CN107457495A - 背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法，所述背板用于与靶坯焊接形成靶材组件，所述背板包括：焊接面；凸出于焊接面上的多个环形凸齿，环形凸齿呈相互间隔的同心排布；环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，且环形第一凹槽的侧壁与环形凸齿的侧壁构成尖角结构；或者，环形凸齿内具有环形凹槽组，环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构，环形第一凹槽的侧壁与环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构；相邻环形凸齿的侧壁与位于相邻环形凸齿之间的焊接面围成环形第二凹槽。本发明所述背板的环形凸齿可以嵌入至靶坯的焊接面内，从而可以提高背板和靶坯的焊接结合效果。

Description

背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法。

背景技术

溅射技术是半导体制造领域的常用工艺之一，随着溅射技术的日益发展，溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用，溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。

在溅射靶材制造领域中，靶材组件是由符合溅射性能的靶坯、与靶坯通过焊接相结合的背板构成。在溅射过程中，靶材组件所处的工作环境比较恶劣。例如：靶材组件的背板一侧通过一定压力的冷却水强冷，而靶坯一侧则处于高温真空环境下，因此在靶材组件的相对两侧形成巨大的压力差；再者，靶坯一侧受到高压电场和强磁场中各种粒子的轰击，有大量热量产生。在如此恶劣的环境下，为了确保薄膜质量的稳定性以及靶材组件的质量，对靶坯和背板的质量以及焊接结合率的要求越来越高，否则容易导致所述靶材组件在受热条件下发生变形、开裂等问题，从而影响成膜质量，甚至对溅射基台造成损伤。

但是，现有技术靶材组件的良率有待提高。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种背板及其制造方法以及靶材组件的制造方法，提高靶材组件的良率。

为解决上述问题，本发明提供一种背板，用于与靶坯焊接形成靶材组件，包括：焊接面；凸出于所述焊接面上的多个环形凸齿，所述多个环形凸齿呈相互间隔的同心排布；所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，且所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成尖角结构；或者，所述环形凸齿内具有环形凹槽组，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构，所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构；相邻环形凸齿的侧壁与位于所述相邻环形凸齿之间的焊接面围成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度。

相应的，本发明提供一种背板的制造方法，包括：提供初始背板，所述初始背板包括第一区域以及环绕所述第一区域的第二区域；对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工，形成多个呈同心排布的环形第一凹槽；所述环形第一凹槽之间相互间隔；对所述环形第一凹槽之间的第一区域初始背板表面进行第二机械加工，形成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度；所述环形第二凹槽的底部为焊接面，相邻环形第二凹槽具有相背设置的侧壁，所述相背设置的侧壁与相邻所述环形第一凹槽的侧壁构成尖角结构，形成位于相邻所述环形第二凹槽之间且凸出于所述焊接面的环形凸齿；或者，对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工，形成多个呈同心排布的环形凹槽组，所述环形凹槽组之间相互间隔，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构；对所述环形凹槽组之间的第一区域初始背板表面进行第二机械加工，形成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度；所述环形第二凹槽的底部为焊接面，相邻环形第二凹槽具有相背设置的侧壁，所述相背设置的侧壁与相邻所述环形第一凹槽的侧壁构成第二尖角结构，形成位于相邻所述环形第二凹槽之间且凸出于所述焊接面的环形凸齿。

相应的，本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供靶坯，所述靶坯的焊接面为第一焊接面；提供前述背板，所述背板的焊接面为第二焊接面；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，形成初始靶材组件；对所述初始靶材组件进行机械咬合焊接，使所述第二焊接面上的凸齿嵌入至所述第一焊接面内。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明通过提供一种背板，所述背板包括凸出于焊接面上的多个环形凸齿，所述环形凸齿呈相互间隔的同心排布；所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，且所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成尖角结构；或者，所述环形凸齿内具有环形凹槽组，所述环形凹槽组至少包括两个环形第二凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构，所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构。采用所述背板与靶坯进行焊接以形成靶材组件时，所述背板的环形凸齿可以通过尖角结构嵌入至所述靶坯的焊接面内，从而提高所述背板和靶坯的焊接结合效果，进而提高所述靶材组件的良率和性能。

附图说明

图1是本发明背板一实施例的俯视图；

图2是图1沿AA1轴向的剖面图；

图3是图2中区域B的局部放大图；

图4是本发明背板另一实施例的局部放大图；

图5至图12是本发明背板的制造方法一实施例中各步骤对应的剖面示意图；

图13和图14为本发明靶材组件的制造方法一实施例中各步骤对应的剖面图。

具体实施方式

由背景技术可知，现有技术靶材组件的良率有待提高。分析其原因在于：

目前主要采用钎焊工艺来实现靶坯和背板的焊接。所述钎焊工艺使用的是熔点比靶坯和背板熔点低的焊料，例如：铟或锡。工艺过程中，在低于靶坯和背板熔点、高于焊料熔点的温度下同时加热所述靶坯和背板，待焊料熔化后，使所述靶坯的待焊接面和背板的待焊接面相对设置并贴合，焊料与靶坯、背板相互扩散实现牢固连接。但是，在靶材组件的使用过程中，当溅射功率增大到一定程度后，所述靶材组件承受的温度较高，容易因焊料再熔化而引起所述靶材和背板脱落的问题，从而导致靶材组件的良率下降。

为了解决上述问题，本发明提供一种背板，所述背板包括凸出于焊接面上的多个环形凸齿，所述环形凸齿具有尖角结构，采用所述背板与靶坯进行焊接以形成靶材组件时，所述背板的环形凸齿通过尖角结构嵌入至所述靶坯的焊接面内，从而可以提高所述背板和靶坯的焊接结合效果，进而可以防止所述靶材组件在溅射过程中发生脱落，以提高所述靶材组件的良率和性能。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

参考图1至图3，其中图1示出了本发明背板一实施例的俯视图，图2为图1沿AA1剖线的剖面图，图3为图2中区域B的局部放大图。所述图2和图3中的虚线200表示所述剖面图的轴对称线。本发明所述的背板100，用于与靶坯焊接形成靶材组件，所述背板100包括：

焊接面101(如图2所示)；

凸出于所述焊接面101上的多个环形凸齿102(如图3所示)，所述多个环形凸齿102呈相互间隔的同心排布；所述环形凸齿102内具有一个环形第一凹槽103(如图3所示)，且所述环形第一凹槽103的侧壁与所述环形凸齿102的侧壁构成尖角结构113(如图3所示)；

相邻环形凸齿102的侧壁与位于所述相邻环形凸齿102之间的焊接面101围成第二凹槽104(如图3所示)，所述第二凹槽104的深度H4(如图3所示)不小于所述第一凹槽103的深度H3(如图3所示)。

其中，所述背板100与符合溅射性能的靶坯相焊接结合，形成靶材组件。所述背板100在所述靶材组件中起到支撑作用，具有较好的传导热量的功能。

所述背板100包括第一区域Ⅰ(如图2所示)以及环绕所述第一区域Ⅰ的第二区域Ⅱ(如图2所示)，所述第一区域Ⅰ背板100的表面为所述背板100的焊接面101，所述第二区域Ⅱ为所述背板100的边缘区域。其中，所述第一区域Ⅰ背板100表面的形状、尺寸与靶坯焊接面的形状、尺寸相同，即所述第一区域Ⅰ背板100表面的横截面形状为圆形。

继续参考图2，需要说明的是，所述背板100还包括：环绕所述焊接面101的底部凸台110，所述底部凸台110的顶部高于所述焊接面101的表面；环绕所述底部凸台110的顶部凸台120，所述顶部凸台120的顶部高于所述底部凸台110的顶部。

所述底部凸台110和顶部凸台120构成台阶，在靶材组件的制造过程中，与靶坯的形貌相匹配；具体地说，靶坯具有凸缘，所述靶坯嵌入由所述顶部凸台120和底部凸台110表面围成的开口中，所述凸缘嵌入由所述底部凸台110和焊接面101围成的开口中，便于所述背板100和靶坯的装配。

此外，所述底部凸台110的顶部高于所述焊接面101的表面，从而可以限制所述环形凸齿102嵌入所述靶坯的深度，避免所述环形凸齿102过度嵌入而对所述靶坯造成的质量造成不良影响。

本实施例中，由所述底部凸台110和焊接面101围成的开口的直径L2(如图2所示)为265毫米至271毫米，由所述顶部凸台120和底部凸台110表面围成的开口的直径L3(如图2所示)为302毫米至312毫米，所述顶部凸台120顶部至所述底部凸台110顶部的垂直距离H2(如图2所示)为8.8毫米至9.2毫米。

本实施例中，所述背板100的厚度H1(如图2所示)为30毫米至40毫米。

结合参考图1至图3，本实施例中，所述多个环形凸齿102(如图3所示)用于在靶材组件的制造过程中嵌入靶坯的焊接面内，提高所述背板100和靶坯的焊接强度。

本实施例中，所述背板100呈圆柱形，即所述背板100的横截面形状为圆形；相应的，所述多个环形凸齿102呈相互间隔的同心圆环形排布，从而在所述背板100和靶坯的焊接过程中，可以使所述环形凸齿102嵌入至所述靶坯焊接面内的深度均一性更好。

本实施例中，位于同心圆环形中最外侧的环形凸齿102与所述焊接面101围成的圆环形开口的直径L1(如图2所示)为250毫米至256毫米。

本实施例中，所述环形凸齿102内具有一个环形第一凹槽103，所述环形凸齿102的轴向(沿图1中AA1方向)横截面为M形。本实施例中，所述环形第一凹槽103的侧壁与所述环形凸齿102的侧壁构成尖角结构113(如图3所示)，即所述M形环形凸齿102具有两个尖角结构113。在将所述环形凸齿102嵌入至靶坯的焊接面内时，将两个所述尖角结构113嵌入至所述靶坯的焊接面内，所述第一凹槽103能够使所述环形凸齿102与所述靶坯焊接面的接触面积增加，从而可以提高所述背板100和靶坯的焊接结合效果。

需要说明的是，在其他实施例中，所述环形凸齿102内还可以具有环形凹槽组，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽；相应的，相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构，所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构。在将所述环形凸齿嵌入至靶坯的焊接面内时，将所述第一尖角结构和第二尖角结构嵌入至所述靶坯的焊接面内。

还需要说明的是，后续焊接过程中施加于所述背板100上的压力垂直焊接面，在本实施例中，所述环形凸齿102的侧壁与所述焊接面101相垂直，便于使所述环形凸齿102更好地嵌入至靶坯的焊接面内，且避免所述环形凸齿102在压力作用下发生过度变形。

需要说明的是，如果所述环形第一凹槽103的两个侧壁之间的夹角α(如图3所示)过小，容易导致所述环形第一凹槽103的深度H3(如图3所示)过大，相应的，所述尖角结构113过于尖锐，从而导致所述环形凸齿102的机械强度下降；如果所述夹角α过大，容易导致所述环形第一凹槽103的深度H3过小，相应的，所述尖角结构113可嵌入至靶坯焊接面内的深度过小，从而容易导致所述背板100和靶坯的焊接效果较差。因此，本实施例中，所述环形第一凹槽103的两个侧壁之间的夹角α为85度至95度。例如：所述夹角α为90度。

还需要说明的是，所述M形环形凸齿102的两个尖角结构113之间的距离L5(如图3所示)不宜过大，也不宜过小。在不影响所述环形第一凹槽103的两个侧壁之间夹角α的情况下，如果所述距离L5过小，容易导致所述环形第一凹槽103的深度H3过小，相应的，所述尖角结构113可嵌入至靶坯焊接面内的深度过小，从而容易导致所述背板100和靶坯的焊接效果较差；如果所述距离L5过大，容易导致所述环形第一凹槽103的深度H3过大，相应的，所述环形凸齿102底部的背板100厚度过小，从而容易导致所述背板100的机械强度下降。为此，本实施例中，所述M形环形凸齿102的两个尖角结构113之间的距离L5为2.8毫米至3.2毫米。

由以上分析可知，所述环形第一凹槽103的两个侧壁之间的夹角α、所述M形环形凸齿102的两个尖角结构113之间的距离L5、以及所述环形第一凹槽103的深度H3相互影响。因此，为了将所述环形第一凹槽103的两个侧壁之间的夹角α以及所述M形环形凸齿102的两个尖角结构113之间的距离L5控制在合理范围内，所述环形第一凹槽103的深度H3为1.4毫米至1.6毫米。

