CN107407709A - 电接触装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于电触碰接触的接触装置(1)，电触碰接触用于对电测试件、特别是晶片进行电测试，接触装置具有接触头(2)和至少一个电路板(10)，接触头(2)具有多个导向孔(3)，在导向孔中可纵向移动地安装有长形的、通过触碰接触测试件而侧向弹动式屈曲的接触元件(4)，接触元件的一个端部(6)用于触碰接触测试件，接触元件的另一端部(7)与按照预定图案(13)布置的第一接触面(8)处于触碰接触，第一接触面在电路板(10)的一侧面(9)上位于侧面的第一、特别是中央的区域(16)中，特别是按照另一预定图案(14)布置的第二接触面(12)在电路板(10)的另一侧面(11)上处于该另一侧面的第二、特别是中央的区域(17)中，第二接触面穿过电路板(10)与第一接触面(8)电连接，在电路板(10)的所述另一侧面(11)上，在该另一侧面的至少一个第一、特别是边缘的区段(19)中设置有第三接触面(18)，第二接触面(12)中的至少一些借助于被接合的接合线材(20)与第三接触面(18)中的至少一些电连接，第一接触面(8)中的至少一部分和/或第二接触面(12)中的至少一部分分别借助于可切断的导体(39)彼此电连接，并且这些导体(39)中的至少一个被切断。

Description

电接触装置

技术领域

本发明涉及一种用于电触碰接触的接触装置，所述电触碰接触用于对电测试件、特别是晶片进行电测试。

背景技术

开头所提及类型的接触装置是已知的。这些接触装置用于对电测试件、特别是晶片进行电触碰接触，以便在电功能性上测试这些电测试件。测试件的触点间距在许多情况下是极小的。出于该原因而需要的是，接触装置增加该小的触点间距，以使测试装置在大多数情况下能够通过线缆连接部来连接，在线缆连接部的帮助下检查测试件的电功能性。测试装置通过接触装置来实现对包括测试件的测试电流回路的切换，由此能够阐明该测试件的功能性。困难之处在于：这类测试必须在宽的温度范围内进行，以便在该分别被选择的温度范围内也能够对测试件证明功能性。然而，大的温度差异也造成接触问题，特别是由于多个部件基于不同的温度膨胀系数而相对于彼此发生温度所造成的位移而造成接触问题。此外，迄今为止需要的是：由于不同测试件的接触图案是不同的，因此针对每个测试件提供个体设计的接触装置，利用该个体设计的接触装置能够执行测试。个体地生产这类接触装置是昂贵的并且通常很费时。上述的已知接触装置具有手动创建的且被钎焊的布线，该布线使得测试件侧非常窄的触点布置方案朝测试装置方向“扩张”，也就是说以此有助于存在允许测试装置被电连接的相应较大的触点间距。如果已知的接触装置完成布线，则该布线的线材优选借助于塑料树脂通过注入被固定。不同的、特别是手动的工作步骤是非常复杂的，并且视操作工作人员的工作技能及其工作方式而定被个体地不同地创建。由于这些个体的差异，在接触装置、特别是探针卡中，相同的类型视由于工作人员的加工品质而定地产生不同的电特性。所提到的手动钎焊布线需要经过培训的工作人员，他们才能实施这些精细的工作。经常不能提供足够数量的这类员工。由于布线密度始终在增加，因此在手动工作中很容易发生布线错误，并且布线速度是降低的，这是因为高布线密度会使得不能够一目了然并且还会影响工作人员的专注力。一旦在布线中包含有电结构元件、例如电容器，则会附加地使工作变得更加困难。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种用于电触碰接触的接触装置，所述电接触触碰用于对电测试件、特别是晶片进行电测试，该接触装置具有恒定的高品质，特别是在其电特性方面，并能够被无差错地制造，并且要求相对短的生产时间。此外，该接触装置应该至少以区域方式被标准化，以便尽可能简单且更便宜地对测试件进行个体适配，从而能够制造出标准部件并将其保存在仓库中，以及能够使其在委任情况下容易且快速地对个体测试件进行适配。最后，该接触装置应该能够在需要的情况下以简单的方式收纳电结构元件。

在一种用于电触碰接触的接触装置中，该电触碰接触用于对电测试件、特别是晶片进行电测试，本发明的目的通过如下方式来实现，即，该接触装置具有接触头和至少一个电路板，其中，接触头具有多个导向孔，长形的、由于触碰接触测试件而侧向弹动式屈曲的接触元件可纵向移动地安装在这些导向孔中，接触元件的一个端部用于与测试件进行触碰接触，而接触元件的另一端部则与按照预定图案布置的第一接触面处于触碰接触，第一接触面在电路板的一侧面上位于该侧面的第一、特别是中央的区域中，其中，在电路板的另一侧面上，在该另一侧面的第二、特别是中央的区域中设置有尤其按照另一预定图案布置的第二接触面，第二接触面穿过电路板与第一接触面电连接，在所述电路板的另一侧面上，在该另一侧面的至少一个第一、特别是边缘的区段中设有第三接触面，第二接触面中的至少一些通过被接合的接合线材与第三接触面中的至少一些电连接，并且其中，第一接触面中的至少一部分和/或第二接触面中的至少一部分分别借助于可切断的导体彼此电连接，并且这些导体中的至少一个导体被切断。因此，从测试件向外看，根据本发明的接触装置具有以下的电接触路径：测试头的接触元件用于与测试件触点进行触碰接触，并与电路板的第一接触面处于触碰接触。第一接触面与电路板的第二接触面连接，这些第二接触面位于电路板的背向测试件的另一侧面上。第二接触面特别是位于中央并通过被接合的线材(接合线材)连接第三接触面，这些第三接触面位于电路板的至少一个特别是边缘的区段中。在该特别是边缘的区段中能够比优选中央的区域提供明显更多的空间，从而借助于通过接合线材所形成的布线实现了触点间距增加。该边缘区段可以特别是围绕中央区域延伸。所述接合优选可以自动地进行，从而为此不需要手动工作。用于接合线材的对应的初始坐标和目标坐标可以以计算机辅助方式被馈入。所述接合、特别是自动/机器的接合获得具有恒定高品质的、优化的电特性。布线错误得以避免。就此而言，受命制造接触装置的工作人员将不再承担前述的精细的工作。因为第一接触面中的至少一部分和/或第二接触面中的至少一部分分别借助于可切断的导体彼此电连接并且这些导体中的至少一个导体被切断，所以可以视一个/多个所述被切断的导体的位姿和数量而定来产生导体面/导体结构，导体面/导体结构可以特定于客户是希望的和/或被提供用于相同的电位。通过这种方式可以组合出相同的电信号。非常有利的是，在这些导体面上(如果它们不以其他方式被使用)安放有电构件/电子构件、例如电容器，由此使得这些构件布置得非常接近测试件并因此特别是无干扰地工作。出发点是彼此电连接的接触面中的至少一部分，这些接触面然后通过切断一个或多个导体被个体地进行适配。通过相应地切断导体，上述的电导体面/导体结构要么在电路板的所述一侧面上基于第一接触面形成，要么在电路板的所述另一侧面上借助于位于那里的第二接触面形成，要么在电路板的两个侧面上形成。关联的导体面/导体结构可以例如非常有利地被用于输送供电压装置的电位和/或被用于接地电位。

本发明的一种扩展方案设置：将这种可切断的导体构造为导体轨道或导体接片。该导体轨道优选布置在电路板的所述一侧面和/或所述另一侧面的表面上和/或表面下(即电路板内部)。优选地，第一接触面和/或第二接触面也可以被构造为与之相应的导体轨道元件并优选地位于电路板的所述一侧面和/或所述另一侧面的表面上。导体接片是指在电路板的第一侧面和/或第二侧面的表面上方延伸的导体。

特别是可以设置为，所述至少一个被切断的导体是被激光切断的。为了使上述的导体面、也就是通过导体轨道或导体接片相关联的接触面分离，将使接触面彼此连接的适当的导体切断，特别是借助于激光切断。优选地，这种激光切断可以自动地进行，也就是说，将相应的坐标数据组输送给实行切断的激光器，从而使得激光器能够自行工作。

本发明的一种扩展方案的特征在于设有至少一个接线板，其中，第三接触面与该接线板的导体布置方案电连接。该至少一个接线板被布置在至少一个电路板的上方、旁边和/或下方。该至少一个接线板用于进一步扩大触点间距并提供连接到测试装置上的连接可能性。优选地，在接线板和测试装置之间建立电的线缆连接和/或触碰接触。位于电路板的所述另一侧面上的第三接触面与该接线板的相应导体布置方案电连接。正如基于本专利申请的整体所看到的那样，第三接触面和接线板之间的电连接部可以按照不同的方式来构造。也可以使用不是源于本申请，但却为本领域技术人员所熟知的连接部。

