CN107326333A - 一种多主元合金靶材及其制备方法 - Google Patents

一种多主元合金靶材及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107326333A
CN107326333A CN201710552040.0A CN201710552040A CN107326333A CN 107326333 A CN107326333 A CN 107326333A CN 201710552040 A CN201710552040 A CN 201710552040A CN 107326333 A CN107326333 A CN 107326333A
Authority
CN
China
Prior art keywords
alloy target
principal elements
elements alloy
metal dust
preparation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710552040.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107326333B (zh
Inventor
马明星
聂绍乾
王志新
张志汉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zzqh Precision Technology Co Ltd
Original Assignee
Zzqh Precision Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zzqh Precision Technology Co Ltd filed Critical Zzqh Precision Technology Co Ltd
Priority to CN201710552040.0A priority Critical patent/CN107326333B/zh
Publication of CN107326333A publication Critical patent/CN107326333A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107326333B publication Critical patent/CN107326333B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C1/00—Making non-ferrous alloys
    • C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C30/00—Alloys containing less than 50% by weight of each constituent
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明涉及一种多主元合金靶材及其制备方法，该多主元合金靶材为AlxCoCrNiyMnzMgr，0.2≤x≤1.5；0.2≤y≤1.5；0.2≤z≤1.5；0.2≤r≤1.5；0.05≤x/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤y/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤z/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤r/(x+y+z+r+2)≤0.35，具体步骤为：先按化学组成称取各金属粉末在惰性气体下球磨混匀，然后将混合粉末在惰性气体保护下装入石墨模具，将模具装入放电等离子烧结炉内；加载预压力，抽真空，升温并保温得合金材料。本发明产品成分与组织结构均匀，晶粒尺寸细小，致密度高。

Description

一种多主元合金靶材及其制备方法
技术领域
本发明属于金属材料制备技术领域，具体涉及一种多主元合金靶材及其制备方法。
背景技术
20世纪90年代以来，随着新材料产业的迅速发展，电子、磁性、光学、光电和超导薄膜等已经广泛应用于高新技术和工业领域，促使溅射靶材市场规模日益扩大。目前，靶材的生产国主要有日本、美国和德国等，我国靶材产业的研发则相对滞后。虽然国内也有一些大学和研究院对靶材进行了研制，但仍处于理论研究和试制阶段，每年仍需进口大量靶材。按成分可将靶材分为纯金属、合金和无机非金属靶材。因为靶材制约着镀膜的物理、力学性能，影响镀膜质量，因此不同工况环境的镀膜工件对所需的靶材成分也有所不同。多主元合金跳出了传统以一种或两种元素为主的传统合金的设计思想，依靠近等摩尔比（5～35at%）多种（至少5种）金属原子混合形成合金。此类合金有可能在通过合金化和加工后形成新型显微结构并具有优异性能，从而冲破传统金属材料性能极限，满足工业技术发展对材料的更高需求。多主元合金目前主要集中研究具有面心立方结构的CoCrFeNiCu与FeCoCrNiMn，和具有体心立方结构的CoCrFeNiAl与AlTiCrFeCoNi等高熵合金，或者在该合金的基础上添加一种或多种元素进行研究，对新型多主元合金体系的研究还有待进一步开发，从而提供更多更好性能的多主元合金。
发明内容
针对现有技术中存在的不足，本发明的目的在于提供了一种多主元合金靶材及其制备方法，该方法制备的多主元合金靶材组织结构均匀，晶粒尺寸细小，具有良好的致密性。
为了达到上述目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，0.2≤x≤1.5；0.2≤y≤1.5；0.2≤z≤1.5；0.2≤r≤1.5；0.05≤x/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤y/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤z/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤r/(x+y+z+r+2)≤0.35。
根据上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 AlxCoCrNiyMnzMgr分别称取Al、Co、Cr、Ni、Mn、Mg金属粉末，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中各种金属粉末加入至球磨机中，惰性气体保护下进行球磨混料得到混合粉，混料转速为50-250rpm，时间为0.5-6h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在惰性气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力5-10MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1100-1600℃，保温0.2-1h，烧结完成即得多主元合金靶材。
