CN107845740A - 一种柔性基板的制备方法及柔性基板 - Google Patents
一种柔性基板的制备方法及柔性基板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107845740A CN107845740A CN201710994571.5A CN201710994571A CN107845740A CN 107845740 A CN107845740 A CN 107845740A CN 201710994571 A CN201710994571 A CN 201710994571A CN 107845740 A CN107845740 A CN 107845740A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- base board
- fin
- flexible base
- heat
- flexible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 38
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 18
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 18
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical group [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims description 6
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 6
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- -1 evanohm Substances 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 8
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004568 cement Substances 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 150000003503 terephthalic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/40—Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/80—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass using temporary substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
- H10K77/111—Flexible substrates
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
本发明提供一种柔性基板的制备方法及柔性基板,该方法包括下述步骤:在承载基板上贴附散热片;在散热片上制备隔热保护层;在隔热保护层上制备柔性衬底层;在柔性衬底层上制备显示器件;将承载基板与散热片分离,得到柔性基板。本发明提供一种柔性基板的制备方法及柔性基板,可以降低柔性基板的厚度,提高弯折性能。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性基板的制备方法及柔性基板。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示屏由于其重量轻,自发光,广视角、驱动电压低、发光效率高、功耗低、响应速度快等优点,应用范围越来越广泛,尤其是柔性OLED显示装置具有可弯折易携带的特点,成为显示技术领域研究和开发的主要领域。其中柔性基板的制备工艺是实现柔性OLED显示器件的关键技术之一,降低柔性基板的厚度,提高其抗弯折性能是柔性基板目前的主要研究方向。
现有技术说明:图1a~图1c是现有柔性基板制备工艺示意图。如图1a所示,先以玻璃板作为载体基板1’,在承载基板1’上涂布柔性衬底层2’然后在柔性衬底层2’上制备显示器件单元3’;下一步,如图1b所示,在载体基板1’背面用激光剥离的方式(laser lift off,简称LLO)把载体基板1’与柔性衬底层2’剥离;下一步,如图1c所示,柔性衬底层2’与载体基板1分离后,在柔性衬底层2’上依次贴附第一粘结层4’、PET(聚对苯二甲酸类塑料)层5’、第二粘结层6’、铜箔散热片7’(带有显示器件单元3’的柔性衬底层2’与承载基板1’分离后,由于其厚度较薄会卷曲在一起,无法实现后续模组段工艺)。其中柔性衬底层2’的厚度范围为8-15μm,第一粘结层4’的厚度范围为10-25μm、PET层5’的厚度范围为25-50μm、第二粘接层6’的厚度范围为10-25μm、铜箔散热片7’的厚度范围为50-80μm,铜箔散热片7’、第二粘接层6’、PET层5’、第一粘结层4’、柔性衬底层2’、显示器件单元3’叠加后得到的柔性基板的总厚度范围为100~200μm,该柔性基板的弯折性能较差。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种柔性基板的制备方法及柔性基板,可以降低柔性基板的厚度,提高弯折性能。
本发明提供的一种柔性基板的制备方法,包括下述步骤:
在承载基板上贴附散热片;
在所述散热片上制备隔热保护层;
在所述隔热保护层上制备柔性衬底层;
在所述柔性衬底层上制备显示器件;
将所述承载基板与所述散热片分离,得到柔性基板。
优选地,在承载基板上贴附散热片之前还包括下述步骤:
在所述承载基板上制备粘接层;
在承载基板上贴附散热片,具体为:
将所述散热片通过所述粘接层贴附到所述承载基板上。
优选地,将所述承载基板与所述散热片分离,具体为:通过激光剥离或者机械剥离的方式将所述承载基板与所述散热片分离;
将承载基板与散热片分离之后,还包括下述步骤:
将所述散热片上与所述粘接层接触的一面清洗进行清洗。
优选地,所述承载基板为玻璃板,所述散热片为铜箔。
优选地,所述柔性衬底层的厚度为8~15微米,所述隔热保护层的厚度范围为0.05~0.3微米,所述散热片的厚度范围为50~100微米。
优选地,在所述隔热保护层上制备柔性衬底层包括下述步骤:
在所述隔热保护层上涂布聚酰亚胺溶液;
通过烘烤的方式将所述隔热保护层上的聚酰亚胺溶液进行固化,得到所述柔性衬底层。
优选地,在所述散热片上制备隔热保护层包括下述步骤:
通过物理气相沉积方式,在所述散热片上沉积氧化铝、铬、钼、氧化铝合金、铬合金、钼合金中的至少一种材料,得到所述隔热保护层。
优选地,所述柔性基板的厚度范围为60~120微米。
本发明还提供一种柔性基板,包括:散热片、位于所述散热片上方的隔热保护层,位于所述隔热保护层上方的柔性衬底层,以及位于所述柔性衬底层上的显示器件。
优选地,所述柔性衬底层的厚度为8~15微米,所述隔热保护层的厚度范围为0.05~0.3微米,所述散热片的厚度范围为50~100微米,所述柔性基板的厚度范围为60~120微米。
实施本发明,具有如下有益效果:本发明提供的柔性基板的制备方法及柔性基板,减小了柔性基板的厚度,使柔性基板的厚度更薄了,通过减小柔性基板的厚度,提高了柔性基板的弯折性能。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1a是本发明提供的背景技术中柔性基板制备工艺中第一步的示意图。
图1b是本发明提供的背景技术中柔性基板制备工艺中第二步的示意图。
图1c是本发明提供的背景技术中柔性基板制备工艺中第三步的示意图。
图2是本发明提供的柔性基板制备方法的流程图。
图3a是本发明提供的柔性基板制备方法的另一实施例中第一步的示意图。
图3b是本发明提供的柔性基板制备方法的另一实施例中第二步的示意图。
图4是本发明提供的柔性基板的结构图。
具体实施方式
本发明提供一种柔性基板的制备方法,如图2所示,该方法包括下述步骤:
在承载基板上贴附散热片;
在散热片上制备隔热保护层;
在隔热保护层上制备柔性衬底层;
在柔性衬底层上制备显示器件;
将承载基板与散热片分离,得到柔性基板;其中,柔性基板包括自下而上叠层的散热片、隔热保护层、柔性衬底层和显示器件。
进一步地,在承载基板上贴附散热片之前还包括下述步骤:
在承载基板上制备粘接层。
在承载基板上贴附散热片,具体为:将散热片通过粘接层贴附到承载基板上。
进一步地,粘接层为光学胶,例如,可以是OCA(Optically Clear Adhesive,固态透明光学胶),或者OCR(Optically Clear Resin,光学透明树脂)。
将承载基板与散热片分离,具体为:通过激光剥离或者机械剥离的方式将承载基板与散热片分离。
将承载基板与散热片分离之后,还包括下述步骤:
将散热片上与粘接层接触的一面清洗进行清洗,以将散热片表面残留的粘接层材料及污物去除。
将散热片上与粘接层接触的一面清洗进行清洗,具体而言,可以通过UV光(紫外光线)照射散热片与粘接层接触的一面,去除氧化物等表面脏污,再用可溶解有机物的臭氧水、酸性或碱性洗涤剂对该表面进行清洗,最后再用清水洗涤、烘干。
散热片的作用是实现柔性基板与位于柔性基板背部的模组电池以及主电路之间的散热,同时充当柔性衬底层的支撑背板作用。
进一步地,承载基板为玻璃板,散热片为铜箔。
进一步地,柔性衬底层的厚度为8~15微米,隔热保护层的厚度范围为0.05~0.3微米,散热片的厚度范围为50~100微米。
进一步地,在隔热保护层上制备柔性衬底层包括下述步骤:
在隔热保护层上涂布聚酰亚胺溶液;
通过烘烤的方式将隔热保护层上的聚酰亚胺溶液进行固化,得到柔性衬底层。
进一步地,在散热片上制备隔热保护层包括下述步骤:
通过物理气相沉积方式,在散热片上沉积氧化铝(即三氧化二铝)、铬、钼、氧化铝合金、铬合金、钼合金中的至少一种材料,得到隔热保护层。
其中钼合金,例如可以是钼钨合金。隔热保护层的作用在于保护柔性衬底层上的显示器件的高温制备工艺对柔性衬底层下方的散热片的损伤,其中,显示器件的高温制备工艺,例如,TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)阵列基板制程中,a-Si进行ELA(Excimer Laser Annel,准分子激光退火)结晶时的瞬间高温。
进一步地,柔性基板的厚度范围为60~120微米。
本发明提供的柔性基板的制备方法,可以将制备得到的柔性基板的厚度在现有柔性基板的基础上减小,达到60~120微米,同时减少了PET(聚对苯二甲酸类塑料)层作为支撑背板,以及在PET层的上下侧制备粘接层的工艺步骤,既可以提高柔性基板的弯折性,又可以减少制备柔性基板的工艺步骤,提高柔性基板的良率。该柔性基板的制备方法制备得到的柔性基板,可以应用于采用LTPS(Low Temperature Poly-silicon,低温多晶硅)、IGZO(indium gallium zinc oxide,铟镓锌氧化物)技术的OLED柔性显示装置,尤其是中小尺寸手机面板。
在本发明提供的柔性基板制备方法的另一实施例中,
在承载基板1上依次制备粘接层6、散热片5、隔热保护层4、柔性衬底层2、显示器件3,得到的结构如图3a所示。
如图3b所示,通过LLO(laser lift off,激光剥离)的方式将承载基板1与散热片5进行分离,得到需要的柔性基板,该柔性基板的结构如图4所示。
本发明还提供一种柔性基板,如图4所示,该柔性基板包括:散热片5、位于散热片5上方的隔热保护层4,位于隔热保护层4上方的柔性衬底层2以及位于柔性衬底层2上的显示器件3。
进一步地,柔性衬底层2的厚度为8~15微米,隔热保护层4的厚度范围为0.05~0.3微米,散热片5的厚度范围为50~100微米,柔性基板的厚度范围为60~120微米。
综上所述,本发明提供的柔性基板的制备方法及柔性基板,减小了柔性基板的厚度,使柔性基板的厚度更薄了,通过减小柔性基板的厚度,提高了柔性基板的弯折性能和柔韧性。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明,不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种柔性基板的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:
在承载基板上贴附散热片;
在所述散热片上制备隔热保护层;
在所述隔热保护层上制备柔性衬底层;
在所述柔性衬底层上制备显示器件;
将所述承载基板与所述散热片分离,得到柔性基板。
2.根据权利要求1所述的柔性基板的制备方法,其特征在于,在承载基板上贴附散热片之前还包括下述步骤:
在所述承载基板上制备粘接层;
在承载基板上贴附散热片,具体为:
将所述散热片通过所述粘接层贴附到所述承载基板上。
3.根据权利要求2所述的柔性基板的制备方法,其特征在于,
将所述承载基板与所述散热片分离,具体为:通过激光剥离或者机械剥离的方式将所述承载基板与所述散热片分离;
将承载基板与散热片分离之后,还包括下述步骤:
将所述散热片上与所述粘接层接触的一面清洗进行清洗。
4.根据权利要求1所述的柔性基板的制备方法,其特征在于,所述承载基板为玻璃板,所述散热片为铜箔。
5.根据权利要求1所述的柔性基板的制备方法,其特征在于,所述柔性衬底层的厚度为8~15微米,所述隔热保护层的厚度范围为0.05~0.3微米,所述散热片的厚度范围为50~100微米。
6.根据权利要求1所述的柔性基板的制备方法,其特征在于,在所述隔热保护层上制备柔性衬底层包括下述步骤:
在所述隔热保护层上涂布聚酰亚胺溶液;
通过烘烤的方式将所述隔热保护层上的聚酰亚胺溶液进行固化,得到所述柔性衬底层。
7.根据权利要求1所述的柔性基板的制备方法,其特征在于,在所述散热片上制备隔热保护层包括下述步骤:
通过物理气相沉积方式,在所述散热片上沉积氧化铝、铬、钼、氧化铝合金、铬合金、钼合金中的至少一种材料,得到所述隔热保护层。
8.根据权利要求1所述的柔性基板的制备方法,其特征在于,所述柔性基板的厚度范围为60~120微米。
9.一种柔性基板,其特征在于,包括:散热片、位于所述散热片上方的隔热保护层,位于所述隔热保护层上方的柔性衬底层,以及位于所述柔性衬底层上的显示器件。
10.根据权利要求9所述的柔性基板,其特征在于,所述柔性衬底层的厚度为8~15微米,所述隔热保护层的厚度范围为0.05~0.3微米,所述散热片的厚度范围为50~100微米,所述柔性基板的厚度范围为60~120微米。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710994571.5A CN107845740B (zh) | 2017-10-23 | 2017-10-23 | 一种柔性基板的制备方法及柔性基板 |
PCT/CN2017/109301 WO2019080160A1 (zh) | 2017-10-23 | 2017-11-03 | 一种柔性基板的制备方法及柔性基板 |
US15/749,260 US10355228B2 (en) | 2017-10-23 | 2017-11-03 | Method of manufacturing flexible substrate and flexible substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710994571.5A CN107845740B (zh) | 2017-10-23 | 2017-10-23 | 一种柔性基板的制备方法及柔性基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107845740A true CN107845740A (zh) | 2018-03-27 |
CN107845740B CN107845740B (zh) | 2020-04-10 |
Family
ID=61662692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710994571.5A Active CN107845740B (zh) | 2017-10-23 | 2017-10-23 | 一种柔性基板的制备方法及柔性基板 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107845740B (zh) |
WO (1) | WO2019080160A1 (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108847450A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-11-20 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种有机发光二极管的基底及其制作方法 |
WO2019187141A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | シャープ株式会社 | 表示デバイス |
CN110335970A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置 |
WO2020049674A1 (ja) * | 2018-09-06 | 2020-03-12 | シャープ株式会社 | 表示デバイス |
CN111725423A (zh) * | 2020-06-10 | 2020-09-29 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种oled器件及其制备方法、显示装置 |
CN113725514A (zh) * | 2020-05-25 | 2021-11-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030064569A1 (en) * | 2001-08-10 | 2003-04-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of peeling off and method of manufacturing semiconductor device |
US20140323006A1 (en) * | 2013-04-30 | 2014-10-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing flexible display device |
CN105226186A (zh) * | 2015-10-10 | 2016-01-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 柔性显示装置的制作方法及制得的柔性显示装置 |
CN106098939A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-11-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 激光无损剥离柔性基板的方法 |
CN106356472A (zh) * | 2016-10-18 | 2017-01-25 | 武汉华星光电技术有限公司 | Oled器件制作方法及oled器件 |
CN107123617A (zh) * | 2017-06-21 | 2017-09-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板及其制造方法和控制方法 |
CN107221556A (zh) * | 2017-06-26 | 2017-09-29 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于有机发光器件的散热结构及显示装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102151247B1 (ko) * | 2013-11-11 | 2020-09-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시 패널의 제조 방법 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 |
CN104505467B (zh) * | 2014-12-05 | 2017-09-19 | 上海天马微电子有限公司 | 一种复合基板、柔性显示器的制造方法以及柔性显示器 |
-
2017
- 2017-10-23 CN CN201710994571.5A patent/CN107845740B/zh active Active
- 2017-11-03 WO PCT/CN2017/109301 patent/WO2019080160A1/zh active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030064569A1 (en) * | 2001-08-10 | 2003-04-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of peeling off and method of manufacturing semiconductor device |
US20140323006A1 (en) * | 2013-04-30 | 2014-10-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing flexible display device |
CN105226186A (zh) * | 2015-10-10 | 2016-01-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 柔性显示装置的制作方法及制得的柔性显示装置 |
CN106098939A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-11-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 激光无损剥离柔性基板的方法 |
CN106356472A (zh) * | 2016-10-18 | 2017-01-25 | 武汉华星光电技术有限公司 | Oled器件制作方法及oled器件 |
CN107123617A (zh) * | 2017-06-21 | 2017-09-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板及其制造方法和控制方法 |
CN107221556A (zh) * | 2017-06-26 | 2017-09-29 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于有机发光器件的散热结构及显示装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019187141A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | シャープ株式会社 | 表示デバイス |
US11805672B2 (en) | 2018-03-30 | 2023-10-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device |
CN111919509B (zh) * | 2018-03-30 | 2023-08-29 | 夏普株式会社 | 显示装置 |
CN111919509A (zh) * | 2018-03-30 | 2020-11-10 | 夏普株式会社 | 显示装置 |
US11329261B2 (en) | 2018-06-12 | 2022-05-10 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Organic light emitting diode substrate and manufacturing method thereof |
CN108847450A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-11-20 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种有机发光二极管的基底及其制作方法 |
WO2020049674A1 (ja) * | 2018-09-06 | 2020-03-12 | シャープ株式会社 | 表示デバイス |
CN110335970B (zh) * | 2019-07-15 | 2022-01-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置 |
CN110335970A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置 |
WO2021238450A1 (zh) * | 2020-05-25 | 2021-12-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示装置 |
CN113725514A (zh) * | 2020-05-25 | 2021-11-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示装置 |
CN113725514B (zh) * | 2020-05-25 | 2023-08-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示装置 |
CN111725423A (zh) * | 2020-06-10 | 2020-09-29 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种oled器件及其制备方法、显示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107845740B (zh) | 2020-04-10 |
WO2019080160A1 (zh) | 2019-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107845740A (zh) | 一种柔性基板的制备方法及柔性基板 | |
JP4748986B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
US9623633B2 (en) | Flexible display and method for manufacturing the same | |
CN102456712B (zh) | 制造柔性显示器的方法 | |
JP4637588B2 (ja) | 表示装置の作製方法 | |
US11101447B2 (en) | Apparatus, method of manufacturing display apparatus, and protective film | |
JP5690876B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
KR100993130B1 (ko) | 반도체 장치 제작 방법 | |
US10529924B2 (en) | Support and detachment of flexible substrates | |
WO2015043169A1 (zh) | 柔性显示基板及其制备方法、柔性显示装置 | |
JP2004047975A (ja) | 積層体の転写方法及び半導体装置の作製方法 | |
US10355228B2 (en) | Method of manufacturing flexible substrate and flexible substrate | |
JP4801579B2 (ja) | 発光装置の作製方法 | |
US11502153B2 (en) | Array substrate and display device with interposer bonded to drive circuit and manufacturing method thereof | |
JP4912835B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
CN108767127A (zh) | 一种显示面板的制作方法、显示面板及显示装置 | |
JP5072196B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
Haq et al. | Temporary bond—debond technology for high‐performance transistors on flexible substrates | |
JP4757469B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2011210778A (ja) | 薄膜トランジスタ基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |