CN107589216A - 刻蚀液浓度的监测系统及其滴定装置、监测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种刻蚀液浓度的监测系统及其滴定装置、监测方法。本发明通过称重器检测滴定容器中滴定液的重量，转换接头断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与滴定腔室之间的导通，并将滴定液重量大于预设阈值的一个滴定容器与滴定腔室导通。基于此，本发明不仅能够避免滴定液不足导致的宕机现象，确保设备使用率和产品良率，还能够减少提前更换滴定容器所造成的滴定液浪费。

Description

刻蚀液浓度的监测系统及其滴定装置、监测方法

技术领域

本发明涉及刻蚀液浓度监测技术领域，具体涉及一种刻蚀液浓度的监测系统及其滴定装置、监测方法。

背景技术

在LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)的生产过程中，湿法蚀刻常被用于可是金属膜层，并且随着刻蚀的进行刻蚀液的浓度逐渐降低，使得单位时间内的刻蚀效率越来越小。为了延长刻蚀液的使用寿命，需要对刻蚀液的浓度进行监控，以确定何时加入和排放刻蚀液，从而确保刻蚀液的浓度始终保持在一定范围内。

现有技术主要通过中和滴定方式来监测刻蚀液的浓度，但是该方式将每一类型的定液盛装于一个滴定容器中，当滴定液不足时会造成整个监控系统宕机，不仅影响设备使用率，而且会影响产品良率，而如果提前更换滴定容器，则会造成滴定液的浪费。

发明内容

鉴于此，本发明提供一种刻蚀液浓度的监测系统及其滴定装置、监测方法，不仅能够避免滴定液不足导致的宕机现象，以此确保设备使用率和产品良率，还能够减少提前更换滴定容器所造成的滴定液浪费。

本发明一实施例的用于刻蚀液浓度监测的滴定装置，包括滴定腔室、转换接头、多个滴定容器及多个称重器，

所述多个滴定容器分别用于盛装滴定液；

所述称重器与滴定容器一一对应设置，所述称重器用于检测其对应的滴定容器所盛装的滴定液的重量；

所述转换接头连接于多个滴定容器与滴定腔室之间，并用于断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与滴定腔室之间的导通，以及将滴定液重量大于预设阈值的一个滴定容器与滴定腔室导通。

本发明一实施例的刻蚀液浓度监测系统，包括上述滴定装置。

本发明一实施例的刻蚀液浓度的监测方法，包括：

为滴定腔室连接多个滴定容器，所述多个滴定容器分别盛装有滴定液，且多个滴定容器通过一个转换接头与滴定腔室连接；

为每一滴定容器设置一称重器，并通过称重器检测其对应的滴定容器所盛装的滴定液的重量；

转换接头断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与滴定腔室之间的导通，并将滴定液重量大于预设阈值的一个滴定容器与滴定腔室导通。

有益效果：本发明通过称重器检测滴定容器中滴定液的重量，转换接头断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与滴定腔室之间的导通，并将滴定液重量大于预设阈值的一个滴定容器与滴定腔室导通，也就是说，在当前滴定容器的滴定液不足时，本发明自动切换另一滴定液充足的滴定容器并由其向滴定腔室中注入滴定液，不仅能够避免滴定液不足导致的宕机现象，以此确保设备使用率和产品良率，还能够减少提前更换滴定容器所造成的滴定液浪费。

附图说明

图1是本发明一实施例的刻蚀液浓度监测系统的结构示意图；

图2是本发明一实施例的滴定装置的结构示意图；

图3是本发明一实施例的刻蚀液浓度的监测方法的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明所提供的各个示例性的实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。并且，本发明下文各个实施例所采用的方向性术语，例如“上”、“下”等，均是为了更好的描述各个实施例，并非用于限制本发明的保护范围。

图1是本发明一实施例的刻蚀液浓度监测系统的结构示意图。请参阅图1，所述刻蚀液浓度监测系统10包括滴定装置20以及与滴定装置20通信连接的中央控制系统11。如图2所示，本实施例的滴定装置20包括滴定腔室21、转换接头22、第一滴定容器231、第二滴定容器232、第一称重器241以及第二称重器242。

