CN107532892A - 用于检测粗糙度传感器的动态振动的方法、用于测量工件表面的粗糙度的方法、计算机程序产品以及用于实施方法的测量设备 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 84
- 238000004590 computer program Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 6
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 4
- 238000007619 statistical method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 54
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 208000037873 arthrodesis Diseases 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
Abstract
本发明涉及一种按照本发明的用于检测粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的动态振动的方法(20)，其中，在第一方法步骤(21)中，通过至少一个附加的测量系统(33)在低于100Hz的频率范围内以大于100Hz的数据检测率检测粗糙度传感器(12)相对于粗糙度测量设备(28)的和/或相对于待测量的工件表面(16)的相对运动，并且其中，在第二方法步骤(22)中将所检测的相对运动数据维持用于进一步的数据处理和/或在第三方法步骤(23)中存储所述相对运动数据。本发明还涉及一种用于测量工件表面(16)上的粗糙度的方法(30)，其中使用按照本发明的用于检测粗糙度传感器的动态振动的方法(20)，本发明还涉及一种用于按照所述方法之一控制粗糙度测量设备的粗糙度传感器的计算机程序产品以及一种用于实施所述方法之一的粗糙度测量设备。
Description
本发明涉及一种用于检测粗糙度传感器的动态振动的方法、一种用于测量工件表面的粗糙度的方法、一种计算机程序产品以及一种设置用于实施所述方法的测量设备。
用于测量工件表面的粗糙度的粗糙度传感器按照本发明是表面传感器，并且例如由DE 100 20 735 B4、DE 102 30 009 A1、DE 103 34 219 B3、DE 10 2005 035 786 B3、DE201 20 127 U1、DE 20 2013 102 043 U1、DE 20 2013 102 045 U1、EP 2 207 006 B1、US7,363,181 B2、US 7,373,807 B2和US 2012 /266475 A1已知。此外也存在按照本发明的光学粗糙度传感器，其例如由US 5,352,038已知。
公开文献DE 44 37 033 A1还公开了一种用于按照仿形方法准确地导引粗糙度传感器的进给设备，与滑橇导引(为此参见DE-PS 26 40 894)不同，仿形方法除了检测粗糙度也实现了对工件的波纹度或者形状构造的检测。然而，按照DE 44 37 033 A1的粗糙度传感器的缺点在于，其相对振动非常敏感，这通常也导致未被察觉的测量不准确性或者故障功能，因此这种粗糙度传感器通常只适用于实验室领域。此外，粗糙度传感器的维护和校准非常耗费并且昂贵，因此其通常只用于抽样检查。传感器的校准在此通常根据已知粗糙度的粗糙度标准进行。
因此，实用新型文献DE 20 208 011 629 US建议了另外的用于使用在制造环境中的粗糙度传感器。所述粗糙度传感器具有用于检测存在于制造环境中的振动的振动探测器。此外，这种粗糙度传感器具有用于数据通信的适当接口。这些措施使粗糙度传感器耗费而昂贵。此外，已知的形式为加速计的振动探测器尤其对于较慢的运动是不准确且耗费的。
此外存在通过位置改变传感器尤其在碰撞时检测坐标测量仪的测量探头的高动态运动变化的方法，参见EP 2 486 369 B1。然而，所述方法要求安装多个用于检测高动态的运动变化的位置改变传感器，所述运动变化既不能通过坐标测量仪自身的传感器检测(因为其通常较低的探测率)，也不能由其以较低的探测率获得的数据计算出。
因此，本发明所要解决的技术问题在于，提供一种方法，借助所述方法能够在制造环境中使用简单、紧凑和成本低廉的粗糙度测量设备。
该技术问题按本发明通过一种用于检测粗糙度测量设备的粗糙度传感器的动态振动的方法解决，其中，在第一方法步骤中，通过至少一个附加的测量系统在低于100Hz的频率范围内以大于100Hz的数据检测率检测粗糙度传感器相对于粗糙度测量设备的相对运动和/或相对于待测量的工件表面的相对运动，并且其中，在第二方法步骤中将所检测的相对运动数据维持或保持(vorgahalten)用于进一步的数据处理和/或在第三方法步骤中存储所述相对运动数据。
在此，用于检测粗糙度传感器相对于固定有粗糙度传感器的粗糙度测量设备的相对运动的附加测量系统例如可以通过坐标测量仪的探头实现。在这种情况下，具有固定有粗糙度传感器的探头的坐标测量仪用作粗糙度测量设备。在此，探头是测量探头，其例如具有主动的探测力产生装置，所述探测力产生装置通常设计用于扫描式地检测探针接触并且因此具有动态接触传感器，例如参见公开文献DE 10 2004 011 728 A1。在此，在使用粗糙度传感器时，探头的动态接触传感器不用于在其它情况下普遍的对探针扫描数据的检测，而是按照本发明地用于检测粗糙度传感器相对于粗糙度测量设备或者坐标测量仪的相对运动。
作为对粗糙度传感器相对于粗糙度测量设备的相对运动的测量的备选，附加的测量系统可以设计用于通过无接触的测距传感器和/或通过动态接触传感器、检测粗糙度传感器相对于待测量的工件表面的相对运动。在此，无接触的测距传感器可以包括光学的、电容式的、感应式的或者基于声波的传感器。而动态接触传感器可以类似于本发明人以名称销售并且通过公开文献DE 10 2004 011 728 A1公开的系统构造。通过这些备选的测量系统，可以检测粗糙度传感器相对于工件表面的相对运动，由此形成针对粗糙度传感器的运动或者振动的相应数据。当然，粗糙度测量设备的附加测量系统也可以包括多个测量系统，它们既检测粗糙度传感器相对于粗糙度测量设备的相对运动，也检测粗糙度传感器相对于工件的相对运动。
按照本发明已知的是，为了测量粗糙度传感器的相对运动并且由此测量粗糙度传感器的振动，要么使用粗糙度测量设备的已经存在的测量系统，例如形式为具有动态接触传感器的探头(通过其将粗糙度传感器固定在粗糙度测量设备上)，要么使用用于检测相对于待测量的工件表面的距离的附加测量系统。在第一种情况下，只是附加地读取已经存在的测量系统，以便由此得到针对粗糙度传感器的相对运动和因此针对其振动的测量值或者数据。在第二种情况下，只需要用于测距的附加的距离传感器，它们通常是成本低廉的。在两种情况下，在低于100Hz的频率范围内以大于100Hz的探测率分析数据。这种较低的频率范围与较低的探测率特殊地针对振动检测的结合既对于探头的动态接触传感器的设计也对于通过距离传感器的碰撞识别均是特别的。在探头的动态接触传感器中，通常力求非常高的探测率，由此用探头通过坐标测量仪的探针在所谓的扫描中实现对与待测量工件的接触线的尽可能快的检测。然而，探头的动态接触传感器通常具有比位置改变传感器更低的探测率，所述位置改变传感器例如在EP 2 486 369中给出，通过它们本身可以检测碰撞。相应地，在通过距离传感器的碰撞识别中，例如在汽车倒车行驶中，尝试将距离传感器的探测率设计得非常高，以便即使在较高的接近速度中也尽可能早地检测障碍物。因此，在按照本发明的振动检测中，通过传感器关注低于100Hz的频率范围并且以大于100Hz的探测率进行分析，所述范围在这些传感器的其它应用情况下只起次要作用。
在此，尤其是以大于200Hz的数据检测率在低于20Hz的频率范围中检测粗糙度传感器的相对运动对于振动测量是合理的，因为所述声波频率范围在制造环境中是占主要的并且因为通过约10个或者多个对此的辅助位置检测粗糙度传感器的相对运动的振动周期是足够的。
通过将探头在低于100Hz的频率范围内以大于100Hz的探测率备选地作为测量系统用于固定在其上的粗糙度传感器的振动测量和/或应用形式为成本低廉的距离传感器的附加测量系统，可以通过本发明避免粗糙度传感器的耗费的结构或者设计。尤其是粗糙度传感器不必如现有技术那样配备第二测量针或者昂贵的振动探测器。此外，这种振动探测器也不能以较高的准确性记录在时间上较慢的过程。
通过在第二方法步骤中保持按照本发明的方法检测的相对运动数据用于进一步的数据处理和/或在第三方法步骤中存储所述相对运动数据，能够在接下来对粗糙度测量值进行振动校正和/或在接下来与确定的振动相对应地标记粗糙度测量值。由此实现了紧凑并且成本低廉的粗糙度测量设备，其能够使用在制造环境中并且能够在所述环境中提供符合标准的工件粗糙度测量值，方式为由检测的粗糙度值计算出干扰的振动，或者方式为相应地标记由于过大的振动而失效的粗糙度值。
为此，在按照本发明的方法的一种实施形式中，在接下来的第四方法步骤中，针对粗糙度传感器的相对运动、基于对所检测的相对运动数据的统计学分析确定特征参数。根据所述特征参数可以推算出振动对于粗糙度测量的影响。
在按照本发明的方法的另一实施形式中，在接下来的第五步骤中，将所确定的特征参数与用于粗糙度传感器的相对运动的预设阈值进行比较，并且在超过阈值时产生故障信号。由此能够在超过阈值时系统地将配属的粗糙度测量标记为失效。在此也可行的是，分析并且评估干扰对单独的粗糙度参数的具体影响，由此能够得到关于粗糙度参数的可靠性的基本说明。
通过例如在另一实施形式中针对所检测的相对运动数据应用均方根值，能够确定振动形式的环境影响的可承受的特征参数，根据其一般可以判断是否能够合理地测量工件表面的粗糙度。通过所述特征参数也可以比较式地判断粗糙度测量设备的安装位置。在超过阈值时例如产生故障信号。所述故障信号例如可以显示在屏幕上或者也可以用于直接在之前或者之后以及同时地将确定的工件表面粗糙度值标记为失效。在此，粗糙度值的标记同样可以图形地，例如借助屏幕上的相应颜色显示或者单纯地在测量值数据内部进行。
本发明的技术问题还通过一种用于借助粗糙度测量设备的粗糙度传感器测量工件表面的粗糙度的方法解决，所述方法包括：已经阐述的按照本发明的用于检测粗糙度测量设备的粗糙度传感器的动态振动的方法；以及借助粗糙度传感器测量工件表面的表面区段的粗糙度的方法步骤，其中，在接下来的步骤中，基于在检测动态振动的同时得到的数据校正在粗糙度测量中检测的数据并且由此得到经校正的粗糙度测量值。通过基于确定的粗糙度传感器振动校正粗糙度测量值，实现了在制造环境中使用所述方法或者简单和紧凑的粗糙度传感器。
本发明的技术问题还通过一种用于借助粗糙度测量设备的粗糙度传感器测量工件表面的粗糙度的方法解决，所述方法包括：已经阐述的用于检测粗糙度测量设备的粗糙度传感器的动态振动的方法，其中，确定用于动态振动的特征参数；以及借助粗糙度传感器测量工件表面的表面区段的粗糙度的方法步骤，其中，在接下来的步骤中，基于在检测动态振动的同时确定的特征参数校正在粗糙度测量中检测的数据并且由此得到取平均值的经校正的粗糙度测量值。由此，对于用于测量粗糙度值的探测率和用于测量粗糙度传感器的振动的探测率不一致的情况，能够基于确定的振动校正粗糙度传感器的粗糙度值。因此通过按照本发明的方法也可以在制造环境中在坐标测量仪上通过探头运行商业上的粗糙度传感器，其探测率与探头的振动探测率不一致。
在按照本发明的用于测量工件表面的粗糙度的方法的一种实施形式中，在下一方法步骤中，基于经校正的和/或取平均值的经校正的粗糙度测量值确定并且输出关于工件表面的粗糙度的用户信息。所述用户信息在此可以通过输出在屏幕上直接传输至粗糙度传感器的用户或者说操作者，或者可以传输至粗糙度传感器的控制软件或者用户。所述用户信息包含关于确定的被测量表面的粗糙度值的测量值信息，其中考虑了特征参数以进行校正。
本发明的技术问题还通过一种用于按照已经阐述的方法控制粗糙度测量设备的粗糙度传感器的计算机程序产品解决。
本发明的技术问题同样通过一种测量设备解决，所述测量设备包括粗糙度传感器，其具有至少一个用于检测粗糙度传感器的动态振动的测量系统，并且包括设置用于实施所述方法的控制单元和/或分析单元。
在按照本发明的粗糙度测量设备的一种实施形式中，所述用于检测粗糙度传感器的动态振动的测量系统具有至少一个无接触式工作的测距传感器和/或至少一个动态接触传感器。由此能够在使用商业上的粗糙度传感器的情况下通过成本低廉的传感器对粗糙度测量设备进行改装，使得它们能够使用在制造环境中。
本发明的其它特征和优点根据显示了本发明重要细节的附图由以下对本发明实施例的说明和权利要求书得出。单独的特征可以本身单独地或者多个任意组合地在本发明的变型方案中实现。
以下根据附图详细阐述本发明的实施例。在附图中：
图1示出门形架构造方式的坐标测量仪的示意图；
图2示出用于粗糙度测量设备的粗糙度传感器的示意图；
图3示出坐标测量仪的示意图，所述坐标测量仪具有通过探头连接的粗糙度传感器作为粗糙度测量设备；
图4示出坐标测量仪的示意图，所述坐标测量仪具有相连的粗糙度传感器和附加的测量系统作为粗糙度测量设备；
图5示出按照本发明的振动测量方法的流程图；并且
图6示出按照本发明的粗糙度测量方法的流程图。
图1单纯示例性地示出所谓的门形架构造方式的坐标测量仪28，其具有顶尖套筒4。然而不言而喻的是，本发明可以使用在所有类型的粗糙度测量设备中，尤其也可以使用在坐标测量仪的其它没有明确显示的构造方式中。
坐标测量仪28通常具有探针6，用于测量工件7的坐标，所述探针可更换地固定在测量头或者探头5上并且可以相对于探头5沿三个坐标方向x、y和z偏转。探针6沿三个坐标方向x、y和z的偏转通过三个处于探头5中的测量传感器检测。探头5本身可以沿三个坐标方向x、y和z运动。为此，门形架机构具有测量门形架2，其可以沿通过箭头y表示的坐标方向相对于测量台1移动。沿着测量门形架2的跨越测量台1的横向，所谓的测量滑块3又沿通过箭头x表示的方向可移动地导引。在测量滑块3上，顶尖套筒4又沿通过箭头z表示的竖直方向可移动地导引，因此探头5可以通过门形架机构在三个坐标方向x、y和z上移动。在以桥构造方式的坐标测量仪中，测量桥承担了测量门形架2的任务，将具有顶尖套筒4的测量滑块3沿坐标方向y移动。工件的测量这样进行，使得探针6在预设的测量点探测待测量工件7，其中，在探头5中测量探针6相对于探头5在三个坐标方向x、y和z上的偏转。附加地，在三个由光学读取头探测的增量比例尺8a-8c上测量探头5在三个坐标方向x、y和z上的当前位置。为了确定测量点，将比例尺测量值8a-8c与通过测量传感器在探头5中确定的探针偏转分量正确地分解并且由此生成测量点。
为了能够测量具有复杂几何形状的复杂工件，通常需要不同的探针，它们保存在未显示的储藏室中并且自动地通过探头5上的更换装置进行更换。不同的探针通常具有一个或多个探测杆，在所述探测杆的端部上可以固定探测体，如探测球或者柱体。例如通过水平定向的探测杆、也就是通过所谓的侧向布置的探针6可以测量水平的钻孔，而通过竖直定向的探测杆可以测量竖直的钻孔。
坐标测量仪的驱动器件和测量流程的控制，以及在此确定的测量值的记录和分析通过控制和分析单元9实现，其在本实施例中示例性地通过唯一的计算机实现。控制和分析单元9可以附加地与未显示的操作台相连，通过所述操作台，坐标测量仪也可以通过操作杆手动地在坐标方向x、y和z上移动，以及也可以实现其它功能，如探针更换或者测量程序的操作。
作为对图1所示的探头5的备选，图1的坐标测量仪28也可以配设光学测量系统或者按照图2至图4的粗糙度传感器12作为测量头5。在此，粗糙度传感器12也可以通过所谓的旋转-翻转-关节固定在坐标测量仪28的顶尖套筒上。通过这种旋转-翻转-关节，可以实现粗糙度传感器12在空间中相对于待测量的工件表面的任意定向。
此外，按照图3的粗糙度传感器也可以通过具有主动探测力产生装置的测量探头5、例如本发明人的探头固定在坐标测量仪的顶尖套筒上。VAST探头在此用作测量系统33，用于检测粗糙度传感器12相对于坐标测量仪28的振动。备选地，按照图4的粗糙度传感器12也可以在没有测量探头的情况下固定在坐标测量仪28上并且单独的测量系统33检测粗糙度传感器12与待测量工件7之间的距离。由此也可以测量粗糙度传感器的相对于工件7的振动。由测量探头(图3)和单独的测量系统33(图4)组成的组合也是可行的。
图2示出粗糙度传感器12的示意图。粗糙度传感器12包括探测臂13和测量针14，其布置在探测臂13的自由端部上。测量针14在此设计为锥形。粗糙度传感器12具有支撑元件15并且安装在待测量工件(未进一步显示)的表面16。在此，测量针14接触表面16。
在此，测量针14可以为了测量待测量工件的表面16的粗糙度沿着纵轴线x沿着优选线性的测量路程运动。在此，测量针14和由此测量臂13发生偏转。偏转在此在垂直于x方向的y-z平面中、至少与最大数值成比例地在竖直方向上进行，所述竖直方向通过垂向轴线z表示。此外显示了测量针14的中线17，其中，粗糙度传感器12的探测方向AR在粗糙度传感器12的未偏转状态中沿着中线17并且与前述的竖直方向z相反地定向。探测方向AR在此相应于粗糙度传感器12的沉降方向，其中，所述沉降方向垂直于粗糙度传感器12的接触面19定向。接触面19在此表示这样的表面，其在粗糙度传感器12沉降时与工件的表面16接触。
图3示出按照图2的粗糙度传感器12通过具有主动探测力产生装置作为测量系统33的测量探头在按照图1的作为粗糙度测量设备的坐标测量仪28上的连接，其中，控制和分析单元9除了控制和分析坐标测量仪28之外，也承担了对测量系统33和粗糙度传感器12(在图3中借助虚线箭头表示)的控制和数据分析。在此，图3的测量系统33相当于图1的具有主动的探测力产生装置的测量探头5。所述测量系统33按照本发明用于检测粗糙度传感器12相对于坐标测量仪28的振动。由于按照图2的传统粗糙度传感器12借助具有主动的探测力产生装置的测量探头5连接在按照图1的传统坐标测量仪上，能够将传统探头5的传感器和控制装置用作用于检测粗糙度传感器12的振动的测量系统33，方式为借助磁性差动变压器(LVDT：线性可变差动变压器)读取粗糙度传感器在测量探头5的盘(Teller)上的运动。
图4备选地示出按照图2的粗糙度传感器12在按照图1的作为粗糙度测量设备的坐标测量仪28上的连接，其中，处于粗糙度传感器12上的测量系统33监测粗糙度传感器12相对于待测量工件7的表面的距离。由此可行的是，作为相对于工件7的距离变化检测粗糙度传感器12的振动。为此，测量系统33为了检测粗糙度传感器12的动态振动具有至少一个无接触式工作的测距传感器33或者至少一个动态接触传感器33。所述传感器可以设置在粗糙度传感器12的任何位置上。动态接触传感器33可以在使用探针的情况下光学地(白光干涉仪、激光干涉仪、共焦显微镜、激光三角测量、光线运行时间测量)、声学地(超声波传感器)、感应式地(磁性线圈传感器)或者电容式地类似于无接触式工作的距离传感器地设计。
控制和分析单元9在图4的实施例中除了控制和分析坐标测量仪28之外承担了对测量系统33和粗糙度传感器12(在图4中借助虚线箭头表示)的控制和数据分析。
在图3和图4示出的实施例中必要的是，在低于100Hz的频率范围内以大于100Hz的探测率分析数据。这种较低的频率范围与较低的探测率特殊地针对振动检测的结合既对于探头的动态接触传感器的设计(如探测系统)也对于通过距离传感器与EP 2 486369相应的碰撞识别均是特别的，如本文开头已经阐述的那样。尤其是以大于200Hz的数据检测率在低于20Hz的频率范围中检测粗糙度传感器28的粗糙度传感器12的动态振动对于按照本发明的在制造环境中的使用是必要和合理的。
图5以流程图示意性地示出按照本发明的用于检测粗糙度测量设备28的粗糙度传感器12的动态振动的方法20，其中，在第一方法步骤21中，通过至少一个附加的测量系统33在低于100Hz的频率范围内以大于100Hz的数据检测率检测粗糙度传感器12相对于粗糙度测量设备28的和/或相对于待测量的工件表面16的相对运动，并且其中，在第二方法步骤22中将所检测的相对运动数据维持用于进一步的数据处理和/或在第三方法步骤23中存储所述相对运动数据。由此可行的是，尤其在制造环境中检测粗糙度传感器12上的形式为振动的环境影响并且为了进一步的数据处理进行保持或者存储。在此，作为对图5的视图的备选，方法步骤23也可以在方法步骤22之前进行。
在接下来的第四方法步骤24中，针对粗糙度传感器12的相对运动基于对所检测的相对运动数据的统计学分析确定特征参数。随即可以根据所述统计学分析评估环境影响的数量级。
此外，在接下来的第五步骤25中，将所确定的特征参数与用于粗糙度传感器12的相对运动的预设阈值进行比较，其中，在超过阈值时产生故障信号。因此，所述阈值表示特征参数的极限值。低于所述阈值或者极限值可以对工件表面进行可靠的粗糙度测量，高于阈值或者极限值则说明由于环境影响对工件表面的粗糙度测量的干扰是显著的。
在下一步骤26中，可以保存特征值用于之后对粗糙度传感器12的测量值进行校正。备选地，特征值也可以与在步骤25中确定的超过或者低于阈值的情形共同地保存。
图6以流程图示出按照本发明的用于借助坐标测量仪28的粗糙度传感器12测量工件表面16的粗糙度的方法30，所述方法包括：相应于图5的用于检测粗糙度测量设备28的粗糙度传感器12的动态振动的方法20；以及借助粗糙度传感器12测量工件表面16的表面区段的粗糙度的方法步骤31，其中，在接下来的步骤中，基于在检测动态振动的同时得到的数据校正在粗糙度测量中检测的数据并且由此得到经校正的粗糙度测量值。
