CN107644668A - 一种宏微工作台 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种宏微工作台，包括工作台本体和设于工作台本体上的宏动台、微动台以及驱动宏动台移动的驱动组件，微动台包括一基座，基座上设有穿过基座的通槽，通槽将基座分为一动台体和一基座本体，通槽包括X向通槽和Y向通槽，Y向通槽将X向通槽围设在Y向通槽的内侧，X向通槽包括一组相对设置的第一U型槽与第二U型槽，Y向通槽包括相对设置的第三U型槽与第四U型槽，基座上设有沿X向延伸的第一凹槽和沿Y向延伸的第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽内分别设有第一压电陶瓷与第二压电陶瓷，本申请的宏微工作台，通过设置X向与Y向的通槽实现X向与Y向运动控制简单解决现有的X向与Y向运动的耦合问题，结构更加简单，体积更小。

Description

一种宏微工作台
技术领域
本申请涉及一种微/纳米定位系统中的微位移机构，尤其涉及一种宏微工作台。
背景技术
随着科技的不断发展，随着科技的发展，精密微定位技术在微驱动各个领域，如微机电系统、光学调整、超精密加工、生物细胞操作、STM和AFM显微镜扫描平台等方面都是必不可少的，有着广阔的应用前景，并能产生巨大的社会及经济效益，己成为微驱动精密定位领域中不可或缺的关键技术之一。
申请内容
本申请要解决的技术问题是提供一种结构简单、体积小的宏微工作台。
为了解决上述技术问题，本申请提供了一种宏微工作台，包括工作台本体和设于所述工作台本体上的宏动台、微动台以及驱动所述宏动台移动的驱动组件，所述微动台设于所述宏动台上，所述微动台包括一基座，所述基座上设有穿过所述基座的上表面与下表面的通槽，所述通槽将所述基座分为一动台体和一基座本体，所述通槽包括X向通槽和Y向通槽，所述Y向通槽将所述X向通槽围设在所述Y向通槽的内侧，所述X向通槽和所述Y向通槽间隔设置，所述X向通槽包括一组相对设置的第一U型槽与第二U型槽，所述第一U型槽与第二U型槽的槽口相对设置，所述Y向通槽包括相对设置的第三U型槽与第四U型槽，所述第三U型槽与第四U型槽的槽口相对设置，各所述U型槽均包括一横部和设于所述横部两端并与所述横部相垂直设置的竖部，所述横部的长度长于所述竖部的长度，所述基座上设有沿X向延伸的第一凹槽和沿Y向延伸的第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽内分别设有第一压电陶瓷与第二压电陶瓷，所述第一压电陶瓷穿过所述第一U型槽的横部，所述第二压电陶瓷穿过所述第二U型槽的横部。
进一步的，所述基座本体上分别设有穿过所述基座本体的侧壁并分别抵持对应的压电陶瓷的预紧顶杆。
进一步的，所述第一凹槽长度方向的延长线与第二凹槽长度方向的延长线交于所述基座的中心。
进一步的，所述基座的侧壁上还设有供所述压电陶瓷出线、与所述凹槽连通的电线保护套。
进一步的，所述动台体上设有多个安装孔。
进一步的，所述基座上还设有与所述基座可拆卸连接的底盖。
进一步的，所述驱动组件包括一丝杠螺母副和驱动所述丝杠螺母副的伺服电机，所述宏动台设于所述丝杠螺母副的丝母上。
进一步的，所述工作台本体上竖向设置有一与所述工作台本体可拆卸连接的收容腔，所述丝杠螺母副设于所述收容腔内，所述收容腔靠近所述宏动台的一侧的侧壁开设有供所述宏动台上下移动的通孔，所述收容腔的侧壁与所述宏动台接触的侧壁上还设有滑槽，所述宏动台上设有与所述滑槽相适配的滑块。
进一步的，所述宏动台与所述工作台本体之间设有一导向机构，所述导向机构包括一导套和与所述导套相适配的圆柱轴，所述宏动台与所述工作台本体中的其中一者设有导套，另一者设有圆柱轴。
本申请的有益效果是：
1)本申请的宏微工作台，通过设置X向与Y向的通槽实现X向与Y向运动控制简单解决现有的X向与Y向运动的耦合问题；
2)本申请的宏微工作台，将整个微动台的驱动部件与相应部件均设置在基座上，使整个结构较现有微动台的结构更加简单，体积更小。
3)本申请的宏微工作台，通过宏动结合微动的运动方式可以实现快速调整平台的位置。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1是本申请宏微工作台的结构示意图；
图2是本申请宏微工作台的微动台的结构示意图；
图3是本申请宏微工作台的宏动台的示意图；
图4是本申请宏微工作台的另一视角的结构示意图。
其中：
2是工作台本体、4是宏动台、6是微动台、8是基座、10是动台体、12是基座本体、14是第一U型槽、16是第二U型槽、18第三U型槽、20第四U型槽、22是第一凹槽、24是第二凹槽、26是预紧顶杆、28是电线保护套、30是丝杠螺母副、32是伺服电机、34是收容腔、36是滑块、38是导向机构。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本申请并能予以实施，但所举实施例不作为对本申请的限定。
参见附图1至4，本说明一较佳实施例的一种宏微工作台，包括工作台本体2和设于工作台本体2上的宏动台4、微动台6以及驱动宏动台移动的驱动组件，微动台6设于宏动台4上，微动台6包括一基座8，基座8上设有穿过基座8的上表面与下表面的通槽，通槽将基座分为一动台体10和一基座本体12，通槽包括X向通槽和Y向通槽，Y向通槽将X向通槽围设在Y向通槽的内侧，X向通槽和Y向通槽间隔设置，X向通槽包括一组相对设置的第一U型槽14与第二U型槽16，第一U型槽14与第二U型槽16的槽口相对设置，Y向通槽包括相对设置的第三U型槽18与第四U型槽20，第三U型槽18与第四U型槽20的槽口相对设置，各U型槽均包括一横部和设于横部两端并与横部相垂直设置的竖部，横部的长度长于竖部的长度，基座上设有沿X向延伸的第一凹槽22和沿Y向延伸的第二凹槽24，第一凹槽22与第二凹槽24内分别设有第一压电陶瓷与第二压电陶瓷，第一压电陶瓷穿过第一U型槽的横部，第二压电陶瓷穿过第二U型槽的横部，为避免在安装过程中由于间隙所造成的运动误差，基座本体上分别设有穿过基座本体的侧壁并分别抵持对应的压电陶瓷的预紧顶杆26。
本申请通过设置X向与Y向的通槽实现X向与Y向运动控制简单解决现有的X向与Y向运动的耦合问题。
为使整个的微动台运动更加的平稳，确保了位移的精度，第一凹槽22长度方向的延长线与第二凹槽24长度方向的延长线交于基座的中心。
为方便压电陶瓷的接线，本申请在基座的侧壁上还设有供压电陶瓷出线、与凹槽连通的电线保护套28。
为了安装需要在动台体10上设有多个安装孔。
为了结构的完整性，在基座上还设有与基座可拆卸连接的底盖(图中未示出)。
具体的，驱动组件包括一丝杠螺母副30和驱动丝杠螺母副的伺服电机32，宏动台4设于丝杠螺母副30的丝母上。
未安装驱动组件的需要，在工作台本体2上竖向设置有一与工作台本体2可拆卸连接的收容腔34，丝杠螺母副30设于收容腔34内，收容腔34靠近宏动台的一侧的侧壁开设有供宏动台上下移动的通孔，收容腔的侧壁与宏动台接触的侧壁上还设有滑槽，宏动台上设有与滑槽相适配的滑块36。
为了保证宏动台的运动平稳性，在宏动台与工作台本体之间设有一导向机构38，导向机构包括一导套和与导套相适配的圆柱轴，宏动台4与工作台本体2中的其中一者设有导套，另一者设有圆柱轴。
以上所述实施例仅是为充分说明本申请而所举的较佳的实施例，本申请的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本申请基础上所作的等同替代或变换，均在本申请的保护范围之内。本申请的保护范围以权利要求书为准。

Claims (9)

1.一种宏微工作台，其特征在于，包括工作台本体和设于所述工作台本体上的宏动台、微动台以及驱动所述宏动台移动的驱动组件，所述微动台设于所述宏动台上，所述微动台包括一基座，所述基座上设有穿过所述基座的上表面与下表面的通槽，所述通槽将所述基座分为一动台体和一基座本体，所述通槽包括X向通槽和Y向通槽，所述Y向通槽将所述X向通槽围设在所述Y向通槽的内侧，所述X向通槽和所述Y向通槽间隔设置，所述X向通槽包括一组相对设置的第一U型槽与第二U型槽，所述第一U型槽与第二U型槽的槽口相对设置，所述Y向通槽包括相对设置的第三U型槽与第四U型槽，所述第三U型槽与第四U型槽的槽口相对设置，各所述U型槽均包括一横部和设于所述横部两端并与所述横部相垂直设置的竖部，所述横部的长度长于所述竖部的长度，所述基座上设有沿X向延伸的第一凹槽和沿Y向延伸的第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽内分别设有第一压电陶瓷与第二压电陶瓷，所述第一压电陶瓷穿过所述第一U型槽的横部，所述第二压电陶瓷穿过所述第二U型槽的横部。
2.根据权利要求1所述的宏微工作台，其特征在于，所述基座本体上分别设有穿过所述基座本体的侧壁并分别抵持对应的压电陶瓷的预紧顶杆。
3.根据权利要求2所述的宏微工作台，其特征在于，所述第一凹槽长度方向的延长线与第二凹槽长度方向的延长线交于所述基座的中心。
4.根据权利要求3所述的宏微工作台，其特征在于，所述基座的侧壁上还设有供所述压电陶瓷出线、与所述凹槽连通的电线保护套。
5.根据权利要求3所述的宏微工作台，其特征在于，所述动台体上设有多个安装孔。
6.根据权利要求3所述的宏微工作台，其特征在于，所述基座上还设有与所述基座可拆卸连接的底盖。
7.根据权利要求3所述的宏微工作台，其特征在于，所述驱动组件包括一丝杠螺母副和驱动所述丝杠螺母副的伺服电机，所述宏动台设于所述丝杠螺母副的丝母上。
8.根据权利要求7所述的宏微工作台，其特征在于，所述工作台本体上竖向设置有一与所述工作台本体可拆卸连接的收容腔，所述丝杠螺母副设于所述收容腔内，所述收容腔靠近所述宏动台的一侧的侧壁开设有供所述宏动台上下移动的通孔，所述收容腔的侧壁与所述宏动台接触的侧壁上还设有滑槽，所述宏动台上设有与所述滑槽相适配的滑块。
9.根据权利要求3所述的宏微工作台，其特征在于，所述宏动台与所述工作台本体之间设有一导向机构，所述导向机构包括一导套和与所述导套相适配的圆柱轴，所述宏动台与所述工作台本体中的其中一者设有导套，另一者设有圆柱轴。
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