根据上述的多主元合金靶材的制备方法，步骤（2）中的惰性气体为氩气或氮气，步骤（3）中的惰性气体均为氩气或氮气。
根据权上述的多主元合金靶材的制备方法，步骤（2）中的球磨机为行星式球磨机。
与现有技术相比，本发明的有益效果：
1. 本发明制备的合金靶材纯度为99.9-99.999％，相对密度为99-100％，平均粒径为0.1-100微米。
2. 本发明方法能够获得成分均匀的多主元合金材料，有效抑制金属间化合物的形成；该方法加热均匀，升温速度快，烧结温度低，烧结时间短，生产效率高，成分与组织结构均匀，晶粒尺寸细小，能保持原材料的自然状态，可以得到高致密度的材料。
附图说明
图1是实施例1制备的多主元合金的X射线衍射图；
图2是实施例1制备的多主元合金的金相组织照片。
具体实施方式
本发明技术方案不局限于以下所列举的具体实施方式，还包括各具体实施方式之间的任意组合。
Al、Co、Cr、Ni、Mn及Mg金属粉末均为市售产品。
实施例1
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=1；y=1；z=1；r=0.3。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 AlCoCrNiMnMg0.3分别称取0.40mol铝粉、0.40mol钴粉、0.40mol铬粉、0.40mol镍粉和锰粉与0.12mol镁粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为250rpm，时间为0.5h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力10MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1100℃，保温1h，烧结完成即得多主元合金靶材。
实施例2
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=1；y=1；z=1；r=1。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 AlCoCrNiMnMg分别称取0.40mol铝粉、0.40mol钴粉、0.40mol铬粉、0.40mol镍粉、0.40mol锰粉和0.40mol镁粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为200rpm，时间为1.5h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力10MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1300℃，保温0.7h，烧结完成即得多主元合金靶材。
实施例3
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=1；y=1；z=0.3；r=1。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 AlCoCrNiMn0.3Mg分别称取0.40mol铝粉、0.40mol钴粉、0.40mol铬粉、0.40mol镍粉、0.40mol镁粉与0.12mol锰粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为150rpm，时间为3h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力8MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1500℃，保温0.5h，烧结完成即得多主元合金靶材。
实施例4
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=1；y=0.3；z=1；r=1。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 AlCoCrNi0.3MnMg分别称取0.40mol铝粉、0.40mol钴粉、0.40mol铬粉、0.40mol锰粉、0.40mol镁粉与0.12mol镍粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为100rpm，时间为4.5h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力6MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1600℃，保温0.2h，烧结完成即得多主元合金靶材。
实施例5
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=0.3；y=1；z=1；r=1。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 Al0.3CoCrNiMnMg分别称取0.40mol的钴粉、铬粉、镍粉、锰粉和镁粉与0.12mol铝粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为50rpm，时间为6h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力5MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1500℃，保温0.5h，烧结完成即得多主元合金靶材。
实施例6
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=0.3；y=1.5；z=0.3；r=0.3。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 Al0.3CoCrNi1.5Mn0.3Mg0.3分别称取0.12mol的铝粉、0.4mol钴粉、0.4mol铬粉、0.6mol镍粉、0.12mol锰粉与0.12mol镁粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为100rpm，时间为4.5h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力6MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1300℃，保温0.7h，烧结完成即得多主元合金靶材。
实施例7
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=0.3；y=0.3；z=1.5；r=0.3。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 Al0.3CoCrNi0.3Mn1.5Mg0.3分别称取0.12mol铝粉、0.4mol钴粉、0.4mol铬粉、0.12mol镍粉、0.6mol锰粉与0.12mol镁粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为200rpm，时间为1.5h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力9MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1100℃，保温1h，烧结完成即得多主元合金靶材。
