特征是,在透镜[11]和接收面[13]之间,或者在扩束镜[2]和准直镜[3]之间设置针孔滤波器[12]。
4、根据权利要求1或2或3所述的调焦装置,其特征是,在接收面[13]之前设置分束器[14]和接收面[15]。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 92224920 CN2127178Y (zh) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 激光干涉调焦装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 92224920 CN2127178Y (zh) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 激光干涉调焦装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN2127178Y true CN2127178Y (zh) | 1993-02-17 |
Family
ID=33769897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 92224920 Expired - Fee Related CN2127178Y (zh) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 激光干涉调焦装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN2127178Y (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101351734B (zh) * | 2005-12-30 | 2011-12-14 | 数据逻辑公开有限公司 | 用于聚焦激光束的设备和方法 |
CN103293130A (zh) * | 2013-05-23 | 2013-09-11 | 山西大学 | 一种数字式瑞利干涉仪 |
-
1992
- 1992-06-18 CN CN 92224920 patent/CN2127178Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101351734B (zh) * | 2005-12-30 | 2011-12-14 | 数据逻辑公开有限公司 | 用于聚焦激光束的设备和方法 |
CN103293130A (zh) * | 2013-05-23 | 2013-09-11 | 山西大学 | 一种数字式瑞利干涉仪 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2206212A1 (en) | Phase shifting diffraction interferometer | |
JPS61120110A (ja) | 明視野及び暗視野顕微鏡照明装置 | |
KR970060907A (ko) | 광화각 액정 프로젝션 렌즈 시스템 | |
CN2127178Y (zh) | 激光干涉调焦装置 | |
JPH08233742A (ja) | 曇った半透明材料の照明方法及び装置 | |
CN109194851A (zh) | 一种小型化超短焦视觉成像系统 | |
CN1080402A (zh) | 干涉法自动调焦系统 | |
CN107015385A (zh) | 一种显示面板的检测方法和检测装置 | |
EP0372241B1 (de) | Optikanordnung zur dreidimensionalen Formerfassung | |
CN201757320U (zh) | 一种光学照明系统及非接触式测量装置 | |
CN108848295A (zh) | 一种小型化超短焦视觉成像方法 | |
JPS5518664A (en) | Information mark display device | |
CN100419504C (zh) | 光学装置的制造装置、其制造方法以及投影机 | |
GB2068584A (en) | Reticule For Camera Viewfinder | |
JPS57197511A (en) | Focusing device for binocular stereoscopic microscope | |
CN2456011Y (zh) | 均匀高效小相对孔径的照明光学系统 | |
Mersch | Overview of machine vision lighting techniques | |
CN109211117A (zh) | 线宽测量系统和线宽测量装置 | |
CN216846141U (zh) | 一种平行度检测装置 | |
SU1695241A1 (ru) | Объектив устройства дл просмотра дерной фотоэмульсии | |
CN109068034B (zh) | 一种数码旁轴结构、相机及黄斑对焦方法 | |
Zhang et al. | High-speed phase-shifting profilometry | |
CN100416335C (zh) | 光学装置的制造设备及制造方法 | |
SU1138643A1 (ru) | Устройство дл контрол расположени предмета относительно исходной оси | |
GENCO et al. | Method of measuring optical properties of a transparency[Patent Application] |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |