CN107526193A - 光阻浓度的控制装置及控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种光阻剥离液的控制装置及控制方法，控制装置包括：用于存储光阻剥离新液的第一存储槽、用于存储光阻剥离液的光阻剥离槽、用于存储光阻剥离废液的第二存储槽、检测器以及控制器；光阻剥离槽和第一存储槽通过第一开关连通；光阻剥离废液为从光阻剥离槽排出的光阻剥离液，第二存储槽和光阻剥离槽通过第二开关连通；检测器固定于所阻剥离槽内，用于检测光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X；控制器，用于根据光阻浓度X控制第二开关打开和关闭，以使得光阻剥离槽中光阻剥离液的预设量Y流出至所述第二存储槽内；以及用于根据光阻浓度X控制第一开关打开和关闭，以使得第一存储槽中光阻剥离新液的预设量Y流入到光阻剥离槽内。

Description

光阻浓度的控制装置及控制方法

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种光阻浓度的控制装置及控制方法。

【背景技术】

现有的显示器主要包括有液晶显示器和OLED显示器。

其中，液晶显示器具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶面板及背光模组(BacklightModule)。液晶面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，并在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。

其中，薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay，TFT-LCD)由于具有低的功耗、优异的画面品质以及较高的生产良率等性能，近年来得到了飞速的发展和广泛的应用。具体而言，TFT-LCD可视为两片玻璃基板中间夹着一层液晶，上层的玻璃基板是彩色滤光片、下层的玻璃基板上设置有薄膜晶体管。当电流通过薄膜晶体管时，产生电场变化，电场的变化引起液晶分子偏转，从而来改变光线的偏极性，而实现预期的显示画面。

在现有的TFT-LCD的TFT基板的制程工艺中，需要多道制程工艺，其中每一道制程工艺都会涉及到光阻的剥离。现有剥离光阻的方式是将光阻融入到剥离药液中，比如有机胺，使得光阻膨胀，然后剥离光阻。由于是将光阻融入到剥离药液中实现对光阻的剥离，剥离光阻后剥离药液中光阻的浓度会逐渐增加，使得剥离药液的剥离能力逐渐下降。

为了解决剥离药液的中光阻浓度逐渐增加，造成剥离能力逐渐下降的问题。现有的一种方式是间断性的排出旧液(在此将旧液定义为剥离光阻后的药液)以及补充新液(在此将新液定义为未进行剥离的药液)使得剥离药液达到一种大致的平衡。具体的是，每剥离一次光阻，将剥离光阻后的剥离药液中的一部分排出，然后再补充一部分新的药液到剥离药液中。由于光阻的附着率不同，导致剥离光阻后的剥离药液中光阻的浓度也不同，为了确保新加入的药液具有足够的剥离光阻的能力，则每次排出的旧液，以及每次补充的新液的量都是根据光阻附着率最高的来制定。

然而，当剥离光阻附着率低的光阻时，每次排出的旧液，以及每次补充的新液的量仍然根据光阻附着率最高的来制定，就造成药液的浪费，增加制造成本。

【发明内容】

本发明的一个目的在于提供一种光阻剥离液的控制装置，其旨在减少光阻剥离过程中光阻剥离药液的浪费，降低制造成本。

本发明的另一个目的在于提供一种光阻剥离液的控制方法，其旨在减少光阻剥离过程中光阻剥离药液的浪费，降低制造成本。

为解决上述问题，本发明的优选实施例提供了一种光阻剥离液的控制装置，所述控制装置包括：

第一存储槽，用于存储光阻剥离新液，其中所述光阻剥离新液为用于对光阻进行剥离的药液，且未对光阻进行剥离处理；

光阻剥离槽，用于存储光阻剥离液，对光阻进行剥离，所述光阻剥离槽和所述第一存储槽通过第一开关连通；

第二存储槽，用于存储光阻剥离废液，其中所述光阻剥离废液为从所述光阻剥离槽排出的光阻剥离液，所述第二存储槽和所述光阻剥离槽通过第二开关连通；

检测器，固定于所述光阻剥离槽内，用于检测所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X；

控制器，用于根据所述光阻浓度X控制所述第二开关打开和关闭，以使得所述光阻剥离槽中光阻剥离液的预设量Y流出至所述第二存储槽内；以及用于根据所述光阻浓度X控制所述第一开关打开和关闭，以使得所述第一存储槽中光阻剥离新液的所述预设量Y流入到所述光阻剥离槽内。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制装置中，当所述检测器检测到所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X大于或等于第一预设值X1时，所述控制器控制所述第二开关打开，使得所述光阻剥离槽中的光阻剥离液按照所述预设量Y流出至所述第二存储槽；以及所述控制器控制所述第一开关打开，使得所述第一存储槽中的光阻剥离新液按照所述预设量Y流入到所述光阻剥离槽内；

当所述检测器检测到所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X小于第一预设值X1时，所述控制器控制所述第二开关关闭，以及控制所述第一开关关闭。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制装置中，当所述光阻浓度X大于第二预设值X2，以及所述光阻浓度X小于第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第一预设量Y1＝K(X-X2)+T，其中所述K为比例系数，所述T为常数。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制装置中，所述光阻浓度X小于或等于所述第二预设值X2时，所述预设量Y设定为第二预设量Y2，所述第二预设量Y2不变，且所述第二预设量Y2小于所述第一预设量Y1。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制装置中，所述光阻浓度X大于或等于所述第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第三预设量Y3，所述第三预设量Y3不变，且所述第三预预设量Y3大于所述第一预设量Y1。

为解决上述问题，本发明的优选实施例还提供了一种光阻剥离液的控制方法，所述光阻剥离液的控制方法包括以下步骤：

获取光阻剥离液中光阻浓度X，其中所述光阻剥离液用于剥离光阻；

根据所述光阻浓度X，控制所述光阻剥离液按照预设量Y流出；以及

根据所述光阻浓度X，控制光阻剥离新液按照所述预设量Y流入到所述光阻剥离液中混合，其中所述光阻剥离新液为用于对光阻进行剥离的药液，且未对光阻进行剥离处理。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制方法中，当所述检测器检测到所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X大于或等于第一预设值X1时，所述控制器控制所述第二开关打开，使得所述光阻剥离槽中的光阻剥离液按照所述预设量Y流出至所述第二存储槽；以及所述控制器控制所述第一开关打开，使得所述第一存储槽中的光阻剥离新液按照所述预设量Y流入到所述光阻剥离槽内；

当所述检测器检测到所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X小于第一预设值X1时，所述控制器控制所述第二开关关闭，以及控制所述第一开关关闭。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制方法中，当所述光阻浓度X大于第二预设值X2，以及所述光阻浓度X小于第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第一预设量Y1＝K(X-X2)+T，其中所述K为比例系数，所述T为常数。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制方法中，所述光阻浓度X小于或等于所述第二预设值X2时，所述预设量Y设定为第二预设量Y2，所述第二预设量Y2不变，且所述第二预设量Y2小于所述第一预设量Y1。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制方法中，所述光阻浓度X大于或等于所述第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第三预设量Y3，所述第三预设量Y3不变，且所述第三预预设量Y3大于所述第一预设量Y1。

相对于现有技术，本发明的有益效果是：通过检测器实时检测光阻剥离液中的光阻浓度X，根据光阻浓度X的大小，通过控制器控制光阻剥离液流出量(即预设量Y)，以及往光阻剥离液中添加光阻剥离新液的注入量(即预设量Y)，防止预设量Y过大而造成浪费，以及防止预设量Y过小而不具有剥离光阻的能力。从而，本发明防止药液浪费，降低制造成本。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

【附图说明】

图1为本发明实施例光阻剥离液的控制装置的结构示意图；

图2为本发明实施例光阻剥离液的控制示意图；

图3为本发明实施例光阻剥离液的控制方法流程示意图。

【具体实施方式】

这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本发明的示例性实施例的目的。但是本发明可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

下面参考图1至图3描述本发明实施例光阻剥离液的控制装置及控制方法。

根据本发明实施例，如图1至图2所示，图1为本发明实施例光阻剥离液的控制装置的结构示意图；图2为本发明实施例光阻剥离液的控制曲线图。

在本发明实施例中，如图1和图2所示，所述光阻剥离液的控制装置100包括：第一存储槽110、光阻剥离槽130、第二存储槽120、检测器140、控制器150、第一开关160、第二开关170。

其中，第一存储槽110，用于存储光阻剥离新液210，其中所述光阻剥离新液210为用于对光阻进行剥离的药液，且未对光阻进行剥离处理。

其中，光阻剥离槽130，用于存储光阻剥离液230，对光阻进行剥离。

其中，第二存储槽120，用于存储光阻剥离废液220，其中所述光阻剥离废液220为从所述光阻剥离槽120排出的光阻剥离液。

所述光阻剥离槽130和所述第一存储槽110通过第一开关160连通，可以进行液体的流通。所述第二存储槽120和所述光阻剥离槽130通过第二开关170连通，可以进行液体的流通。

其中，检测器140固定于所述光阻剥离槽130内，用于检测所述光阻剥离槽130中光阻剥离液230的光阻浓度X。

其中，控制器150，用于控制第一开关160及第二开关170的打开或关闭。具体的，控制器150分别通过导向与第一开关160、第二开关170及检测器140电性连接，以实现数据的传送和控制。控制器150用于根据所述光阻浓度X控制所述第二开关170打开和关闭，以使得所述光阻剥离槽130中光阻剥离液230的预设量Y流出至所述第二存储槽120内；以及控制器150用于根据所述光阻浓度X控制所述第一开关160打开和关闭，以使得所述第一存储槽110中光阻剥离新液210的所述预设量Y流入到所述光阻剥离槽130内。

由上所述，本发明实施例通过检测器150实时检测光阻剥离液230中的光阻浓度X，根据光阻浓度X的大小，通过控制器150控制光阻剥离液230流出量(即预设量Y)，以及往光阻剥离液230中添加光阻剥离新液210的注入量(即预设量Y)，防止预设量Y过大而造成浪费，以及防止预设量Y过小而不具有剥离光阻的能力。从而，本发明实施例防止药液浪费，降低制造成本，解决了药液浪费以及制造成本高的技术问题。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制装置100中，当所述检测器140检测到所述光阻剥离槽130中光阻剥离液230的光阻浓度X大于或等于第一预设值X1时，所述控制器150控制所述第二开关170打开，使得所述光阻剥离槽120中的光阻剥离液230按照所述预设量Y流出至所述第二存储槽120；以及所述控制器150控制所述第一开关160打开，使得所述第一存储槽110中的光阻剥离新液210按照所述预设量Y流入到所述光阻剥离槽130内。

而当所述检测器140检测到所述光阻剥离槽130中光阻剥离液230的光阻浓度X小于第一预设值X1时，所述控制器150控制所述第二开关170关闭，以及控制所述第一开关160关闭。

需要说明的是，本发明实施例的第一预设值X1可以根据实际生产设定，比如设定第一预设值X1为0.18％mol/L、0.2％mol/L、0.21％mol/L、0.22％mol/L、0.23％mol/L等。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制装置100中，请参阅图2，当所述光阻浓度X大于第二预设值X2，以及所述光阻浓度X小于第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第一预设量Y1＝K(X-X2)+T，其中所述K为比例系数，所述T为常数。具体的，本发明实施例K取值为100，常数T具体为一个基础流出液量，比如：每30s流出液10s，该T可以取值为10，第二预设值X2取值为0.5％mol/L，当然，第二预设值X2的取值可以在0.5％mol/L的误差范围内，比如为0.49％mol/L、0.51％mol/L等。第三预设值X3取值为0.7％mol/L，当然，第三预设值X3的取值可以在0.7％mol/L的误差范围内，比如为0.69％mol/L、0.71％mol/L等。

从而当检测器140检测出光阻剥离槽130中光阻剥离液230内的光阻浓度X在0.5％mol/L至0.7％mol/L之间，也就是0.5％mol/L＜X＜0.7％mol/L，检测器140将检测到的数据传送至控制器150，控制器150控制第一开关160和第二开关170打开，并按照第一预设量Y1流动。

比如：检测器140所检测到的光阻浓度X为0.6％mol/L，则Y1＝(0.6％-0.5％)*100+T＝0.1+T，其中T可以取值为10，则Y1为20，即每30s流动液20s。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制装置100中，所述光阻浓度X小于或等于所述第二预设值X2时，所述预设量Y设定为第二预设量Y2，所述第二预设量Y2不变，且所述第二预设量Y2小于所述第一预设量Y1。

也就是当检测器140所检测到的光阻浓度X小于或等于0.5％mol/L时，控制器150控制第一开关160和第二开关170在打开时，按照第二预设量Y2流出。

在本发明优选实施例的光阻剥离液的控制装置100中，所述光阻浓度X大于或等于所述第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第三预设量Y3，所述第三预设量Y3不变，且所述第三预预设量Y3大于所述第一预设量Y1。

也就是当检测器140所检测到的光阻浓度X大于或等于0.7％mol/L时，控制器150控制第一开关160和第二开关170在打开时，按照第三预设量Y3流出。

请参阅图3，图3为本发明实施例光阻剥离液的控制方法的流程示意图，所述光阻剥离液的控制方法包括以下步骤：

步骤S101，获取光阻剥离液中光阻浓度X，其中所述光阻剥离液用于剥离光阻。

具体的，请参阅图1和图2，光阻剥离液230放置于光阻剥离槽130内，通过设置于光阻剥离槽130内的检测器140进行检测，以检测出光阻剥离液230中的光阻浓度X。更具体的请参阅以上实施例，在此不再赘述。

步骤S102，根据所述光阻浓度X，控制所述光阻剥离液按照预设量Y流出。

步骤S103，根据所述光阻浓度X，控制光阻剥离新液按照所述预设量Y流入到所述光阻剥离液中混合，其中所述光阻剥离新液为用于对光阻进行剥离的药液，且未对光阻进行剥离处理。

具体的，通过控制器150控制第一开关160和170的打开或关闭，来控制第一存储槽110中光阻剥离新液210及光阻剥离槽130中光阻剥离液230的流动。更具体的，请参阅以上实施例，在此不再赘述。

