CN107267950A - 一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法 - Google Patents

一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107267950A
CN107267950A CN201710276600.4A CN201710276600A CN107267950A CN 107267950 A CN107267950 A CN 107267950A CN 201710276600 A CN201710276600 A CN 201710276600A CN 107267950 A CN107267950 A CN 107267950A
Authority
CN
China
Prior art keywords
adjusting knob
direction adjusting
beam spot
crucible
module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710276600.4A
Other languages
English (en)
Inventor
王绍权
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SUZHOU TONGGUAN MICROELECTRONICS Co Ltd
Original Assignee
SUZHOU TONGGUAN MICROELECTRONICS Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SUZHOU TONGGUAN MICROELECTRONICS Co Ltd filed Critical SUZHOU TONGGUAN MICROELECTRONICS Co Ltd
Priority to CN201710276600.4A priority Critical patent/CN107267950A/zh
Publication of CN107267950A publication Critical patent/CN107267950A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/52—Means for observation of the coating process

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开了一种蒸发台束斑遥控盒，包括X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块分别与16针插排相连，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块分别通过继电器开关与可调电位器R1、R2、R3相连。本发明蒸发台束斑遥控盒及其控制方法，便于操作人员熔料时调节电子束功率和位置、确保产品成膜质量稳定可靠、减少设备受损的可能性。

Description

一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法
技术领域
本发明涉及半导体生产线的金属薄膜蒸发技术领域，特别是涉及一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法。
背景技术
在蒸发台熔料时的现有的操作方式是：操作人员旋开观察窗，打开高压和电流产生束斑后，需要一边观察束斑位置，一边扭头去调节功率和位置旋钮，为了防止电子束打偏，落到坩埚上，作业员需要来回频繁地挪动位置以便观察束斑和调节旋钮，尤其在新增了金属片之后，就需要不停地一下子靠近观察窗旋开观察窗挡板，一下子又远离观察窗去调节旋钮。导致操作员比较忙碌，而且容易将位置调偏出错，并且长时间连续调节旋钮后，操作员的手臂已经疲劳酸痛，影响调节速度和效果，严重的会导致束斑偏离，落到坩埚外壁，现在设备上就有好几个坩埚的铜壁被轰击而融化下垂，下垂太多会影响蒸发速率和金属膜质量，因此这种传统的方法存在影响产品质量和伤害设备部件的隐患。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述熔料操作方式中存在的缺陷，提供一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法，便于操作人员熔料时调节电子束功率和位置、确保产品成膜质量稳定可靠、减少设备受损的可能性。
本发明所要求解决的技术问题可以通过以下技术方案来实现：
一种蒸发台束斑遥控盒，包括X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块分别与16针插排相连，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块分别通过继电器开关与可调电位器R1、R2、R3相连，所述切换指示模块包括切换开关SW1，所述切换开关SW1一端与VCC相连，另一端分别与X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块的继电器线圈相连。
进一步地，所述VCC为+5V电源。
进一步地，所述切换指示模块包括发光二极管，所述发光二极管一端与切换开关SW1相连，另一端通过电阻接地。
进一步地，所述X方向调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。
进一步地，所述电流继电器的线圈反并联有二极管。
进一步地，所述Y方向调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。
进一步地，所述电流继电器的线圈反并联有二极管。
进一步地，所述功率调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。
进一步地，所述电流继电器的线圈反并联有二极管。
一种蒸发台束斑遥控盒控制方法，包括以下步骤：
S1、首先操作人员拨动坩埚选择开关，选择正确的坩埚号，然后打开坩埚冷却水，旋开观察窗，打开高压控制柜上的高压开关和电流开关；
S2、根据束斑在坩埚中的位置偏离情况，通过手动调节遥控盒的X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，使束斑可以按预期的要求落在坩埚中心；
S3、束斑位置已经确认在坩埚中心，继续缓慢调节遥控盒上的功率旋钮，使高压功率加大，功率要求以能够将坩埚中心位置的金属材料融化即可；
S4、坩埚中心的金属已经融化后，再缓慢调节X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，使坩埚里面金属材料的前后区域以及左右区域都能够完全融化；
S5、当整个坩埚里面的金属材料都已经完全融化，就反复用X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，前后左右来回往复的移动束斑位置，并通过微调遥控盒上的功率旋钮保持高压功率在刚好能够将金属融化的水平；根据金属材料的不同，如上重复扫描3到5分钟，金属即可完全融透；
S6、金属完全融透后，一个坩埚的融料工作就已经完成，先将电子束斑位置调整到坩埚中心，再将功率旋钮旋到最小，最后先关闭高压柜的电流开关，再关闭高压开关；等待坩埚冷却，冷却完成后，再选择另一个坩埚号，重复以上步骤，进行另一个坩埚的融料工作。
本发明的有益效果：一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法，便于操作人员熔料时调节电子束功率和位置、确保产品成膜质量稳定可靠、减少设备受损的可能性。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步说明：
图1是本发明遥控盒内部原理图；
图2是本发明控制方法流程图；
相关元件符号说明：
11：切换指示模块；12:X方向调节旋钮模块；13：Y方向调节旋钮模块；14：P调节旋钮模块；JP1：16针插排；VCC:+5V直流电源；SW1：切换开关；D1：发光二极管；R4：电阻；KA1：电流继电器；KA2：电流继电器；KA3：电流继电器；R1：可调电位器；R2：可调电位器；R3：可调电位器；D2：二极管；D3：二极管；D4：二极管。
具体实施方式
为了使本发明技术方案的内容和优势更加清楚明了，下面结合附图对本发明进一步描述。
结合图1，一种蒸发台束斑遥控盒，包括X方向调节旋钮模块12、Y方向调节旋钮模块13、功率调节旋钮模块14、切换指示模块11。X方向调节旋钮模块12、Y方向调节旋钮模块13、功率调节旋钮模块14、切换指示模块分别与16针插排JP1相连。X方向调节旋钮模块12、Y方向调节旋钮模块13、功率调节旋钮模块14分别通过继电器KA1、KA2、KA3的开关与可调电位器R1、R2、R3相连。切换指示模块11包括切换开关SW1，切换开关SW1一端与VCC相连，另一端分别与X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块的继电器KA1、KA2、KA3的线圈相连。VCC为可以+5V电源。切换指示模块11还包括发光二极管D1，发光二极管D1一端与切换开关SW1相连，另一端通过电阻R4接地。
X方向调节旋钮模块12、Y方向调节旋钮模块13、功率调节旋钮模块14中的继电器均为电流继电器，即KA1、KA2、KA3为电流继电器，电流继电器KA1、KA2、KA3的线圈分别反并联有二极管D2、D3、D4。
遥控盒上提供一个使能按钮SW1和三个相同功能的可调电位器R1、R2、R3,通过使能切换按钮实现电子束斑的高压柜内部控制和遥控控制的一键切换,同时当遥控盒起用时有一个LED指示灯D1指示遥控功能是否有效。
结合图2，蒸发台束斑遥控盒流程图，蒸发台束斑遥控盒控制方法，包括以下步骤：
S1、首先操作人员拨动坩埚选择开关，选择正确的坩埚号，然后打开坩埚冷却水，旋开观察窗，打开高压控制柜上的高压开关和电流开关；然后坐回正对观察窗的工作凳上，眼睛透过观察窗监视电子束斑形成情况；左手握持遥控盒，右手缓慢调节功率旋钮使电子束斑刚刚可以看见；
S2、根据束斑在坩埚中的位置偏离情况，通过手动调节遥控盒的X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，使束斑可以按预期的要求落在坩埚中心；
S3、束斑位置已经确认在坩埚中心，继续缓慢调节遥控盒上的功率旋钮，使高压功率加大，功率要求以能够将坩埚中心位置的金属材料融化即可；
S4、坩埚中心的金属已经融化后，再缓慢调节X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，使坩埚里面金属材料的前后区域以及左右区域都能够完全融化；
S5、当整个坩埚里面的金属材料都已经完全融化，就反复用X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，前后左右来回往复的移动束斑位置，并通过微调遥控盒上的功率旋钮保持高压功率在刚好能够将金属融化的水平；根据金属材料的不同，如上重复扫描3到5分钟，金属即可完全融透；
S6、金属完全融透后，一个坩埚的融料工作就已经完成，先将电子束斑位置调整到坩埚中心，再将功率旋钮旋到最小，最后先关闭高压柜的电流开关，再关闭高压开关；等待坩埚冷却，冷却完成后，再选择另一个坩埚号，重复以上步骤，进行另一个坩埚的融料工作。
本发明蒸发台束斑遥控盒及其控制方法，便于操作人员熔料时调节电子束功率和位置、确保产品成膜质量稳定可靠、减少设备受损的可能性。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (10)

