CN108037646A - 显影单元及刻蚀设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种显影单元及刻蚀设备。上述的显影单元包括壳体、主管道、喷淋管路、电磁阀、喷淋装置、排液管道以及快速供液管道，壳体具有显影槽；主管道的一端伸入壳体内并与显影槽连通，主管道用于供给显影液；喷淋管路包括相连通的喷淋管道主体和支管道，喷淋管道主体与主管道连通；电磁阀设置于支管道上；喷淋装置与支管道的背离喷淋管路主体的端部连通，喷淋装置设置于壳体上，且喷淋装置位于显影槽内，喷淋装置用于在清洗显影槽时喷洒显影液；排液管道与显影槽连通。排液管道用于在清洗显影槽之后排出显影槽内的显影液，使显影液快速排出壳体之外，整个清洗过程中无需打开密封盖，避免了显影单元存在严重的质量和安全隐患的问题。

Description

显影单元及刻蚀设备

技术领域

本发明涉及平板显示制程的技术领域，特别是涉及一种显影单元及刻蚀设备。

背景技术

在平板显示产品的制程中，随着工艺层数的增加和产品精度的提高，光刻制程相比过去显得越发重要。在光刻制程的过程中，显影单元作为刻蚀设备的主要单元之一，将曝光区域或未曝光区域进行溶解，以保留另外区域，从而将图案显现出来。显影单元在显影制程中需循环使用显影液，即显影液在将基板上部分光刻胶溶解后回流到显影槽。随着显影液的使用次数的增加，显影液中光刻胶的成分升高，久而久之，显影槽的四周的内壁会残留反应后的光刻胶。由于残留的光刻胶会影响显影槽内的洁净度，严重时会直接污染产品，使显影槽需定期清洁。

由于显影单元的显影槽为密封槽，在清洁显影槽时需打开密封盖，多次打开显影槽会导致显影槽的密封性越来越差，从而使显影单元存在严重的质量和安全隐患；当清洁完显影槽的内壁之后，为了防止清洁液或其他杂质残留在显影槽内，需多次使用显影液冲洗显影槽，且显影单元在清洗之后需等显影液缓慢增添至显影槽内才能正常工作，使显影单元的清洗导致显影液浪费较大且所需时间较长，使显影槽的清洗效率较低。

发明内容

基于此，有必要针对显影单元存在严重的质量和安全隐患、以及造成显影液浪费且清洗效率较低的问题，提供一种显影单元及刻蚀设备。

一种显影单元，包括：

壳体，所述壳体具有显影槽；

主管道，所述主管道的一端伸入所述壳体内并与所述显影槽连通，所述主管道用于供给显影液；

喷淋管路，所述喷淋管路包括相连通的喷淋管道主体和支管道，所述喷淋管道主体与所述主管道连通；

电磁阀，设置于所述支管道上；

喷淋装置，与所述支管道的背离所述喷淋管路主体的端部连通，所述喷淋装置设置于所述壳体上，且所述喷淋装置位于所述显影槽内，所述喷淋装置用于在清洗所述显影槽时喷洒显影液；

排液管道，与所述显影槽连通，所述排液管道用于在清洗所述显影槽之后排出所述显影槽内的显影液；以及

快速供液管道，与所述显影槽连通，所述快速供液管道用于在清洗所述显影槽之后供给显影液。

在其中一个实施例中，所述电磁阀、所述支管道和所述喷淋装置的数目均为多个，多个所述支管道均与所述喷淋管道主体连通，多个所述电磁阀一一对应设置于多个支管道上，即每个电磁阀对应设置于每个支管道上，多个所述喷淋装置均设置于所述壳体上，且每个所述喷淋装置与每个所述支管道连通，喷淋管路主体的显影液通过各个支管道流至相应的喷淋装置上，使多个喷淋装置能够同时喷洒显影液，提高了显影槽的清洗效率和清洗效果；此外，由于每个支管道上设置有相应的电磁阀，实现单独控制每个支管道的显影液的流通，使用时，可以根据需要选择特定位置的电磁阀控制相应的喷淋装置喷洒显影液，提高了显影单元的使用方便性。

在其中一个实施例中，多个所述喷淋装置均匀设置于所述壳体上，使多个喷淋装置对壳体内的显影槽进行均匀清洗，这样可以提高显影槽的清洗效率且清洗过程中所需的显影液更少。

在其中一个实施例中，多个所述喷淋装置呈圆形分布，且多个所述支管道的长度均相等，使每个支管道对应的喷淋装置处的液压均相等，从而使每个喷淋装置的喷洒压力相等，避免个别喷淋装置的喷洒压力过大或过小的问题，可以更好地清洗显影槽。

在其中一个实施例中，每个所述支管道呈弯折状，使每个支管道占用的横向空间较小，使显影单元的结构较为紧凑。

在其中一个实施例中，每个所述支管道的弯折角度为90°，使显影单元的结构紧凑性最佳，占用的空间最小。

在其中一个实施例中，显影单元还包括固定垫板，所述固定垫板设置于所述壳体上，每个所述支管道穿设于所述固定垫板上，使支管道可靠地设置于固定垫板上，提高了支管道的安装方便性。

在其中一个实施例中，显影单元还包括紧固件，所述紧固件的数目为多个，每个所述喷淋装置上开设有第一通孔，所述壳体上开设有多个第二通孔，所述固定垫板上开设有多个螺纹孔，每个所述紧固件分别穿设于相应的所述喷淋装置的第一通孔、相应的所述第二通孔内和相应的所述螺纹孔内，使得每个喷淋装置牢固连接于壳体上。

在其中一个实施例中，显影单元还包括排气管道，所述排气管道设置于所述壳体上，且所述排气管道与所述显影槽连通，所述排气管道用于排除所述显影槽内的空气，以减少显影液在显影槽清洗过程中产生的气泡。

一种刻蚀设备，包括上述任一实施例所述的显影单元。

上述的显影单元及刻蚀设备，壳体具有显影槽，主管道的一端伸入壳体内并与显影槽连通，使主管道对显影槽供给显影液，保证显影单元正常工作；壳体上设置有喷淋装置，喷淋装置位于显影槽内并与喷淋管路的支管道的背离喷淋管路主体的端部连通，由于喷淋管道主体与主管道连通，使主管道的显影液通过喷淋装置喷出，在清洗显影槽时，喷淋装置喷洒显影液，以对显影槽进行清洗；由于支管道上设置有电磁阀，电磁阀控制支管道上的显影液的流通或停止流通；当需清洗显影槽时，电磁阀打开使支管道上流通显影液，使显影液通过喷淋装置喷出；当清洗显影槽完毕之后，电磁阀关闭使支管道上停止流通显影液，避免显影液浪费；排液管道与显影槽连通，排液管道用于在清洗显影槽之后排出显影槽内的显影液，使显影液快速排出壳体之外，整个清洗过程中无需打开密封盖，避免了显影单元存在严重的质量和安全隐患的问题；通过电磁阀控制支管道的显影液的流通，还可以通过电磁阀控制流过支管道的显影液的液压，实现喷淋装置高压喷洒显影液，使显影槽内的清洁液或其他杂质能被快速清洁完毕，由于在清洗显影槽之后通过排液管道快速排出，避免了清洁液或其他杂质的残留，实现一次清洗即可，避免了显影液浪费且清洗效率较低的问题；由于显影单元还包括与显影槽连通的快速供液管道，快速供液管道用于在清洗显影槽之后供给显影液，结合主管道供给显影液，实现对显影槽进行快速供给显影液，使显影单元在清洗之后快速恢复正常工作，提高显影单元的工作效率，也提高了刻蚀设备的刻蚀效率。

附图说明

图1为一实施例的显影单元的示意图；

图2为另一实施例的显影单元的示意图；

图3为图2所示显影单元的局部示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对显影单元及刻蚀设备进行更全面的描述。附图中给出了显影单元及刻蚀设备的首选实施例。但是，显影单元及刻蚀设备可以采用许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对显影单元及刻蚀设备的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在显影单元及刻蚀设备的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

例如，一种显影单元包括壳体、主管道、喷淋管路、电磁阀、喷淋装置、排液管道以及快速供液管道；例如，所述壳体具有显影槽；例如，所述主管道的一端伸入所述壳体内并与所述显影槽连通；例如，所述主管道用于供给显影液；例如，所述喷淋管路包括相连通的喷淋管道主体和支管道；例如，所述喷淋管道主体与所述主管道连通；例如，电磁阀设置于所述支管道上；例如，喷淋装置与所述支管道的背离所述喷淋管路主体的端部连通；例如，所述喷淋装置设置于所述壳体上，且所述喷淋装置位于所述显影槽内；例如，所述喷淋装置用于在清洗所述显影槽时喷洒显影液；例如，排液管道与所述显影槽连通；例如，所述排液管道用于在清洗所述显影槽之后排出所述显影槽内的显影液；例如，快速供液管道与所述显影槽连通；例如，所述快速供液管道用于在清洗所述显影槽之后供给显影液。例如，一种显影单元包括壳体、主管道、喷淋管路、电磁阀、喷淋装置、排液管道以及快速供液管道，所述壳体具有显影槽；所述主管道的一端伸入所述壳体内并与所述显影槽连通，所述主管道用于供给显影液；所述喷淋管路包括相连通的喷淋管道主体和支管道，所述喷淋管道主体与所述主管道连通；电磁阀设置于所述支管道上；喷淋装置与所述支管道的背离所述喷淋管路主体的端部连通，所述喷淋装置设置于所述壳体上，且所述喷淋装置位于所述显影槽内，所述喷淋装置用于在清洗所述显影槽时喷洒显影液；排液管道与所述显影槽连通，所述排液管道用于在清洗所述显影槽之后排出所述显影槽内的显影液；快速供液管道与所述显影槽连通，所述快速供液管道用于在清洗所述显影槽之后供给显影液。

如图1所示，一实施例的显影单元10包括壳体100、主管道200、喷淋管路300、电磁阀400、喷淋装置500、排液管道600以及快速供液管道700。所述壳体具有显影槽110；所述主管道的一端伸入所述壳体内并与所述显影槽连通，所述主管道用于供给显影液20；所述喷淋管路包括相连通的喷淋管道主体300a和支管道300b，所述喷淋管道主体与所述主管道连通；电磁阀设置于所述支管道上；喷淋装置与所述支管道的背离所述喷淋管路主体的端部连通，所述喷淋装置设置于所述壳体上，且所述喷淋装置位于所述显影槽内，所述喷淋装置用于在清洗所述显影槽时喷洒显影液；排液管道与所述显影槽连通，所述排液管道用于在清洗所述显影槽之后排出所述显影槽内的显影液；快速供液管道与所述显影槽连通，所述快速供液管道用于在清洗所述显影槽之后供给显影液。