本发明的一种扩展方案设置：在电路板的所述一侧面上，在该侧面的至少一个第二、特别是边缘的区段中设有第一接触构件，这些第一接触构件穿过电路板与第三接触面电连接，接线板在其面向电路板的侧面上具有第二接触构件，并且其中，第一接触构件通过电连接部、特别是弹动式挠曲的触碰接触部与第二接触构件电连接。该接线板特别是位于比电路板更接近测试件的位置上。从第三接触面，存在与电路板的相对置的一侧，直至与位于那里的第一接触构件的电连接部，第一接触构件弹动式挠曲地通过触碰接触部与接线板的第二接触构件电连接。该弹动式挠曲在相应大的范围中允许了取决于测试件的/取决于制造商的/取决于使用者的结构高度的变化，该结构高度通过接触元件的用于接触测试件的端部与接线板的面向测试件的侧面之间的轴向间距来限定。该轴向间距的轴向方向是沿着该长形接触元件的纵向延伸部来限定的(在这种情况下，在触碰接触时将不考虑接触元件的侧向弹动式屈曲)。即使接触元件的上述的端部相对所述接线板的已提到的侧面，也就是所述结构高度在待测试的测试件的制造商/使用者不同的情况下具有不同大小的尺寸，仍然可以利用同一个接触装置来测试每个测试件，这是因为触碰接触部关于第一和第二接触构件的弹动式挠曲允许了对接触装置上的不同结构高度进行调整，从而使该接触装置就此而言能够被广泛地使用。

在另一个实施例中可以优选地设置：在电路板的另一侧面上，在该另一侧面的至少一个第二、特别是边缘的区段中设有第一接触构件，第一接触构件与第三接触面电连接，接线板在其面向电路板的侧面上具有第二接触构件，并且其中，第一接触构件借助于电连接部、特别是弹动式挠曲的触碰接触部与第二接触构件电连接。电路板特别是位于比接线板更接近测试件的位置上。在上一段中所阐释的实施方式在本段的实施例中相应适用。

根据本发明的一种扩展方案设置：第一接触构件经由至少一个电中间连接器(内插器)与第二接触构件电连接。该中间连接器可以优选被构造为单独的构件和/或该中间连接器由电路板和/或接线板的部件构成或连带构成。

特别可以设置为：第一接触构件和/或第二接触构件是第四接触面。因此，第四接触面位于电路板的测试件侧的侧面上和/或位于电路板的背向测试件的侧面上。

根据本发明的一种扩展方案设置：第一接触构件和/或第二接触构件是突出的第一弹簧触点。因此，在这种实施方式中没有设置能通过中间连接器彼此连接的接触面，而是将第一接触构件和/或第二接触构件构造为凸起的元件、即突出的第一弹簧触点、即弹动式挠曲元件。第一接触构件和第二接触构件的第一弹簧触点可以直接触碰接触，或者有第三物件被连接到其间。

优选地，中间连接器在彼此相对置的侧面上具有接触装置，接触装置被构造为第五接触面和/或突出的第二弹簧触点。如果将第一接触构件和第二接触元构件构造为第四接触面，并且位于这些第一接触构件和第二接触构件之间的中间连接器在彼此相对置的侧面上具有被构造为突出的第二弹簧触点的接触装置，则电路板的一第四接触面分别与接线板的一第四接触面由突出的第二弹簧触点触碰接触，其中，这两个第二弹簧触点彼此电连接。

本发明的一种扩展方案设置：第一接触面的布置方案的预定图案和/或特别是第二接触面的预定的另一图案分别是二维矩阵图案。因此，这些接触面被棋盘形地布置。接触元件的背向测试件的端部处在一相应的布置方案中，使得在电测试件的测试过程中出现这些构件之间的良好的电触碰接触。附加地或替代地，第二接触面可以按照另一二维图案布置。

本发明的一种扩展方案设置：导向孔以预定图案、特别是二维矩阵图案布置在电路板的区域中。关于这一点在前面刚刚已经进行了讨论。

优选地设置：在测试件侧按照相应于测试件的个体图案布置导向孔。例如，如果在背向测试件的第一导向板中设置导向孔，并在与第一导向板间隔开且位于靠近测试件的区域中的第二导向板中设置导向孔，则这点会导致导向孔一方面处于相应于第一接触面的预定图案中，另一方面处于通过测试件的触点布置方案所预定的个体图案中。这点导致长形的接触元件并不都是沿轴向方向延伸，而是至少有一部分被布置为相对于轴向方向倾斜延伸，以便能够从个体图案过渡到预定图案、特别是二维矩阵图案。通过该设计方案而可行的是，能制造接触装置的许多在此所描述的构件，而不必考虑测试件或特定于客户的要求。由于在个体图案和预定图案之间提供过渡的上述可能性，这类接触装置才能够适配各个情况。同样的情况适用于已提到的结构高度适配。

本发明的一种扩展方案设置：第一接触面通过第一穿通接触部与第二接触面连接。因此，也可以被称为子板、特别是具有相应于接线板的结构的电路板被第一穿通接触部穿透，由此使得第一接触面与第二接触面电连接。电路板和/或接线板可以被构造为单层结构形式或多层结构形式。

特别是设置：第一穿通接触部中的至少一些分别由多个第一穿通接触区域组成，其中，在这些第一穿通接触部中，第一穿通接触区域分别对齐和/或错开，但至少局部是彼此叠置的。因此，各个穿通接触区域被构造为彼此成排，以便提供电连接轨道，其中，在相互对齐的穿通接触区域中，第一接触面相对于配属的第二接触面的位姿沿轴向对齐。但是，如果这类穿通接触部的第一穿通接触区域中的至少一些布置得相对于彼此错开，但是其中保持部分的叠置，则这点将导致电接触轨道的倾斜走向，伴随的结果是，通过这种方式特别是可以增加触点间距，即，第一接触面相互之间具有比第二接触面更窄的触点间距。这点不必适用于所有这类接触面，但至少适用于这些接触面中的一些。就此而言简化了接合线材在第二接触面上待执行的接合，因为存在较大的触点间距。

本发明的一种扩展方案设置：第三接触面经由第二穿通接触部与第一接触构件连接。也像上面已经描述的那样，这些第二穿通接触部也可以被用于增加或不增加触点间距。

如果第二穿通接触部中的至少一些分别由多个第二穿通接触区域组成时，则给出触点间距的增大，其中，在这些第二穿通接触部中，第二穿通接触区域分别对齐和/或错开，但至少局部是彼此叠置的。上述的第一穿通接触区域和/或第二穿通接触区域可以特别是关于电路板的层结构来理解，即，特别是涉及所谓的多层板，其中，每个层配属有一穿通接触区域。

有利的是，第二接触面和第三接触面位于相同的高度上。由此，电路板的背向测试件的侧面形成一平面。基于该平面以及第二接触面和第三接触面的因此产生的位姿，接合工作变得特别有效和简单。

特别可以设置：为了对电路板和接线板进行高度间距调整，在电路板和接线板之间布置厚度可选的至少一个可更换的间隔元件。视所选择的间隔元件而定，也就是相应于厚的间隔元件可以调整出接触装置的所说的、前面已经阐释的结构高度，从而能够以同一个装置实现关于测试件的特定于制造商/特定于使用者的要求。

根据本发明的一种扩展方案设置：接触元件是微系统技术的接触元件。在此可以被理解为是具有最小几何尺寸(在微米范围上)的构件。微系统技术也被称为MEMS。

优选地设置：第三接触面、第一接触构件、第二接触构件和/或接触装置分别借助于可切断的、特别是可激光切断的导体彼此电连接，其中，这些导体中的至少一个导体被切断、特别是被激光切断。例如，为了例如在多个第三接触面中提供相同电位的区域，那么这些第三接触面可以经由导体保持彼此电连接。但是，如果想要使特定的第三接触面与特定的另外的第三接触面分开或者使仅一个第三接触面相应地分离，那么为此在接触装置的制造过程中将至少一个或至少多个与一个/多个所述接触面相连接的导体切断，从而不存在邻接的第三接触面之间的连接。这种切断可以通过不同的技术进行，特别优选的是，借助于激光束来执行该切断。激光器可以被机器控制/软件控制地工作，从而不需要手动工作。通过这种方式例如可以产生带有接地电位的、较大的接触区域，和/或分离出一不是针对屈曲的接触元件所需要的接触区域，并因此例如被提供用于接收电构件/电子构件。相应的情况适用于第一接触面、第二接触面、第一接触构件、第二接触构件和/或接触装置。