滴定腔室21的顶部可以开设有滴液口，滴液口连接有进液管。

第一滴定容器231和第二滴定容器232用于盛装同一类型的滴定液，例如NaOH(氢氧化钠)溶液。并且，第一滴定容器231和第二滴定容器232可以完全相同，由此两者盛装的滴定液重量相同。

转换接头22连接于第一滴定容器231和滴定腔室21之间，以及第二滴定容器232和滴定腔室21之间。本实施例的转换接头22实质上为二选一开关，也就是说，转换接头22的一端提供有两个入口、另一端提供有一个出口，其中，两个入口分别连接第一滴定容器231和第二滴定容器232，一个出口与滴定腔室21的进液管导通，转换接头22在同一时刻仅允许一个入口和该出口导通，即仅允许第一滴定容器231和第二滴定容器232中的一个与滴定腔室21的进液管导通。

第一称重器241用于检测第一滴定容器231中滴定液的重量，第二称重器242用于检测第二滴定容器232中滴定液的重量。并且，第一称重器241和第二称重器242可以将各自的称重结果实时传输给中央控制系统11，以使中央控制系统11对转换接头22进行控制。在实际应用场景中，第一称重器241和第二称重器242可以为电子台秤，第一滴定容器231和第二滴定容器232分别承载于这两个电子台秤上。当然，第一称重器241和第二称重器242也可以为电子挂称，对应地，第一滴定容器231和第二滴定容器232分别挂于这两个电子挂称的下方。

下面介绍本实施例滴定装置20的工作原理及过程。

首先，向滴定腔室21内注入刻蚀液，并在加入到预定量时停止加入。为了提高刻蚀液浓度监测结果的精度，本实施可以向滴定腔室21内注入乙醇溶剂，以将刻蚀液充分溶解于乙醇溶剂中，并且乙醇溶剂可以通过注入刻蚀液的通道注入滴定腔室21内，以将该通道内残留的刻蚀液带入到滴定腔室21内。然后，转换接头22将第一滴定容器231所接入的入口与滴定腔室21的进液管导通，第一滴定容器231中的滴定液(例如NaOH溶液)通过进液管向滴定腔室21内滴定。在滴定过程中，中央控制系统11通过检测滴定腔室21内混合溶液的PH值即可计算出刻蚀液的浓度。

在滴定过程中，第一称重器241实时监测第一滴定容器231内滴定液的重量。随着滴注的进行，第一滴定容器231内滴定液重量不断减少，当其达到用于标识滴定液不足的预设阈值时，中央控制系统11可以控制转换接头22断开第一滴定容器231与滴定腔室21之间的导通，并自动控制转换接头22将第二滴定容器232与滴定腔室21导通，从而由第二滴定容器232继续进行滴注。

最后，操作人员对第一滴定容器231进行更换，使得更换后的滴定液重量与第一滴定容器231未进行滴定前所盛装的滴定液的重量相同。在实际应用场景中，由于第二滴定容器232中的滴定液可以使用相当于长的一段时间，例如一个星期，因此操作人员可以在预定时间内，例如整个滴定操作完成后，或者且整个刻蚀液浓度监测系统10停止运行后，进行更换，使得更换后滴定液重量大于所述预设阈值。

由上述可知，在当前滴定容器(第一滴定容器231)的滴定液不足时，本实施例可以自动切换另一滴定液充足的滴定容器(第二滴定容器232)并由其向滴定腔室21中注入滴定液，不仅能够避免滴定液不足导致刻蚀液浓度监测系统10出现宕机现象，以此确保设备使用率和产品良率，还能够减少提前更换滴定容器所造成的滴定液浪费。

基于该原理，本发明的其他实施例可以设置多于两个滴定容器盛装同一类型的滴定液，且每一滴定容器对应设置一个称重器。对应地，转换接头为连接于多个滴定容器与滴定腔室之间的多选一开关，在某一个滴定容器中的滴定液不足时，转换接头断开该滴定容器与滴定腔室之间的导通，而从剩余滴定容器中选取滴定液充足的一个滴定容器与滴定腔室导通。其中，本发明可以根据预先编号按照顺序依次选取编号最前的一个滴定液充足的滴定容器与滴定腔室导通。

另外，对于滴定操作需要两种或两种以上类型滴定液的应用场景，本发明可以将每一类型滴定液均盛装于至少两个滴定容器中，所述至少两个滴定容器与一个转换接头连接。例如，当滴定液包括NaOH溶液和乙醇溶剂时，本发明可以设置两个滴定容器盛装NaOH溶液、两个滴定容器盛装乙醇溶剂，并且两个盛装NaOH溶液的滴定容器连接一个转换接头，两个盛装乙醇溶剂的滴定容器连接另一个转换接头。

图3是本发明一实施例的刻蚀液浓度的监测方法的流程示意图。请参阅图3，所述刻蚀液浓度的监测方法可以包括步骤S31～S33。

S31：为滴定腔室连接多个滴定容器，所述多个滴定容器分别盛装有滴定液，且多个滴定容器通过一个转换接头与滴定腔室连接。

S32：为每一滴定容器设置一称重器，并通过称重器检测其对应的滴定容器所盛装的滴定液的重量。

S33：转换接头断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与滴定腔室之间的导通，并将滴定液重量大于预设阈值的一个滴定容器与滴定腔室导通。

本实施例的刻蚀液浓度的监测方法可以基于上述各实施例的滴定装置(包括滴定装置20)予以实现，因此也具有上述有益效果。

应理解，以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于刻蚀液浓度监测的滴定装置，其特征在于，所述滴定装置包括滴定腔室、转换接头、多个滴定容器及多个称重器，

所述多个滴定容器分别用于盛装滴定液；

所述称重器与所述滴定容器一一对应设置，所述称重器用于检测其对应的滴定容器所盛装的滴定液的重量；

所述转换接头连接于所述多个滴定容器与所述滴定腔室之间，并用于断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与所述滴定腔室之间的导通，以及将滴定液重量大于所述预设阈值的一个滴定容器与所述滴定腔室导通。

2.根据权利要求1所述的滴定装置，其特征在于，所述称重器包括电子台秤，所述滴定容器承载于所述电子台秤上。

3.根据权利要求1所述的滴定装置，其特征在于，所述滴定装置包括两个滴定容器，所述转换接头为二选一开关。

4.根据权利要求1所述的滴定装置，其特征在于，所述多个滴定容器用于盛装至少两种类型滴定液，每一类型滴定液均盛装于至少两个滴定容器中，所述至少两个滴定容器与一个转换接头连接。

5.一种刻蚀液浓度监测系统，其特征在于，所述刻蚀液浓度监测系统包括如上述权利要求1～4任一项所述的滴定装置。

6.一种刻蚀液浓度的监测方法，其特征在于，所述监测方法包括：

为滴定腔室连接多个滴定容器，所述多个滴定容器分别盛装有滴定液，且所述多个滴定容器通过一个转换接头与所述滴定腔室连接；

为每一所述滴定容器设置一称重器，并通过所述称重器检测其对应的滴定容器所盛装的滴定液的重量；

所述转换接头断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与所述滴定腔室之间的导通，并将滴定液重量大于所述预设阈值的一个滴定容器与所述滴定腔室导通。

7.根据权利要求6所述的监测方法，其特征在于，为每一所述滴定容器设置一称重器，包括：

将每一所述滴定容器承载于一电子台秤上。

8.根据权利要求6所述的监测方法，其特征在于，所述滴定腔室连接两个滴定容器，所述两个滴定容器通过一个二选一开关进行连接。

9.根据权利要求6所述的监测方法，其特征在于，所述多个滴定容器盛装有至少两种类型滴定液，每一类型滴定液均盛装于至少两个滴定容器中，且至少两个滴定容器通过一个转换接头与所述滴定腔室连接。

10.根据权利要求6所述的监测方法，其特征在于，所述转换接头断开滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器与所述滴定腔室之间的导通之后，所述监测方法包括：

在预定时间内对滴定液重量小于或等于预设阈值的滴定容器进行更换，使得更换后的滴定容器中滴定液重量大于所述预设阈值。