壳体具有显影槽，主管道的一端伸入壳体内并与显影槽连通，使主管道对显影槽供给显影液，保证显影单元正常工作；壳体上设置有喷淋装置，喷淋装置位于显影槽内并与喷淋管路的支管道的背离喷淋管路主体的端部连通，由于喷淋管道主体与主管道连通，使主管道的显影液通过喷淋装置喷出，在清洗显影槽时，喷淋装置喷洒显影液，以对显影槽进行清洗；由于支管道上设置有电磁阀，电磁阀控制支管道上的显影液的流通或停止流通；当需清洗显影槽时，电磁阀打开使支管道上流通显影液，使显影液通过喷淋装置喷出；当清洗显影槽完毕之后，电磁阀关闭使支管道上停止流通显影液，避免显影液浪费；排液管道与显影槽连通，排液管道用于在清洗显影槽之后排出显影槽内的显影液，使显影液快速排出壳体之外，整个清洗过程中无需打开密封盖，避免了显影单元存在严重的质量和安全隐患的问题；通过电磁阀控制支管道的显影液的流通，还可以通过电磁阀控制流过支管道的显影液的液压，实现喷淋装置高压喷洒显影液，使显影槽内的清洁液或其他杂质能被快速清洁完毕，由于在清洗显影槽之后通过排液管道快速排出，避免了清洁液或其他杂质的残留，实现一次清洗即可，避免了显影液浪费且清洗效率较低的问题；由于显影单元还包括与显影槽连通的快速供液管道，快速供液管道用于在清洗显影槽之后供给显影液，结合主管道供给显影液，实现对显影槽进行快速供给显影液，使显影单元在清洗之后快速恢复正常工作，提高显影单元的工作效率，也提高了刻蚀设备的刻蚀效率。

为了提高显影单元的使用方便性，在其中一个实施例中，所述电磁阀、所述支管道和所述喷淋装置的数目均为多个，多个所述支管道均与所述喷淋管道主体连通，多个所述电磁阀一一对应设置于多个支管道上，即每个电磁阀对应设置于每个支管道上，多个所述喷淋装置均设置于所述壳体上，且每个所述喷淋装置与每个所述支管道连通，喷淋管路主体的显影液通过各个支管道流至相应的喷淋装置上，使多个喷淋装置能够同时喷洒显影液，提高了显影槽的清洗效率和清洗效果；此外，由于每个支管道上设置有相应的电磁阀，实现单独控制每个支管道的显影液的流通，使用时，可以根据需要选择特定位置的电磁阀控制相应的喷淋装置喷洒显影液，提高了显影单元的使用方便性。

例如，每个喷淋装置的横截面呈三角形，使喷淋装置占用的空间较小。在其他实施例中，每个喷淋装置的横截面还可以呈半圆形状或半椭圆形状。所述半椭圆形即椭圆形的一半。又如，每个喷淋装置的横截面呈扇形状。例如，每个喷淋装置上开设有进液腔和多个喷洒孔，多个喷洒孔均与进液腔连通，进液腔还与支管道连通，使支管道上的显影液通过进液腔分流至每个喷洒孔内，最终由每个喷洒孔喷出，实现喷淋装置的多向喷洒。又如，多个喷洒孔沿喷淋装置的周向间隔分布，使喷淋装置的周向均能对显影槽进行喷洒，提高了喷淋装置的喷洒效果，有利于喷淋装置快速清洗显影槽。又如，多个喷洒孔呈圆环形分布于喷淋装置的外壁上，使喷淋装置的喷洒效果较好。又如，多个喷洒孔呈螺旋状分布于喷淋装置的外壁上，使喷淋装置的喷洒效果较好。又如，每个喷洒孔呈锥形状，且每个喷洒孔的邻近进液腔的横截面积大于远离进液腔的横截面积，使分流至喷洒孔内的显影液通过喷洒孔之后实现增压的效果，提高显影液通过喷洒孔喷出之后的压力，使喷淋装置能够较好地清洗显影槽。例如，喷淋装置固定安装于壳体上，在其他实施例中，喷淋装置还可以转动连接于壳体上，当喷淋装置通入显影液时，显影液的压力推动喷淋装置相对于壳体转动，使喷淋装置更好地清洗显影槽，提高了显影槽的清洗效率。

例如，喷淋管道主体焊接或胶接于支管道上，使喷淋管道主体与主管道连接，且喷淋管道主体与主管道连通。可以理解，喷淋管道主体不仅限于焊接或胶接于支管道上。例如，喷淋管道主体与支管道螺纹连接，使喷淋管道主体与支管道可拆卸连接，便于喷淋管道主体与支管道的拆装，当支管道损坏而喷淋管道主体完好时，只需更换支管道，降低了显影单元的使用成本。例如，喷淋管道主体与支管道一体成型，使显影单元的结构较为紧凑。例如，显影液包括但不仅限于四甲基氢氧化铵，使显影液清洗显影槽的洁净度较好，即显影液的清洗效果较好。

为了提高显影槽的清洗效率且清洗过程中消耗的显影液更少，在其中一个实施例中，多个所述喷淋装置均匀设置于所述壳体上，使多个喷淋装置对壳体内的显影槽进行均匀清洗，这样可以提高显影槽的清洗效率且清洗过程中所需的显影液更少。

为了避免个别喷淋装置的喷洒压力过大或过小的问题，在其中一个实施例中，多个所述喷淋装置呈圆形分布，且多个所述支管道的长度均相等，使每个支管道对应的喷淋装置处的液压均相等，从而使每个喷淋装置的喷洒压力相等，避免个别喷淋装置的喷洒压力过大或过小的问题，可以更好地清洗显影槽。

为了使显影单元的结构较为紧凑，在其中一个实施例中，每个所述支管道呈弯折状，使每个支管道占用的横向空间较小，使显影单元的结构较为紧凑。在其中一个实施例中，每个所述支管道的弯折角度为90°，使显影单元的结构紧凑性最佳，占用的空间最小。在其他实施例中，每个支管道的弯折角度还可以为80°或85°，使显影单元的结构相对较为紧凑。

如图2与图3所示，为使支管道可靠地设置于固定垫板上，在其中一个实施例中，显影单元还包括固定垫板800，所述固定垫板设置于所述壳体上，每个所述支管道穿设于所述固定垫板上，使支管道可靠地设置于固定垫板上，提高了支管道的安装方便性。

为使得每个喷淋装置牢固连接于壳体上，在其中一个实施例中，显影单元还包括紧固件，所述紧固件的数目为多个，每个所述喷淋装置上开设有第一通孔，所述壳体上开设有多个第二通孔，所述固定垫板上开设有多个螺纹孔，每个所述紧固件分别穿设于相应的所述喷淋装置的第一通孔、相应的所述第二通孔内和相应的所述螺纹孔内，使得每个喷淋装置牢固连接于壳体上。为了避免喷淋装置的第一通孔内存在漏显影液的问题，例如，显影单元还包括多个垫圈，每个垫圈设置于相应的喷淋装置的第一通孔内且套设于对应的紧固件上，使每个喷淋装置密封牢固连接于壳体上。通过每个电磁阀控制相应的喷淋装置喷洒显影液的开启和关闭，实现各个喷淋装置的独立运作。

例如，每个喷淋装置的喷射压力的范围值为150kpa～400kpa，使每个喷淋装置的喷淋效果较好。又如，每个喷淋装置的喷射压力值为300kpa，使每个喷淋装置的喷淋效果较佳。例如，每个喷淋装置的喷射量为15L/min～40L/min，使每个喷淋装置的喷淋效果较好。例如，每个喷淋装置的喷射压力的范围值为150kpa～400kpa，且每个喷淋装置的喷射量为15L/min～40L/min，使每个喷淋装置的喷淋效果较好。又如，每个喷淋装置的喷射量为28L/min，使每个喷淋装置的喷淋效果较佳。又如，每个喷淋装置的喷射量为28L/min，且每个喷淋装置的喷射压力值为300kpa，使每个喷淋装置的喷淋效果较佳。