备选地也可行的是，按照本发明的用于借助按照图6的粗糙度测量设备28的粗糙度传感器12测量工件表面16的粗糙度的方法30一方面包括相应于图5的用于检测粗糙度测量设备28的粗糙度传感器12的动态振动的方法20，以及另一方面包括借助粗糙度传感器12测量工件表面16的表面区段的粗糙度的方法步骤31，其中，在接下来的步骤中，基于在检测动态振动的同时确定的特征参数校正在粗糙度测量中检测的数据并且由此得到取平均值的经校正的粗糙度测量值。
在下一方法步骤32中，基于经校正的和/或取平均值的经校正的粗糙度测量值确定并且输出关于工件表面16的粗糙度的用户信息。所述用户信息一方面考虑了所检测的工件表面16的粗糙度测量值，并且另一方面考虑了来自振动测量的数据。
在最简单的情况下，用户信息只由经校正的和/或取平均值的经校正的粗糙度测量值组成。然而也可以在粗糙度测量值与关于产生用户信息的特征参数之间形成更复杂的数学关系，以便通过用户信息输出形式为测量值的“真的”表面粗糙度。用户信息因此是合成的粗糙度值，它们在考虑振动测量值的情况下在屏幕上向形式为粗糙度传感器12的操作者的用户输出或者通过数据或测量值格式以分析软件的形式供用户使用。
在图5和图6中示出的按照本发明的方法20和30能够通过相应的软件借助例如图1的坐标测量仪28的控制和分析单元9或者借助例如图2的粗糙度传感器12的单独的控制和分析单元或者例如借助用于操作粗糙度传感器12的单独测量设备的单独控制和分析单元实施。用于控制粗糙度传感器12的相应计算机程序产品能够通过用于所述控制和分析单元的任何存储介质提供。
因此，本发明也包括测量设备，其设置用于实施按照本发明的方法20和30并且包括粗糙度传感器12，以及控制和分析单元。这种测量设备可以例如是相应于图1的坐标测量仪28或者也可以是用于操作粗糙度传感器的未进一步显示的单独测量设备。
Claims (10)
1.一种用于检测粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的动态振动的方法(20)，其中，在第一方法步骤(21)中，通过至少一个附加的测量系统(33)在低于100Hz的频率范围内、以大于100Hz的数据检测率检测粗糙度传感器(12)相对于粗糙度测量设备(28)的相对运动和/或相对于待测量的工件表面(16)的相对运动，并且其中，在第二方法步骤(22)中将所检测的相对运动数据维持用于进一步的数据处理和/或在第三方法步骤(23)中存储所述相对运动数据。
2.按权利要求1所述的用于检测粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的动态振动的方法(20)，其中，在低于20Hz的频率范围内以大于200Hz的数据检测率检测粗糙度传感器(12)的相对运动。
3.按权利要求1或2所述的用于检测粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的动态振动的方法(20)，其中，在接下来的第四方法步骤(24)中，针对粗糙度传感器(12)的相对运动、基于对所检测的相对运动数据的统计学的分析确定特征参数。
4.按权利要求3所述的用于检测粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的动态振动的方法(20)，其中，在接下来的第五步骤(25)中，将所确定的特征参数与用于粗糙度传感器(12)的相对运动的预设阈值进行比较，并且其中，在超过阈值时产生故障信号。
5.一种用于借助粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)测量工件表面(16)的粗糙度的方法(30)，包括：按前述权利要求之一所述的用于检测粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的动态振动的方法(20)；以及借助粗糙度传感器(12)测量工件表面(16)的表面区段的粗糙度的方法步骤(31)，其中，在接下来的步骤中，基于在检测动态振动的同时得到的数据校正在粗糙度测量中检测的数据并且由此得到经校正的粗糙度测量值。
6.一种用于借助粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)测量工件表面(16)的粗糙度的方法(30)，包括：按前述权利要求3至4之一所述的用于检测粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的动态振动的方法(20)；以及借助粗糙度传感器(12)测量工件表面(16)的表面区段的粗糙度的方法步骤(31)，其中，在接下来的步骤中，基于在检测动态振动的同时确定的特征参数校正在粗糙度测量中检测的数据并且由此得到取平均值的经校正的粗糙度测量值。