继续参考图1至图3，本实施例中，所述多个环形第二凹槽104(如图3所示)，由相邻环形凸齿102侧壁以及位于所述相邻环形凸齿102之间的焊接面101(如图2所示)围成。

本实施例中，所述环形第二凹槽104的深度H4(如图3所示)不小于所述环形第一凹槽103的深度H3，用于后续将所述背板100焊接至靶坯的焊接面上时，不仅可以使所述背板100的环形凸齿102完全嵌入至靶坯焊接面内，所述环形第二凹槽104还可以提供缓冲空间，减小所述背板100的焊接面101与靶坯焊接面接触时产生的应力，从而可以避免所述背板或靶坯因受到过大应力而发生断裂的问题。

本实施例中，所述第一区域Ⅰ背板100表面的横截面形状为圆形；相应的，所述环形第二凹槽104呈相互间隔的同心圆环形排布。

为了提高所述背板100和靶坯的焊接结合效果，所述环形第二凹槽104的底部为平面，即所述焊接面101为平面；且由于所述环形第二凹槽104由相邻环形凸齿102的侧壁与位于所述相邻环形凸齿102之间的焊接面101围成，因此所述第二凹槽104的侧壁形貌与所述凸齿102的侧壁形貌相匹配。本实施例中，所述环形第二凹槽104的侧壁与所述焊接面101相垂直，也就是说，所述环形第二凹槽104的轴向(沿图1中AA1方向)横截面为方形。

需要说明的是，所述环形第二凹槽104的深度H4不小于所述环形第一凹槽103的深度H3，但所述环形第二凹槽104的深度H4不宜过小，也不宜过大。如果所述环形第二凹槽104的深度H4过小，在将所述环形凸齿102嵌入至靶坯焊接面内并进行焊接时，所述环形第二凹槽104提供缓冲空间的效果不明显，从而容易导致所述背板100的焊接面与靶坯焊接面接触时产生过大的应力，进而容易导致所述背板100或靶坯因受到过大应力而发生断裂；如果所述环形第二凹槽104的深度H4过大，即所述环形第二凹槽104底部的背板100厚度过小，从而容易导致所述背板100的机械强度下降。为此，本实施例中，所述环形第二凹槽104的深度H4为1.6毫米至1.8毫米。

还需要说明的是，所述环形第二凹槽104的顶部尺寸L4(如图3所示)不宜过大，也不宜过小。由于所述背板100的直径有限，如果所述环形第二凹槽104的顶部尺寸L4过大，在不影响所述环形凸齿102数量的前提下，会对所述环形第一凹槽103的两个侧壁之间的夹角α(如图3所示)、所述M形环形凸齿102的两个尖角结构113之间的距离L5(如图3所示)、以及所述环形第一凹槽103的深度H3(如图3所示)产生影响；或者，在不影响所述环形第一凹槽103的两个侧壁之间的夹角α、所述M形环形凸齿102的两个尖角结构113之间的距离L5、以及所述环形第一凹槽103的深度H3的前提下，使所述环形凸齿102的数量减小，从而容易导致所述背板100和靶坯的焊接效果下降。为此，本实施例中，所述环形第二凹槽104的顶部尺寸L4为1.98毫米至2.06毫米。

也就是说，所述环形凸齿102的相关尺寸与所述环形第二凹槽104的相关尺寸相互影响。因此，在靶材组件的制造过程中，为了使所述环形凸齿102嵌入至靶坯的焊接面内后，所述背板100和靶坯的焊接强度得到提高，且为了保证所述环形凸齿102和背板100的机械强度，所述环形第一凹槽103的两个侧壁之间的夹角α、所述M形环形凸齿102的两个尖角结构113之间的距离L5、所述环形第一凹槽103的深度H3、所述环形第二凹槽104的深度H4、以及所述环形第二凹槽104的顶部尺寸L4均应控制在合理范围内。

本实施例中，位于同心圆环形中最内侧环形凸齿102的侧壁与所述焊接面101围成中心凹槽105(如图3所示)，所述中心凹槽105的直径L6为3.49毫米至3.53毫米。

参考图4，示出了本发明背板另一实施例的局部放大图。与上一实施例中的相同之处不再赘述，不同之处仅在于：所述背板150的环形凸齿152内具有环形凹槽组(未标示)，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽153，且相邻环形第一凹槽153的侧壁相连接构成第一尖角结构163，所述环形第一凹槽153的侧壁与所述环形凸齿152的侧壁构成第二尖角结构173。本实施例中，所述环形凹槽组包括两个环形第一凹槽153为例进行说明。

本实施例所述的背板150包括凸出于焊接面(未标示)上的多个环形凸齿152，所述环形凸齿152呈相互间隔的同心排布；所述环形凸齿152内具有环形凹槽组(未标示)，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽153，且相邻环形第一凹槽153的侧壁相连接构成第一尖角结构163，所述环形第一凹槽153的侧壁与所述环形凸齿152的侧壁构成第二尖角结构173。采用所述背板150与靶坯进行焊接以形成靶材组件时，所述背板150的环形凸齿152可以嵌入至所述靶坯的焊接面内，从而可以提高所述背板150和靶坯的焊接结合效果，进而可以防止所述靶材组件在溅射过程中发生脱落，以提高所述靶材组件的良率和性能。

相应的，本发明还提供一种背板的制造方法。下面将结合参考图5至图12，对本发明的具体实施例做进一步的描述。

结合参考图5和图6，图5示出了本发明初始背板的俯视图，图6是图5沿CC1(如图5所示)剖线的剖面图，图6中的虚线400表示所述剖面图的轴对称线。

执行步骤S1，提供初始背板300，所述初始背板300包括第一区域Ⅰ以及环绕所述第一区域Ⅰ的第二区域Ⅱ。通过加工所述初始背板300，形成与靶坯的形状相匹配的背板。本实施例中，所述初始背板300为圆柱形，即所述初始背板300的横截面形状为圆形。本实施例中，所述初始背板300的厚度H5为30毫米至40毫米。

本实施例中，所述第二区域Ⅱ为所述初始背板300的边缘区域；所述第一区域Ⅰ初始背板300表面的形状、尺寸与靶坯焊接面的形状、尺寸相同。本实施例中，即所述第一区域Ⅰ初始背板300表面横截面形状为圆形。

结合参考图7，需要说明的是，提供所述初始背板300后，所述制造方法还包括：对所述初始背板300表面进行第一预加工，在所述初始背板300的第一区域Ⅰ以及环绕所述第一区域Ⅰ的部分第二区域Ⅱ内形成第一开口321，所述第一开口321的侧壁与未设置有所述第一开口321的第二区域Ⅱ初始背板300表面构成顶部凸台320。本实施例中，沿平行于所述初始背板300表面的方向上，所述第一区域Ⅰ初始背板300的横截面形状为圆形；相应的，所述第一开口321的形状为圆环形。

具体地，所述第一预加工为粗加工；进行所述第一预加工的步骤包括：将所述初始背板300安装在机床的主轴上，所述机床上装有35度端面内孔刀；将所述初始背板300一表面面向所述35度端面内孔刀，以所述35度端面内孔刀对所述初始背板300表面进行第一预加工。其中，根据所述第一开口321的直径M3(如图7所示)和深度H6(如图7所示)，设定吃刀量和进给量，且在所述第一预加工过程中，由主轴旋转带动所述初始背板300。

本实施例中，所述第一开口321的直径M3为302毫米至312毫米，所述第一开口321的深度H6为8.8毫米至9.2毫米。相应地，吃刀量为0.13毫米至0.17毫米，机床转速为90转/分钟至110转/分钟，进给量为0.18毫米/转至0.22毫米/转。

结合参考图8，需要说明的是，形成所述第一开口321(如图7所示)后，所述制造方法还包括：对所述第一开口321底部进行第二预加工，在所述第一开口321底部形成第二开口311，所述第二开口311的侧壁与未设置有所述第二开口311的第一开口321底部构成底部凸台310。

本实施例中，沿平行于所述初始背板300表面的方向上，所述初始背板300的横截面形状为圆形；相应的，所述第二开口311的形状为圆环形。

具体地，所述第二预加工为粗加工；进行所述第二预加工的步骤包括：将所述初始背板300安装在机床的主轴上，所述机床上装有35度端面内孔刀；将所述第一开口321底部面向所述35度端面内孔刀，以所述35度端面内孔刀对所述第一开口321底部进行第二预加工。其中，根据所述第二开口311的直径M2(如图8所示)和深度(未标示)，设定吃刀量和进给量，且在所述第二预加工过程中，由主轴旋转带动所述初始背板300。本实施例中，所述第二开口311的直径M2为265毫米至271毫米。相应地，吃刀量为0.13毫米至0.17毫米，机床转速为90转/分钟至110转/分钟，进给量为0.18毫米/转至0.22毫米/转。

本实施例中，所述底部凸台310的顶部高于后续形成的焊接面的表面；后续在进行背板和靶坯的焊接过程中，可以限制在所述第二开口311底部形成的环形凸齿嵌入靶坯的深度，从而减少环形凸齿过度嵌入靶坯的问题。

需要说明的是，所述底部凸台310和顶部凸台320构成台阶，在靶材制造的过程中，与靶坯的形貌相匹配；具体地说，靶坯具有凸缘，所述靶坯嵌入所述第一开口321中，所述凸缘嵌入所述第二开口311中以实现与背板焊接面的接触，便于背板和靶坯的装配，从而防止所述靶坯在水平方向上相对于背板发生移动，进而有利于提高后续形成的背板和靶坯的焊接结合率。

参考图9，示出了图8中区域D的局部放大图，执行步骤S2，对所述第一区域Ⅰ的初始背板300表面进行第一机械加工，形成多个呈同心排布的环形第一凹槽303，所述环形第一凹槽303之间相互间隔。

所述环形第一凹槽303为后续形成环形凸齿提供工艺基础。本实施例中，沿平行于所述初始背板300表面的方向上，所述第一区域Ⅰ初始背板300的横截面形状为圆形；相应的，所述环形第一凹槽303呈同心圆环形排布。

本实施例中，所述环形第一凹槽303相互间隔，所述环形第一凹槽303的轴向(沿图5中CC1方向)横截面为V形。后续形成环形凸齿后，所述环形第一凹槽303位于所述环形凸齿内，且所述环形第一凹槽303的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成尖角结构。在靶材组件的制造过程中，将环形凸齿嵌入至靶坯的焊接面内时，将所述尖角结构嵌入至所述靶坯的焊接面内。

需要说明的是，在其他实施例中，对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工后，还可以形成多个呈同心排布的环形凹槽组，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽；相应的，相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构。

还需要说明的是，所述环形第一凹槽303的两个侧壁之间的夹角β(如图9所示)不宜过大，也不宜过小。如果所述夹角β过小，容易导致所述环形第一凹槽303的深度H7(如图9所示)过大，相应的，后续形成的尖角结构过于尖锐，从而导致后续形成的环形凸齿的机械强度下降；如果所述夹角β过大，容易导致所述环形第一凹槽303的深度H7过小，相应的，后续形成的尖角结构可嵌入靶坯焊接面内的深度过小，从而容易导致后续形成的背板和靶坯的焊接效果较差。为此，所述环形第一凹槽303的两个侧壁之间的夹角β为85度至95度，例如：所述夹角β为90度，也就是说，所述环形第一凹槽303的两个侧壁相互垂直。

还需要说明的是，所述环形第一凹槽303的顶部尺寸M5(如图9所示)不宜过大，也不宜过小。在不影响所述环形第一凹槽303的两个侧壁之间夹角β的情况下，如果所述环形第一凹槽303的顶部尺寸M5过小，容易导致所述环形第一凹槽303的深度H7过小，相应的，后续形成的尖角结构可嵌入靶坯焊接面内的深度过小，从而容易导致后续形成的背板和靶坯的焊接效果较差；如果所述环形第一凹槽303的顶部尺寸M5过大，容易导致所述第一凹槽303的深度H7过小，相应的，后续形成的环形凸齿底部的背板厚度过小，从而容易导致后续形成的背板的机械强度下降，且后续形成的环形凸齿数量也会相应减少，从而容易导致后续形成的背板和靶坯的焊接效果较差。为此，所述环形第一凹槽303的顶部尺寸M5为2.8毫米至3.2毫米。

由以上分析可知，所述环形第一凹槽303的两个侧壁之间的夹角β、所述环形第一凹槽303的顶部尺寸M5、以及所述环形第一凹槽303的深度H7相互影响。相应的，为了将所述环形第一凹槽303的两个侧壁之间的夹角β以及所述环形第一凹槽303的顶部尺寸M5控制在合理范围内，所述环形第一凹槽303的深度H7为1.4毫米至1.6毫米。

