CN107478604A - 透明材料折射率的测量装置和测量方法 - Google Patents

透明材料折射率的测量装置和测量方法 Download PDF

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Abstract

一种透明材料折射率的测量装置和测量方法，包括超连续谱激光器、光栅单色器、斩波器、待测样品、高速光电探测器、驱动器、锁相放大器和计算机。超连续谱激光器和光栅单色器用于产生测量所需的单色激光光束，斩波器用于把连续激光光束调制成为方波信号，高速光电探测器用于接收经过调制并穿过待测样品后的方波光强信号，锁相放大器用于测量高速光电探测器输出电压信号和驱动器输出参考信号的相位差，通过利用锁相放大器分别在测试光路中插入样品和移除样品两种情况下依次测量两种信号的相位差，即可计算得到待测样品的折射率。本发明样品制备容易、测量速度快、测量精度高，可实现一定波长范围内折射率的快速测量。

Description

透明材料折射率的测量装置和测量方法
技术领域
本发明专利涉及材料折射率的测量领域，特别是一种精确、快速测量透明材料折射率的装置和方法。
背景技术
折射率是表征材料光学性质的基本物理量，其准确测量具有重要的意义。目前，折射率的测量方法很多，常用的有：(1)使用分光计的最小偏向角法，该方法虽然测量精度很高，但对待测样品有较高的要求，除了需将样品加工成三棱镜外，还对所加工成的三棱镜顶角及其中两个平面的平面度有较高的精度要求，这增加了测量成本，此外分光计的调整较复杂，测量最小偏向角的步骤繁多，测量工作相当繁重，测量效率较低；(2)阿贝折射计临界角法，该方法一般能测到4位有效数字，但计算公式相对复杂，引起误差的因素较多，而且要求样品的折射率不得大于1.7，这限制了该方法的应用范围；(3)干涉测量法，该方法是通过测量相位差来推算待测样品的折射率，主要存在问题是相位提取步骤繁多、操作麻烦等缺点。
发明内容
为了解决现有折射率测量装置和方法中存在的问题，本发明专利提出了一种便捷、快速、精确测量透明材料折射率的装置和方法。
本发明专利的技术解决方案如下：
一种透明材料折射率的测量装置，其特点在于，包括超连续谱激光器、光栅单色器、光阑、斩波器、驱动器、待测样品、聚焦透镜和高速光电探测器、锁相放大器和计算机；
在超连续谱激光器的光束输出方向依次是光栅单色器、光阑、斩波器、聚焦透镜和高速光电探测器，该高速光电探测器放置于所述聚焦透镜的焦点处，所述斩波器的输入端与驱动器的输出端相连接，所述高速光电探测器的输出端与锁相放大器的输入端相连接，所述驱动器的参考信号输出端与锁相放大器的参考信号输入端相连接，所述驱动器的输出端与计算机的输入端相连接，所述锁相放大器的输出端与所述计算机的输入端相连接。
一种透明材料折射率的测量方法，包括以下步骤：
①在测试光路中不放置待测样品的情况下，利用光栅单色器把出射激光的波长设置为632.8nm，调整光路中各光学元件的位置，使聚焦后的光束完全被高速光电探测器所收集；
②利用光栅单色器出射激光的波长设置为测量所需的波长；
③通过驱动器和斩波器把激光光束调整成为周期为T的方波信号，且使驱动器的参考信号端口输出周期为T的方波参考信号；
④利用锁相放大器测量高速光电探测器的输出方波信号和驱动器 (5)的输出参考方波信号的相位差，记为Δθ1；
⑤把待测样品放置于测试光路斩波器和聚焦透镜之间，并使激光光束正入射在待测样品的表面，再次利用锁相放大器测量高速光电探测器发输出方波信号和驱动器发输出参考方波信号的相位差，记为Δθ2；
⑥计算待测样品在测量波长下的折射率，公式如下：
式中,n为待测样品的折射率，c为光在空气中的传播速度，d为待测样品的厚度。
一种透明材料折射率的测量装置，包括半导体激光器、信号发生器、光阑、待测样品、聚焦透镜和高速光电探测器、锁相放大器和计算机；
沿所述的半导体激光器的光束输出方向依次是光阑、聚焦透镜和高速光电探测器，所述高速光电探测器放置于所述聚焦透镜的焦点位置处，所述半导体激光器的输入端与信号发生器的输出端相连接，所述信号发生器的参考信号输出端与所述锁相放大器的参考信号输入端相连，所述高速光电探测器的输出端与锁相放大器的输入端相连接，所述信号发生器的输出端与计算机的输入端相连接，所述锁相放大器的输出端与所述计算机的输入端相连接。