最后有利的是，矩阵状地布置导体。如果上述的接触面、接触构件和/或接触装置按照一预定图案或另一预定图案例如矩阵状地布置，则这点实现了相应的导体布置方案，也就是处于与之相应的预定图案中、特别也是矩阵状。因此，例如可以使棋盘状布置的接触面、接触构件和/或接触装置如下地彼此连接，使得导体沿接触面、接触构件和/或接触装置处于其上的平面的X方向和Y方向延伸。

利用根据本发明的接触装置可以执行用于电触碰接触的方法，以进行对电测试件、特别是晶片的电测试，其中，接触装置具有接触头和至少一个电路板，其中，接触头具有多个导向孔，长形的、由于触碰接触测试件而侧向弹动式屈曲的接触元件可纵向移动地安装在这些导向孔中，接触元件的一个端部用于与测试件进行触碰接触，接触元件的另一端部与按照预定图案布置的第一接触面处于触碰接触，第一接触面在电路板的一侧面上位于该侧面的第一、特别是中央的区域中，其中，在电路板的另一侧面上，在该另一侧面的第二、特别是中央的区域中设置有按照另一预定图案布置的第二接触面，第二接触面穿过电路板与第一接触面电连接，在所述电路板的所述另一侧面上，在该另一侧面的至少一个第一、特别是边缘的区段中设有第三接触面，其中，第二接触面中的至少一些借助于接合线材的接合与第三接触面中的至少一些电连接，并且其中，第一接触面中的至少一部分和/或第二接触面中的至少一部分分别借助于导体彼此电连接，并且这些导体中的至少一个导体被切断、特别是被激光切断。

附图说明

根据实施例，附图图示了本发明，确切地说：

图1示出了接触装置的示意性局部剖开的视图，

图2示出了图1的布置方案的电路板的俯视图，

图3示出了图1的一截段，但是是以立体视图方式，

图4和图5示出了来自根据图2的布置方案在初始状态和被处理状态下的截段，

图6以局部剖开方式示出了接触装置的另一实施例，

图7以剖视图示出了根据图1和根据图6的电路板的一区域。

具体实施方式

图1示出了一接触装置1。接触装置1用于电测试件、特别是晶片的电触碰接触，以便对其进行电测试。为此，接触装置1具有接触头2，该接触头配置有多个导向孔3，长形的接触元件4可纵向移动地安装在导向孔中。在根据图1的示意图中，接触头2具有两个彼此间隔开的导向板5，这两个导向板被所述的导向孔3穿透。但是，也可以想到具有两个以上导向板5的其它实施例。接触元件4的一个端部6用于电触碰接触在图1中未示出的测试件。接触元件4的另一端部7与位于电路板10的一侧面9上的接触面8触碰接触。如果执行对测试件的这种电触碰接触，则其会导致长形的接触元件4侧向弹动式屈曲，也就是说这些接触元件由弹性的可导电材料制成。接触元件4经常也被称为弯曲线材。

在所述一侧面9上具有接触面8的电路板10在与侧面9相对置的另一侧面11上同样具有接触面12。为了区别起见，应将接触面8称为第一接触面8，并将接触面12称为第二接触面12。第一接触面8以预定图案13布置在电路板10的侧面9上。在此，该预定图案为位于一平面中的图案13。位于电路板10的另一侧面11上的第二接触面12按照另一预定图案14来布置。在此情况下，该预定图案同样是位于一平面上的图案。图案14同样可以像图案13那样设计，或者在这两个图案13和14之间存在差异。第一接触面8分别与配属的第二接触面12电连接。为此设置有电连接部15，这些电连接部穿透了电路板10。第一接触面8在电路板10的一侧面9上位于第一区域16中，该第一区域特别形成了电路板10的中央区域。位于另一侧面11上的第二接触面12在电路板10的第二区域17中，其中，该第二区域17特别形成了电路板10的中央区域。

在电路板10的侧面11上布置有第三接触面18。第三接触面18位于侧面11的第一区段19中，该第一区段特别形成了侧面11的边缘区段19。从图2所示的俯视图中可以看出，这种布置方案优选通过使第一区段19围绕第二区域17延伸来实现。如图2所示，第一区段19可以被划分为多个子区段。在如图2所示的实施例中存在三个环形的、彼此同心的子区段，其中，中央的第二区域17位于这些环形子区段的内部。

第二接触面12中的至少一些借助于被接合的接合线材20与第三接触面18中的至少一些电连接。如图1所示，接合线材20优选弓形地延伸。图2示出了接合线材20从第二、特别是中央的区域17出发地大致沿径向出发，并延伸至第一、优选边缘的区段19。图3示出了详细的视图。可以清楚地识别出接合线材20在端部侧是如何通过接合与第二接触面12电连接的。

第三接触面18借助于电装置21与至少一个接线板22相连接。在如图1所示的实施例中设有接线板22，该接线板具有中央裂口23，接触头2位于该中央裂口中。这种布置方案优选这样实现：在电路板10的一侧面9上，在该侧面的至少一个第二、特别是边缘的区段24中设有第一接触构件25，这些第一接触构件与第三接触面18电连接。电连接部26延伸穿过电路板10。接线板22在其面对电路板10的侧面27上具有第二接触构件28。第一接触构件25借助于电连接部29、特别是弹动式挠曲的触碰接触部30与第二接触构件28电连接。因此，前述的电装置21使电路板10与接线板22电连接。特别地可以设置，将第一接触构件25和/或第二接触构件28如图1所示地构造为第四接触面31。根据图1，这种布置方案如下地实现：即，经由至少一个电中间连接器32来连接这些电装置21。电中间连接器32在相对置的侧面上具有接触装置，这些接触装置被构造为第二弹簧触点33。由此，这些弹性挠曲的弹簧触点33与第四接触面31处于触碰接触中。替代地也可以设置使用如下这样的中间连接器，其在相对置的侧面上具有被构造为第五接触面的接触装置。在这种情况下，电路板10的以及接线板22的第一接触构件25和第二接触构件28被构造为突出的第一弹簧触点。

第二接触构件28、特别是接线板22的第四接触面31通过电连接部34与接线板22的第五接触面35相连接。第二接触构件28、特别是第四接触面31关于接线板22特别是围绕裂口23位于该接线板的中央区域。第五接触面35位于接线板22的边缘区域中。借助于未示出的线缆连接部，第五接触面35与未示出的测试装置电连接。

基于如图1所示的接触装置1的结构，存在于接触元件4之间的极其小的间距可以增加到第五接触面35的足够大的间距，从而能够在第五接触面35上顺利地执行例如用于连接测试装置所需要的钎焊工作。

图1在示意图中示出，第二接触面12位于如第三接触面18那样的相同高度上，使得用于接合所述接合线材20的接合工作在一个平面上执行。另外，从图1能够示意性得出，为了电路板10和接线板22的高度间距调整，在电路板10和接线板22之间布置有厚度可选的至少一个可更换的间隔元件36。由此来调整在接触元件4的端部6与接线板22的面向测试件的侧面37之间的结构高度b的相应尺寸。根据间隔元件36的所选择的厚度，可以相应地改变结构高度b，以便能够满足接触装置1的不同使用者的特定规格。尽管结构高度b有所变化，但是由于电路板10和接线板22之间的弹动式挠曲的电连接部21，始终确保了电路板10和接线板22之间的良好电接触。

图4和图5示出了第一接触面8按照预定图案13的布置方案。第二接触面12的布置方案可以优选按照另一预定图案14进行，该另一预定图案构造得与图案13相同。但是在下文中仅讨论第一接触面8，其中，相应的情况适用于第二接触面12，但是没有被专门提及。

根据图4，预定图案13是二维矩阵图案38，也就是说，第一接触面8成棋盘状地分布，但是其中，它们不是彼此直接抵接，而是通过电导体39彼此电连接。图4示出了该状态，在该状态中，所有的第一接触面8通过沿x方向和y方向延伸的电导体39相互连接。因此，电导体39同样是以矩阵方式布置。图4所示的状态是初始状态，即，该状态不适合执行对测试件的电测试，因为所有的第一接触面8处于彼此短路中。为了进行对测试件电路的适配而设置：这些导体39中的至少一个导体被切断、特别是被激光切断。如图5所示的矩形框简示了对相应导体8的切断、特别是激光切断。通过这种方式在测试件和测试装置之间形成相应的电流路径，其中，根据图5还可以保持较大的面，这些较大的面是电关联的，即不具有被切断的导体39。这些面可以被用于在那里布置例如被电连接到对应的第一接触面8上的电/电子构件。图5相应地示出了接触装置1关于第一接触面8的准备好运行的状态。电导体39可以被构造为导体轨道或导体接片。切断部、特别是激光切断部40使得相应的第一接触面8或多个第一接触面8与相邻的第一接触面8分离。通过这种方式，特别是可以形成用于输送供电电势的电流路径和/或提供接地区域。

接合线材20的接合和/或对电导体39的切断、特别是激光切断优选分别全自动地进行，即，使用软件控制的机器，这些机器自行执行相应的工作。

图7示出了电连接部15和/或电连接部26的设计方案。示出了电路板10的电连接部15。下面被阐释的设计方案以相应的方式适用于电连接部26。原则上，电连接部15直线地穿过电路板10，即，沿与接触元件4纵向延伸部相应的方向(不考虑这些接触元件的侧向反弹和/或这些接触元件的倾斜姿态)。但是，为了在第一接触面8和第二接触面12之间实现触点间距增加，也可以如图7所示地设置倾斜向外进行的走向。第一接触面8特别是经由第一穿通接触部41与第二接触面12连接。如图7所示的穿通接触部由多个第一穿通接触区域42组成。各一个穿通接触区域42延伸穿过被构造为多层板条的电路板10的一层43。现在，这种布置方案如下地实现：使这些第一穿通接触区域42错开，但至少部分地彼此叠置，由此而获得了已提到的“倾斜走向”，并由此造成触点间距扩张。

如相对图7所描述的那样，第三接触面18可以相应地经由第二穿通接触部与第一接触构件25连接，其中，第二穿通接触部中的至少一些分别由多个第二穿通接触区域组成，并且其中，在这些第二穿通接触部中，第二穿通接触区域分别对齐和/或错开，但至少部分是彼此叠置的。

优选可以特别设置，使预定图案13、特别是二维矩阵图案38与导向孔3在电路板10的区域中的布置方案相应。由此，该设计方案存在于与电路板10紧密相邻的导向板5中。在位于接触元件4的端部6附近、即处于测试件侧面上的另一个导向板5中，导向孔3的布置方案优选按照与测试件相应的个体图案来进行。因此，与在测试件上待接触的电接口相应地实现了所述个体图案，从而使得由此能够实现，接触元件4关于其纵向延伸部不是平行的，而是相对于彼此倾斜地延伸。

特别被构造为屈曲线材的接触元件4可以是微系统技术的接触元件4，也就是说具有微小几何尺寸。

原则上，在第三接触面18、第一接触构件25、第二接触构件28和/或接触装置的情况下同样可以设置可切断的、特别是可激光切断的导体39，即，在各个元件之间同样存在电导体39，其中，这些导体39中的至少一个导体被切断、特别是被激光切断。

图6示出了本发明的另一个实施例，其基本上与如图1所示的实施例相符，从而使得最大程度上参考图1的和相关说明的实施例。区别仅在于：电路板22不是配属给电路板10的所述一侧面9，而是配属给电路板10的所述另一侧面11。此外特别设置，第二接触构件28和第五接触面35不是位于电路板22的同一侧面上(图1)，而是位于接线板22的相对置的侧面上(图6)。

在所有的实施例中设置，测试件借助于用于执行电测试的升降台来提升并被压靠接触元件4的端部6，从而实现电触碰接触。然后，借助于所提到的测试装置可以通过接触装置来切换电流回路，以便在其电功能性上检查电测试件、特别是晶片。

Claims (22)

1.一种用于电触碰接触的接触装置(1)，所述电触碰接触用于对电测试件、特别是晶片进行电测试，所述接触装置具有接触头(2)和至少一个电路板(10)，其中，所述接触头(2)具有多个导向孔(3)，在所述导向孔中能纵向移动地安装有长形的、通过触碰接触所述测试件而侧向弹动式屈曲的接触元件(4)，所述接触元件的一个端部(6)用于触碰接触所述测试件，所述接触元件的另一端部(7)与按照预定图案(13)布置的第一接触面(8)处于触碰接触，所述第一接触面在所述电路板(10)的一侧面(9)上处于该侧面的第一、特别是中央的区域(16)中，其中，特别是按照另一预定图案(14)布置的第二接触面(12)在所述电路板(10)的另一侧面(11)上处于该另一侧面的第二、特别是中央的区域(17)中，所述第二接触面穿过所述电路板(10)与所述第一接触面(8)电连接，在所述电路板(10)的所述另一侧面(11)上，在该另一侧面的至少一个第一、特别是边缘的区段(19)中设置有第三接触面(18)，所述第二接触面(12)中的至少一些借助于被接合的接合线材(20)与所述第三接触面(18)中的至少一些电连接，并且其中，所述第一接触面(8)中的至少一部分和/或所述第二接触面(12)中的至少一部分分别借助于能切断的导体(39)彼此电连接，并且这些导体(39)中的至少一个导体被切断。

2.根据权利要求1所述的接触装置，其特征在于，所述能切断的导体(39)被构造为导体轨道或导体接片。

3.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，至少一个被切断的导体(39)是被激光切断的。

4.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，设有至少一个接线板(22)，其中，所述第三接触面(18)与所述接线板(22)电连接。

5.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，在所述电路板(10)的所述一侧面(9)上，在该侧面的至少一个第二、特别是边缘的区段(24)中设有第一接触构件(25)，所述第一接触构件穿过所述电路板(10)与所述第三接触面(18)电连接，所述接线板(22)在其面向所述电路板(10)的侧面(27)上具有第二接触构件(28)，并且其中，所述第一接触构件(25)借助于电连接部(29)、特别是弹动式挠曲的触碰接触部(30)与所述第二接触构件(28)电连接。

6.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，在所述电路板(10)的所述另一侧面(11)上，在该另一侧面的至少一个第二、特别是边缘的区段(24)中设有第一接触构件(25)，所述第一接触构件与所述第三接触面(18)电连接，所述接线板(22)在其面向所述电路板(10)的侧面(27)上具有第二接触构件(28)，并且其中，所述第一接触构件(25)借助于电连接部(29)、特别是弹动式挠曲的触碰接触部(30)与所述第二接触构件(28)电连接。

7.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第一接触构件(25)经由至少一个电中间连接器(32)(内插器)与所述第二接触构件(28)电连接。

8.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第一接触构件(25)和/或所述第二接触构件(28)是第四接触面(31)。

9.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第一接触构件(25)和/或所述第二接触构件(28)是突出的第一弹簧触点。

10.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述中间连接器(32)在彼此相对置的侧面上具有接触器(21)，所述接触器被构造为第五接触面和/或突出的第二弹簧触点(33)。

11.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，布置所述第一接触面(8)的预定图案(13)和/或所述第二接触面(12)的特别是预定的另一图案(14)分别是二维矩阵图案(38)。

12.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，在所述电路板(10)的区域中按照所述预定图案(13)、特别是按照二维矩阵图案(38)布置所述导向孔(3)。

13.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，在测试件侧按照相应于所述测试件的个体图案布置所述导向孔(3)。

14.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第一接触面(8)经由第一穿通接触部(41)与所述第二接触面(12)连接。

15.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第一穿通接触部(41)中的至少一些分别由多个第一穿通接触区域(42)组成，其中，在这些第一穿通接触部(41)中，所述第一穿通接触区域(42)分别对齐和/或错开，但至少局部是彼此叠置的。

16.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第三接触面(18)经由第二穿通接触部与所述第一接触构件(25)连接。

17.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第二穿通接触部中的至少一些分别由多个第二穿通接触区域组成，其中，在这些第二穿通接触部中，所述第二穿通接触区域分别对齐和/或错开，但至少局部是彼此叠置的。

18.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第二接触面(12)和所述第三接触面(18)位于相同的高度上。

19.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，为了对电路板(10)和接线板(22)进行高度间距调整，在电路板(10)和接线板(22)之间布置可选厚度的至少一个能更换的间隔元件(36)。

20.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述接触元件(4)是微系统技术的接触元件(4)。

21.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，所述第三接触面(18)、所述第一接触构件(25)、所述第二接触构件(28)和/或所述接触装置(21)分别借助于能切断的、特别是能激光切断的导体(39)彼此电连接，其中，这些导体(39)中的至少一个导体被切断、特别是被激光切断。

22.根据前面权利要求中任一项所述的接触装置，其特征在于，矩阵状地布置所述能切断的导体(39)。