CN107976617A - 一种稳定光谱能量分布的led晶圆测试方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法中，在测量一行LED单元的第一边缘区域的非第1颗LED单元时，以其之前的至少一颗LED单元的积分时间作为参考，而在测量第二边缘的LED单元时直接基于其和参数稳定的中间区域的LED单元的INT值比例，计算其积分时间，使得测试时积分时间从边缘到中间形成连续变化，使得边缘区域的LED单元的光谱能量分布和中间区域的LED单元的光谱的能量分布一致，呈现较好的光谱特性，有效的解决了现有技术中光谱能量在测量过程中的波动问题。
Description
技术领域
本发明涉及LED测试技术领域，更具体的说，涉及一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法。
背景技术
LED按外延生长的材料可分GaN蓝光发光二极管与AlGaInP红黄光发光二极管，对于AlGaInP红黄光二极管的光电性表征参数有正向工件电压、主波长、光强、漏电流等参数，以上参数的测试方法是通过测试机台的电流源输出恒定电流，点亮LED晶圆上的LED单元，通过垂直方向的法向收光，LED发光经过显微镜、光纤到达光谱仪，光谱仪将收到光转化为光谱曲线的能量分布函数，如图1所示，能量分布函数*色度观察系数得出色度坐标，在CIE1931-xy色度图上标出位置C(x1、y1)，与纯白点N(x0＝0.3333，y0＝0.3333)连线形成一条直线，直线与马蹄形曲线交点对应的波长即为λd，能量分布函数与视效曲线的积分面积为光强mcd，强度的计算公式：
Km是常数，光谱能量分布强度用INT值(表示光谱能量经积分后累积强度)表示，光谱能量分布强度的INT值太低或是太高，经光谱卡计算的波长值会偏离真实值，一般的，INT值在30000～50000范围内时，经光谱卡计算的波长值接近真实值，
从CIE 1931色度图中可以看出，对于AlGaInP四元芯片短波段(570～620nm)范围内，计算得到的色度坐标(x，y)和纯白点(x0＝0.3333，y0＝0.3333)连线直线与色度图上马蹄形曲线交点处波长的解析度较高，而对比AlGaInP四元芯片长波段(620～650nm)范围内，波长点较为密集，计算得到的色度坐标(x，y)和纯白点(x0＝0.3333，y0＝0.3333)连线直线与色度图上马蹄形曲线交点处波长的解析度较低，即对于AlGaInP四元芯片长波段(620～650nm)范围内，光谱能量分布强度的偏移量要在适当的范围内，以减少INT值的波动范围来降低波长的测量偏差。
能量分布强度受到LED晶圆上的LED单元发光强度的影响，不同的发光强度的LED单元能量分布函数即光谱能量分布存在差异，发光强度高的LED单元，光谱能量分布曲线峰位强度高，INT值越大，所需要的积分时间比较短，发光强度低的LED单元，光谱能量分布曲线峰位强度低，INT值越小，所需要的积分时间比较长，如图2所示，在同一行LED单元中，LED晶圆的特点是边缘区域LED单元的发光强度低，中间区域LED单元的发光强度高，光谱能量分布特性较好，当测试机台测量边缘LED单元时，鉴于LED单元的发光强度低，由边缘向中间区域测试时，积分时间随着LED单元的发光强度特点呈现从大到小和趋势，在测量过程中边缘区域LED单元的INT值与中间区域LED单元的INT值差异较大。
现有技术的测量方法是给定光谱能量分布的INT值范围，用可变积分时间去获得光谱能量分布图，这样会引起积分时间的不连续性，甚至出现积分时间的突变，导致光谱能量分布图强度波动较大光谱能量分布图强度波动较大，特别是在边缘区域或是中间区域与边缘区域交界处，导致AlGaInP四元芯片长波段(620～650nm)范围内引起波长差异在0.2nm～1.6nm之间，这对LED晶圆整片测量的稳定性与精度产生较为不利的结果，因此需要找到一种稳定的光谱能量分布的测量方法。
发明内容
为了解决上述问题，本发明技术方案提供了一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法，可以避免对LED晶圆进行测试过程中积分时间出现突变的问题，保证积分时间的连续性，实现稳定光谱能量分布。
为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法，所述测试方法包括：
提供一待测试的LED晶圆；所述LED晶圆具有点阵排布的LED阵列；所述LED阵列具有多行LED单元；每行LED单元在第一方向上依次分为第一边缘区域、中心区域以及第二边缘区域；所述第一边缘区域、所述中间区域以及所述第二边缘区域均具有多颗LED单元；
逐行对所述LED阵列中的LED单元进行测试；对于任一行LED单元，在所述第一方向上逐一测试该行中的LED单元，测试第i颗LED单元时，i大于1，如果其位于第一边缘区域，基于其前方相邻的至少一颗LED单元的测试结果计算其积分时间，用于计算其出射光的波长，如果其位于第二边缘区，基于其与位于所述中间区域的LED单元的INT值比例，计算其积分时间，用于计算其出射光的波长；
其中，所述INT值为LED单元的光谱能量经过积分后累计的强度值。
优选的，在上述LED晶圆测试方法中，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第1颗LED单元的方法包括：
在初始积分时间T0下，根据其光谱能量分布判断其INT值是否均满足相应的预设要求范围；
如果是，则以所述初始积分时间T0为所述第1颗LED单元的目标积分时间，基于所述目标积分时间得到的光谱能量分布图以及色度坐标系数计算其出射光的波长；
如果否，以所述初始积分时间T0为初始值，以1±1ms的增益幅度变化积分时间，以获取所述第1颗LED单元的目标积分时间，在所述目标积分时间下，所述第1颗LED单元的光谱能量分布以及INT值均满足相应的预设要求范围，基于所述目标积分时间得到的光谱能量分布图以及色度坐标系数计算其出射光的波长。
优选的，在上述LED晶圆测试方法中，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
如果i小于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以该行LED单元中第i颗LED单元之前的所有LED单元的积分时间为参考，获取第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长；
如果i大于或等于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以该行LED单元中第i颗LED单元之前的相邻的5颗LED单元的积分时间为参考，获取第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长。
优选的，在上述LED晶圆测试方法中，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
以作为第i颗LED单元参考的所有LED单元的积分时间以及INT值的线性拟合结果计算第i颗LED单元的目标积分时间。
优选的，在上述LED晶圆测试方法中，在第二方向上，逐行测试各行LED单元；
对于第j行LED单元，如果j大于1，在所述第一方向上，测试第j行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
如果i小于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以第j行LED单元中第i颗LED单元之前的所有LED单元的积分时间以及第j行LED单元之前相邻的至少一行LED单元的积分时间为参考，获取第j行LED单元中第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长；
如果i大于或等于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以第j行LED单元中第i颗LED单元之前的相邻的5颗LED单元的积分时间以及第j行LED单元之前相邻的至少一行LED单元的积分时间为参考，获取第j行LED单元中第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长。
优选的，在上述LED晶圆测试方法中，对于第j行LED单元，如果j大于1，在所述第一方向上，测试第j行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
以作为第i颗LED单元参考的所有LED单元的积分时间以及INT值的线性拟合结果计算第i颗LED单元的目标积分时间。
优选的，在上述LED晶圆测试方法中，测试第j行的LED单元时，以其之前相邻的1-3行像素单元的积分时间为参考。
优选的，在上述LED晶圆测试方法中，测试任一行LED单元时，该行LED单元中位于所述中间区域的LED单元的积分时间为TM，INT值为D0；
在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
第i颗LED单元的积分时间为TM+K，其INT值为D1，则TM+K的计算公公式为TM+K＝TM*D0/D1。
通过上述描述可知，本发明技术方案提供的稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法中，在测量一行LED单元的第一边缘区域的非第1颗LED单元时，以其之前的至少一颗LED单元的积分时间作为参考，而在测量第二边缘的LED单元时直接基于其和参数稳定的中间区域的LED单元的INT值比例，计算其积分时间，使得测试时积分时间从边缘到中间形成连续变化，使得边缘区域的LED单元的光谱能量分布和中间区域的LED单元的光谱的能量分布一致，呈现较好的光谱特性，有效的解决了现有技术中光谱能量在测量过程中的波动问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为CIE1931主波长的计算原理示意图；
图2为本发明实施例提供的一种LED晶圆的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的一种测试方法的流程示意图；
图4为本发明实施例提供的一种LED晶圆光电参数测试原理示意图；
图5为本发明实施例提供的测试方法与现行的测试方法的光谱能量分布的INT值的对比结果示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
参考图3，图3为本发明实施例提供的一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法的流程示意图，该测试方法包括：
步骤S11：提供一待测试的LED晶圆。
所述LED晶圆的结构可以如图2所示，具有点阵排布的LED阵列，所述LED阵列具有多行LED单元11，每行LED单元在第一方向上依次分为第一边缘区域、中心区域以及第二边缘区域；所述第一边缘区域、所述中间区域以及所述第二边缘区域均具有多颗LED单元11。
步骤S12：逐行对所述LED阵列中的LED单元进行测试。
对于任一行LED单元，在所述第一方向上逐一测试该行中的LED单元，测试第i颗LED单元时，i大于1，如果其位于第一边缘区域，基于其前方相邻的至少一颗LED单元的测试结果计算其积分时间，用于计算其出射光的波长，如果其位于第二边缘区，基于其与位于所述中间区域的LED单元的INT值比例，计算其积分时间，用于计算其出射光的波长。其中，所述INT值为LED单元的光谱能量经过积分后累计的强度值。
可以采用测试机台对LED晶圆中的LED单元进行测试，测试原理如图4所示。测试机台包括上位机、显微镜收光装置24以及光谱卡23。图4中未示出所述上位机。对LED晶圆进行测试时，通过电流源22为当前颗LED单元21供电，使其发光，显微镜收光23获取当前颗LED单元21出射的光信息，光谱卡23获取所述光信息对应的光谱信息，将该光谱信息发送给你上位机，通过上位机进行数据处理。通过测试机台获取同一行中LED单元的发光强度，从一端向另一端逐一测试LED单元的发光强度，LED单元的发光强度逐渐增大的区域为第一边缘区域，当LED单元的发光强度增大到某一数字且波动小于阈值额区域为所述中间区域，LED单元的发光强度逐渐减小的区域为第二边缘区域。
在所述测试方法中，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第1颗LED单元的方法包括：在初始积分时间T0下，根据其光谱能量分布判断其INT值是否均满足相应的预设要求范围。如果是，则以所述初始积分时间T0为所述第1颗LED单元的目标积分时间，基于所述目标积分时间得到的光谱能量分布图以及色度坐标系数计算其出射光的波长；如果否，以所述初始积分时间T0为初始值，以1±1ms的增益幅度变化积分时间，以获取所述第1颗LED单元的目标积分时间，在所述目标积分时间下，所述第1颗LED单元的光谱能量分布以及INT值均满足相应的预设要求范围，基于所述目标积分时间得到的光谱能量分布图以及色度坐标系数计算其出射光的波长。
具体的，可以将LED晶圆放置于测试机台的测试台上，通过电流源提供恒定的正向20mA-100mA电流，使得当颗测试的LED单元发光，LED单元出射的光经过法向方向的通过显微镜收光装置24收取后，传导到光谱卡23中，光在光谱卡23中经过反射衍射，对光强进行解析，上位机根据解析结果得到光谱能量分布图。上位机根据观测的第1颗LED单元光谱能量分布以及INT值，以确认其目标积分时间，进而计算其出射光的波长。
测试任一行LED单元中第一边缘区域的LED单元时，可以通过下述两种方式实现。
第一种方式，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：如果i小于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以该行LED单元中第i颗LED单元之前的所有LED单元的积分时间为参考，获取第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长；如果i大于或等于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以该行LED单元中第i颗LED单元之前的相邻的5颗LED单元的积分时间为参考，获取第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长。
具体的，对于位于第一边缘区域的LED单元，测试第2颗LED单元时，上位机以第1颗LED的积分时间为参考，观测第2颗LED单元的光谱能量分布以及INT值，判断是否需要增加或是减少积分时间，以确定第2颗LED单元的目标积分时间，第3颗LED则以第2颗和第1颗LED单元的积分时间为参考，依次类推，第N颗LED单元以第N-1、第N-2、第N-3、第N-4以及第N-5颗LED单元的积分时间以及IN值拟合为曲线，在该曲线延长方向上得出第N颗LED单元的积分时间。如一行中当颗LED单元之前测量的LED单元颗数不足5，以当颗LED单元之前所有已测量的LED的积分时间以及INT值进行线性拟合，以保证光谱能量分布的连续性。
可选的，在由第一边缘区域到中间区域的测试过程中，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：以作为第i颗LED单元参考的所有LED单元的积分时间以及INT值的线性拟合结果计算第i颗LED单元的目标积分时间。在第一边缘区域中，在所述第一方向上，各个LED的积分时间以及INT值是线性相关的，基于此线性相关的关系，所有作为第i颗LED单元的参考的LED单元的积分时间以及INT值可以在积分时间-INT的坐标系中拟合为一条拟合线，而第i颗LED单元的INT值可以通过上位机获取，基于该拟合线以及第i颗LED单元的INT值可以读取第i颗LED单元的积分时间。
第二种方式，在LED晶圆的LED阵列中，具有多行LED单元。在第二方向Y上，逐行测试各行LED单元。第二方向Y垂直于第一方向X。为了使得测试精度更高，对于第j行LED单元，如果j大于1，在所述第一方向上，测试第j行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：如果i小于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以第j行LED单元中第i颗LED单元之前的所有LED单元的积分时间以及第j行LED单元之前相邻的至少一行LED单元的积分时间为参考，获取第j行LED单元中第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长；如果i大于或等于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以第j行LED单元中第i颗LED单元之前的相邻的5颗LED单元的积分时间以及第j行LED单元之前相邻的至少一行LED单元的积分时间为参考，获取第j行LED单元中第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长。可选的，测试第j行的LED单元时，以其之前相邻的1-3行像素单元的积分时间为参考。对于第j行LED单元，如果j大于1，在所述第一方向上，测试第j行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：以作为第i颗LED单元参考的所有LED单元的积分时间以及INT值的线性拟合结果计算第i颗LED单元的目标积分时间。同样时基于上述线性关系，通过线性拟合计算第i颗LED单元的积分时间。
第二种方式中，测试任一行LED单元时，第1颗LED的积分时间的确定方法和第一种方式相同，在此不再赘述。对于位于第一边缘区域的LED单元，测试第2颗LED单元时，上位机以第1颗LED的积分时间以及该行相邻的前1-3行的LED单元的积分时间为参考，观测第2颗LED单元的光谱能量分布以及INT值，判断是否需要增加或是减少积分时间，以确定第2颗LED单元的目标积分时间，第3颗LED则以第2颗和第1颗LED单元以及该行相邻的前1-3行LED单元的积分时间为参考，依次类推，第N颗LED单元以第N-1、第N-2、第N-3、第N-4以及第N-5颗LED单元以及该行相邻的前1-3行LED单元的积分时间以及IN值拟合为曲线，在该曲线延长方向上得出第N颗LED单元的积分时间。如一行中当颗LED单元之前测量的LED单元颗数不足5，以当颗LED单元之前所有已测量的LED的积分时间以及INT值进行线性拟合，以保证光谱能量分布的连续性。
完成第一边缘区域的LED单元的测量后，中心区域中LED的积分时间可以按照相同方式，以其之前的相邻的至少一颗LED单元的积分时间为参考，确认其积分时间。LED晶圆中，各个LED单元的INT值可以通过上位机直接获取。
测试任一行LED单元时，该行LED单元中位于所述中间区域的LED单元的积分时间为TM，INT值为D0。如上述中间区域的LED单元的INT值可以通过上位机测试获得，其积分时间可以根据作为参考的LED单元的积分时间以及INT值通过线性拟合获得。在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：第i颗LED单元的积分时间为TM+K，其INT值为D1，则TM+K的计算公公式为TM+K＝TM*D0/D1，依次类推可以获取第二边缘区域中各个LED单元的积分时间，以确保光谱能量分布的连续性，可以解决LED晶圆测量过程中银不同区域强度差异引起测量误差，提高整片LED晶圆的测量的稳定性。。
本发明实施例所述测量方法中，通过上述实施方式，在LED晶圆的一行LED中，从第一边缘区域向中间区域测量过程中，或是从中间区域向第二边缘区域测量过程中，较现有测量方法光谱能量分布强度具有较好的连续性。如图5所示，可见现行的测试方法中光谱能量分布强度具有较大的波动性，本发明的测试方法中，光谱能量分布强度具有较好的连续性以及稳定性。
本发明实施例所述测试方法中，光谱能量分布的强度的高低以INT值来表征，INT值的高低取决于收到的光子强度，以AlGaInP发光二极管为例，在AlGaInP发光二极管的波长范围(570nm～650nm)，现有的测试机台一般设定其INT范围在30000～50000，收光所用的积分时间范围10ms～35ms。
积分时间的定义是光谱卡要收集到一定强度的光子，并能给出完整强度的波形图所要的收集光子时间，依据晶颗的发光强度不同而不同，一般而言，LED晶圆的特性是边缘区域内发光强度低，积分时间长，圆心处发光强度高积分时间短，对整片LED晶圆而言，中间区域内积分时间基本稳定；
一行LED单元中，边缘区域的定义是以LED晶圆边缘第1颗完整晶颗为起，沿由该行一端向中间0～50颗的区域；中间区域的定义是以LED晶圆两边缘区域以内到该行中心的位置，边缘区域与中间区域的坐标位置可通过测量前LED晶圆的探测器扫描得出，以便精确控制；
由于发光强度从强到弱与从弱到强，光谱卡内部的响应不同，故从边缘向中间区域测量时，以当颗前0～5颗的积分时间与INT值为参考，拟合曲线计算得出当颗的积分时间，从中间向边缘区域测量时，以中间区域内积分时间与INT值为参考，将当颗所测量的INT值与中间区域内的INT值进度对比，得出系数，计算得出当颗的积分时间。
通过上述描述可知，本发明实施例所述测试方法中，在测量一行LED单元的第一边缘区域的非第1颗LED单元时，以其之前的至少一颗LED单元的积分时间作为参考，而在测量第二边缘的LED单元时直接基于其和参数稳定的中间区域的LED单元的INT值比例，计算其积分时间，使得测试时积分时间从边缘到中间形成连续变化，使得边缘区域的LED单元的光谱能量分布和中间区域的LED单元的光谱的能量分布一致，呈现较好的光谱特性，有效的解决了现有技术中光谱能量在测量过程中的波动问题。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (8)
1.一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法，其特征在于，所述测试方法包括：
提供一待测试的LED晶圆；所述LED晶圆具有点阵排布的LED阵列；所述LED阵列具有多行LED单元；每行LED单元在第一方向上依次分为第一边缘区域、中心区域以及第二边缘区域；所述第一边缘区域、所述中间区域以及所述第二边缘区域均具有多颗LED单元；
逐行对所述LED阵列中的LED单元进行测试；对于任一行LED单元，在所述第一方向上逐一测试该行中的LED单元，测试第i颗LED单元时，i大于1，如果其位于第一边缘区域，基于其前方相邻的至少一颗LED单元的测试结果计算其积分时间，用于计算其出射光的波长，如果其位于第二边缘区，基于其与位于所述中间区域的LED单元的INT值比例，计算其积分时间，用于计算其出射光的波长；
其中，所述INT值为LED单元的光谱能量经过积分后累计的强度值。
2.根据权利要求1所述的LED晶圆测试方法，其特征在于，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第1颗LED单元的方法包括：
在初始积分时间T0下，根据其光谱能量分布据判断其INT值是否满足相应的预设要求范围；
如果是，则以所述初始积分时间T0为所述第1颗LED单元的目标积分时间，基于所述目标积分时间得到的光谱能量分布图以及色度坐标系数计算其出射光的波长；
如果否，以所述初始积分时间T0为初始值，以1±1ms的增益幅度变化积分时间，以获取所述第1颗LED单元的目标积分时间，在所述目标积分时间下，所述第1颗LED单元的光谱能量分布以及INT值均满足相应的预设要求范围，基于所述目标积分时间得到的光谱能量分布图以及色度坐标系数计算其出射光的波长。
3.根据权利要求2所述的LED晶圆测试方法，其特征在于，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
如果i小于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以该行LED单元中第i颗LED单元之前的所有LED单元的积分时间为参考，获取第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长；
如果i大于或等于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以该行LED单元中第i颗LED单元之前的相邻的5颗LED单元的积分时间为参考，获取第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长。
4.根据权利要求3所述的LED晶圆测试方法，其特征在于，对于任一行LED单元，在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
以作为第i颗LED单元参考的所有LED单元的积分时间以及INT值的线性拟合结果计算第i颗LED单元的目标积分时间。
5.根据权利要求2所述的LED晶圆测试方法，其特征在于，在第二方向上，逐行测试各行LED单元；
对于第j行LED单元，如果j大于1，在所述第一方向上，测试第j行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
如果i小于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以第j行LED单元中第i颗LED单元之前的所有LED单元的积分时间以及第j行LED单元之前相邻的至少一行LED单元的积分时间为参考，获取第j行LED单元中第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长；
如果i大于或等于6，且第i颗LED单元属于所述第一边缘区域，以第j行LED单元中第i颗LED单元之前的相邻的5颗LED单元的积分时间以及第j行LED单元之前相邻的至少一行LED单元的积分时间为参考，获取第j行LED单元中第i颗LED单元的目标积分时间，用于计算其出射光的波长。
6.根据权利要求5所述的LED晶圆测试方法，其特征在于，对于第j行LED单元，如果j大于1，在所述第一方向上，测试第j行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
以作为第i颗LED单元参考的所有LED单元的积分时间以及INT值的线性拟合结果计算第i颗LED单元的目标积分时间。
7.根据权利要求5所述的LED晶圆测试方法，其特征在于，测试第j行的LED单元时，以其之前相邻的1-3行像素单元的积分时间为参考。
8.根据权利要求2所述的LED晶圆测试方法，其特征在于，测试任一行LED单元时，该行LED单元中位于所述中间区域的LED单元的积分时间为TM，INT值为D0；
在所述第一方向上，测试该行LED单元中的第i颗LED单元的方法包括：
第i颗LED单元的积分时间为TM+K，其INT值为D1，则TM+K的计算公公式为TM+K＝TM*D0/D1。
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