CN107526024A - 一种检测接口简化转换装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提出一种检测接口简化转换装置,包括:第一接口转换器,其与测试机的资源进行连接;第二接口转换器,其与针卡进行连接,其中所述第一接口转换器和第二接口转换器之间通过各自设置的转换器排线接口进行连接。进一步的,所述测试机包括多个资源,所述第一接口转换器设置有多个排线接口,分别与所述多个资源进行连接。本发明提出的检测接口简化转换装置,能够解决晶圆量产阶段多资源集合并行测试时,测试机与探针卡之间的连接复杂化问题,以及检测连线通路故障的问题,增加生产效率,降低人工成本。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆测试领域,且特别涉及一种检测接口简化转换装置。
背景技术
芯片测试系统通常包括:测试机(Automatic Test Equipment,ATE),测试机是能够在测试结构上快速、准确、重复地测量亚微安级电流和毫伏级电压的自动装置。通常的,测试机上设置有插座,通过一带有插针的数据线,所述测试机便能够将测试信号发送给外部设备,或者从外部设备上接收反馈信号。其中,插座和插针通常统称为接口,其是实现测试机测试信号输出以及反馈信号接收的重要部件。随着芯片的集成度越来越高,出于对成本和效率的考虑,对于很多测试机,往往会存在少则十几组资源集合,多则几十组资源集合,甚至上百组资源集合一起测试的情况(请参考图1,测试机上多个site资源分别连接到针卡的排线接口),从而使测试机与探针卡的连接复杂化,产线量产前组装容易出错,此外,接口的故障,排线的损坏,连线的错误等情况也很难检测,降低了生产效率,增加公司运营成本。
由于规模化量产,测试机资源很多,有许多排线需要插到针卡上,这些连接线需要手动一根根安装,产线技术人员需要花很多时间,增加了人工成本,降低了工作效率。
由于排线很多,产线技术人员容易出错,排线插错不易发现,测试晶圆的时候发现问题,浪费了测试时间,还有可能损坏测试机,一台测试机少则几十万,多则上百万,每维修一次增加很多公司运营成本。
综上所述,为了增加测试效率,测试机可以提供平若干资源同时测试晶圆若干管芯,现有方案测试机资源直接通过排线连接到探针卡,增加了工厂量产技术人员难度,降低了效率,连接好线后只能通过测试判断连接是否有问题,同样降低了生产效率。本发明在针卡和测试机之间增加了接口转换模块,测试机的资源全部接在一个接口转换器,另一个接口转换器连接到针卡,接口转换器之间通过一根排线连接,方便产线技术人员组装,在转换器中加入检测器,可以检查从测试机引出排线到针尖的导通性是否正常。
发明内容
本发明提出一种检测接口简化转换装置,能够解决晶圆量产阶段多资源集合并行测试时,测试机与探针卡之间的连接复杂化问题,以及检测连线通路故障的问题,增加生产效率,降低人工成本。
为了达到上述目的,本发明提出一种检测接口简化转换装置,包括:
第一接口转换器,其与测试机的资源进行连接;
第二接口转换器,其与针卡进行连接,
其中所述第一接口转换器和第二接口转换器之间通过各自设置的转换器排线接口进行连接。
进一步的,所述测试机包括多个资源,所述第一接口转换器设置有多个排线接口,分别与所述多个资源进行连接。
进一步的,所述针卡包括多个针卡排线接口,所述第二接口转换器设置有多个排线接口,分别与所述多个针卡排线接口进行连接。
进一步的,所述第一接口转换器和第二接口转换器分别设置有检测模块,分别连接于所述转换器排线接口。
进一步的,所述检测模块发出检测信号,并通过所述第一接口转换器和第二接口转换器分别传输到资源排线接口和针卡排线接口,用以检查测试机资源板到针卡针尖是否导通。
进一步的,所述检测信号在某一传输路径传送,当传输路径中发生阻抗变化时,一部分信号会被反射,另一部分信号会继续沿传输路径传送,通过测量反射波的电压幅度,从而计算出阻抗的变化。
进一步的,通过所述检测信号测量出反射点到发射点的时间值,计算出传输路径中阻抗变化点的位置,进而检测出连线通路和接口的状态。
本发明提出的检测接口简化转换装置,提供了一种简化测试机与探针卡之间的排线连接方案,以及检测连线通路状态的方法。其中,接口简化模块装置包括:第一接口转换器和第二接口转换器,检测模块,接口转换器之间上只有一个转换接口进行连接,极大的方便产线技术人员组装,测试机上所有相关资源连接到第一转换器上,在通过第二转换器连接到针卡,转换器之间用一组转换排线连接,连接后通过转换器上的检测模块快速检查测试机连接到转换器再到针卡是否都正常,方便技术人员使用检测器检测出连线通路和接口的状态,能够在量产之前及时、方便的得出其故障原因。
附图说明
图1所示为现有技术中多个资源集合与针卡进行连接的结构示意图。
图2所示为本发明较佳实施例的检测接口简化转换装置结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图给出本发明的具体实施方式,但本发明不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书,本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率,仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
请参考图2,图2所示为本发明较佳实施例的检测接口简化转换装置结构示意图。本发明提出一种检测接口简化转换装置,包括:第一接口转换器200,其与测试机100的资源110进行连接;第二接口转换器300,其与针卡400进行连接,其中所述第一接口转换器200和第二接口转换器300之间通过各自设置的转换器排线接口220、320进行连接。
根据本发明较佳实施例,所述测试机100包括多个资源110,所述第一接口转换器200设置有多个排线接口210,分别与所述多个资源110进行连接。
所述针卡400包括多个针卡排线接口410,所述第二接口转换器300设置有多个排线接口310,分别与所述多个针卡排线接口410进行连接。
所述第一接口转换器200和第二接口转换器300分别设置有检测模块230、330,分别连接于所述转换器排线接口220、320。
所述检测模块230、330发出检测信号,并通过所述第一接口转换器200和第二接口转换器300分别传输到资源排线接口110和针卡排线接口410,用以检查测试机资源板到针卡针尖是否导通。
所述检测信号在某一传输路径传送,当传输路径中发生阻抗变化时,一部分信号会被反射,另一部分信号会继续沿传输路径传送,通过测量反射波的电压幅度,从而计算出阻抗的变化。
进一步的,通过所述检测信号测量出反射点到发射点的时间值,计算出传输路径中阻抗变化点的位置,进而检测出连线通路和接口的状态。
本技术发明在测试机与针卡之间增加转接模块,模块与模块之间只有一个接口,测试机资源连接线连到模块上插槽,通过另外模块再连接到针卡,此模块还可以快速检查测试机资源与针卡导通是否正常,提高生产效率。
综上所述,本发明提出的检测接口简化转换装置,提供了一种简化测试机与探针卡之间的排线连接方案,以及检测连线通路状态的方法。其中,接口简化模块装置包括:第一接口转换器和第二接口转换器,检测模块,接口转换器之间上只有一个转换接口进行连接,极大的方便产线技术人员组装,测试机上所有相关资源连接到第一转换器上,在通过第二转换器连接到针卡,转换器之间用一组转换排线连接,极大的方便产线技术人员组装,提高了生产效率,任何排线接口都可适用,兼容性较好。连接后通过转换器上的检测模块快速检查测试机连接到转换器再到针卡是否都正常,方便技术人员使用检测器检测出连线通路和接口的状态,能够在量产之前及时、方便的得出其故障原因。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰。因此,本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
Claims (7)
1.一种检测接口简化转换装置,其特征在于,包括:
第一接口转换器,其与测试机的资源进行连接;
第二接口转换器,其与针卡进行连接,
其中所述第一接口转换器和第二接口转换器之间通过各自设置的转换器排线接口进行连接。
2.根据权利要求1所述的检测接口简化转换装置,其特征在于,所述测试机包括多个资源,所述第一接口转换器设置有多个排线接口,分别与所述多个资源进行连接。
3.根据权利要求1所述的检测接口简化转换装置,其特征在于,所述针卡包括多个针卡排线接口,所述第二接口转换器设置有多个排线接口,分别与所述多个针卡排线接口进行连接。
4.根据权利要求1所述的检测接口简化转换装置,其特征在于,所述第一接口转换器和第二接口转换器分别设置有检测模块,分别连接于所述转换器排线接口。
5.根据权利要求4所述的检测接口简化转换装置,其特征在于,所述检测模块发出检测信号,并通过所述第一接口转换器和第二接口转换器分别传输到资源排线接口和针卡排线接口,用以检查测试机资源板到针卡针尖是否导通。
6.根据权利要求5所述的检测接口简化转换装置,其特征在于,所述检测信号在某一传输路径传送,当传输路径中发生阻抗变化时,一部分信号会被反射,另一部分信号会继续沿传输路径传送,通过测量反射波的电压幅度,从而计算出阻抗的变化。
7.根据权利要求6所述的检测接口简化转换装置,其特征在于,通过所述检测信号测量出反射点到发射点的时间值,计算出传输路径中阻抗变化点的位置,进而检测出连线通路和接口的状态。
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