本实施例中，所述第一机械加工为精加工；对第一区域Ⅰ的初始背板300表面进行第一机械加工的步骤包括：采用90度成形刀进行加工。

通过所述90度成形刀，可以直接形成侧壁夹角β为90度的第一凹槽303。

具体地，将所述初始背板300安装在机床的主轴上，所述机床上装有90度成形刀；将所述第二开口311底部面向所述90度成形刀，以所述90度成形刀对所述第二开口311底部进行精加工。其中，根据所述环形第一凹槽303的深度H7和顶部尺寸M5，设定吃刀量和进给量，且在所述精加工过程中，由主轴旋转带动所述初始背板300。

需要说明的是，吃刀量和进给量同时影响所述环形第一凹槽303的深度H7和顶部尺寸M5，所述吃刀量和进给量越大，所述环形第一凹槽303的深度H7越大，顶部尺寸M5也越大。为了将所述环形第一凹槽303的深度H7和顶部尺寸M5控制在合理范围内，所述第一机械加工的吃刀量和进给量也需控制在合理范围内。本实施例中，吃刀量为0.28毫米至0.32毫米，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。

还需要说明的是，机床转速越快，所述第一机械加工的加工时间越少；但过快的机床转速会对所述环形第一凹槽303的深度H7和顶部尺寸M5产生影响，使所述深度H7和顶部尺寸M5偏移目标值。为此，本实施例中，机床转速为25转/分钟至35转/分钟。

结合参考图10、图11和图12，图11为图10中区域D的局部放大图，图12为图10的俯视图，执行步骤S3，对所述环形第一凹槽303(如图9所示)之间的第一区域Ⅰ初始背板300表面进行第二机械加工，形成环形第二凹槽304(如图11所示)，所述环形第二凹槽304的深度H8(如图11所示)不小于所述环形第一凹槽303的深度H7(如图11所示)；所述环形第二凹槽304的底部为焊接面301(如图10所示)，相邻环形第二凹槽304具有相背设置的侧壁(未标示)，所述相背设置的侧壁与相邻所述环形第一凹槽303的侧壁构成尖角结构313(如图11所示)，形成位于相邻所述环形第二凹槽304之间且凸出于所述焊接面301的环形凸齿302(如图11所示)。

本实施例中，形成所述环形第二凹槽304、以及具有所述环形第一凹槽303的环形凸齿302后，所述初始背板300为用于与靶坯焊接形成靶材组件的背板500(如图12所示)。

通过所述第二机械加工，在相邻所述环形第二凹槽304之间形成具有所述环形第一凹槽303的环形凸齿302，也就是说，所述环形凸齿302通过所述环形第二凹槽304相互隔离。

本实施例中，所述环形凸齿302内具有一个环形第一凹槽303，所述环形凸齿302的轴向(沿图5中CC1方向)横截面为M形。所述环形第一凹槽303的侧壁与所述环形凸齿302的侧壁构成尖角结构313(如图11所示)，即所述M形环形凸齿302具有两个尖角结构313，且所述环形第一凹槽303的轴向(沿图5中CC1方向)横截面为V形。在将所述环形凸齿302嵌入至靶坯的焊接面内时，使所述尖角结构313嵌入至所述靶坯的焊接面内，所述第一凹槽303可以增加与所述靶坯焊接面的接触面积，从而有利于提高所述背板500和靶坯的焊接结合率。

本实施例中，所述环形第一凹槽303的顶部尺寸M5为2.8毫米至3.2毫米，也就是说，所述M形环形凸齿302的两个尖角结构313之间的距离M5为2.8毫米至3.2毫米。

需要说明的是，本实施例中，所述环形凸齿302的侧壁与所述焊接面301相垂直，从而使所述环形凸齿302的侧壁沿垂直于所述背板500的延伸方向，与后续焊接过程中施加于所述背板500上的压力方向相平行，进而可以使所述环形凸齿302更好地嵌入至靶坯的焊接面内，且可以避免所述环形凸齿302在压力作用下发生过度变形。

本实施例中，所述多个环形凸齿302呈同心圆环形排布；位于同心圆环形中最外侧的环形凸齿302与所述焊接面301围成的圆环形开口的直径M1(如图10所示)为250毫米至256毫米；其中，位于同心圆环形中最内侧环形凸齿302的侧壁与所述焊接面301围成中心凹槽305，所述中心凹槽305在所述第二机械加工过程中形成，所述中心凹槽305的直径M6(如图11所示)为3.49毫米至3.53毫米。

本实施例中，所述环形第二凹槽304的深度H8不小于所述环形第一凹槽303的深度H7，后续将所述背板500焊接至靶坯的焊接面上时，不仅可以使所述环形凸齿302完全嵌入至靶坯焊接面内，所述环形第二凹槽304还可以提供缓冲空间，减小所述背板500的焊接面301与靶坯焊接面直接接触时产生的应力，从而避免所述背板500或靶坯因受到过大应力而发生断裂的问题。

本实施例中，沿平行于所述初始背板300表面的方向上，所述第一区域Ⅰ初始背板300的横截面形状为圆形；相应的，所述第二凹槽304呈同心圆环形排布。

为了提高所述背板500和靶坯的焊接结合效果，所述环形第二凹槽304的底部为平面，即所述焊接面301为平面；且由于所述环形第二凹槽304由相邻环形凸齿302的侧壁与位于所述相邻环形凸齿302之间的焊接面301围成，因此所述环形第二凹槽304的侧壁形貌与所述环形凸齿302的侧壁形貌相匹配。本实施例中，所述环形第二凹槽304的侧壁与所述焊接面301相垂直，也就是说，所述环形第二凹槽304的轴向(沿图5中CC1方向)横截面为方形。

需要说明的是，所述环形第二凹槽304的深度H8不小于所述第一凹槽303的深度H7，但所述环形第二凹槽304的深度H8不宜过小，也不宜过大。如果所述环形第二凹槽304的深度H8过小，在将所述环形凸齿302嵌入靶坯焊接面内并进行焊接时，所述环形第二凹槽304提供缓冲空间的效果不明显，从而容易导致所述背板500的焊接面与靶坯焊接面接触时产生过大的应力，进而容易导致所述背板500或靶坯因受到过大应力而发生断裂；如果所述环形第二凹槽304的深度H8过大，即所述环形第二凹槽304底部的初始背板300厚度过小，从而容易导致背板500的机械强度下降。为此，本实施例中，所述环形第二凹槽304的深度H8为1.6毫米至1.8毫米。

还需要说明的是，所述环形第二凹槽304的顶部尺寸M4(如图11所示)不宜过大，也不宜过小。由于所述初始背板300的直径有限，如果所述环形第二凹槽304的顶部尺寸M4过大，在不影响所述环形凸齿302数量的前提下，会对所述环形第一凹槽303的两个侧壁之间的夹角β(如图11所示)、所述M形环形凸齿302的两个尖角结构313之间的距离M5(如图11所示)、以及所述环形第一凹槽303的深度H7(如图11所示)产生影响；或者，在不影响所述环形第一凹槽303的两个侧壁之间的夹角β、所述M形环形凸齿302的两个尖角结构313之间的距离M5、以及所述环形第一凹槽303的深度H7的前提下，使所述环形凸齿302的数量减小，从而容易导致形成的背板500和靶坯的焊接效果下降。为此，本实施例中，所述环形第二凹槽304的顶部尺寸M4为1.98毫米至2.06毫米。

由以上分析可知，所述环形凸齿302的相关尺寸与所述环形第二凹槽304的相关尺寸相互影响。因此，在将形成的背板500与靶坯进行焊接时，为了使所述环形凸齿302嵌入靶坯的焊接面内后，所述背板500和靶坯的焊接强度得到提高，且为了保证所述环形凸齿302和背板500的机械强度，所述环形第一凹槽303的两个侧壁之间的夹角β、所述M形环形凸齿302的两个尖角结构313之间的距离M5、所述环形第一凹槽303的深度H7、所述环形第二凹槽304的深度H8、以及所述环形第二凹槽304的顶部尺寸M4均应控制在合理范围内。

本实施例中，所述第二机械加工为半精加工；对环形第一凹槽303之间的第一区域Ⅰ初始背板300表面进行第二机械加工的步骤包括：采用平底槽刀进行加工。通过所述平底槽刀，可以直接形成轴向横截面为方形的环形第二凹槽304。

具体地，将所述初始背板300安装在机床的主轴上，所述机床上装有平底槽刀；将所述第二开口311底部面向所述平底槽刀，以所述平底槽刀对所述环形第一凹槽303之间的第一区域Ⅰ初始背板300表面进行半精加工。其中，根据所述环形第二凹槽304的深度H8和顶部尺寸M4，设定吃刀量和进给量，且在所述半精加工过程中，由主轴旋转带动所述初始背板300。

需要说明的是，吃刀量和进给量同时影响所述环形第二凹槽304的深度H8和顶部尺寸M4，所述吃刀量和进给量越大，所述环形第二凹槽304的深度H8越大，顶部尺寸M4也越大。为了将所述环形第二凹槽304的深度H8和顶部尺寸M4控制在合理范围内，相应的，所述第二机械加工的吃刀量和进给量也需控制在合理范围内。本实施例中，吃刀量为0.28毫米至0.32毫米，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。

还需要说明的是，机床转速越快，所述第二机械加工的加工时间越少；但过快的机床转速会对所述环形第二凹槽304的深度H8和顶部尺寸M4产生影响，使深度H8和顶部尺寸M4偏移目标值。为此，本实施例中，机床转速为25转/分钟至35转/分钟。

还需要说明的是，本实施例中，先形成所述第一凹槽303，再形成所述第二凹槽304。在其他实施例中，还可以先形成第二凹槽，再形成第一凹槽。

还需要说明的是，所述制造方法还包括：对所述环形第一凹槽303之间的第一区域Ⅰ初始背板300表面进行第二机械加工后，所述制造方法还包括：对所述环形第二凹槽304进行第三机械加工，所述第三机械加工为精加工。所述第三机械加工用于提高所述环形第二凹槽304的表面光洁度。

本实施例中，对所述环形第二凹槽304进行第三机械加工的步骤包括：采用平底槽刀进行加工，吃刀量为0.01毫米至0.03毫米，机床转速为25转/分钟至35转/分钟，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。

还需要说明的是，形成所述环形第二凹槽304以及具有环形第一凹槽303的环形凸齿302后，所述制造方法还包括：对所述顶部凸台320和底部凸台310进行第四机械加工，所述第四机械加工为精加工。所述第四机械加工用于提高所述顶部凸台320和底部凸台310的表面光洁度。

本实施例中，对所述顶部凸台320和底部凸台310进行第四机械加工的步骤包括：采用35度端面内孔刀进行加工，吃刀量为0.01毫米至0.03毫米，机床转速为25转/分钟至35转/分钟，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。

需要说明的是，本实施例中，先进行所述第三机械加工，再进行所述第四机械加工。在其他实施例中，还可以先进行所述第四机械加工，再进行所述第三机械加工。

还需要说明的是，完成所述第三机械加工和第四机械加工后，所述制造方法还包括：对所述环形凸齿302进行抛光处理。所述抛光处理用于去除所述环形凸齿302表面的车刀纹路，并减小所述环形凸齿302表面的粗糙度。

根据所述环形凸齿302的表面粗糙度要求，选取合适筛孔尺寸的抛光件进行抛光。从而使所述环形凸齿302的表面粗糙度达到预定标准的同时，去除所述环形凸齿302的表面划伤。本实施例中，采用筛孔尺寸为280目至400目的背绒砂纸，对所述环形凸齿302进行抛光处理。具体地，所述抛光处理中背板500的转速为450转/分钟至550转/分钟，抛光时间为30秒至90秒。

本发明在背板500(如图12所示)的制造过程中，对第一区域Ⅰ的初始背板300(如图8所示)表面进行第一机械加工，形成多个呈同心排布的环形第一凹槽303(如图9所示)，所述环形第一凹槽303之间相互间隔；对所述环形第一凹槽303之间的第一区域Ⅰ初始背板300表面进行第二机械加工，形成环形第二凹槽304(如图11所示)，所述环形第二凹槽304的底部为焊接面301(如图10所示)，相邻环形第二凹槽304具有相背设置的侧壁(未标示)，所述相背设置的侧壁与相邻所述环形第一凹槽303的侧壁构成尖角结构313(如图11所示)，形成位于相邻所述环形第二凹槽304之间且凸出于所述焊接面301的环形凸齿302(如图11所示)。采用所述方法形成的背板500，在与靶坯进行焊接以形成靶材组件时，可以使所述背板500焊接面301上的环形凸齿302嵌入至靶坯的焊接面内，从而提高所述背板500和靶坯的焊接结合效果，进而可以防止所述靶材组件在溅射过程中发生脱落，以提高所述靶材组件的良率和性能。

