CN108007372B - 基板顶针座的监测方法及监测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板顶针座的监测方法，包括如下步骤：在基板顶针座的顶针头上设置反射面；对基板顶针座设置至少一光源以及接收器；在基板顶针座之间建立反射路线，将光源投射至该反射路线中的其中一基板顶针座的顶针头上的反射面，使光在每个反射面之间进行反射并最终反射至接收器。本发明还提供了一种基板顶针座的监测装置，所述监测装置包括承载台、阵列排布在承载台上的用于承托基板的基板顶针座以及至少一组光投射接收装置。与现有技术相比，实现对基板顶针座实时监测，避免因基板顶针座发生形变而导致破片的问题。

Description

基板顶针座的监测方法及监测装置
技术领域
本发明涉及一种显示面板生产技术，特别是一种基板顶针座的监测方法及监测装置。
背景技术
对于液晶面板、半导体等行业而言，破片都是需要特别关心的事项。在曝光设备中，烘烤机台内基板顶针座可能会出现弯曲或者高度发生变化导致破片的问题，但是工程师并不能实时监测到基板顶针座的状态，只能在月保或季保等时刻检查基板顶针座状态，使得生产过程面临由基板顶针座导致破片的风险。并且随着液晶面板行业基板尺寸越来越大，设备的尺寸也随之增大，这使得工程师监控基板顶针座的状态的工作越加困难，如何能够对基板顶针座进行监测，是目前行业中急需解决的一个问题。
发明内容
为克服现有技术的不足，本发明提供一种基板顶针座的监测方法及监测装置，从而能够实时对基板顶针座进行监控。
本发明提供了一种基板顶针座的监测方法，包括如下步骤：
在基板顶针座的顶针头上设置反射面；
对基板顶针座设置至少一光源以及接收器；
在基板顶针座之间建立反射路线，将光源投射至该反射路线中的其中一基板顶针座的顶针头上的反射面，使光在每个反射面之间进行反射并最终反射至接收器，从而判断基板顶针座是否有形变。
进一步第，判断基板顶针座是否形变包括判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光，当反射光的参数与设定值不相同或没有接收到反射光时，认定为基板顶针座有形变。
进一步地，所述认定为基板顶针座有形变时还进行报警。
进一步地，所述反射光的参数包括光线强度。
本发明还提供了一种基板顶针座的监测装置，所述监测装置包括承载台、阵列排布在承载台上的用于承托基板的基板顶针座以及至少一组光投射接收装置；
所述基板顶针座的顶针头的周壁上设有反射面；
所述光投射接收装置包括用于向其中一个基板顶针座投射光的光源以及用于接收经反射面反射的反射光的接收器，所述光投射接收器的光源所发出的光投向其中一个基板顶针座的反射面，并在基板顶针座的反射面之间进行反射，最终反射至接收器。
进一步地，所述接收器还用于判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光。
进一步地，所述监测装置还包括报警装置，所述报警装置用于当接收器接收到的反射光的参数于设定值不相同或没有接收到反射光时发出报警。
进一步地，每组光投射接收装置对应基板顶针座中高度相同的基板顶针座。
进一步地，所述每组光头折接收装置中光源的投射方向分别与相同高度的基板顶针座中的其中一个基板顶针座的反射面相对，每组光投射接收装置中接收器位于该相同高度的基板顶针座中与最后接受反射光的反射面相对。
进一步地，所述反射光的参数包括光线强度。
本发明与现有技术相比，通过在基板顶针座的顶针头上设置反射面，通过光源投射至反射面并对反射光进行接收，从而判断基板顶针座是否发生形变(形态变化)，实现对基板顶针座实时监测，避免因基板顶针座发生形变而导致破片的问题。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明基板顶针座的机构示意图；
图3是本发明监测方法是流程图；
图4是本发明反射原理的示意图；
图5是本发明在监测时的光反射示意图。
具体实施方式
本发明中，基板顶针座的监测方法以及监测装置用于曝光机烘烤机台中用于承载基板的承载台中。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
如图3所示，本发明公开了一种基板顶针座的监测方法，包括如下步骤：
S01、在基板顶针座2的顶针头上设置反射面21(图2所示)；具体地，反射面21可以为有具有多个面的顶针头中的其中一面或两面构成，这里的多面体可以为三面体或四面体等；每个基板顶针座2的顶针头的反射面21至少参与一次反射，也就是说，不管反射路径如何设置，仅需要保证光在每个基板顶针座2的反射面21上进行至少一次反射；具体的设置可根据实际需要进行，在此不做具体限定。
S02、对基板顶针座2设置至少一光源31以及接收器32；所述光源31和接收器32可以为激光光源和激光接收器。
S03、在基板顶针座2之间建立至少一条反射路线，将光源31投射至该反射路线中的其中一基板顶针座2的顶针头上的反射面21，使光在该反射路线中每个基板顶针座2的反射面21之间进行反射并最终反射至接收器32，从而判断基板顶针座是否有形变；具体地，可根据承载台1上的基板顶针座2的排布规律进行，一般情况下，基板顶针座2呈阵列式排布，也就是具有N行和M列，N和M为大于1的正整数；光源31的设置采用N-1或M-1的数量进行设置，当采用N-1的数量进行设置时，光源31设置在行方向上与最开始的一个基板顶针座2相对，而接收器32则设置在与光源31相邻的一行的最后一个基板顶针座2上(如图4所示)，在图4中可以看出，由于光源31的数量始终少于基板顶针座2的行数量，因此会有一行不设置光源31，仅参加反射；当采用M-1列的数量进行设置时，其原理与采用N-1的数量进行设置时的原理相同，在此不在赘述；但本发明不限于此，还可以根据一个承载台1中基板顶针座2的不同高度，划分多个组，每个组中基板顶针座2的高度相同，每组中可对应设置一组光源31和接收器32，也可以设置多组，在此不做具体限定。
本发明中，反射面21的设置根据所需光线的反射路线进行相应的设置，在此不对具体的设置方式进行限定。
在步骤S03中，判断基板顶针座是否形变包括判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光，当反射光的参数与设定值不相同或没有接收到反射光时，认定为基板顶针座有形变，由于在实际应用中，基板顶针座产生不同程度的形变，因此对反射光的参数进行判断以及是否接收到反射光即可完成；所述反射光的参数包括光线强度。
本发明中，形变即形态变化，具体为基板顶针座的顶针头弯曲或倒塌等。
在步骤个S03中，所述认定为基板顶针座有形变时还进行报警，报警的方式可以为声和/或光报警。
如图1所示，为本发明基板顶针座的监测装置，本发明的监测装置包括承载台1、阵列排布在承载台1上的用于承托基板的基板顶针座2以及至少一组光投射接收装置3；
所述基板顶针座2的顶针头的周壁上设有反射面21(图2所示)；所述反射面21为光滑面；反射面21参与至少一次光反射；反射面21可由具有多面体的顶针头的其中一面或两面构成，在此不做具体限定。
本发明中，可将承载台1上的搜游基板顶针座2组建在一条反射路线中，也可以组件多条反射路线。
所述光投射接收装置3包括用于向一条反射路线中其中一个基板顶针座2投射光的光源31以及用于接收经该反射路线中反射面21反射的反射光的接收器32，所述光投射接收器的光源31所发出的光投向一条反射路线中其中一个基板顶针座2的反射面21，并在这一条反射路线中每个基板顶针座2的反射面21之间进行反射，最终将光反射至接收器32。
所述接收器32还用于判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光；所述反射光的参数包括光线强度。
本发明的监测装置还包括报警装置4，所述报警装置4用于当接收器32接收到的反射光的参数与设定值不相同或没有接收到反射光时发出报警。
本发明中，基板顶针座2的设置可采用阵列排布的方式或与现有的排布方式进行，一般情况下，基板顶针座2呈阵列式排布，也就是具有N行和M列，光源31的设置采用N-1或M-1的数量进行设置，当采用N-1的数量进行设置时，光源31设置在行方向上与最开始的一个基板顶针座2相对，而接收器32则设置在与光源31相邻的一行的最后一个基板顶针座2上(如图4所示)，在图4中可以看出，由于光源31的数量始终基板顶针座2的行数量，因此会有一行不设置光源31，仅参加反射；当采用M-1列的数量进行设置时，其原理与采用N-1的数量进行设置时的原理相同，在此不在赘述；但本发明不限于此，还可以根据一个承载台1中基板顶针座2的不同高度，划分多个组，每个组中基板顶针座2的高度相同，每组中可对应设置一组光源31和接收器32，也可以设置多组、还可以将每组基板顶针座2中或每行每列中基板顶针座2的高度设置为不同，从而在不同高度的基板顶针座2之间进行反射。
本发明中，仅需保证光能够在反射面之间进行反射并最终反射至接收器即可，反射路径的设置可根据实际需要进行，在此不做具体限定。
本发明中光投射接收装置3中光源31与接收初始光的基板顶针座2的反射面21设置在同一高度，而接收器32与最后反射至接收器32的基板顶针座2的反射面21设置在同一高度。
作为本发明的一种实施方式，每组光投射接收装置3对应基板顶针座2中基板顶针座2的高度相同，所述每组光投射接收装置3中光源31的投射方向分别与相同高度的基板顶针座2中的其中一个基板顶针座2的反射面21相对，每组光投射接收装置3中接收器32位于该相同高度的基板顶针座2中与最后接受反射光的反射面21相对。
下面结合图4对本发明的总体构思进行详细说明，假设承载台1上设置有三行四列基板顶针座2，下面为了便于描述，将第一行的基板顶针座2以22A、B……的顺序进行定义，将第二行的基板顶针座2以23A、23B……的顺序进行定义，将第三行的基板顶针座2以24A、24B……的顺序进行定义；其中光投射接收装置3设有两组，第一组为3A、第二组为3B，第一行和第二行基板顶针座构成了第一条反射路线，而第二和第三条基板顶针座则构成了第二条反射路线。
将第一组光投射接收装置3A的光源31A设于在第二行基板顶整座中与第一个基板顶针座23A相对应的位置处，接收器32A则设置在与之相邻的第一行基板顶针座中与最后一个基板顶针座22D相对的位置处；而第二组光投射接收装置3B的光源31B设于在第三行基板顶整座中与第一个基板顶针座24A相对应的位置处，接收器32B则设置在与之相邻的第二行基板顶针座中与最后一个基板顶针座23D相对的位置处；当然其设置的方式还可以采用其他方式。
采用这样的设置方式，使第一组光投射接收装置3A的光源31A发出的光在第一行和第二行的基板顶针座之间进行反射，这里可以看出反射的路径为齿状，具体光经基板顶针座23A、基板顶针座22A、基板顶针座23B、基板顶针座22B、基板顶针座23C、基板顶针座22C、基板顶针座23D、基板顶针座22D后最终反射至第一组光投射接收装置3A的接收器32A中，第二组光源31B发出的光在第二和第三行的基板顶针座之间进行反射，其反射路径也为齿状，具体为光经基板顶针座24A、基板顶针座23A、基板顶针座24B、基板顶针座23B、基板顶针座24C、基板顶针座23C、基板顶针座24D、基板顶针座3D后最终反射至第二组光投射接收装置3B的接收器32B中，这里可以看出，处了在基板顶针座的阵列排布中，仅设置在最外侧的两行基板顶针座参与了一次反射，而其余行的基板顶针座参与了两次反射。
根据这一原理，对反射面21进行设置，保证光的反射经过路径上的每一个基板顶针座，从而保证反射路线的完整。
当然本发明中每行或者每列的基板顶针座的高度可以为不同，而采用不同高度的时候，反射面21则为弧面，弧面可以为外凸或者内凹。
如图5所示，当在一个反射路线中的其中一个或两个基板顶针座2发生形变时，反射路线不能完整的被反射至接收器中，当接收器接收到的反射光的参数或者接收不到反射光时，侧会发出报警。
本发明中采用光的反射原理，可以及时探知基板顶针座的形态变化，从而有效预防由基板顶针座形态变化导致的破片问题。
虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。

Claims (10)

1.一种基板顶针座的监测方法，其特征在于：包括如下步骤：
在基板顶针座(2)的顶针头上设置反射面(21)；
对基板顶针座(2)设置至少一光源(31)以及接收器(32)；
在基板顶针座(2)之间建立反射路线，将光源(31)投射至反射路线中其中一基板顶针座(2)的顶针头上的反射面(21)，使光在每个基板顶针座(2)的顶针头上的反射面(21)之间进行反射并最终反射至接收器(32)，从而判断基板顶针座是否有形变。
2.根据权利要求1所述的基板顶针座的监测方法，其特征在于：判断基板顶针座(2)是否形变包括判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光，当反射光的参数与设定值不相同或没有接收到反射光时，认定为基板顶针座有形变。
3.根据权利要求2所述的基板顶针座的监测方法，其特征在于：所述认定为基板顶针座(2)有形变时还进行报警。
4.根据权利要求2所述的基板顶针座的监测方法，其特征在于：所述反射光的参数包括光线强度。
5.一种基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述监测装置包括承载台(1)、阵列排布在承载台(1)上的用于承托基板的基板顶针座(2)以及至少一组光投射接收装置(3)；
所述基板顶针座(2)的顶针头的周壁上设有反射面(21)；
所述光投射接收装置(3)包括用于向其中一个基板顶针座(2)投射光的光源(31)以及用于接收经反射面(21)反射的反射光的接收器(32)，所述光源(31)所发出的光投向其中一个基板顶针座(2)的反射面(21)，并在每个基板顶针座(2)的顶针头上的反射面(21)之间进行反射，最终反射至接收器(32)。
6.根据权利要求5所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述接收器(32)还用于判断接收到的反射光的参数与设定值是否相同或是否接收到反射光。
7.根据权利要求6所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述监测装置还包括报警装置(4)，所述报警装置(4)用于当接收器(32)接收到的反射光的参数于设定值不相同或没有接收到反射光时发出报警。
8.根据权利要求5-7任意一项所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：每组光投射接收装置(3)对应基板顶针座(2)中高度相同的基板顶针座(2)。
9.根据权利要求8所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述每组光头折接收装置(3)中光源(31)的投射方向分别与相同高度的基板顶针座(2)中的其中一个基板顶针座(2)的反射面(21)相对，每组光投射接收装置(3)中接收器(32)位于该相同高度的基板顶针座(2)中与最后接受反射光的反射面(21)相对。
10.根据权利要求6所述的基板顶针座的监测装置，其特征在于：所述反射光的参数包括光线强度。
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