CN107385408A - 膜厚测试装置及方法、蒸镀设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种膜厚测试装置及方法、蒸镀设备。膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，该膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,驱动单元与传送单元连接，测试单元与传送单元连接；驱动单元用于驱动传送单元向靠近或远离工艺腔室的方向移动；传送单元用于当传送单元向靠近工艺腔室的方向移动时带动测试单元进入对应的工艺腔室中以使测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当传动单元向远离工艺腔室的方向移动时带动测试单元退出对应的工艺腔室。本发明优化了生产排程，节省了膜厚测试时间，增加了生产产能，节省了膜材料的消耗以及降低了蒸发源堵孔的风险，从而提高了连续生产时的生产可靠度。

Description

膜厚测试装置及方法、蒸镀设备
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种膜厚测试装置及方法、蒸镀设备。
背景技术
在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,简称OLED)的蒸镀设备中，通常采用蒸发源和镀率侦测器的组合方式，来控制在生产过程中的有机膜层的厚度。在工艺生产的过程中，通过传送装置将硅片或白玻璃等载体传入工艺腔体中，蒸发源将有机材料蒸镀到载体上以在载体上形成有机膜层，传送装置再将载体传出工艺腔体，而后通过测量装置进行膜厚测量，并根据测量结果修正蒸发源的镀率参数，以达到对所蒸镀的有机膜层的厚度的准确性和均匀性的调整。
但在对某个蒸发源所蒸镀的膜厚进行测试过程中，通常需要将蒸镀设备停止生产以空出传送载体的路径，并且需要停止其他蒸发源的蒸发工作，例如，通过蒸发源盖板将蒸发源盖上，以使蒸发源的蒸发工作停止，从而才能逐一检测各个蒸镀源的所蒸镀的膜厚的均匀性和准确性，直到逐一检测完所有的蒸发源后才能恢复蒸镀设备的生产。
因此，现有技术中，生产排程较复杂，膜厚测试消耗的时间较长，影响了生产产能，也增加了不必要的有机材料的消耗，提高了蒸发源堵孔的风险，从而降低了连续生产时的生产可靠度。
发明内容
本发明提供一种膜厚测试装置及方法、蒸镀设备，用于优化生产排程，节省膜厚测试时间，增加生产产能，节省膜材料的消耗以及降低蒸发源堵孔的风险，从而提高连续生产时的生产可靠度。
为实现上述目的，本发明提供了一种膜厚测试装置，所述膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，所述膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,所述驱动单元与所述传送单元连接，所述测试单元与所述传送单元连接；
所述驱动单元，用于驱动所述传送单元向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；
所述传送单元，用于当所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当所述传动单元向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。
可选地，所述传送单元包括伸缩结构，所述伸缩结构内部中空，所述伸缩结构的一端与所述测试单元的一端连接且所述测试单元位于所述伸缩结构中，所述伸缩结构的另一端与对应的工艺腔室对接；
所述驱动单元用于驱动所述伸缩结构伸缩以使所述伸缩结构的一端向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；
所述伸缩结构用于当一端向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当一端向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。
可选地，所述伸缩结构的一端上设置有盖板，所述测试单元的一端固定于所述盖板上且位于所述伸缩结构中。
可选地，所述膜厚测试装置还包括进气单元和排气单元，所述进气单元与所述伸缩结构连通，所述排气单元与所述伸缩结构连通；
所述进气单元用于控制所述伸缩结构与外界空气之间的隔离或连通；
所述排气单元用于将所述伸缩结构内的气体排出，以使所述伸缩结构内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致。
可选地，所述传送单元还包括第一连接结构和第二连接结构，所述第一连接结构的一端与所述伸缩结构的一端固定且连通，所述第一连接结构的另一端与盖板的一端固定，所述第二连接结构的一端与所述伸缩结构另一端固定且连通，所述第二连接结构的另一端与对应的工艺腔室对接；所述进气单元与所述第一连接结构连通，所述排气单元与所述第二连接结构连通。
可选地，所述膜厚测试装置还包括开关单元，所述开关单元的一端与所述第二连接结构的另一端连接，所述开关单元的另一端与对应的工艺腔室对接；
所述开关单元用于控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间的连通或隔离。
可选地，所述测试单元包括工具条和基板，所述基板的一侧固定于所述工具条上，所述工具条的一端固定于所述传送单元的一端且位于所述传送单元中，所述基板的另一侧用于蒸镀所述测试膜。
可选地，所述驱动单元为传动螺杆，所述传动螺杆设置于所述传送单元的外部的两侧且与所述传送单元连接；
所述传动螺杆传动以驱动所述传送单元向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动。
可选地，所述伸缩结构为波纹管。
为实现上述目的，本发明还提供了一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括多个工艺腔室，每个工艺腔室对应一个膜厚测试装置，所述膜厚测试装置采用上述权利要求1至8任一所述的膜厚测试装置。
为实现上述目的，本发明还提供了一种膜厚测试方法，所述膜厚测试方法基于膜厚测试装置，所述膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，所述膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,所述驱动单元与所述传送单元连接，所述测试单元与所述传送单元连接；所述膜厚测试方法包括：
所述驱动单元驱动所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动；
所述传送单元带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀；
所述驱动单元驱动所述传动单元向远离所述工艺腔室的方向移动；
所述传送单元带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。
可选地，所述膜厚测试装置还包括进气单元、排气单元和开关单元，所述传送单元包括盖板、伸缩结构、第一连接结构和第二连接结构，所述伸缩结构内部中空，所述测试单元的一端固定于所述盖板上且位于所述伸缩结构中，所述第一连接结构的一端与所述伸缩结构的一端固定且连通，所述第一连接结构的另一端与所述盖板的一端固定，所述伸缩结构的另一端与所述第二连接结构的一端固定且连通，所述第二连接结构的另一端与所述开关单元的一端连接，所述开关单元的另一端与对应的工艺腔室对接，所述进气单元与所述第一连接结构连通，所述排气单元与所述第二连接结构连通，以使所述进气单元与所述伸缩结构连通，所述排气单元与所述伸缩结构连通；
所述驱动单元驱动所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动之前还包括：
所述进气单元控制所述伸缩结构与外界空气之间隔离；
所述排气单元将所述伸缩结构内的气体排出，以使所述伸缩结构内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致；
所述开关单元控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间连通；
所述传送单元带动所述测试单元移动，以使所述测试单元在所述测试膜蒸镀完成后退出对应的工艺腔室之后还包括：
所述开关单元控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间隔离；
所述进气单元控制所述伸缩结构与外界空气之间连通。
本发明的有益效果：
本发明所提供的膜厚测试装置及方法、蒸镀设备中，膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，驱动单元用于驱动传送单元向靠近或远离工艺腔室的方向移动，传送单元用于当传送单元向靠近工艺腔室的方向移动时带动测试单元进入对应的工艺腔室中以使测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当传动单元向远离工艺腔室的方向移动时带动测试单元退出对应的工艺腔室。在实际应用中，仅需要在生产过程中使蒸镀设备中断少许的时间即可同时对所有待测试的蒸发源所蒸镀的膜进行检测，无需停止蒸发源的蒸发工作，从而优化了生产排程，节省了膜厚测试时间，增加了生产产能，节省了膜材料的消耗以及降低了蒸发源堵孔的风险，从而提高了连续生产时的生产可靠度。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的一种膜厚测试装置的结构示意图；
图2为图1中的开关单元的结构示意图；
图3为图1中的测试单元的结构示意图；
图4为图1中的测试单元进入工艺腔室中进行测试膜的蒸镀的状态示意图；
图5为图1中的盖板的结构示意图；
图6为图1中的第一连接结构的结构示意图；
图7为图1中的膜厚测试装置的一种应用示意图；
图8为本发明实施例三提供的一种膜厚测试方法的流程图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的膜厚测试装置及方法、蒸镀设备进行详细描述。
图1为本发明实施例一提供的一种膜厚测试装置的结构示意图，如图1所示，膜厚测试装置对应于一个工艺腔室1，膜厚测试装置包括驱动单元2、传送单元3和测试单元4，驱动单元2与传送单元3连接，测试单元4与传送单元3连接。
驱动单元2用于驱动传送单元3向靠近或远离工艺腔室1的方向移动。
传送单元3用于当传送单元3向靠近工艺腔室1的方向移动时带动测试单元4进入对应的工艺腔室1中以使测试单元4在对应的工艺腔室1中进行测试膜的蒸镀，以及当传送单元3向远离工艺腔室1的方向移动时带动测试单元4退出对应的工艺腔室1。
本实施例中，如图1所示，测试单元4位于传送单元3的内部，因此通过图中的两条虚线表示测试单元4。
优选地，传送单元3的一端固定不动，例如，传送单元3的一端可固定于工艺腔室1上，驱动单元2用于驱动传送单元3的另一端向靠近或远离工艺腔室1的方向移动。需要说明的是，传送单元3还可以通过其他方式向靠近或远离工艺腔室1的方向移动，此处不再一一列举。
本实施例中，工艺腔室1中设置有蒸发源5，当测试单元4进入对应的工艺腔室1中，蒸发源5在测试单元4上蒸镀测试膜(图中未示出)。
本实施例中，在测试单元4完成测试膜的蒸镀之后退出对应的工艺腔室1，而后将测试单元4从膜厚测试装置中取出，以便对测试膜进行膜厚测试。
本实施例中，传送单元3包括伸缩结构31，伸缩结构31内部中空，伸缩结构31的一端与测试单元4的一端连接且测试单元4位于伸缩结构31中，伸缩结构31的另一端与对应的工艺腔室对接。
其中，驱动单元2用于驱动伸缩结构31伸缩以使伸缩结构31的一端向靠近或远离工艺腔室1的方向移动。伸缩结构31的另一端固定不动，驱动单元2用于驱动伸缩结构31伸缩以使伸缩结构31的一端向靠近或远离工艺腔室1的方向移动。具体地，驱动单元2驱动伸缩结构31压缩以使伸缩结构31的一端向靠近工艺腔室1的方向移动，或者驱动单元2驱动伸缩结构31伸展以使伸缩结构31的一端向远离工艺腔室1的方向移动。
由于伸缩结构31的伸缩运动，从而可以带动与伸缩结构31的一端连接的测试单元4向靠近或远离工艺腔室1的方向移动，以实现带动测试单元4进入对应的工艺腔室1或者退出对应的工艺腔室1。
具体地，伸缩结构31用于当一端向靠近工艺腔室1的方向移动时带动测试单元4进入对应的工艺腔室1中以使测试单元4在对应的工艺腔室1中进行测试膜的蒸镀，以及当一端向远离工艺腔室1的方向移动时带动测试单元4退出对应的工艺腔室1。
本实施例中，伸缩结构31为管状结构，伸缩结构31的两端均分别具有开口(图中未示出)，且伸缩结构31的内部中空。优选地，伸缩结构31为波纹管。
本实施例中，伸缩结构31的一端上设置有盖板32，测试单元4的一端固定于盖板32上且位于伸缩结构31中。不难理解的是，测试单元4是通过盖板32与伸缩结构31连接的。具体地，盖板32的一端与伸缩结构31的一端的开口连接，盖板32用于遮盖伸缩结构31的一端的开口。本实施例中，优选地，该膜厚测试装置还包括进气单元6和排气单元7，进气单元6与伸缩结构31连通，排气单元7与伸缩结构31连通。
具体地，传送单元3还包括第一连接结构33和第二连接结构34，第一连接结构33和第二连接结构34的内部均中空。其中，第一连接结构33的一端与伸缩结构31的一端固定且连通，第一连接结构33的另一端与盖板32的一端固定，第二连接结构34的一端与伸缩结构31另一端固定且连通，第二连接结构34的另一端与对应的工艺腔室1对接；进气单元6与第一连接结构33连通，排气单元7与第二连接结构34连通。也就是说，盖板32通过第一连接结构33与伸缩结构31连接，伸缩结构31通过第二连接结构34与对应的工艺腔室1对接，进气单元6通过第一连接结构33与伸缩结构31连通，排气单元7通过第二连接结构34与伸缩结构31连通。
具体地，第一连接结构33上设置有与其中空的内部连通的第二通孔333，进气单元6通过第一连接结构33上的第二通孔333与第一连接结构33连通，从而实现进气单元6与伸缩结构31之间的连通。第二连接结构34上设置有与其中空的内部连通的第三通孔341，排气单元7通过第二连接结构34上的第三通孔341与第二连接结构34连通，从而实现排气单元7与伸缩结构31之间的连通。
本实施例中，优选地，进气单元6为破大气用洁净空气通气孔(Clean Dry AirVent，简称：CDA Vent)。
本实施例中，优选地，排气单元7为真空泵。
进气单元6用于控制伸缩结构31与外界空气之间的隔离或连通。具体地，关闭进气单元6时伸缩结构31的内部与外界空气之间处于隔离状态，开启进气单元6时伸缩结构31的内部与外界空气之间处于连通状态。
排气单元7用于将伸缩结构31内的气体排出，以使伸缩结构31内的真空度与对应的工艺腔室1的真空度一致。具体地，启动真空泵，以将伸缩结构31的内部的气体抽出，以使伸缩结构31的内部的真空度与对应的工艺腔室1的真空度一致。
图5为图1中的盖板的结构示意图，如图5所示，本实施例中，优选地，盖板32上设置有第一通孔321和第一螺丝孔322。
图6为图1中的第一连接结构的结构示意图，如图6所示，本实施例中，优选地，第一连接结构33上还设置有第二螺丝孔331和第三螺丝孔332，第一连接结构33上的第二螺丝孔331与盖板32上的第一通孔321对应设置，盖板32上的第一螺丝孔322与第二连接结构33上的第三螺丝孔332对应设置。
需要说明的是，第一通孔321和第一螺丝孔322均贯穿盖板32，第二螺丝孔331贯穿第一连接结构33。其中，膜厚测试装置还包括螺丝，螺丝设置于第一螺丝孔322和第三螺丝孔332中，以使第一连接结构33与盖板32固定。
优选地，第一连接结构33和第二连接结构34均为法兰。
本实施例中，优选地，驱动单元2为传动螺杆，传动螺杆设置于传送单元3的外侧且与传送单元3连接。具体地，传动螺杆的一端与第二连接结构34的一端固定，传动螺杆的另一端设置于第一连接结构33上的第二螺丝孔331及对应的盖板32上的第一通孔321中。其中，传动螺杆传动以驱动传送单元3向靠近或远离工艺腔室1的方向移动。具体地，传动螺杆传动以带动第一连接结构34和盖板32向靠近工艺腔室1的方向移动，从而驱动伸缩结构31的一端向靠近或远离工艺腔室1的方向移动。
本实施例中，该膜厚测试装置还包括开关单元8，开关单元8的一端与第二连接结构34的另一端连接，开关单元8的另一端与对应的工艺腔室1对接。开关单元8用于控制传送单元3与对应的工艺腔室1之间的连通或隔离。具体地，开关单元8用于控制伸缩结构31与对应的工艺腔室1之间的连通或隔离。具体地，开关单元8通过螺丝与第二连接结构34连接。
本实施例中，优选地，开关单元8的另一端还设置有第三连接结构9，第三连接结构9与对应的工艺腔室1对接，也即，开关单元8通过第三连接结构9与对应的工艺腔室1对接。其中，第三连接结构9的内部中空，且第三连接结构9的中空的内部与工艺腔室1连通。优选地，第三连接结构9为法兰。
本实施例中，优选地，开关单元8为钟摆阀。图2为图1中的开关单元的结构示意图，如图2所示，钟摆阀包括钟摆本体81和钟摆盖板82，钟摆本体81上设置有通道口83。钟摆盖板82用于控制伸缩结构31与对应的工艺腔室1之间的连通或隔离。具体地，钟摆盖板82覆盖通道口83时控制伸缩结构31与对应的工艺腔室1隔离，具体地，钟摆盖板82沿顺时针方向移动至通道口以将通道口83覆盖，从而控制伸缩结构31与对应的工艺腔室1隔离)；钟摆盖板82未覆盖通道口83时控制伸缩结构31与对应的工艺腔室1连通，具体地，钟摆盖板82沿逆时针方向移动至通道口以使通道口83不被其覆盖，从而控制伸缩结构31与对应的工艺腔室1连通。当测试单元4需要进入工艺腔室1中时，可穿过通道口83进入工艺腔室1中。需要说明的是，本实施例对于钟摆盖板82如何移动以覆盖或不覆盖通道口83的方式不作任何限制，以上通过顺时针移动和逆时针移动的方式仅作为示例，此处不再一一列举。
图3为图1中的测试单元的结构示意图，如图3所示，测试单元4包括工具条41和基板42，基板42的一侧固定于工具条41上，工具条41的一端固定于传送单元3的一端且位于传送单元3中，基板42的另一侧用于蒸镀测试膜。具体地，工具条41的一端固定于盖板32的一端上且位于伸缩结构31中。
具体地，伸缩结构31用于当一端向靠近工艺腔室1的方向移动时带动工具条41和基板42进入对应的工艺腔室1中以使基板42在对应的工艺腔室1中进行测试膜的蒸镀，以及当一端向远离工艺腔室1的方向移动时带动工具条41和基板42退出对应的工艺腔室1。
本实施例中，优选地，基板42为硅片或白玻璃。在实际应用中，基板42还可以为其他结构，此处不再一一列举。
下面结合图1至图4进一步详细说明实施例一所提供的膜厚测试装置的工作原理。
需要说明的是，图1示出了膜厚测试装置的初始状态(即未工作的状态或在工作过程中测试单元退出工艺腔室时的状态)，图4为图1中的测试单元进入工艺腔室中进行测试膜的蒸镀的状态示意图，图4示出了测试单元进入工艺腔室中进行测试膜的蒸镀的状态。
如图1至图3所示，首先，关闭进气单元6以使伸缩结构31的内部与外界空气之间处于隔离状态，从而使得伸缩结构31的内部处于封闭状态，但此时伸缩结构31的内部还不是真空状态，为了避免伸缩结构31的内部的空气进入对应的工艺腔室1中影响测试膜的蒸镀，因此需要启动真空泵(排气单元7)，以将伸缩结构31内的气体排出，以使伸缩结构31的内部的真空度达到与对应的工艺腔室1的真空度相同的状态。调整伸缩结构31的内部的真空度后，打开钟摆阀(开关单元8)的钟摆盖板82，此时钟摆盖板82未覆盖通道口83，使得伸缩结构31通过通道口83与对应的工艺腔室1连通。
如图1、图2和图4所示，而后，启动传动螺杆(驱动单元2)，通过传动螺杆传动以驱动伸缩结构31的一端向靠近工艺腔室1的方向移动，从而带动与伸缩结构31的一端连接的工具条41向靠近工艺腔室1的方向移动，待工具条41进入工艺腔室1后，停止传动螺杆的驱动，蒸发源5向工具条41上的基板42上蒸镀测试膜。
如图1至图3所示，蒸镀完成后，再次启动传动螺杆，以驱动伸缩结构31的一端向远离工艺腔室1的方向移动，从而带动与伸缩结构31的一端连接的工具条41向远离工艺腔室1的方向移动，直至工具条41完全退出工艺腔室1。
如图1至图3所示，而后关闭钟摆阀的钟摆盖板82，此时钟摆盖板82覆盖通道口83，使得伸缩结构31与工艺腔室1隔离，再开启进气单元6，使伸缩结构31的内部与外界空气之间连通，使得伸缩结构31的内部处于大气状态。
最后将工具条41从膜厚测试装置中取出，对蒸镀在基板42上的测试膜的厚度进行检测，并以此厚度数据作为蒸发源的镀率参数的调整依据，根据该数据对蒸发源的镀率参数进行修正。
图7为图1中的膜厚测试装置的一种应用示意图，如图7所示，膜厚测试装置101设置于蒸镀设备100中的流片高度(图中虚线表示的高度)，每个膜厚测试装置101对应一个工艺腔室(图中未示出)，每个工艺腔室中对应设置有一个蒸发源102，即每个膜厚测试装置101对应一个蒸发源102，因此在实际生产过程中，可同时通过膜厚测试装置101对所有待测试的蒸发源102所蒸镀的测试膜进行膜厚测试，无需停止蒸发源102的蒸发工作(例如，通过可动作的蒸发源盖板将蒸发源盖上，以使蒸发源停止蒸发工作)，仅需要在生产过程中使蒸镀设备100中断少许的时间，也不需要其空出传送路径。而现有技术中，整个流片方向(图中箭头所指方向)上，仅设置有一个膜厚测试装置，需要将蒸镀设备停止工作以空出传送载体的路径，且在对某个蒸发源所蒸镀的膜厚进行测试时，需要停止其余蒸发源的蒸发工作(例如，通过可动作的蒸发源盖板将蒸发源盖上，以使蒸发源停止蒸发工作)，才能逐一检测各个蒸发源所蒸镀的膜厚，直到逐一检测完所有的蒸发源后才能恢复蒸镀设备的生产。例如，假设蒸镀设备中设置有10个蒸发源，则对于现有技术而言，每测试一个蒸发源均要使蒸镀设备的生产工作停止10分钟，那么测试完所有蒸发源则需要是蒸镀设备停止生产工作10*10＝100分钟，而对于本实施例而言，仅需要使蒸镀设备中断10分钟，即可同时对所有的待测试的蒸发源进行膜厚度测试。因此本实施例所提供的膜厚测试装置，相比于现有技术，优化了生产排程，节省了膜厚测试时间，增加了生产产能，节省了膜材料的消耗以及降低了蒸发源堵孔的风险，从而提高了连续生产时的生产可靠度。
本实施例所提供的膜厚测试装置中，膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，驱动单元用于驱动传送单元向靠近或远离工艺腔室的方向移动，传送单元用于当传送单元向靠近工艺腔室的方向移动时带动测试单元进入对应的工艺腔室中以使测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当传动单元向远离工艺腔室的方向移动时带动测试单元退出对应的工艺腔室。在实际应用中，仅需要在生产过程中使蒸镀设备中断少许的时间即可同时对所有待测试的蒸发源所蒸镀的膜进行检测，无需停止蒸蒸发源的蒸发工作，从而优化了生产排程，节省了膜厚测试时间，增加了生产产能，节省了膜材料的消耗以及降低了蒸发源堵孔的风险，从而提高了连续生产时的生产可靠度。
本发明实施例二提供了一种蒸镀设备，蒸镀设备包括多个工艺腔室，每个工艺腔室对应一个膜厚测试装置，该膜厚测试装置采用上述实施例一所提供的膜厚测试装置，关于该膜厚测试装置的具体描述可参见上述实施例一，此处不再具体赘述。
本实施例所提供的蒸镀设备中，膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，驱动单元用于驱动传送单元向靠近或远离工艺腔室的方向移动，传送单元用于当传送单元向靠近工艺腔室的方向移动时带动测试单元进入对应的工艺腔室中以使测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当传动单元向远离工艺腔室的方向移动时带动测试单元退出对应的工艺腔室。在实际应用中，仅需要在生产过程中使蒸镀设备中断少许的时间即可同时对所有待测试的蒸发源所蒸镀的膜进行检测，无需停止蒸发源的蒸发工作，从而优化了生产排程，节省了膜厚测试时间，增加了生产产能，节省了膜材料的消耗以及降低了蒸发源堵孔的风险，从而提高了连续生产时的生产可靠度。
图8为本发明实施例三提供的一种膜厚测试方法的流程图，该膜厚测试方法基于膜厚测试装置，该膜厚测试装置采用上述实施例一所提供的膜厚测试装置。如图8所示，该膜厚测试方法包括：
步骤301、进气单元控制传送单元与外界空气之间隔离。
其中，传送单元包括盖板、伸缩结构、第一连接结构和第二连接结构。具体地，进气单元控制伸缩结构与外界空气之间的隔离。具体地，关闭进气单元，以使伸缩结构的内部与外界空气之间处于隔离状态。
步骤302、排气单元将传送单元内的气体排出，以使传送单元内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致。
具体地，排气单元将伸缩结构内的气体排出，以使伸缩结构内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致。
其中，排气单元为真空泵。
具体地，由于伸缩结构的内部还未处于真空状态，因此为了避免伸缩结构的内部的气体进入工艺腔室中影响测试膜的蒸镀，需要通过启动真空泵，将伸缩结构内部的气体排出，以使伸缩结构内部的真空度达到与对应的工艺腔室的真空度一致的状态。
步骤303、开关单元控制传送单元与对应的工艺腔室之间连通。
具体地，开关单元控制伸缩结构与对应的工艺腔室之间连通。
其中，开关单元为钟摆阀，钟摆阀包括钟摆本体和钟摆盖板，钟摆本体上设置有通道口。
具体地，打开钟摆盖板，以使钟摆盖板未覆盖通道口，从而使伸缩结构与对应的工艺腔室之间连通。
步骤304、驱动单元驱动传送单元向靠近工艺腔室的方向移动。
具体地，伸缩结构的另一端固定不动，驱动单元驱动伸缩结构压缩以使伸缩结构的一端向靠近工艺腔室的方向移动。
其中，驱动单元为传动螺杆。
具体地，启动传动螺杆，通过传动螺杆的传动，以带动第一连接结构和盖板向靠近工艺腔室的方向移动，从而驱动伸缩结构的一端向靠近工艺腔室的方向移动。
步骤305、传送单元带动测试单元进入对应的工艺腔室中以使测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀。
其中，测试单元包括工具条和固定于工具条上的基板。
具体地，伸缩结构的一端向靠近工艺腔室的方向移动，从而带动工具条向靠近工艺腔室的方向移动，以使工具条进入对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀。其中，测试膜由工艺腔室中的蒸发源蒸镀于基板上。
步骤306、驱动单元驱动传送单元向远离工艺腔室的方向移动。
具体地，伸缩结构的另一端固定不动，驱动单元驱动伸缩结构伸展以使伸缩结构的一端向远离工艺腔室的方向移动。
具体地，启动传动螺杆，通过传动螺杆的传动，以带动第一连接结构和盖板向远离工艺腔室的方向移动，从而驱动伸缩结构的一端向远离工艺腔室的方向移动。
步骤307、传送单元带动测试单元退出对应的工艺腔室。
具体地，在测试膜蒸镀完成后，伸缩结构的一端向远离工艺腔室的方向移动，从而带动工具条向远离工艺腔室的方向移动，直至其退出对应的工艺腔室。
步骤308、开关单元控制传送单元与对应的工艺腔室之间隔离。
具体地，开关单元控制伸缩结构与对应的工艺腔室之间隔离。
具体地，关闭钟摆阀的钟摆盖板，以使钟摆盖板覆盖通道口，从而使得伸缩结构与对应的工艺腔室之间隔离。
步骤309、进气单元控制传送单元与外界空气之间连通。
具体地，进气单元控制伸缩结构与外界空气之间连通。
具体地，开启进气单元，以使伸缩结构的内部与外界空气之间处于连通状态。
步骤310、将测试单元从膜厚测试装置中取出，对蒸镀在测试单元上的测试膜的厚度进行检测。
具体地，将工具条从膜厚测试装置中取出，对蒸镀在基板上的测试膜的厚度进行检测。
本实施例中的膜厚测试装置的其他具体描述可参见上述实施例一，此处不再具体赘述。
本实施例所提供的膜厚测试方法中，膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，驱动单元驱动传送单元向靠近或远离工艺腔室的方向移动，传送单元用于当传送单元向靠近工艺腔室的方向移动时带动测试单元进入对应的工艺腔室中以使测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当传动单元向远离工艺腔室的方向移动时带动测试单元退出对应的工艺腔室。在实际应用中，仅需要在生产过程中使蒸镀设备中断少许的时间即可同时对所有待测试的蒸发源所蒸镀的膜进行检测，无需停止蒸发源的蒸发工作，从而优化了生产排程，节省了膜厚测试时间，增加了生产产能，节省了膜材料的消耗以及降低了蒸发源堵孔的风险，从而提高了连续生产时的生产可靠度。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种膜厚测试装置，其特征在于，所述膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，所述膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,所述驱动单元与所述传送单元连接，所述测试单元与所述传送单元连接；
所述驱动单元，用于驱动所述传送单元向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；
所述传送单元，用于当所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当所述传动单元向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。
2.根据权利要求1所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述传送单元包括伸缩结构，所述伸缩结构内部中空，所述伸缩结构的一端与所述测试单元的一端连接且所述测试单元位于所述伸缩结构中，所述伸缩结构的另一端与对应的工艺腔室对接；
所述驱动单元用于驱动所述伸缩结构伸缩以使所述伸缩结构的一端向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；
所述伸缩结构用于当一端向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当一端向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。
3.根据权利要求2所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述伸缩结构的一端上设置有盖板，所述测试单元的一端固定于所述盖板上且位于所述伸缩结构中。
4.根据权利要求3所述的膜厚测试装置，其特征在于，还包括进气单元和排气单元，所述进气单元与所述伸缩结构连通，所述排气单元与所述伸缩结构连通；
所述进气单元用于控制所述伸缩结构与外界空气之间的隔离或连通；
所述排气单元用于将所述伸缩结构内的气体排出，以使所述伸缩结构内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致。
5.根据权利要求4所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述传送单元还包括第一连接结构和第二连接结构，所述第一连接结构的一端与所述伸缩结构的一端固定且连通，所述第一连接结构的另一端与盖板的一端固定，所述第二连接结构的一端与所述伸缩结构另一端固定且连通，所述第二连接结构的另一端与对应的工艺腔室对接；所述进气单元与所述第一连接结构连通，所述排气单元与所述第二连接结构连通。
6.根据权利要求5所述的膜厚测试装置，其特征在于，还包括开关单元，所述开关单元的一端与所述第二连接结构的另一端连接，所述开关单元的另一端与对应的工艺腔室对接；
所述开关单元用于控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间的连通或隔离。
7.根据权利要求1所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述测试单元包括工具条和基板，所述基板的一侧固定于所述工具条上，所述工具条的一端固定于所述传送单元的一端且位于所述传送单元中，所述基板的另一侧用于蒸镀所述测试膜。
8.根据权利要求1所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述驱动单元为传动螺杆，所述传动螺杆设置于所述传送单元的外部的两侧且与所述传送单元连接；
所述传动螺杆传动以驱动所述传送单元向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动。
9.根据权利要求2所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述伸缩结构为波纹管。
10.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括多个工艺腔室，每个工艺腔室对应一个膜厚测试装置，所述膜厚测试装置采用上述权利要求1至9任一所述的膜厚测试装置。
11.一种膜厚测试方法，其特征在于，所述膜厚测试方法基于膜厚测试装置，所述膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，所述膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,所述驱动单元与所述传送单元连接，所述测试单元与所述传送单元连接；所述膜厚测试方法包括：
所述驱动单元驱动所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动；
所述传送单元带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀；
所述驱动单元驱动所述传动单元向远离所述工艺腔室的方向移动；
所述传送单元带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。
12.根据权利要求11所述的膜厚测试方法，其特征在于，所述膜厚测试装置还包括进气单元、排气单元和开关单元，所述传送单元包括盖板、伸缩结构、第一连接结构和第二连接结构，所述伸缩结构内部中空，所述测试单元的一端固定于所述盖板上且位于所述伸缩结构中，所述第一连接结构的一端与所述伸缩结构的一端固定且连通，所述第一连接结构的另一端与所述盖板的一端固定，所述伸缩结构的另一端与所述第二连接结构的一端固定且连通，所述第二连接结构的另一端与所述开关单元的一端连接，所述开关单元的另一端与对应的工艺腔室对接，所述进气单元与所述第一连接结构连通，所述排气单元与所述第二连接结构连通，以使所述进气单元与所述伸缩结构连通，所述排气单元与所述伸缩结构连通；
所述驱动单元驱动所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动之前还包括：
所述进气单元控制所述伸缩结构与外界空气之间隔离；
所述排气单元将所述伸缩结构内的气体排出，以使所述伸缩结构内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致；
所述开关单元控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间连通；
所述传送单元带动所述测试单元移动，以使所述测试单元在所述测试膜蒸镀完成后退出对应的工艺腔室之后还包括：
所述开关单元控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间隔离；
所述进气单元控制所述伸缩结构与外界空气之间连通。
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