结合参考图4，示出了采用本发明背板制造方法另一实施例形成的背板的部放大图。

与上一实施例中的相同之处不再赘述，不同之处仅在于：对所述第一区域的初始背板进行第一机械加工时，形成多个呈同心排布的环形凹槽组(未标示)，所述环形凹槽组之间相互间隔，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽153(如图4所示)，且相邻环形第一凹槽153的侧壁相连接构成第一尖角结构163(如图4所示)。

相应的，对所述环形凹槽组之间的第一区域初始背板150表面进行第二机械加工的步骤包括：形成环形第二凹槽(未标示)，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽153的深度；所述环形第二凹槽的底部为焊接面(未标示)，相邻所述环形第二凹槽具有相背设置的侧壁(未标示)，所述相背设置的侧壁与所述环形第一凹槽153的侧壁构成第二尖角结构173(如图4所示)，形成位于相邻所述第二凹槽之间且凸出于所述焊接面的环形凸齿152(如图4所示)。

本实施例中，以所述环形凹槽组包括两个环形第一凹槽153为例进行说明。

本实施例中，通过相同的机械加工工艺，对所述第一区域的初始背板进行第一机械加工，形成环形凹槽组。因此，在所述环形凹槽组中，所述多个环形第一凹槽153为重复结构，即所述多个环形第一凹槽153的形状与相关尺寸相同。

采用所述方法形成的背板150，在与靶坯进行焊接以形成靶材组件时，可以使所述背板150焊接面上的环形凸齿152嵌入至靶坯的焊接面内，从而提高所述背板150和靶坯的焊接结合效果，进而可以防止所述靶材组件在溅射过程中发生脱落，以提高所述靶材组件的良率和性能。

此外，所述环形凸齿152内具有环形凹槽组(未标示)，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽153，使所述背板150的环形凸齿152嵌入至所靶坯的焊接面内时，所述凹槽组可以增加与所述靶坯的接触面积，进而有利于提高所述背板150和靶坯的焊接结合效果。

相应的，本发明还提供一种靶材组件的制造方法。请参考图13和图14，示出了本发明靶材组件的制造方法一实施例中各步骤对应的剖面图。

参考图13，提供靶坯600，所述靶坯600的焊接面为第一焊接面611。

本实施例中，所述靶坯600的中心区域具有凸缘601，所述凸缘601的表面为第一焊接面611。所述凸缘601用于在与背板进行焊接时，嵌入背板相对应的开口中。

所述靶坯600的形状可根据应用环境以及溅射要求呈圆形、矩形、环形、圆锥形或其他任意规则形状或不规则形状。本实施例中，沿平行于所述靶坯600表面的方向上，所述靶坯600的横截面形状为圆形。相应的，所述第一焊接面611的横截面形状为圆形。本实施例中，所述靶坯600的材料为铝。

结合参考图2和图3，提供上一实施例所述的背板100(如图2所示)，所述背板100的焊接面101(如图2所示)为第二焊接面101。

所述背板100的尺寸大于所述靶坯600(如图13所示)的尺寸，所述背板100包括第一区域Ⅰ(如图2所示)以及环绕所述第一区域Ⅰ的第二区域Ⅱ(如图2所示)，所述第一区域Ⅰ背板100的表面为所述背板100的第二焊接面101，所述第二区域Ⅱ为所述背板100的边缘区域。其中，所述第一区域Ⅰ背板100表面的形状、尺寸与所述第一焊接面611(如图13所示)的形状、尺寸相同。

本实施例中，所述背板100包括凸出于所述第二焊接面101上的多个环形凸齿102(如图3所示)，所述多个环形凸齿102呈相互间隔的同心排布；所述环形凸齿102内具有一个环形第一凹槽103(如图3所示)，且所述环形第一凹槽103的侧壁与所述环形凸齿102的侧壁构成尖角结构113(如图3所示)。

在另一实施例中，所述环形凸齿内具有环形凹槽组，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构，所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构。

需要说明的是，对所述背板100的描述可参考前述实施例的具体描述，在此不再赘述。

参考图14，将所述第一焊接面611(如图13所示)和第二焊接面101(如图2所示)相对设置并贴合，形成初始靶材组件(未标示)；对所述初始靶材组件进行机械咬合焊接，使所述第二焊接面101上的环形凸齿102(如图3所示)嵌入至所述第一焊接面611内。

具体地，将所述靶坯600的凸缘601(如图13所示)嵌入由所述背板100的底部凸台110(如图2所示)和第二焊接面101围成的开口中，使所述第一焊接面611和第二焊接面101相对设置并贴合；沿垂直于所述背板100表面的方向上，分别向所述背板100和靶坯600施加同等大小的压力，使所述凸齿102(如图3所示)嵌入至所述第一焊接面611内以完成焊接结合，形成靶材组件。

本实施例中，采用热等静压工艺进行所述机械咬合焊接，所述热等静压工艺的参数包括：工艺温度为170℃至250℃，环境压强为80MPa至150MPa，在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为3小时至8小时。

本发明在靶材组件的制造工艺中，采用具有特殊结构的背板100(如图2所示)，所述背板100包括多个环形凸齿102(如图3所示)，环形凸齿具有尖角结构，在与靶坯600(如图13所示)进行焊接以形成靶材组件时，可以通过所述尖角结构使所述背板100的凸齿102嵌入至所述靶坯600的焊接面611(如图13所示)内，从而可以提高所述背板100和靶坯600的焊接结合效果。

需要说明的是，所述环形第一凹槽103的侧壁与所述环形凸齿102的侧壁构成尖角结构113(如图3所示)；在将所述环形凸齿102嵌入至所述靶坯600的第一焊接面611内时，所述第一凹槽103可以增加与所述第一焊接面611的接触面积，从而有利于提高所述背板100和靶坯的焊接结合率。

虽然本发明己披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (25)

