CN107598361A - 用于激光退火设备的焦点调整系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种用于激光退火设备的焦点调整系统，包括：控制器，用于获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息，计算调整电机的旋转角度并向电机驱动器发送脉冲信号；电机驱动器，用于驱动调整电机进行转动；调整电机，用于连接激光退火设备中的焦点调整机构，实现对激光退火设备中的透镜单元与激光退火设备中的基板之间的距离进行调整。本发明还提供了一种用于激光退火设备的焦点调整方法，包括：获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息；计算距离信息的旋转角度；根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构，使焦点调整机构调节激光退火设备的透镜单元与激光退火设备中基板的距离。与现有技术相比，从而减少停机时间，提高产能。
Description
技术领域
本发明涉及一种显示面板的制造设备，特别是一种用于激光退火设备的焦点调整系统及方法。
背景技术
在LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅)生产制程中，激光退火设备为常用设备，现有的激光退火设备中激光束的对焦通过透镜单元进行激光源的汇聚形成光束，而由于面板尺寸的不同，其基板的厚度也不相同，当在对不同厚度的基板进行激光退火工艺前，都需要人工调整透镜单元与基板之间的距离，从而使激光的焦点位于基板表面的膜层上，目前，透镜单元的调焦通过手动对焦点调整机构进行调节，具体是转动焦点调节旋钮，从而使焦点调整机构带动透镜单元移动，实现激光束的焦点能够落在基板表面的膜层上，而针对不同厚度的基板，每次调整需停机约10小时进行对应的距离焦点调整，以达成最好的照射效果；但是此特性会在量产时造成频繁停机，降低生产效率。
发明内容
为克服现有技术的不足，本发明提供一种用于激光退火设备的焦点调整系统及方法，使得能够自动对透镜单元与基板的距离进行调节，从而调节激光束的焦点，减少停机时间，提高产能。
本发明提供了一种用于激光退火设备的焦点调整系统，包括：
控制器，用于获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息，计算调整电机的旋转角度并向电机驱动器发送脉冲信号；
电机驱动器，用于驱动调整电机进行转动；
调整电机，用于连接激光退火设备中的焦点调整机构，实现对激光退火设备中的透镜单元与激光退火设备中的基板之间的距离进行调整。
进一步地，所述距离信息为激光退火设备中透镜单元与激光退火设备中基板之间的距离。
进一步地，还包括绝对值编码器，用于向控制器发送反馈信息，所述绝对值编码器分别与控制器以及电机驱动器连接。
进一步地，所述控制器还根据前一次的反馈信息与当前的距离信息重新计算调整电机的旋转角度并向电机驱动器发送脉冲信号。
进一步地，所述反馈信息为透镜单元当前的位置信息。
进一步地，所述调整电机为步进电机。
本发明还提供了一种用于激光退火设备的焦点调整方法，包括如下步骤：
获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息；
计算距离信息的旋转角度；
根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构，使焦点调整机构调节激光退火设备的透镜单元与激光退火设备中基板的距离。
进一步地，所述距离信息为激光退火设备中透镜单元与激光退火设备中基板之间的距离。
进一步地，所述方法还包括在根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构后返回反馈信息。
进一步地，所述方法还包括根据前一次的反馈信息与当前的距离信息重新计算旋转角度，并根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构。
本发明与现有技术相比，通过根据基板厚度所对应的位置信息，对电机的转动角度进行控制，驱动焦点调整机构自动调整透镜单元与基板的距离，使激光束的焦点落在基板表面上，从而减少停机时间，提高产能。
附图说明
图1是本发明的用于激光退火设备的焦点调整系统的第一种连接方式的连接示意图；
图2是本发明的用于激光退火设备的焦点调整系统的第二种连接方式的连接示意图；
图3是本发明的用于激光退火设备的焦点调整方法的流程图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。在附图中，为了便于说明，会夸大元件的尺寸。另外，为了便于说明，附图中元件的尺寸和厚度可以被随意地设置，因此并不限制本发明的范围。
如图1所示，本发明的第一种用于激光退火设备的焦点调整系统，包括：
控制器1，用于获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息，计算调整电机3的旋转角度并向电机驱动器2发送脉冲信号，所述获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息具体为预先收集不同基板厚度所对应的距离信息，并将该距离信息写入该基板所对应的基板参数(recipe)信息中，供控制器1调用，此基板参数(recipe)信息记录在激光退火控制系统中，所述激光退火控制系统为激光退火设备的常规系统，在此不作详细赘述；
电机驱动器2，用于驱动调整电机3进行转动；具体地，根据控制器1所发来的脉冲信号对调整电机3进行驱动；
调整电机3，用于连接激光退火设备中的焦点调整机构，实现对激光退火设备中的透镜单元与激光退火设备中的基板之间的距离进行调整，从而使激光退火设备中激光束的焦点能够投射到基板上；具体地，调整电机3的输出轴通过联轴器6与焦点调整机构的焦点调节旋钮连接在一起。
在上述的焦点调整机构为现有技术中激光退火设备的常规部件，本发明对此不作限制。
在上述的用于激光退火设备的焦点调整系统中，控制器1与激光退火控制系统以及电机驱动器2连接，电机驱动器2与调整电机3连接，而调整电机3则通过联轴器6与激光退火设备中焦点调整机构的焦点调节旋钮5连接。
所述根据距离信息对电机旋转角度的计算采用现有技术中，在此不作具体限制。
所述距离信息为激光退火设备中透镜单元与激光退火设备中基板之间的距离。
如图2所示，本发明的第二种用于激光退火设备的焦点调整系统，包括：
控制器1，用于获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息，计算调整电机3的旋转角度并向电机驱动器2发送脉冲信号，所述获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息具体为预先收集不同基板厚度所对应的距离信息，并将该距离信息写入该基板所对应的基板参数(recipe)信息中，供控制器1调用，此基板参数(recipe)信息记录在激光退火控制系统中，所述激光退火控制系统为激光退火设备的常规系统，在此不作详细赘述；
电机驱动器2，用于驱动调整电机3进行转动；具体地，根据控制器1所发来的脉冲信号对调整电机3进行驱动；
调整电机3，用于连接激光退火设备中的焦点调整机构，实现对激光退火设备中的透镜单元与激光退火设备中的基板之间的距离进行调整，从而使激光退火设备中激光束的焦点能够投射到基板上；具体地，调整电机3的输出轴通过联轴器6与焦点调整机构的焦点调节旋钮5连接在一起；
绝对值编码器4，用于向控制器1发送反馈信息，所述绝对值编码器4分别与控制器1以及电机驱动器2连接。
所述控制器1还根据前一次的反馈信息与当前的距离信息重新计算调整电机3的旋转角度并向电机驱动器2发送脉冲信号；具体地，当前后两次激光退火制程中基板的厚度不相同时，控制器1根据前一次的反馈信息与当前的基板厚度所对应的距离信息进行重新计算调整电机3的旋转角度，从而避免需要调整前先对透镜单元进行复位后再进行焦点调整的问题，从而提高效率。
在上述的焦点调整机构为现有技术中激光退火设备的常规部件，本发明对此不作限制。
在上述的用于激光退火设备的焦点调整系统中，控制器1与激光退火控制系统、电机驱动器2以及绝对值编码器4连接，电机驱动器2与调整电机3连接以及绝对值编码器4连接，而调整电机3则通过联轴器6与激光退火设备中焦点调整机构的焦点调节旋钮5连接。
所述根据距离信息对电机旋转角度的计算采用现有技术中，在此不作具体限制。
所述距离信息为激光退火设备中透镜单元与激光退火设备中基板之间的距离；所述反馈信息为透镜单元当前的位置信息。
如图3所示，用于激光退火设备的焦点调整方法，包括如下步骤：
步骤一、获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息；具体地，所述获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息为预先收集不同基板厚度所对应的距离信息，并将该距离信息写入该基板所对应的基板参数(recipe)信息中，供调用，此基板参数(recipe)信息记录在激光退火控制系统中，所述激光退火控制系统为激光退火设备的常规系统，在此不作详细赘述；
步骤二、计算距离信息的旋转角度；即通过距离信息计算电机的旋转角度，从而实现对电机输出脉冲的控制；
步骤三、根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构，使焦点调整机构调节激光退火设备的透镜单元与激光退火设备中基板的距离，从而使激光退火设备中激光束的焦点能够投射到基板上。
所述距离信息为激光退火设备中透镜单元与激光退火设备中基板之间的距离。
所述方法还包括步骤四、在执行完步骤三后返回反馈信息。所述反馈信息为透镜单元当前的位置信息。
所述方法还包括当前后两次激光退火制程中基板的厚度不相同时，根据前一次的反馈信息与当前的距离信息重新计算旋转角度，并根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构，使焦点调整机构调节激光退火设备的透镜单元与激光退火设备中基板的距离；从而避免需要调整前先对透镜单元进行复位后再进行焦点调整的问题，从而提高效率。
在本发明中，由于需要激光退火的基板其表面已沉积有相应的(非晶硅层)膜层，在上述的描述中省去了膜层(非晶硅层)的描述，但是根据现有技术，理应知道本发明中的基板并非裸板，而是具有非晶硅层的基板。
虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。
Claims (10)
1.一种用于激光退火设备的焦点调整系统，其特征在于：包括：
控制器(1)，用于获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息，计算调整电机(3)的旋转角度并向电机驱动器(2)发送脉冲信号；
电机驱动器(2)，用于驱动调整电机(3)进行转动；
调整电机(3)，用于连接激光退火设备中的焦点调整机构，实现对激光退火设备中的透镜单元与激光退火设备中的基板之间的距离进行调整。
2.根据权利要求1所述的用于激光退火设备的焦点调整系统，其特征在于：所述距离信息为激光退火设备中透镜单元与激光退火设备中基板之间的距离。
3.根据权利要求1所述的用于激光退火设备的焦点调整系统，其特征在于：还包括绝对值编码器(4)，用于向控制器(1)发送反馈信息，所述绝对值编码器(4)分别与控制器(1)以及电机驱动器(2)连接。
4.根据权利要求3所述的用于激光退火设备的焦点调整系统，其特征在于：所述控制器(1)还根据前一次的反馈信息与当前的距离信息重新计算调整电机(3)的旋转角度并向电机驱动器(2)发送脉冲信号。
5.根据权利要求3或4所述的用于激光退火设备的焦点调整系统，其特征在于：所述反馈信息为透镜单元当前的位置信息。
6.根据权利要求1所述的用于激光退火设备的焦点调整系统，其特征在于：所述调整电机(3)为步进电机。
7.一种用于激光退火设备的焦点调整方法，其特征在于：包括如下步骤：
获取激光退火设备中基板厚度所对应的距离信息；
计算距离信息的旋转角度；
根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构，使焦点调整机构调节激光退火设备的透镜单元与激光退火设备中基板的距离。
8.根据权利要求7所述的用于激光退火设备的焦点调整方法，其特征在于：所述距离信息为激光退火设备中透镜单元与激光退火设备中基板之间的距离。
9.根据权利要求7所述的激光退火设备的焦点调整方法，其特征在于：所述方法还包括在根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构后返回反馈信息。
10.根据权利要求9所述的激光退火设备的焦点调整方法，其特征在于：所述方法还包括根据前一次的反馈信息与当前的距离信息重新计算旋转角度，并根据旋转角度驱动激光退火设备的焦点调整机构。
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