如图1所示，为减少显影液在显影槽清洗过程中产生的气泡，在其中一个实施例中，显影单元还包括排气管道900，所述排气管道设置于所述壳体上，且所述排气管道与所述显影槽连通，所述排气管道用于排除所述显影槽内的空气，以减少显影液在显影槽清洗过程中产生的气泡。为了避免显影液通过排气管道自然排出壳体之外，例如，显影槽内的显影液的深度低于排气管道的安装高度，避免显影液通过排气管道自然排出壳体之外，导致显影液自然流失和浪费。例如，显影单元还包括排气管道，所述排气管道设置于所述壳体上，且所述排气管道与所述显影槽连通，所述排气管道用于排除所述显影槽内的空气，以减少显影液在显影槽清洗过程中产生的气泡。为了避免显影液通过排气管道自然排出壳体之外，例如，显影槽内的显影液的深度低于排气管道的安装高度，避免显影液通过排气管道自然排出壳体之外，导致显影液自然流失和浪费；所述电磁阀、所述支管道和所述喷淋装置的数目均为多个，多个所述支管道均与所述喷淋管道主体连通，多个所述电磁阀一一对应设置于多个支管道上，即每个电磁阀对应设置于每个支管道上，多个所述喷淋装置均设置于所述壳体上，且每个所述喷淋装置与每个所述支管道连通，喷淋管路主体的显影液通过各个支管道流至相应的喷淋装置上，使多个喷淋装置能够同时喷洒显影液，提高了显影槽的清洗效率和清洗效果；此外，由于每个支管道上设置有相应的电磁阀，实现单独控制每个支管道的显影液的流通，使用时，可以根据需要选择特定位置的电磁阀控制相应的喷淋装置喷洒显影液，提高了显影单元的使用方便性。

为提高显影单元的使用方便性，例如，所述壳体包括本体和显示窗，所述显示窗设置于所述本体上，所述显示窗具有透视性，所述显示窗用于观察所述显示槽内的显影液，使用者通过显示窗可以快速得知显影槽内的显影液的高度，提高了显影单元的使用方便性。又如，本体上开设有嵌入槽，所述显示窗嵌设于所述嵌入槽内并与所述本体连接，使显示窗牢固连接于本体上，避免显示窗相对于本体容易松动的问题。又如，为提高本体与显示窗的连接处的密封性能，所述壳体还包括密封圈，密封圈位于嵌入槽内，且密封圈的两侧分别弹性抵接于本体和显示窗上，提高了本体与显示窗的连接处的密封性能，避免了显影液从显示窗与本体之间的孔隙中溢出。可以理解，在其他实施例中，嵌入槽可以省略，显示窗通过焊接或胶接于本体上，使显影单元的结构较为紧凑且能保证显示窗的密封性能。例如，显示窗上设有刻度，使用者可以通过显示窗的刻度快速得知显影槽内的显影液容积，提高了显影单元的使用方便性。又如，所述刻度为容积刻度。

本发明还提供一种刻蚀设备。刻蚀设备包括上述任一实施例所述的显影单元。例如，刻蚀设备包括显影单元，显影单元包括壳体、主管道、喷淋管路、电磁阀、喷淋装置、排液管道以及快速供液管道，所述壳体具有显影槽；所述主管道的一端伸入所述壳体内并与所述显影槽连通，所述主管道用于供给显影液；所述喷淋管路包括相连通的喷淋管道主体和支管道，所述喷淋管道主体与所述主管道连通；电磁阀设置于所述支管道上；喷淋装置与所述支管道的背离所述喷淋管路主体的端部连通，所述喷淋装置设置于所述壳体上，且所述喷淋装置位于所述显影槽内，所述喷淋装置用于在清洗所述显影槽时喷洒显影液；排液管道与所述显影槽连通，所述排液管道用于在清洗所述显影槽之后排出所述显影槽内的显影液；快速供液管道与所述显影槽连通，所述快速供液管道用于在清洗所述显影槽之后快速供给显影液。