一种透明材料折射率的测量方法，包括以下步骤：
①在测试光路中不放置待测样品的情况下，调整光路中各光学元件的位置，使聚焦后的光束全部被高速光电探测器所收集；
②通过信号发生器把半导体激光器的出射激光调制成为周期为T的方波信号，并使信号发生器的参考信号端口输出周期为T的方波参考信号；
③利用锁相放大器测量高速光电探测器输出方波信号和信号发生器输出参考方波信号的相位差，记为Δθ1；
④把待测样品放置于测试光路中光阑和聚焦透镜之间，并使激光光束正入射在待测样品表面上，再次利用锁相放大器测量高速光电探测器输出方波信号和信号发生器输出参考方波信号的相位差，记为Δθ2；
⑤计算待测样品的折射率，公式如下：
式中,n为待测样品的折射率，c为光在空气中的传播速度，d为待测样品的厚度。
与现有折射率的测量方法相比，本发明具有以下优点：
(1)制备流程简单便捷。与现有常用的折射率测量方法相比(往往需要将样品加工成三棱镜，并且对所加工成的三棱镜顶角及其中两个平面的平面度有较高的精度要求)，本发明专利提出的测量方法只需要将样品加工成平行平板即可，这大大简化了样品的制备流程，降低了制备成本。
(2)测量精度高，动态范围大。以方波信号的周期为参考基准，由于方波信号的周期可以利用驱动器和斩波器任意设置，因此本测量方法具有很大的灵活性和动态范围，可以根据待测折射率的值进行最优化的设置，从而达到最高的测量精度。
(3)可以实现一定波段范围内折射率的快速测量。
附图说明
图1是利用光学斩波器测量样品折射率的光路图；
图2表示的是高速光电探测器输出方波信号和驱动器输出参考方波信号的相位差；
图3是利用外部调制半导体激光器测量样品折射率的光路图；
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明专利进行详细说明，但不应以此限制本发明专利的保护范围。
一种折射率测量装置，如图1所示，测量装置主要包括超连续谱激光器1，光栅单色器2，光阑3，斩波器4，驱动器5，待测样品6，聚焦透镜7，高速光电探测器8，锁相放大器9，计算机10。可调谐激光器1 用于为测量系统提供复色光源，光栅单色器2用于把复色光源单色化为测量所需的单色激光光束，光阑3用于过滤杂散光和调节入射光束的孔径，斩波器4用于对激光光束进行调制，驱动器5用于控制斩波器4，聚焦透镜7用于把穿过待测样品6的激光光束聚焦在高速光电探测器8 的响应面上，高速光电探测器8用于采集激光并转化为电压信号，锁相放大器9用于测量高速光电探测器8输出的电压信号和驱动器5输出参考信号的相位差，计算机10用于远程操作驱动器5和锁相放大器，同时具备数据处理、数据存储等功能。
工作原理：
可调谐激光器1发出的复色光源，经过光栅单色器2的作用后形成单色激光光束，单色激光光束被斩波器4斩波成为方波类型的输出光信号，方波信号穿过待测样品6后，被高速光电探测器8接收，高速光电探测器9在方波信号的激励下产生的方波电信号传输至锁相放大器9，驱动器5产生的参考方波信号同样被锁相放大器9所采集，锁相放大器 9用于测量高速光电探测器8输出方波信号和驱动器5输出参考方波信号的相位差。
在测量过程中，首先在测试光路中不放置样品的情况下，利用锁相放大器9测量高速光电探测器8输出方波信号和驱动器5输出参考方波信号的相位差，记为Δθ1，然后把待测样品放置于测试光路中，并使激光光束正入射在样品表面上，再次利用锁相放大器9测量高速光电探测器 8输出方波信号和驱动器5输出参考方波信号的相位差，记为Δθ2，则待测样品的折射率可由如下公式计算得到：
其中，n为待测样品的折射率，T为斩波周期，c为光在空气中的传播速度，d为待测样品的厚度。
基于如图1所示的折射率测量装置，本发明专利同时提出了一种测量折射率的方法，主要包括以下步骤：
①利用光栅单色器2把出射激光的波长设置为632.8nm，调整光路中各光学元件的位置，使聚焦后的光束被高速光电探测器8所收集；
②利用光栅单色器2把出射激光的波长设置为测量所需的波长；
③通过驱动器5和斩波器4把入射激光光束调整成为周期为T的方波信号，并使驱动器5输出周期同样为T的方波参考信号；
④在测试光路中不放置样品的情况下，利用锁相放大器9测量高速光电探测器8输出方波信号和驱动器5输出参考方波信号的相位差，记为Δθ1；
⑤把待测样品放置于测试光路中，并使激光光束正入射在样品表面上，再次利用锁相放大器9测量高速光电探测器8输出方波信号和驱动器5输出参考方波信号的相位差，记为Δθ2；
⑥利用如下公式计算待测样品在测量波长下的折射率：
实施例1：
图1是利用光学斩波器测量样品折射率的光路图，1为超连续谱激光器(丹麦Fianium有限公司生产的White Lase超连续谱激光器)，2 为光栅单色器(加拿大Photonetc有限公司生产的可调谐滤波器)，3 为光阑(美国Thorlabs有限公司)，4为斩波器(美国Thorlabs有限公司生产的MC2000B-EC系列机械斩波器)，5为驱动器(美国Thorlabs 有限公司)，6为待测样品(熔石英光学玻璃)，7为聚焦透镜(美国 Thorlabs有限公司)，8为高速光电探测器(美国Newport有限公司生产的125-MHz Photoreceivers Models 1811系列高速光电探测器)，9为锁相放大器(美国Signal Recovery有限公司生产的7270Lock-in锁相放大器)，10为计算机。可调谐激光器1用于为测量系统提供复色光源，光栅单色器2用于把复色光源单色化为测量所需的单色激光光束，光阑 3用于过滤杂散光和调节入射光束的孔径，斩波器4用于对激光光束进行调制，驱动器5用于控制斩波器4，聚焦透镜7用于把透过待测样品6 的激光光束聚焦在高速光电探测器8的响应面上，高速光电探测器8用于采集激光信号，锁相放大器9用于测量高速光电探测器8输出信号和驱动器5输出参考信号的相位差，计算机10用于远程操作驱动器5和锁相放大器9，同时具备数据处理、数据存储等功能。
实施例2：
图3是利用外部调制半导体激光器测量折射率的光路图厂家：，11 为半导体激光器(美国Newport有限公司生产的LQA1064-150E半导体二极管激光器)，12为信号发生器(美国Tektronix有限公司生产的 AFG3022C数字信号发生器)，3为光阑(美国Thorlabs有限公司)，6 为待测样品(熔石英光学玻璃)，7为聚焦透镜(美国Thorlabs有限公司)，8为高速光电探测器(美国Newport有限公司生产的125-MHz Photoreceivers Models 1811系列高速光电探测器)，9为锁相放大器(美国Signal Recovery有限公司生产的7270Lock-in锁相放大器)，10为计算机。半导体激光器11用于为测量系统提供单色光源，信号发生器 12用于外部调制半导体激光器11的输出波形，光阑3用于过滤杂散光和调节入射光束的孔径，聚焦透镜7用于把透过待测样品6的激光光束聚焦在高速光电探测器8的响应面上，高速光电探测器8用于采集激光信号，锁相放大器9用于测量高速光电探测器8输出信号和信号发生器 12输出参考信号的相位差，计算机10用于远程操作信号发生器12和锁相放大器9，同时具备数据处理、数据存储等功能。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种透明材料折射率的测量装置，其特征在于，包括超连续谱激光器(1)、光栅单色器(2)、光阑(3)、斩波器(4)、驱动器(5)、待测样品(6)、聚焦透镜(7)和高速光电探测器(8)、锁相放大器(9)和计算机(10)；
在超连续谱激光器(1)的光束输出方向依次是光栅单色器(2)、光阑(3)、斩波器(4)、聚焦透镜(7)和高速光电探测器(8)，该高速光电探测器(8)放置于所述聚焦透镜(7)的焦点处，所述斩波器(4)的输入端与驱动器(5)的输出端相连接，所述高速光电探测器(8)的输出端与锁相放大器(9)的输入端相连接，所述驱动器(5)的参考信号输出端与锁相放大器(9)的参考信号输入端相连接，所述驱动器(5)的输出端与计算机(10)的输入端相连接，所述锁相放大器(9)的输出端与所述计算机(10)的输入端相连接。
2.一种利用权利要求1所述的透明材料折射率的测量装置进行透明材料折射率的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
①在测试光路中不放置待测样品(6)的情况下，利用光栅单色器(2)把出射激光的波长设置为632.8nm，调整光路中各光学元件的位置，使聚焦后的光束完全被高速光电探测器(8)所收集；
②利用光栅单色器(2)把出射激光的波长设置为测量所需的波长；
③通过驱动器(5)和斩波器(4)把激光光束调整成为周期为T的方波信号，且使驱动器(5)的参考信号端口输出周期为T的方波参考信号；