7.按权利要求5或6所述的用于测量工件表面(16)的粗糙度方法(30)，其中，在下一方法步骤(32)中，基于经校正的和/或取平均值的经校正的粗糙度测量值确定并且输出关于工件表面(16)的粗糙度的用户信息。
8.一种用于按照根据前述权利要求之一所述的方法(20；30)控制粗糙度测量设备(28)的粗糙度传感器(12)的计算机程序产品。
9.一种粗糙度测量设备(28)，包括粗糙度传感器(12)、至少一个用于检测粗糙度传感器(12)的动态振动的测量系统(33)、设置用于实施按权利要求1至7之一所述的方法(20；30)的控制单元(9)和/或分析单元(9)。
10.按权利要求9所述的粗糙度测量设备(28)，其中，所述用于检测粗糙度传感器(12)的动态振动的测量系统(33)具有至少一个无接触式工作的测距传感器或者至少一个动态接触传感器。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102015209193.7 | 2015-05-20 | ||
| DE102015209193.7A DE102015209193A1 (de) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | Verfahren zur Erfassung dynamischer Schwingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zur Vermessung der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren. |
| PCT/EP2016/057951 WO2016184612A1 (de) | 2015-05-20 | 2016-04-12 | Verfahren zur erfassung dynamischer schwingungen eines rauheitssensors, verfahren zur vermessung der rauheit einer werkstückoberfläche, computerprogrammprodukt sowie messgerät eingerichtet zur durchführung der verfahren |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107532892A true CN107532892A (zh) | 2018-01-02 |
Family
ID=55750395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201680022486.6A Pending CN107532892A (zh) | 2015-05-20 | 2016-04-12 | 用于检测粗糙度传感器的动态振动的方法、用于测量工件表面的粗糙度的方法、计算机程序产品以及用于实施方法的测量设备 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10837752B2 (zh) |
| CN (1) | CN107532892A (zh) |
| DE (1) | DE102015209193A1 (zh) |
| WO (1) | WO2016184612A1 (zh) |
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| US10837752B2 (en) | 2020-11-17 |
| WO2016184612A1 (de) | 2016-11-24 |
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| US20180073853A1 (en) | 2018-03-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
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