CN107988583A - 一种新型快速清洗的真空镀膜设备 - Google Patents

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张超
钱浩
程锦泽
马向军
吕胜雨
王鹏翔
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
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Abstract

本发明公开了一种新型快速清洗的真空镀膜设备,包括真空镀膜设备本体,所述真空镀膜设备本体的上表面固定安装有电机,所述电机的前端固定安装有第一带轮,所述限位板的前表面转动安装有第二带轮,且限位板的前表面靠近第二带轮的一侧位置处转动安装有第三带轮,所述第三带轮的前表面固定安装有折叠杆,所述折叠杆的下端固定安装有限位块,所述承压板的上表面靠近真空镀膜设备本体的另一侧位置处固定安装有清洗装置。本发明通过清洗装置,可在真空镀膜设备使用后,对真空镀膜设备的真空腔内壁进行清洗处理;通过电机、带轮和滑轨可实现防护门的电动开启和关闭,无需人工手动开启,结构科学合理,使用安全方便。

Description

一种新型快速清洗的真空镀膜设备
技术领域
本发明涉及真空电镀技术领域,具体为一种新型快速清洗的真空镀膜设备。
背景技术
真空镀膜设备主要指在较高真空度下进行镀膜的设备,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。
但是目前市场上的真空镀膜设备结构复杂,且功能单一,在使用真空镀膜设备镀膜一段时间后,真空室的内壁必须要进行清洗处理,由于真空镀膜设备缺少清洗装置,使得真空镀膜设备在使用后,其内壁会附着一部分电镀液,影响真空镀膜设备的再次使用;真空腔是真空镀膜设备的主要组成部分之一,由于真空镀膜设备在镀件后,真空腔内部依然处于真空状态,想要开启真空镀膜设备的防护门较为困难,不仅费时费力,而且在开门时,会对操作员造成轻微的伤害。
发明内容
本发明提供一种新型快速清洗的真空镀膜设备,可以有效解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种新型快速清洗的真空镀膜设备,包括真空镀膜设备本体,所述真空镀膜设备本体的上表面固定安装有电机,所述电机的前端固定安装有第一带轮,所述真空镀膜设备本体的上表面靠近电机的一侧位置处固定安装有限位板,所述限位板的前表面转动安装有第二带轮,且限位板的前表面靠近第二带轮的一侧位置处转动安装有第三带轮,所述第三带轮的前表面固定安装有折叠杆,所述折叠杆的下端固定安装有限位块,所述限位块的下表面固定连接有防护门,所述真空镀膜设备本体的顶部前表面与限位块之间通过第一滑轨滑动连接,所述真空镀膜设备本体的内部顶端固定安装有镀件挂具,且真空镀膜设备本体的底部前表面固定安装有第二滑轨,所述真空镀膜设备本体一侧嵌入安装有吸气管,所述吸气管的下端固定连接有真空泵,所述真空镀膜设备本体的下表面固定连接有承压板,所述承压板的前表面固定安装有控制开关,且承压板的上表面靠近真空镀膜设备本体的另一侧位置处固定安装有清洗装置,所述控制开关的输出端分别与电机和真空泵的输入端电性连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述清洗装置包括喷头、第一输水管、水泵、第二输水管和储水箱,所述清洗装置的顶部设置有喷头,所述喷头的一侧固定连接有第一输水管,所述第一输水管的下端固定连接有水泵,所述水泵的一端固定安装有第二输水管,所述第二输水管的上端嵌入连接有储水箱,所述控制开关的输出端与水泵的输入端电性连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述防护门的数量为两个,且防护门的内部嵌入安装有视窗,所述防护门的后表面固定安装有密封垫,密封垫为一种橡胶材质的构件。
作为本发明的一种优选技术方案,所述承压板的内部贯穿设置有出水管,所述真空镀膜设备本体的下表面与出水管的上端之间通过螺栓固定连接,螺栓的数量为四个。
作为本发明的一种优选技术方案,所述承压板的下表面固定安装有万向轮,万向轮的数量为四个,且万向轮呈矩形分布,万向轮的外侧均固定安装有制动器。
作为本发明的一种优选技术方案,所述第一带轮与第二带轮之间和第二带轮与第三带轮之间均通过皮带连接,所述第一带轮与第二带轮之间的半径比为一比五,所述第二带轮与第三带轮的半径比为一比二。
与现有技术相比,本发明的有益效果:通过清洗装置,可在真空镀膜设备使用后,对真空镀膜设备的真空腔内壁进行清洗处理,避免了因真空镀膜设备缺少清洗装置,使得真空镀膜设备在使用后,其内壁会附着一部分电镀液,影响真空镀膜设备的再次使用的问题;通过电机、带轮和滑轨可实现防护门的电动开启和关闭,无需人工手动开启,避免了因真空镀膜设备在镀件后,真空腔内部依然处于真空状态,想要开启真空镀膜设备的防护门较为困难,不仅费时费力,而且在开门时,会对操作员造成轻微的伤害的问题,结构科学合理,使用安全方便,操作便捷,提高了真空镀膜设备的实用性能,让真空镀膜设备更加适用于工件的镀膜处理。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。
在附图中:
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明的正视图;
图3是本发明防护门的侧视图;
图4是本发明清洗装置的结构示意图;
图中标号:1、真空镀膜设备本体;2、电机;3、第一带轮;4、限位板;5、第二带轮;6、第三带轮;7、折叠杆;8、限位块;9、防护门;10、第一滑轨;11、镀件挂具;12、第二滑轨;13、吸气管;14、真空泵;15、承压板;16、控制开关;17、清洗装置;171、喷头;172、第一输水管;173、水泵;174、第二输水管;175、储水箱。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
实施例:如图1-4所示,本发明提供一种技术方案,一种新型快速清洗的真空镀膜设备,包括真空镀膜设备本体1,真空镀膜设备本体1的上表面固定安装有电机2,电机2的前端固定安装有第一带轮3,真空镀膜设备本体1的上表面靠近电机2的一侧位置处固定安装有限位板4,限位板4的前表面转动安装有第二带轮5,且限位板4的前表面靠近第二带轮5的一侧位置处转动安装有第三带轮6,第三带轮6的前表面固定安装有折叠杆7,折叠杆7的下端固定安装有限位块8,限位块8的下表面固定连接有防护门9,真空镀膜设备本体1的顶部前表面与限位块8之间通过第一滑轨10滑动连接,真空镀膜设备本体1的内部顶端固定安装有镀件挂具11,且真空镀膜设备本体1的底部前表面固定安装有第二滑轨12,真空镀膜设备本体1一侧嵌入安装有吸气管13,吸气管13的下端固定连接有真空泵14,真空镀膜设备本体1的下表面固定连接有承压板15,承压板15的前表面固定安装有控制开关16,且承压板15的上表面靠近真空镀膜设备本体1的另一侧位置处固定安装有清洗装置17,控制开关16的输出端分别与电机2和真空泵14的输入端电性连接。
为了便于清洗,本实施例中,优选的,清洗装置17包括喷头171、第一输水管172、水泵173、第二输水管174和储水箱175,清洗装置17的顶部设置有喷头171,喷头171的一侧固定连接有第一输水管172,第一输水管172的下端固定连接有水泵173,水泵173的一端固定安装有第二输水管174,第二输水管174的上端嵌入连接有储水箱175,控制开关16的输出端与水泵173的输入端电性连接。
为了提高防护门9在关闭后的气密性,本实施例中,优选的,防护门9的数量为两个,且防护门9的内部嵌入安装有视窗,防护门9的后表面固定安装有密封垫,密封垫为一种橡胶材质的构件。
为了便于排出清洗后的污水,本实施例中,优选的,承压板15的内部贯穿设置有出水管,真空镀膜设备本体1的下表面与出水管的上端之间通过螺栓固定连接,螺栓的数量为四个。
为了便于移动,本实施例中,优选的,承压板15的下表面固定安装有万向轮,万向轮的数量为四个,且万向轮呈矩形分布,万向轮的外侧均固定安装有制动器。
为了便于成比例传动,本实施例中,优选的,第一带轮3与第二带轮5之间和第二带轮5与第三带轮6之间均通过皮带连接,第一带轮3与第二带轮5之间的半径比为一比五,第二带轮5与第三带轮6的半径比为一比二。
本发明的工作原理及使用流程:通过控制开关16,可让电机2正转,电机2通过带动第一带轮3、皮带和第二带轮5正转,进而带动第三带轮6正转,第三带轮6的转动可以拉动折叠杆7从折叠状态转变成拉直状态,当折叠杆7被拉直后,在第一滑轨10的作用下,折叠杆7会拉动限位块8移动,在第二滑轨12的作用下,防护门9被拉动,从而实现防护门9的电动开启,同理,电机2反转,可实现防护门9的电动关闭,省时省力,方便安全,在真空镀膜设备本体1使用后,可通过控制开关16,让水泵173正常工作,水泵173可以将储水箱175中的水体依次通过第二输水管174和第一输水管172输送至喷头171的内部,喷头171为弧形喷头,可实现广角喷洒,增大了喷洒面积,提高了清洗装置17的清洗效果。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种新型快速清洗的真空镀膜设备,包括真空镀膜设备本体(1),其特征在于:所述真空镀膜设备本体(1)的上表面固定安装有电机(2),所述电机(2)的前端固定安装有第一带轮(3),所述真空镀膜设备本体(1)的上表面靠近电机(2)的一侧位置处固定安装有限位板(4),所述限位板(4)的前表面转动安装有第二带轮(5),且限位板(4)的前表面靠近第二带轮(5)的一侧位置处转动安装有第三带轮(6),所述第三带轮(6)的前表面固定安装有折叠杆(7),所述折叠杆(7)的下端固定安装有限位块(8),所述限位块(8)的下表面固定连接有防护门(9),所述真空镀膜设备本体(1)的顶部前表面与限位块(8)之间通过第一滑轨(10)滑动连接,所述真空镀膜设备本体(1)的内部顶端固定安装有镀件挂具(11),且真空镀膜设备本体(1)的底部前表面固定安装有第二滑轨(12),所述真空镀膜设备本体(1)一侧嵌入安装有吸气管(13),所述吸气管(13)的下端固定连接有真空泵(14),所述真空镀膜设备本体(1)的下表面固定连接有承压板(15),所述承压板(15)的前表面固定安装有控制开关(16),且承压板(15)的上表面靠近真空镀膜设备本体(1)的另一侧位置处固定安装有清洗装置(17),所述控制开关(16)的输出端分别与电机(2)和真空泵(14)的输入端电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型快速清洗的真空镀膜设备,其特征在于:所述清洗装置(17)包括喷头(171)、第一输水管(172)、水泵(173)、第二输水管(174)和储水箱(175),所述清洗装置(17)的顶部设置有喷头(171),所述喷头(171)的一侧固定连接有第一输水管(172),所述第一输水管(172)的下端固定连接有水泵(173),所述水泵(173)的一端固定安装有第二输水管(174),所述第二输水管(174)的上端嵌入连接有储水箱(175),所述控制开关(16)的输出端与水泵(173)的输入端电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型快速清洗的真空镀膜设备,其特征在于:所述防护门(9)的数量为两个,且防护门(9)的内部嵌入安装有视窗,所述防护门(9)的后表面固定安装有密封垫,密封垫为一种橡胶材质的构件。
4.根据权利要求1所述的一种新型快速清洗的真空镀膜设备,其特征在于:所述承压板(15)的内部贯穿设置有出水管,所述真空镀膜设备本体(1)的下表面与出水管的上端之间通过螺栓固定连接,螺栓的数量为四个。
5.根据权利要求1所述的一种新型快速清洗的真空镀膜设备,其特征在于:所述承压板(15)的下表面固定安装有万向轮,万向轮的数量为四个,且万向轮呈矩形分布,万向轮的外侧均固定安装有制动器。
6.根据权利要求1所述的一种新型快速清洗的真空镀膜设备,其特征在于:所述第一带轮(3)与第二带轮(5)之间和第二带轮(5)与第三带轮(6)之间均通过皮带连接,所述第一带轮(3)与第二带轮(5)之间的半径比为一比五,所述第二带轮(5)与第三带轮(6)的半径比为一比二。
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