CN107992995A - 一种创建工艺流程名称的方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种创建工艺流程名称的方法及系统，应用于半导体生产控制系统中，其中，于控制系统中根预先定义多个标准工艺参数；提供一工艺流程单，工艺流程单中包括多个工艺步骤，每个工艺步骤包括多个参数项；包括以下步骤：步骤S1、于工艺流程单中获取工艺步骤；步骤S2、于工艺步骤中获取对应的参数项，并根据参数项获取对应的标准工艺参数；步骤S3、根据工艺步骤中的所有参数项对应的标准工艺参数创建一步骤名称，步骤名称表示当前的工艺步骤包括的执行内容。其技术方案的有益效果在于，提高了创建步骤名称的效率以及准确率，克服了现有技术中通过人工手动创建带来的耗时较长、效率低下且容易出错的缺陷。

Description

一种创建工艺流程名称的方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体制备技术领域，尤其涉及一种创建工艺流程名称的方法及系统。

背景技术

集成电路制造过程中，需要一条完整规范的工艺流程来控制工艺步骤，即定义每个步骤的条件，通过步骤名称，工程师们可以及时了解每个工艺步骤的目的以及工艺能力，所以在每个步骤的命名规范中必需包含多项信息，通常定义一个工艺步骤包含以下内容：工序名称，工艺类型，相关设备能力，步骤重复性的，一般一条工艺流程通常在1000步左右，如果每个站点都需要靠人为来命名不仅耗时太长且无法保证准确率100％。

发明内容

针对现有技术中对工艺流程中生成步骤名称存在的上述问题，现提供一种旨在通过系统自动生成工艺步骤的步骤名称，其有效的提高了生成步骤名称的效率，且提高了生成步骤名称准确率的方法及系统。