上述的显影单元及刻蚀设备，壳体具有显影槽，主管道的一端伸入壳体内并与显影槽连通，使主管道对显影槽供给显影液，保证显影单元正常工作；壳体上设置有喷淋装置，喷淋装置位于显影槽内并与喷淋管路的支管道的背离喷淋管路主体的端部连通，由于喷淋管道主体与主管道连通，使主管道的显影液通过喷淋装置喷出，在清洗显影槽时，喷淋装置喷洒显影液，以对显影槽进行清洗；由于支管道上设置有电磁阀，电磁阀控制支管道上的显影液的流通或停止流通；当需清洗显影槽时，电磁阀打开使支管道上流通显影液，使显影液通过喷淋装置喷出；当清洗显影槽完毕之后，电磁阀关闭使支管道上停止流通显影液，避免显影液浪费；排液管道与显影槽连通，排液管道用于在清洗显影槽之后排出显影槽内的显影液，使显影液快速排出壳体之外，整个清洗过程中无需打开密封盖，避免了显影单元存在严重的质量和安全隐患的问题；通过电磁阀控制支管道的显影液的流通，还可以通过电磁阀控制流过支管道的显影液的液压，实现喷淋装置高压喷洒显影液，使显影槽内的清洁液或其他杂质能被快速清洁完毕，由于在清洗显影槽之后通过排液管道快速排出，避免了清洁液或其他杂质的残留，实现一次清洗即可，避免了显影液浪费且清洗效率较低的问题；由于显影单元还包括与显影槽连通的快速供液管道，快速供液管道用于在清洗显影槽之后供给显影液，结合主管道供给显影液，实现对显影槽进行快速供给显影液，使显影单元在清洗之后快速恢复正常工作，提高显影单元的工作效率，也提高了刻蚀设备的刻蚀效率。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种显影单元，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体具有显影槽；

主管道，所述主管道的一端伸入所述壳体内并与所述显影槽连通，所述主管道用于供给显影液；

喷淋管路，所述喷淋管路包括相连通的喷淋管道主体和支管道，所述喷淋管道主体与所述主管道连通；

电磁阀，设置于所述支管道上；

喷淋装置，与所述支管道的背离所述喷淋管路主体的端部连通，所述喷淋装置设置于所述壳体上，且所述喷淋装置位于所述显影槽内，所述喷淋装置用于在清洗所述显影槽时喷洒显影液；

排液管道，与所述显影槽连通，所述排液管道用于在清洗所述显影槽之后排出所述显影槽内的显影液；以及

快速供液管道，与所述显影槽连通，所述快速供液管道用于在清洗所述显影槽之后供给显影液。

2.根据权利要求1所述的显影单元，其特征在于，所述电磁阀、所述支管道和所述喷淋装置的数目均为多个，多个所述支管道均与所述喷淋管道主体连通，多个所述电磁阀一一对应设置于多个支管道上，多个所述喷淋装置均设置于所述壳体上，且每个所述喷淋装置与每个所述支管道连通。

3.根据权利要求2所述的显影单元，其特征在于，多个所述喷淋装置均匀设置于所述壳体上。

4.根据权利要求3所述的显影单元，其特征在于，多个所述喷淋装置呈圆形分布，且多个所述支管道的长度均相等。

5.根据权利要求4所述的显影单元，其特征在于，每个所述支管道呈弯折状。

6.根据权利要求5所述的显影单元，其特征在于，每个所述支管道的弯折角度为90°。

7.根据权利要求2所述的显影单元，其特征在于，还包括固定垫板，所述固定垫板设置于所述壳体上，每个所述支管道穿设于所述固定垫板上。

8.根据权利要求7所述的显影单元，其特征在于，还包括紧固件，所述紧固件的数目为多个，每个所述喷淋装置上开设有第一通孔，所述壳体上开设有多个第二通孔，所述固定垫板上开设有多个螺纹孔，每个所述紧固件分别穿设于相应的所述喷淋装置的第一通孔、相应的所述第二通孔内和相应的所述螺纹孔内，使得每个喷淋装置牢固连接于壳体上。

9.根据权利要求1所述的显影单元，其特征在于，还包括排气管道，所述排气管道设置于所述壳体上，且所述排气管道与所述显影槽连通，所述排气管道用于排除所述显影槽内的空气。

10.一种刻蚀设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的显影单元。