1.一种背板，用于与靶坯焊接形成靶材组件，其特征在于，包括：

焊接面；

凸出于所述焊接面上的多个环形凸齿，所述多个环形凸齿呈相互间隔的同心排布；所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，且所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成尖角结构；或者，所述环形凸齿内具有环形凹槽组，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构，所述环形第一凹槽的侧壁与所述环形凸齿的侧壁构成第二尖角结构；

相邻环形凸齿的侧壁与位于所述相邻环形凸齿之间的焊接面围成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度。

2.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板呈圆柱形，所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，所述环形凸齿的轴向横截面为M形。

3.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述环形凸齿的侧壁与所述焊接面相垂直。

4.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板呈圆柱形，所述环形第一凹槽的轴向横截面为V形。

5.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述环形第一凹槽的两个侧壁的夹角为85度至95度。

6.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述环形第一凹槽的两个侧壁相互垂直。

7.如权利要求1所述的背板，其特征在于，所述背板还包括：环绕所述焊接面的底部凸台，所述底部凸台的顶部高于所述焊接面的表面；

环绕所述底部凸台的顶部凸台，所述顶部凸台的顶部高于所述底部凸台的顶部。

8.一种背板的制造方法，其特征在于，包括：

提供初始背板，所述初始背板包括第一区域以及环绕所述第一区域的第二区域；

对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工，形成多个呈同心排布的环形第一凹槽；所述环形第一凹槽之间相互间隔；

对所述环形第一凹槽之间的第一区域初始背板表面进行第二机械加工，形成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度；所述环形第二凹槽的底部为焊接面，相邻环形第二凹槽具有相背设置的侧壁，所述相背设置的侧壁与相邻所述环形第一凹槽的侧壁构成尖角结构，形成位于相邻所述环形第二凹槽之间且凸出于所述焊接面的环形凸齿；

或者，

对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工，形成多个呈同心排布的环形凹槽组，所述环形凹槽组之间相互间隔，所述环形凹槽组至少包括两个环形第一凹槽，且相邻环形第一凹槽的侧壁相连接构成第一尖角结构；

对所述环形凹槽组之间的第一区域初始背板表面进行第二机械加工，形成环形第二凹槽，所述环形第二凹槽的深度不小于所述环形第一凹槽的深度；所述环形第二凹槽的底部为焊接面，相邻环形第二凹槽具有相背设置的侧壁，所述相背设置的侧壁与相邻所述环形第一凹槽的侧壁构成第二尖角结构，形成位于相邻所述环形第二凹槽之间且凸出于所述焊接面的环形凸齿。

9.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述背板呈圆柱形，所述环形凸齿内具有一个环形第一凹槽，所述环形凸齿的轴向横截面为M形。

10.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述环形凸齿的侧壁与所述焊接面相垂直。

11.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述背板呈圆柱形，所述环形第一凹槽的轴向横截面为V形。

12.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述环形第一凹槽的两个侧壁的夹角为85度至95度。

13.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述环形第一凹槽的两个侧壁相互垂直。

14.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述第一机械加工为精加工，对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工的步骤包括：采用90度成形刀进行加工，吃刀量为0.28毫米至0.32毫米，机床转速为25转/分钟至35转/分钟，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。

15.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，所述第二机械加工为半精加工，对所述环形第一凹槽之间或所述环形凹槽组之间的第一区域初始背板表面进行第二机械加工的步骤包括：采用平底槽刀进行加工，吃刀量为0.28毫米至0.32毫米，机床转速为25转/分钟至35转/分钟，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。

16.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，对所述第一区域的初始背板表面进行第二机械加工后，所述制造方法还包括：对所述环形凸齿进行抛光处理。

17.如权利要求16所述的背板的制造方法，其特征在于，采用筛孔尺寸为280目至400目的背绒砂纸，对所述环形凸齿进行抛光处理；

抛光处理中初始背板的转速为450转/分钟至550转/分钟，抛光时间为30秒至90秒。

18.如权利要求16所述的背板的制造方法，其特征在于，对所述第一区域的初始背板表面进行第二机械加工后，对所述环形凸齿进行抛光工艺之前，所述制造方法还包括：对所述环形第二凹槽进行第三机械加工，所述第三机械加工为精加工。

19.如权利要求18所述的背板的制造方法，其特征在于，对所述环形第二凹槽进行第三机械加工的步骤包括：采用平底槽刀进行加工，吃刀量为0.01毫米至0.03毫米，机床转速为25转/分钟至35转/分钟，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。

20.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，对所述第一区域的初始背板表面进行第一机械加工之前，所述制造方法还包括：对所述初始背板表面进行第一预加工，在所述初始背板的第一区域以及环绕所述第一区域的部分第二区域内形成第一开口，所述第一开口的侧壁与未设置有所述第一开口的第二区域初始背板表面构成顶部凸台；

对所述第一开口底部进行第二预加工，在所述第一开口底部形成第二开口，所述第二开口的侧壁与未设置有所述第二开口的第一开底部构成底部凸台。

21.如权利要求20所述的背板的制造方法，其特征在于，所述第一预加工和第二预加工为粗加工；进行所述第一预加工和第二预加工的步骤包括：采用35度端面内孔刀进行加工，吃刀量为0.13毫米至0.17毫米，机床转速为90转/分钟至110转/分钟，进给量为0.18毫米/转至0.22毫米/转。

22.如权利要求20所述的背板的制造方法，其特征在于，形成所述环形第二凹槽和环形凸齿后，所述制造方法还包括：对所述顶部凸台和底部凸台进行第四机械加工，所述第四机械加工为精加工。

23.如权利要求22所述的背板的制造方法，其特征在于，对所述顶部凸台和底部凸台进行第四机械加工的步骤包括：采用35度端面内孔刀进行加工，吃刀量为0.01毫米至0.03毫米，机床转速为25转/分钟至35转/分钟，进给量为0.02毫米/转至0.04毫米/转。

24.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：

提供靶坯，所述靶坯的焊接面为第一焊接面；

提供如权利要求1～7任一项所述的背板，所述背板的焊接面为第二焊接面；

将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，形成初始靶材组件；

对所述初始靶材组件进行机械咬合焊接，使所述第二焊接面上的凸齿嵌入至所述第一焊接面内。

25.如权利要求24所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，采用热等静压工艺进行所述机械咬合焊接，所述热等静压工艺的参数包括：工艺温度为170℃至250℃，环境压强为80MPa至150MPa，在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为3小时至8小时。