实施例8
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=0.3；y=0.3；z=0.3；r=1.5。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 Al0.3CoCrNi0.3Mn0.3Mg1.5分别称取0.12mo铝粉、0.4mol钴粉、0.4mol铬粉、0.12mol镍粉、0.12mol锰粉与0.6mol镁粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为100rpm，时间为4.5h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力6MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1300℃，保温0.7h，烧结完成即得多主元合金靶材。
实施例9
本发明提供了一种多主元合金靶材，该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，x=1.5；y=0.3；z=0.3；r=0.3。
上述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
（1）按照化学组成 Al1.5CoCrNi0.3Mn0.3Mg0.3分别称取0.6mol铝粉、0.4mol钴粉、0.4mol铬粉、0.12mol镍粉、0.12mol锰粉与0.12mol镁粉，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
（2）将步骤（1）中称量好的金属粉末置于球磨罐中，加入适量的不锈钢球，然后在氮气环境下将放有金属粉末的球磨罐密封起来；接着将密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料，混料转速为100rpm，时间为4.5h；
（3）将步骤（2）中混合均匀的混合粉在氮气气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力6MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1300℃，保温0.7h，烧结完成即得多主元合金靶材。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明整体构思前提下，还可以作出若干改变和改进，这些也应该视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1. 一种多主元合金靶材，其特征在于：该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为 AlxCoCrNiyMnzMgr，0.2≤x≤1.5；0.2≤y≤1.5；0.2≤z≤1.5；0.2≤r≤1.5；0.05≤x/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤y/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤z/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤r/(x+y+z+r+2)≤0.35。
2.根据权利要求1所述的多主元合金靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
按照化学组成 AlxCoCrNiyMnzMgr分别称取Al、Co、Cr、Ni、Mn、Mg金属粉末，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5%，每种金属粉末的粒度均为200-500目；
将步骤（1）中各种金属粉末加入至球磨机中，惰性气体保护下进行球磨混料得到混合粉，混料转速为50-250rpm，时间为0.5-6h；
将步骤（2）中混合均匀的混合粉在惰性气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力5-10MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1100-1600℃，保温0.2-1h，烧结完成即得多主元合金靶材。
3.根据权利要求2所述的多主元合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤（2）中的惰性气体为氩气或氮气，步骤（3）中的惰性气体均为氩气或氮气。
4.根据权利要求2所述的多主元合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤（2）中的球磨机为行星式球磨机。
CN201710552040.0A 2017-07-07 2017-07-07 一种多主元合金靶材及其制备方法 Active CN107326333B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710552040.0A CN107326333B (zh) 2017-07-07 2017-07-07 一种多主元合金靶材及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710552040.0A CN107326333B (zh) 2017-07-07 2017-07-07 一种多主元合金靶材及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107326333A true CN107326333A (zh) 2017-11-07
CN107326333B CN107326333B (zh) 2019-05-10

Family

ID=60196968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710552040.0A Active CN107326333B (zh) 2017-07-07 2017-07-07 一种多主元合金靶材及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107326333B (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107760971A (zh) * 2017-11-13 2018-03-06 河南工钻业有限公司 一种多主元合金丝锥及其制备方法
CN108165868A (zh) * 2018-01-29 2018-06-15 中原工学院 一种高耐磨高强度刀具用多主元合金及其制备方法
CN108220743A (zh) * 2018-01-29 2018-06-29 中原工学院 一种多主元合金高耐磨刀具及其制备方法
CN108220744A (zh) * 2018-01-29 2018-06-29 中原工学院 一种高耐磨多主元合金齿轮及其制备方法
CN108277421A (zh) * 2018-01-29 2018-07-13 中原工学院 一种多主元合金高耐磨齿轮及其制备方法
CN108754274A (zh) * 2018-05-03 2018-11-06 中原工学院 用于刀具制造的高耐磨多主元合金块体材料及其制备方法
CN109355546A (zh) * 2018-11-19 2019-02-19 中原工学院 一种制作靶材用多主元合金及其制备方法
CN109385566A (zh) * 2018-12-06 2019-02-26 郑州启航精密科技有限公司 Pvd用高强高耐磨多主元合金涂层材料及其制备方法
CN110273092A (zh) * 2019-08-01 2019-09-24 重庆大学 一种CoCrNi颗粒增强镁基复合材料及其制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102766797A (zh) * 2011-05-04 2012-11-07 中国科学院金属研究所 一种多主元合金
CN106868381A (zh) * 2017-03-02 2017-06-20 中原工学院 一种涂层用多主元合金粉末及其制备方法
CN106893920A (zh) * 2017-03-02 2017-06-27 中原工学院 一种高耐磨性多主元合金刀具及其制备方法
CN106893923A (zh) * 2017-03-02 2017-06-27 中原工学院 一种刀具用多主元合金及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102766797A (zh) * 2011-05-04 2012-11-07 中国科学院金属研究所 一种多主元合金
CN106868381A (zh) * 2017-03-02 2017-06-20 中原工学院 一种涂层用多主元合金粉末及其制备方法
CN106893920A (zh) * 2017-03-02 2017-06-27 中原工学院 一种高耐磨性多主元合金刀具及其制备方法
CN106893923A (zh) * 2017-03-02 2017-06-27 中原工学院 一种刀具用多主元合金及其制备方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107760971A (zh) * 2017-11-13 2018-03-06 河南工钻业有限公司 一种多主元合金丝锥及其制备方法
CN108165868A (zh) * 2018-01-29 2018-06-15 中原工学院 一种高耐磨高强度刀具用多主元合金及其制备方法
CN108220743A (zh) * 2018-01-29 2018-06-29 中原工学院 一种多主元合金高耐磨刀具及其制备方法
CN108220744A (zh) * 2018-01-29 2018-06-29 中原工学院 一种高耐磨多主元合金齿轮及其制备方法
CN108277421A (zh) * 2018-01-29 2018-07-13 中原工学院 一种多主元合金高耐磨齿轮及其制备方法
CN108754274A (zh) * 2018-05-03 2018-11-06 中原工学院 用于刀具制造的高耐磨多主元合金块体材料及其制备方法
CN109355546A (zh) * 2018-11-19 2019-02-19 中原工学院 一种制作靶材用多主元合金及其制备方法
CN109355546B (zh) * 2018-11-19 2020-10-27 中原工学院 一种制作靶材用多主元合金及其制备方法
CN109385566A (zh) * 2018-12-06 2019-02-26 郑州启航精密科技有限公司 Pvd用高强高耐磨多主元合金涂层材料及其制备方法
CN109385566B (zh) * 2018-12-06 2019-12-10 郑州启航精密科技有限公司 Pvd用高强高耐磨多主元合金涂层材料及其制备方法
CN110273092A (zh) * 2019-08-01 2019-09-24 重庆大学 一种CoCrNi颗粒增强镁基复合材料及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107326333B (zh) 2019-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107326333B (zh) 一种多主元合金靶材及其制备方法
CN106893923B (zh) 一种刀具用多主元合金及其制备方法
US11850659B2 (en) High entropy alloy powder for laser cladding and application method thereof
WO2020206724A1 (zh) 激光熔化沉积制造用FeCrCuTiV高熵合金粉末及其制备方法
CN106893920B (zh) 一种高耐磨性多主元合金刀具及其制备方法
CN106435323A (zh) 一种氧化物弥散强化ods高熵合金及其制备方法
CN107841672B (zh) 含Re的高密度ReWTaMoNbx高熵合金材料及制备方法
CN104451277B (zh) 铬铝合金靶材及其制备方法
CN106868377A (zh) 高强度钼镍硼三元硼化物材料及其制作制备方法
CN105441765B (zh) 弹用高比重钨合金及其制备方法
CN105950944A (zh) 一种高熔点高熵合金NbMoTaWVTi及其制备方法
CN108165868A (zh) 一种高耐磨高强度刀具用多主元合金及其制备方法
CN106868381A (zh) 一种涂层用多主元合金粉末及其制备方法
CN111961906A (zh) 一种高强高韧耐蚀镍基复合材料的制备方法及所得产品
CN108546863A (zh) 一种多主元高温合金及其制备方法
CN107760971A (zh) 一种多主元合金丝锥及其制备方法
CN105063394A (zh) 一种钛或钛合金材料的制备方法
JPH0832934B2 (ja) 金属間化合物の製法
CN108179293A (zh) 一种钛基复合材料及其制备方法
CN105345007B (zh) 一种高致密铬钨合金靶材的制备方法
CN109518062A (zh) 一种高强高耐磨多主元高熵合金刀具及其制备方法
CN109385566A (zh) Pvd用高强高耐磨多主元合金涂层材料及其制备方法
CN116275010A (zh) 一种原位氮化物增强3d打印镍基高温合金粉末
CN109482880A (zh) 一种同时提升Ni-Mn-In合金力学性能和磁热性能的制备方法
CN109536811A (zh) 一种Ti（CN）基TN18金属陶瓷及其制备工艺

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant