CN201990719U - 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具 - Google Patents
靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201990719U CN201990719U CN2011200025886U CN201120002588U CN201990719U CN 201990719 U CN201990719 U CN 201990719U CN 2011200025886 U CN2011200025886 U CN 2011200025886U CN 201120002588 U CN201120002588 U CN 201120002588U CN 201990719 U CN201990719 U CN 201990719U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- target
- fixture
- support frame
- evaporation coating
- target material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，属于薄膜生产领域，旨在提供一种能够满足不同大小靶材金属化镀膜的需求且能重复利用的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具；包括支架和数根夹条，所述支架上开有贯通其上下表面的通孔，在通孔四周的支架上均设置有导轨，夹条通过螺丝固定连接于导轨间。由于本实用新型的夹条间的距离能够通过螺丝的松紧自由在支架上调节，在适用最大尺寸的范围内，能够满足不同大小及形状的靶材金属化镀膜需求，扩大了夹具的实用范围，减少了夹具的需求量；而且加工方便，成本低廉，操作简单，具有普遍适用的多功能性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种薄膜生产领域中靶材背面金属化蒸发镀膜处理用的多功能夹具。
背景技术
磁控溅射镀膜是真空镀膜的主要形式之一，是一种成本低、速度快的薄膜形成方法。磁控溅射镀膜在靶材表面引入磁场，带电粒子在磁场的约束下轰击靶材，使靶材发生溅射，沉积成膜。在溅射的过程中靶材需要足够的机械强度经受离子的轰击，且轰击过程中靶材会产生大量的热，需要冷却。因此，通常会把靶材与金属背板焊接，金属板背面由冷却水循环系统冷却。
为了使靶材和金属背板能够牢靠的焊接起来，具有足够的联接强度，在焊接前，通常需要把靶材背面金属化蒸发镀膜处理。靶材金属化蒸发镀膜，需要把靶材装入夹具中放置在镀膜机的特定位置，而根据生产的需要，靶材的大小及形状往往又各不相同，因此需要制造大量的夹具，有些夹具由于需求不大，在使用过后长时间闲置，造成资源的浪费。
发明内容
针对上述现有技术，本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够满足不同大小靶材金属化镀膜的需求且能重复利用的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，包括支架和数根夹条，所述支架上开有贯通其上下表面的通孔，在通孔四周的支架上均设置有导轨，夹条通过螺丝固定连接于导轨间。
作为优选，支架上的通孔为方形，方形通孔相对两边上的导轨相平行，夹条连接在相互平行的导轨之间。
作为优选，所述夹条两侧开有放置靶材的槽道。
与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：夹条间的距离能够通过螺丝的松紧自由在支架上调节，在适用最大尺寸的范围内，能够满足不同大小及形状的靶材金属化镀膜需求，扩大了夹具的实用范围，减少了夹具的需求量；而且加工方便，成本低廉，操作简单，具有普遍适用的多功能性。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步的描述。
参见图1，一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，包括铝制材质的支架1和夹条2，所述支架1为圆柱形且其中部开有贯通其上下表面的方形通孔，在方形通孔的四周的支架1上均设置有导轨3且方形通孔相对两边上的导轨3相平行，夹条2连接在相互平行的导轨3之间，本实施例所述的导轨3即为贯通支架1上下表面的条形通孔，支架1的方形通孔的侧壁上开有与该条形通孔连通的通孔，夹条2通过该通孔连接在导轨3间，所述夹条2还通过可调松紧的螺丝4固定于导轨3上，夹条2的数目可根据生产需要加减，作为优选，本实施例的夹条2两侧开有放置靶材的槽道，用槽道能够更好的放置待镀靶材。
靶材金属化蒸发镀膜时，根据靶材尺寸大小，调节相邻夹条2间的距离，调整到合适位置时，旋紧螺丝4，使夹条2固定，把调整好的夹具放入镀膜机真空室中，在相邻夹条2的槽道上放置待镀靶材，在镀膜机的蒸发舟中放入蒸镀合金熔料，关闭真空室后抽真空，即可开始镀膜。该夹具可根据靶材大小及形状自由调整，节约了资源，降低了成本，而且操作也很简单。
Claims (3)
1.一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，其特征在于：包括支架（1）和数根夹条（2），所述支架（1）上开有贯通其上下表面的通孔，在通孔四周的支架（1）上设置有导轨（3），夹条（2）通过螺丝（4）固定连接于导轨（3）间。
2.根据权利要求1所述的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，其特征在于：支架（1）上的通孔为方形，方形通孔相对两边上的导轨（3）相平行，夹条（2）连接在相互平行的导轨（3）之间。
3.根据权利要求1或2所述的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，其特征在于：所述夹条（2）两侧开有放置靶材的槽道。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011200025886U CN201990719U (zh) | 2011-01-06 | 2011-01-06 | 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011200025886U CN201990719U (zh) | 2011-01-06 | 2011-01-06 | 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201990719U true CN201990719U (zh) | 2011-09-28 |
Family
ID=44667213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011200025886U Expired - Fee Related CN201990719U (zh) | 2011-01-06 | 2011-01-06 | 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201990719U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102517557A (zh) * | 2011-12-06 | 2012-06-27 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种电子倍增器打拿极曲面镀膜基盘架 |
| CN103184423A (zh) * | 2013-04-08 | 2013-07-03 | 关长文 | 真空镀膜玻璃的夹具 |
| CN107761057A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-03-06 | 常德金德新材料科技股份有限公司 | 一种镀膜机的夹具 |
| CN111378934A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-07-07 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 提升电子束蒸镀薄膜元件的光谱和应力时效稳定性的镀膜方法 |
-
2011
- 2011-01-06 CN CN2011200025886U patent/CN201990719U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102517557A (zh) * | 2011-12-06 | 2012-06-27 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种电子倍增器打拿极曲面镀膜基盘架 |
| CN103184423A (zh) * | 2013-04-08 | 2013-07-03 | 关长文 | 真空镀膜玻璃的夹具 |
| CN107761057A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-03-06 | 常德金德新材料科技股份有限公司 | 一种镀膜机的夹具 |
| CN107761057B (zh) * | 2017-12-01 | 2019-03-15 | 常德金德新材料科技股份有限公司 | 一种镀膜机的夹具 |
| CN111378934A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-07-07 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 提升电子束蒸镀薄膜元件的光谱和应力时效稳定性的镀膜方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201990719U (zh) | 靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具 | |
| CN201343497Y (zh) | 可调式玻璃基片架 | |
| CN103737140A (zh) | Ito靶材与铜背板的绑定方法 | |
| CN101484968A (zh) | 具有受控焊锡厚度的溅射靶组件 | |
| CN101969124B (zh) | 一种用于锂离子电池的锡铜合金负极材料及其制备方法 | |
| CN101250687A (zh) | 一种矩形平面磁控溅射阴极 | |
| CN202022477U (zh) | 玻璃夹具及玻璃运送装置 | |
| CN204825043U (zh) | 一种磁控溅射立式镀膜夹具 | |
| CN102000695A (zh) | 金属板材的轧制方法 | |
| Chen et al. | Effects of Al coating on corrosion resistance of sintered NdFeB magnet | |
| CN211073334U (zh) | 一种金属结构件加工用夹紧装置 | |
| CN110802163B (zh) | 一种壁板超声辅助批量蠕变时效成形装置的使用方法 | |
| CN105763165A (zh) | 一种石英振荡器真空溅射镀膜装置 | |
| CN109735821A (zh) | 一种高场强高靶材利用率的阴极 | |
| CN201988952U (zh) | 端盖类零件卧放加工装置 | |
| CN202246844U (zh) | 磁水分离型平面磁控溅射靶 | |
| CN106399958B (zh) | 一种用于金属镀膜的矩形磁控溅射靶 | |
| CN204281846U (zh) | 一种真空离子镀膜设备的新型磁场结构 | |
| CN209722290U (zh) | 一种半导体制冷片靶材冷却装置 | |
| CN102189422A (zh) | 端盖类零件卧放加工装置 | |
| CN201162042Y (zh) | 一种矩形平面磁控溅射阴极 | |
| CN207154517U (zh) | 一种高精度冲切模具 | |
| CN204779785U (zh) | 一种阴极电弧源 | |
| CN107699857B (zh) | 一种方便散热的靶材安装装置 | |
| CN2915883Y (zh) | 一种三靶磁控溅射镀膜机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110928 Termination date: 20140106 |