CN107761057B - 一种镀膜机的夹具 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种镀膜机的夹具，包括电极座、钼舟下安装板和钼舟上压片；所述电极座的上表面安装有夹持组件；所述夹持组件包括设置在所述电极座上表面的中部设有金属蒸发舟夹槽；所述金属蒸发舟夹槽的底面为平面；所述金属蒸发舟的两侧对称设有第一螺孔；所述钼舟下安装板与所述第一螺孔相对应的位置设有第一螺栓；所述第一螺栓贯穿所述钼舟下安装板；所述第一螺栓的远离所述钼舟下安装板的一侧开有第二螺孔；所述钼舟上压片的两侧边缘设有与所述二螺孔位置相对应的第二螺栓；所述第二螺栓贯穿所述钼舟上压片；所述钼舟上压片的长度小于所述钼舟下安装板的长度。本申请可实现硫化锌的蒸镀，弥补现有的镀膜机不能实现硫化锌镀膜的不足。

Description

一种镀膜机的夹具
技术领域
本申请涉及镀膜机领域，尤其涉及一种镀膜机的夹具。
背景技术
在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属等薄膜。通过加热蒸发某种物质，使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。蒸发物质如金属等至于金属蒸发舟内作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷和塑料等基片至于金属蒸发舟前方。待系统抽至高真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间，并与蒸发源和基片的距离有关。
蒸发源通常由难融的材料制成，如陶瓷等，利用电极通以电流，加热在金属蒸发舟内的蒸发物质。但是现有的镀膜机上仅设有陶瓷材质的金属蒸发舟，只能蒸镀金属材质的薄膜，而无法进行硫化锌等化学物质的蒸镀。
发明内容
本申请提供了一种镀膜机的夹具，以解决现有的镀膜机上仅设有陶瓷材质的金属蒸发舟，只能蒸镀金属材质的薄膜，而无法进行硫化锌等化学物质的蒸镀的问题。
本申请提供一种镀膜机的夹具，包括电极座、钼舟下安装板和钼舟上压片；
所述电极座的上表面安装有夹持组件；
所述夹持组件包括设置在所述电极座上表面的中部设有金属蒸发舟夹槽；
所述金属蒸发舟夹槽的底面为平面；
所述金属蒸发舟的两侧对称设有第一螺孔；
所述钼舟下安装板与所述第一螺孔相对应的位置设有第一螺栓；
所述第一螺栓贯穿所述钼舟下安装板；
所述第一螺栓的远离所述钼舟下安装板的一侧开有第二螺孔；
所述钼舟上压片的两侧边缘设有与所述第二螺孔位置相对应的第二螺栓；
所述第二螺栓贯穿所述钼舟上压片；
所述钼舟上压片的长度小于所述钼舟下安装板的长度。
进一步地，所述电极座包括正极座和负极座，所述正极座的数量为多个，所述每个正极座的上表面均对应设有一个夹持组件；且每两个相邻的正极座之间设有间隔。
进一步地，所述负极座的数量为一个，所述负极座的上表面设有多个夹持组件，且两个相邻的夹持组件之间设有间隔。
进一步地，所述钼舟下安装板和钼舟上压片采用紫铜制成。
进一步地，所述钼舟下安装板和钼舟上压片的截面为矩形。
进一步地，所述钼舟下安装板的长度与所述电极座的长度相同。
由以上技术方案可知，本申请提供了一种镀膜机的夹具，通过设置钼舟压板和钼舟固定板，可将钼舟固定在钼舟压板和钼舟固定板之间，再将硫化锌加入到钼舟内，利用正负电极加热，实现硫化锌的镀膜，因此，本申请可实现硫化锌的蒸镀，弥补现有的镀膜机不能实现硫化锌镀膜的不足。
附图说明
为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请提供的一种镀膜机的夹具的剖面图；
图2为本申请提供的一种镀膜机的俯视图；
其中，1-电极座，2-金属蒸发舟夹槽，3-第一螺孔，4-第一螺栓，5-第二螺孔，6-钼舟上压片，7-第二螺栓，8-钼舟下安装板，9-负极座，10-钼舟，11-正极座。
具体实施方式
本申请提供一种镀膜机的夹具，包括电极座1、钼舟下安装板8和钼舟上压片6；
所述电极座1的上表面安装有夹持组件；
所述夹持组件包括设置在所述电极座1上表面的中部设有金属蒸发舟夹槽2；
所述金属蒸发舟夹槽2的底面为平面；
所述金属蒸发舟的两侧对称设有第一螺孔3；
所述钼舟下安装板8与所述第一螺孔3相对应的位置设有第一螺栓4；
所述第一螺栓4贯穿所述钼舟下安装板8；
所述第一螺栓4的远离所述钼舟下安装板8的一侧开有第二螺孔5；
所述钼舟上压片6的两侧边缘设有与所述第二螺孔5位置相对应的第二螺栓7；
所述第二螺栓7贯穿所述钼舟上压片6；
所述钼舟上压片6的长度小于所述钼舟下安装板8的长度。
本申请的工作原理为：在需要蒸镀金属膜时，可利用电极座1的上表面的中部的金属蒸发舟夹槽2内，放置金属蒸发舟两侧的边缘部分，然后将钼舟下安装板8通过第一螺栓4和第一螺孔3的配合，将钼舟下安装板8固定在电极座1的上方，以使金属蒸发舟的边缘固定在电极座1的金属蒸发舟夹槽2上，两个电极座1分别夹持在金属蒸发舟两侧的边缘，并且两个电极座1分别通上正极电和负极电，然后在金属蒸发舟的两侧形成电压差，以使金属蒸发舟内的金属蒸发。在需要蒸镀硫化锌膜时，可利用钼舟下安装板8的第二螺孔5和钼舟10上压片的第二螺栓7，可将钼舟10的边缘夹持在钼舟下安装板8和钼舟10上压片之间，同样利用两个电极座1分别夹持在钼舟10两侧的边缘，并且分别通上正极电和负极电，并在钼舟10的两侧形成电压差，以使钼舟10内的硫化锌蒸发。
金属蒸发舟夹槽2的底面为平面，可增加金属蒸发舟的边缘与金属蒸发舟夹槽2之间的接触面积，使金属蒸发舟的固定更加稳固。
本实施例的钼舟下安装板8与所述第一螺孔3相对应的位置设有第一螺栓4；第一螺栓4贯穿所述钼舟下安装板8；第一螺栓4的远离所述钼舟下安装板8的一侧开有第二螺孔5；所述钼舟上压片6的两侧边缘设有与所述第二螺孔5位置相对应的第二螺栓7；第二螺栓7贯穿所述钼舟上压片6。在使用蒸镀设备之前，可将钼舟下安装板8、电极座1和钼舟上压片6依次通过第一螺栓4、第一螺孔3、第二螺栓7和第二螺孔5固定连接，如果需要进行硫化锌镀膜时，将第二螺栓7拧下，卸下钼舟上压片6，然后放置钼舟的边缘放置好，再将钼舟上压片6放好后，将第二螺栓7拧上。如果需要进行金属镀膜时，将第一螺栓4拧下，将钼舟下安装板8卸下，然后放置金属蒸发舟，再钼舟下安装板8通过第一螺栓4固定好即可。
由以上技术方案可知，本申请提供了一种镀膜机的夹具，通过设置钼舟10上压片和钼舟10固定板，可将钼舟10固定在钼舟上压片6和钼舟10固定板之间，再将硫化锌加入到钼舟10内，利用正负电极加热，实现硫化锌的镀膜，因此，本申请可实现硫化锌的蒸镀，弥补现有的镀膜机不能实现硫化锌镀膜的不足。
进一步地，所述电极座1包括正极座11和负极座9，所述正极座11的数量为多个，所述每个正极座11的上表面均对应设有一个夹持组件；且每两个相邻的正极座11之间设有间隔。
进一步地，所述负极座9的数量为一个，所述负极座9的上表面设有多个夹持组件，且两个相邻的夹持组件之间设有间隔。
负极座9可实现多个夹持组件进行多个钼舟10或金属蒸发舟的夹持，使夹具结构紧凑，节约空间。
进一步地，所述钼舟下安装板8和钼舟上压片6采用紫铜制成。
紫铜具有良好的导电性和耐腐蚀性，可防止化学物质的蒸发而引起的腐蚀现象的发生，增加夹具的使用寿命。
进一步地，所述钼舟下安装板8和钼舟上压片6的截面为矩形。
进一步地，所述钼舟下安装板8的长度与所述电极座1的长度相同。
由以上技术方案可知，本申请提供了一种镀膜机的夹具，通过设置钼舟10压板和钼舟10固定板，可将钼舟10固定在钼舟10压板和钼舟10固定板之间，再将硫化锌加入到钼舟10内，利用正负电极加热，实现硫化锌的镀膜，因此，本申请可实现硫化锌的蒸镀，弥补现有的镀膜机不能实现硫化锌镀膜的不足。

Claims (6)

1.一种镀膜机的夹具，其特征在于，包括电极座(1)、钼舟下安装板(8)和钼舟上压片(6)；
所述电极座(1)的上表面安装有夹持组件；
所述夹持组件包括设置在所述电极座(1)上表面的中部设有金属蒸发舟夹槽(2)；
所述金属蒸发舟夹槽(2)的底面为平面；
所述金属蒸发舟的两侧对称设有第一螺孔(3)；
所述钼舟下安装板(8)与所述第一螺孔(3)相对应的位置设有第一螺栓(4)；
所述第一螺栓(4)贯穿所述钼舟下安装板(8)；
所述第一螺栓(4)的远离所述钼舟下安装板(8)的一侧开有第二螺孔(5)；
所述钼舟上压片(6)的两侧边缘设有与所述第二螺孔(5)位置相对应的第二螺栓(7)；
所述第二螺栓(7)贯穿所述钼舟上压片(6)；
所述钼舟上压片(6)的长度小于所述钼舟下安装板(8)的长度。
2.如权利要求1所述的镀膜机的夹具，其特征在于，所述电极座(1)包括正极座(11)和负极座(9)，所述正极座(11)的数量为多个，所述每个正极座(11)的上表面均对应设有一个夹持组件；且每两个相邻的正极座(11)之间设有间隔。
3.如权利要求2所述的镀膜机的夹具，其特征在于，所述负极座(9)的数量为一个，所述负极座(9)的上表面设有多个夹持组件，且两个相邻的夹持组件之间设有间隔。
4.如权利要求1所述的镀膜机的夹具，其特征在于，所述钼舟下安装板(8)和钼舟上压片(6)采用紫铜制成。
5.如权利要求1所述的镀膜机的夹具，其特征在于，所述钼舟下安装板(8)和钼舟上压片(6)的截面为矩形。
6.如权利要求1所述的镀膜机的夹具，其特征在于，所述钼舟下安装板(8)的长度与所述电极座(1)的长度相同。
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