具体技术方案如下：

一种创建工艺流程名称的方法的实施例，应用于半导体生产控制系统中，其中，于所述控制系统中根预先定义多个标准工艺参数；

提供一工艺流程单，所述工艺流程单中包括多个工艺步骤，每个所述工艺步骤包括多个参数项；

包括以下步骤：

步骤S1、于所述工艺流程单中获取所述工艺步骤；

步骤S2、于所述工艺步骤中获取对应的所述参数项，并根据所述参数项获取对应的标准工艺参数；

步骤S3、根据所述工艺步骤中的所有所述参数项对应的所述标准工艺参数创建一步骤名称，所述步骤名称表示当前的所述工艺步骤包括的执行内容。

优选的，在执行步骤S1前，还包括以下步骤：

步骤S11、判断所述工艺流程单元是否存在未创建所述步骤名称的所述工艺步骤；

若否，执行步骤S1；

若是，表示所述工艺流程单中的所有所述工艺步骤对应的所述步骤名称创建为完成，退出。

优选的，所述工艺流程单中的每个所述工艺步骤包括的所述参数项包括：执行加工的工厂类别、步骤类型、工序名称、执行设备、步骤序列号。

优选的，根据所述参数项获取对应的所述标准工艺的参数包括：

步骤A、所述控制系统于所述工艺流程单中获取所述工艺步骤后，将从所述工艺步骤中获取的所述参数项与所述标准工艺参数进行匹配；

步骤B、所述控制系统于匹配通过后输出所述标准工艺参数对应的代码标识；

将所述工艺步骤中每个所述参数项对应的代码标识获取组成所述步骤名称。

还包括，一种创建工艺流程步骤的管理系统，，管理系统中预先定义有多个标准工艺参数；

提供一工艺流程单，所述工艺流程单中包括多个工艺步骤，每个所述工艺步骤包括多个参数项；

获取模块，用以从所述工艺流程单中获取所述工艺步骤中包括的所述参数项；

匹配模块，与所述获取模块连接，用以将所述参数项与所述标准工艺参数进行匹配，以匹配获得所述参数项对应的所述标准工艺参数；

生成模块，与所述匹配模块连接，用以根据所述参数项对应的所述标准工艺参数创建一步骤名称，所述步骤名称表示当前的所述工艺步骤包括的执行内容。

优选的，包括一存储模块，所处存储模块用以保存所述工艺流程单中的多个所述工艺步骤，以及每个所述工艺步骤包括的所述参数项；

判断模块，与所述存储模块以及所述获取模块连接，所述判断模块用以判断所述存储模块中是否存在未创建所述步骤名称的所述工艺步骤，并输出判断结果；

当所述判断结果为是时，所述获取模块继续执行获取所述工艺步骤中的所述参数项；

当所述判断结果为否时，表示所述工艺流程单中的所有所述工艺步骤对应的所述步骤名称创建为完成，所述获取模块停止获取操作。

优选的，所述工艺流程单中的每个所述工艺步骤包括的所述参数项包括：执行加工的工厂类别、步骤类型、工序名称、执行设备、步骤序列号。

优选的，所述存储模块中保存所述标准工艺参数；

包括一代码生成模块，所述代码生成模块与所述存储模块以及所述匹配模块连接；

所述匹配模块用以在匹配出的所述参数项对应的所述标准工艺参数后，所述代码生成模块根据预设的规则输出所述标准工艺参数对应的标识代码。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：通过系统根据工艺流程单自动创建每个工艺步骤的步骤名称，提高了创建步骤名称的效率以及准确率，克服了现有技术中通过人工手动创建带来的耗时较长、效率低下且容易出错的缺陷。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1为本发明一种创建工艺流程名称的方法的实施例的流程图；

图2为本发明一种创建工艺流程名称的方法的实施例中，关于判断否存在未创建步骤名称的工艺步骤的流程图；

图3为本发明一种创建工艺流程名称的方法的实施例中，关于根据参数项获取对应的标准工艺的参数方法的流程图；

图4为本发明一种创建工艺流程步骤的管理系统的结构示意图。

附图标记表示：

11、获取模块、12、匹配模块；13、生成模块、14、判断模块；15、存储模块；16、代码生成模块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

本发明的技术方案中包括一种创建工艺流程名称的方法。

一种创建工艺流程名称的方法的实施例，应用于半导体生产控制系统中，其中，于控制系统中根预先定义多个标准工艺参数；

提供一工艺流程单，工艺流程单中包括多个工艺步骤，每个工艺步骤包括多个参数项；

如图1所示，包括以下步骤：

步骤S1、于工艺流程单中获取工艺步骤；

步骤S2、于工艺步骤中获取对应的参数项，并根据参数项获取对应的标准工艺参数；

步骤S3、根据工艺步骤中的所有参数项对应的标准工艺参数创建一步骤名称，步骤名称表示当前的工艺步骤包括的执行内容。

针对现有技术中，在半导体的工艺流程执行中，通过拿到的工艺流程单之后创建相应的工艺步骤的步骤名称，但是一般的工艺流程单至少包括1000条的工艺步骤，显然通过人工手动创建的方式，需要耗费大量的时间

本发明中，则是通过预先在生成控制系统中录入每个标准工艺参数，当获取工艺流程的工艺步骤之后，获取工艺参数中参数项对应的标准工艺参数，进而根据标准工艺参数获取创建对应参数项的步骤名称。

在一种较优的实施方式中，在执行步骤S1前，还包括以下步骤：

步骤S11、判断工艺流程单是否存在未创建步骤名称的工艺步骤；

若否，执行步骤S1；

若是，表示工艺流程单中的所有工艺步骤对应的步骤名称创建为完成，退出。

上述技术方案中，通过上述的判断，可避免遗漏需要创建步骤名称的工艺步骤。在一种较优的实施方式中，工艺流程单中的每个工艺步骤包括的参数项包括：执行加工的工厂类别、步骤类型、工序名称、执行设备、步骤序列号。

在一种较优的实施方式中，根据参数项获取对应的标准工艺的参数包括：

步骤A、控制系统于工艺流程单中获取工艺步骤后，将从工艺步骤中获取的参数项与标准工艺参数进行匹配；

步骤B、控制系统于匹配通过后输出标准工艺参数对应的代码标识；

将工艺步骤中每个参数项对应的代码标识获取组成步骤名称。

以下以一种具体的实施方式进行说明，

工艺步骤的步骤名称通常包括，工厂类别+步骤类型+工序+设备能力+序列号

控制西戎系统根据用户提供的整条工艺流程的内容提取相应的数据；

工厂类别：一厂就为A，二厂就为B，三厂就为C，以此类推；

其中，一工厂、二工厂、三工厂为标准工艺参数，其对应的代码标识分别为A、B、C；

步骤类型：工艺流程中会定义每个工艺步骤的类型是Process，还是Metrology，还是Dummy等之类的属性，取第一码字符，比如是Process则取“P”字符

其中，Process、Metrology、Dummy为标准工艺参数，其对应的代码标识为P、M、D；

工序：工艺流程中某一阶段的名称，比如：AA-PH,AA-ET等，取“AAPH”或者”AAET“字符

其中，AA-PH,、AA-ET、AA-ET为标准工艺参数，其对应的代码标识为AAPH、AAET、AAET；

设备能力：用户给定每个步骤能在哪些设备上作业，这些设备都会有一个共同的设备能力，取去掉“-”以后的后6码，如：设备能力为“L-ADIAU-S”,取字符“ADIAUS”

其中，L-ADIAU-S为标准工艺参数，其对应的代码标识为“ADIAUS”；

序列号：工艺流程中的每个步骤名称不允许重复，所以必须让系统去判断该序列号的步骤名称是否在该工艺流程中有重复出现，如果有，序列号自动累加一位号码，再判断，直到没有重复为止根据以上的规则及关联性，生成的某一个步骤名称就是“APAAETADIAUS05”.一条工艺流程上千个步骤，这样的方式节省了大量人工命名的时间。

本发明的的技术方案中还包括一种创建工艺流程步骤的管理系统。

如图4所示，一种创建工艺流程步骤的管理系统的实施例，包括：管理系统中预先定义有多个标准工艺参数；

提供一工艺流程单，工艺流程单中包括多个工艺步骤，每个工艺步骤包括多个参数项；

获取模块11，用以从工艺流程单中获取工艺步骤中包括的参数项；

匹配模块12，与获取模块11连接，用以将参数项与标准工艺参数进行匹配，以匹配获得参数项对应的标准工艺参数；

生成模块13，与匹配模块12连接，用以根据参数项对应的标准工艺参数创建一步骤名称，步骤名称表示当前的工艺步骤包括的执行内容。

在一种较优的实施方式中，包括一存储模块14，处存储模块14用以保存工艺流程单中的多个工艺步骤，以及每个工艺步骤包括的参数项；

判断模块15，与存储模块14以及获取模块11连接，判断模块用以判断存储模块中是否存在未创建步骤名称的工艺步骤，并输出判断结果；

当判断结果为是时，获取模块11继续执行获取工艺步骤中的参数项；

当判断结果为否时，表示工艺流程单中的所有工艺步骤对应的步骤名称创建为完成，获取模块11停止获取操作。

在一种较优的实施方式中，工艺流程单中的每个工艺步骤包括的参数项包括：执行加工的工厂类别、步骤类型、工序名称、执行设备、步骤序列号。

在一种较优的实施方式中，存储模块14中保存标准工艺参数；

包括一代码生成模块16，代码生成模块16与存储模块以及匹配模块12连接；

匹配模块12用以在匹配出的参数项对应的标准工艺参数后，代码生成模块16根据预设的规则输出标准工艺参数对应的标识代码。

上述技术方案中通过系统根据工艺流程单自动创建每个工艺步骤的步骤名称，提高了创建步骤名称的效率以及准确率，克服了现有技术中通过人工手动创建带来的耗时较长、效率低下且容易出错的缺陷。

以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种创建工艺流程名称的方法，应用于半导体生产控制系统中，其特征在于，于所述控制系统中根预先定义多个标准工艺参数；

提供一工艺流程单，所述工艺流程单中包括多个工艺步骤，每个所述工艺步骤包括多个参数项；

包括以下步骤：

步骤S1、于所述工艺流程单中获取所述工艺步骤；

步骤S2、于所述工艺步骤中获取对应的所述参数项，并根据所述参数项获取对应的标准工艺参数；

步骤S3、根据所述工艺步骤中的所有所述参数项对应的所述标准工艺参数创建一步骤名称，所述步骤名称表示当前的所述工艺步骤包括的执行内容。

2.根据权利要求1中所述的方法，其特征在于，在执行步骤S1前，还包括以下步骤：

步骤S11、判断所述工艺流程单元是否存在未创建所述步骤名称的所述工艺步骤；

若否，执行步骤S1；

若是，表示所述工艺流程单中的所有所述工艺步骤对应的所述步骤名称创建为完成，退出。

3.根据权利要求1中所述的方法，其特征在于，所述工艺流程单中的每个所述工艺步骤包括的所述参数项包括：执行加工的工厂类别、步骤类型、工序名称、执行设备、步骤序列号。

4.根据权利要求1中所述的方法，其特征在于，根据所述参数项获取对应的所述标准工艺的参数包括：

步骤A、所述控制系统于所述工艺流程单中获取所述工艺步骤后，将从所述工艺步骤中获取的所述参数项与所述标准工艺参数进行匹配；

步骤B、所述控制系统于匹配通过后输出所述标准工艺参数对应的代码标识；

将所述工艺步骤中每个所述参数项对应的代码标识获取组成所述步骤名称。

5.一种创建工艺流程步骤的管理系统，其特征在于，包括：管理系统中预先定义有多个标准工艺参数；

提供一工艺流程单，所述工艺流程单中包括多个工艺步骤，每个所述工艺步骤包括多个参数项；

获取模块，用以从所述工艺流程单中获取所述工艺步骤中包括的所述参数项；

匹配模块，与所述获取模块连接，用以将所述参数项与所述标准工艺参数进行匹配，以匹配获得所述参数项对应的所述标准工艺参数；

生成模块，与所述匹配模块连接，用以根据所述参数项对应的所述标准工艺参数创建一步骤名称，所述步骤名称表示当前的所述工艺步骤包括的执行内容。

6.根据权利要求5所述的管理系统，其特征在于，包括一存储模块，所处存储模块用以保存所述工艺流程单中的多个所述工艺步骤，以及每个所述工艺步骤包括的所述参数项；

判断模块，与所述存储模块以及所述获取模块连接，所述判断模块用以判断所述存储模块中是否存在未创建所述步骤名称的所述工艺步骤，并输出判断结果；

当所述判断结果为是时，所述获取模块继续执行获取所述工艺步骤中的所述参数项；

当所述判断结果为否时，表示所述工艺流程单中的所有所述工艺步骤对应的所述步骤名称创建为完成，所述获取模块停止获取操作。

7.根据权利要求5所述的管理系统，其特征在于，所述工艺流程单中的每个所述工艺步骤包括的所述参数项包括：执行加工的工厂类别、步骤类型、工序名称、执行设备、步骤序列号。

8.根据权利要求6所述的管理系统，其特征在于，所述存储模块中保存所述标准工艺参数；

包括一代码生成模块，所述代码生成模块与所述存储模块以及所述匹配模块连接；

所述匹配模块用以在匹配出的所述参数项对应的所述标准工艺参数后，所述代码生成模块根据预设的规则输出所述标准工艺参数对应的标识代码。