④利用锁相放大器(9)测量高速光电探测器(8)的输出方波信号和驱动器(5)的输出参考方波信号的相位差，记为Δθ1；
⑤把待测样品(6)放置于测试光路斩波器(4)和聚焦透镜(7)之间，并使激光光束正入射在待测样品(6)的表面，再次利用锁相放大器(9)测量高速光电探测器(8)发输出方波信号和驱动器(5)发输出参考方波信号的相位差，记为Δθ2；
⑥计算待测样品(6)在测量波长下的折射率，公式如下：
<mrow> <mi>n</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>&amp;Delta;&amp;theta;</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>&amp;Delta;&amp;theta;</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>)</mo> <mo>&amp;times;</mo> <mi>T</mi> <mo>&amp;times;</mo> <mi>c</mi> </mrow> <mrow> <mn>360</mn> <mo>&amp;times;</mo> <mi>d</mi> </mrow> </mfrac> <mo>+</mo> <mn>1</mn> </mrow>
式中,n为待测样品的折射率，c为光在空气中的传播速度，d为待测样品的厚度。
3.一种透明材料折射率的测量装置，其特征在于，包括半导体激光器(11)、信号发生器(12)、光阑(3)、待测样品(6)、聚焦透镜(7)和高速光电探测器(8)、锁相放大器(9)和计算机(10)；
沿所述的半导体激光器(11)的光束输出方向依次是光阑(3)、聚焦透镜(7)和高速光电探测器(8)，所述高速光电探测器(8)放置于所述聚焦透镜(7)的焦点位置处，所述半导体激光器(11)的输入端与信号发生器(12)的输出端相连接，所述信号发生器(12)的参考信号输出端与所述锁相放大器(9)的参考信号输入端相连，所述高速光电探测器(8)的输出端与锁相放大器(9)的输入端相连接，所述信号发生器(12)的输出端与计算机(10)的输入端相连接，所述锁相放大器(9)的输出端与所述计算机(10)的输入端相连接。
4.一种利用权利要求1所述的透明材料折射率的测量装置进行透明材料折射率的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
①在测试光路中不放置待测样品(6)的情况下，调整光路中各光学元件的位置，使聚焦后的光束全部被高速光电探测器(8)所收集；
②通过信号发生器(12)把半导体激光器(11)的出射激光调制成为周期为T的方波信号，并使信号发生器(12)的参考信号端口输出周期为T的方波参考信号；
③利用锁相放大器(9)测量高速光电探测器(8)输出方波信号和信号发生器(12)输出参考方波信号的相位差，记为Δθ1；
④把待测样品(6)放置于测试光路中光阑(3)和聚焦透镜(7)之间，并使激光光束正入射在待测样品(6)表面上，再次利用锁相放大器(9)测量高速光电探测器(8)输出方波信号和信号发生器(12)输出参考方波信号的相位差，记为Δθ2；
⑤计算待测样品(6)的折射率，公式如下：
<mrow> <mi>n</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>&amp;Delta;&amp;theta;</mi> <mn>2</mn> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>&amp;Delta;&amp;theta;</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>)</mo> <mo>&amp;times;</mo> <mi>T</mi> <mo>&amp;times;</mo> <mi>c</mi> </mrow> <mrow> <mn>360</mn> <mo>&amp;times;</mo> <mi>d</mi> </mrow> </mfrac> <mo>+</mo> <mn>1</mn> </mrow>
式中,n为待测样品的折射率，c为光在空气中的传播速度，d为待测样品的厚度。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110715931A (zh) * 2019-10-29 2020-01-21 上海御微半导体技术有限公司 一种透明样品缺陷自动检测方法和检测装置
CN110836874A (zh) * 2018-08-15 2020-02-25 天津市业洪检测技术发展有限公司 一种新型玻璃折光率检测装置
CN112229605A (zh) * 2020-09-22 2021-01-15 中国科学院上海光学精密机械研究所 测量光学元器件反射率与透射率的装置和方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102116739A (zh) * 2010-12-16 2011-07-06 中国计量学院 一种杀虫剂农药的吸收系数和折射率的无损检测方法
CN202230246U (zh) * 2011-10-13 2012-05-23 上海理工大学 高稳定性光学斩波器
CN103196868A (zh) * 2013-04-10 2013-07-10 上海理工大学 光刻胶折射率的测定方法
CN103308224A (zh) * 2013-05-23 2013-09-18 中国科学院半导体研究所 半导体材料微区应力测试系统
CN103335976A (zh) * 2013-06-04 2013-10-02 中国石油大学(北京) 利用太赫兹时域光谱检测硫酸盐、硝酸盐溶液浓度的方法
CN103472032A (zh) * 2013-09-24 2013-12-25 浙江大学 一种利用太赫兹时域光谱技术检测盐酸四环素的方法
CN103983604A (zh) * 2014-05-28 2014-08-13 中国石油大学(北京) 一种基于太赫兹时域光谱技术的检测系统
CN105466887A (zh) * 2015-11-24 2016-04-06 东南大学 薄壁封闭玻璃腔室光学参数的检测系统及方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102116739A (zh) * 2010-12-16 2011-07-06 中国计量学院 一种杀虫剂农药的吸收系数和折射率的无损检测方法
CN202230246U (zh) * 2011-10-13 2012-05-23 上海理工大学 高稳定性光学斩波器
CN103196868A (zh) * 2013-04-10 2013-07-10 上海理工大学 光刻胶折射率的测定方法
CN103308224A (zh) * 2013-05-23 2013-09-18 中国科学院半导体研究所 半导体材料微区应力测试系统
CN103335976A (zh) * 2013-06-04 2013-10-02 中国石油大学(北京) 利用太赫兹时域光谱检测硫酸盐、硝酸盐溶液浓度的方法
CN103472032A (zh) * 2013-09-24 2013-12-25 浙江大学 一种利用太赫兹时域光谱技术检测盐酸四环素的方法
CN103983604A (zh) * 2014-05-28 2014-08-13 中国石油大学(北京) 一种基于太赫兹时域光谱技术的检测系统
CN105466887A (zh) * 2015-11-24 2016-04-06 东南大学 薄壁封闭玻璃腔室光学参数的检测系统及方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110836874A (zh) * 2018-08-15 2020-02-25 天津市业洪检测技术发展有限公司 一种新型玻璃折光率检测装置
CN110715931A (zh) * 2019-10-29 2020-01-21 上海御微半导体技术有限公司 一种透明样品缺陷自动检测方法和检测装置
CN112229605A (zh) * 2020-09-22 2021-01-15 中国科学院上海光学精密机械研究所 测量光学元器件反射率与透射率的装置和方法

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