由上所述，本发明实施例通过检测器150实时检测光阻剥离液230中的光阻浓度X，根据光阻浓度X的大小，通过控制器150控制光阻剥离液230流出量(即预设量Y)，以及往光阻剥离液230中添加光阻剥离新液210的注入量(即预设量Y)，防止预设量Y过大而造成浪费，以及防止预设量Y过小而不具有剥离光阻的能力。从而，本发明实施例防止药液浪费，降低制造成本，解决了药液浪费以及制造成本高的技术问题。

虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种光阻剥离液的控制装置，其特征在于，所述控制装置包括：

第一存储槽，用于存储光阻剥离新液，其中所述光阻剥离新液为用于对光阻进行剥离的药液，且未对光阻进行剥离处理；

光阻剥离槽，用于存储光阻剥离液，对光阻进行剥离，所述光阻剥离槽和所述第一存储槽通过第一开关连通；

第二存储槽，用于存储光阻剥离废液，其中所述光阻剥离废液为从所述光阻剥离槽排出的光阻剥离液，所述第二存储槽和所述光阻剥离槽通过第二开关连通；

检测器，固定于所述光阻剥离槽内，用于检测所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X；

控制器，用于根据所述光阻浓度X控制所述第二开关打开和关闭，以使得所述光阻剥离槽中光阻剥离液的预设量Y流出至所述第二存储槽内；以及用于根据所述光阻浓度X控制所述第一开关打开和关闭，以使得所述第一存储槽中光阻剥离新液的所述预设量Y流入到所述光阻剥离槽内。

2.根据权利要求1所述的光阻剥离液的控制装置，其特征在于，当所述检测器检测到所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X大于或等于第一预设值X1时，所述控制器控制所述第二开关打开，使得所述光阻剥离槽中的光阻剥离液按照所述预设量Y流出至所述第二存储槽；以及所述控制器控制所述第一开关打开，使得所述第一存储槽中的光阻剥离新液按照所述预设量Y流入到所述光阻剥离槽内；

当所述检测器检测到所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X小于第一预设值X1时，所述控制器控制所述第二开关关闭，以及控制所述第一开关关闭。

3.根据权利要求2所述的光阻剥离液的控制装置，其特征在于，当所述光阻浓度X大于第二预设值X2，以及所述光阻浓度X小于第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第一预设量Y1＝K(X-X2)+T，其中所述K为比例系数，所述T为常数。

4.根据权利要求3所述的光阻剥离液的控制装置，其特征在于，所述光阻浓度X小于或等于所述第二预设值X2时，所述预设量Y设定为第二预设量Y2，所述第二预设量Y2不变，且所述第二预设量Y2小于所述第一预设量Y1。

5.根据权利要求3所述的光阻剥离液的控制装置，其特征在于，所述光阻浓度X大于或等于所述第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第三预设量Y3，所述第三预设量Y3不变，且所述第三预预设量Y3大于所述第一预设量Y1。

6.一种光阻剥离液的控制方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

获取光阻剥离液中光阻浓度X，其中所述光阻剥离液用于剥离光阻；

根据所述光阻浓度X，控制所述光阻剥离液按照预设量Y流出；以及

根据所述光阻浓度X，控制光阻剥离新液按照所述预设量Y流入到所述光阻剥离液中混合，其中所述光阻剥离新液为用于对光阻进行剥离的药液，且未对光阻进行剥离处理。

7.根据权利要求6所述的光阻剥离液的控制方法，其特征在于，当所述检测器检测到所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X大于或等于第一预设值X1时，所述控制器控制所述第二开关打开，使得所述光阻剥离槽中的光阻剥离液按照所述预设量Y流出至所述第二存储槽；以及所述控制器控制所述第一开关打开，使得所述第一存储槽中的光阻剥离新液按照所述预设量Y流入到所述光阻剥离槽内；

当所述检测器检测到所述光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X小于第一预设值X1时，所述控制器控制所述第二开关关闭，以及控制所述第一开关关闭。

8.根据权利要求7所述的光阻剥离液的控制方法，其特征在于，当所述光阻浓度X大于第二预设值X2，以及所述光阻浓度X小于第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第一预设量Y1＝K(X-X2)+T，其中所述K为比例系数，所述T为常数。

9.根据权利要求8所述的光阻剥离液的控制方法，其特征在于，所述光阻浓度X小于或等于所述第二预设值X2时，所述预设量Y设定为第二预设量Y2，所述第二预设量Y2不变，且所述第二预设量Y2小于所述第一预设量Y1。

10.根据权利要求8所述的光阻剥离液的控制方法，其特征在于，所述光阻浓度X大于或等于所述第三预设值X3时，所述预设量Y设定为第三预设量Y3，所述第三预设量Y3不变，且所述第三预预设量Y3大于所述第一预设量Y1。