1.一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：包括X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块分别与插排相连，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块分别通过继电器开关与可调电位器相连，所述切换指示模块包括切换开关，所述切换开关一端与电源相连，另一端分别与X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块的继电器线圈相连。
2.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述电源为+5V电源。
3.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述切换指示模块还包括发光二极管，所述发光二极管一端与切换开关相连，另一端通过电阻接地。
4.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述X方向调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。
5.按照权利要求4所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述电流继电器的线圈反并联有二极管。
6.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述Y方向调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。
7.按照权利要求6所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述电流继电器的线圈反并联有二极管。
8.按照权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述功率调节旋钮模块中的继电器为电流继电器。
9.按照权利要求8所述的一种蒸发台束斑遥控盒，其特征在于：所述电流继电器的线圈反并联有二极管。
10.如权利要求1所述的一种蒸发台束斑遥控盒控制方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、首先操作人员拨动坩埚选择开关，选择正确的坩埚号，然后打开坩埚冷却水，旋开观察窗，打开高压控制柜上的高压开关和电流开关；
S2、根据束斑在坩埚中的位置偏离情况，通过手动调节遥控盒的X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，使束斑可以按预期的要求落在坩埚中心；
S3、束斑位置已经确认在坩埚中心，继续缓慢调节遥控盒上的功率旋钮，使高压功率加大，功率要求以能够将坩埚中心位置的金属材料融化即可；
S4、坩埚中心的金属已经融化后，再缓慢调节X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，使坩埚里面金属材料的前后区域以及左右区域都能够完全融化；
S5、当整个坩埚里面的金属材料都已经完全融化，就反复用X方向调节旋钮、Y方向调节旋钮，前后左右来回往复的移动束斑位置，并通过微调遥控盒上的功率旋钮保持高压功率在刚好能够将金属融化的水平；根据金属材料的不同，如上重复扫描3到5分钟，金属即可完全融透；
S6、金属完全融透后，一个坩埚的融料工作就已经完成，先将电子束斑位置调整到坩埚中心，再将功率旋钮旋到最小，最后先关闭高压柜的电流开关，再关闭高压开关；等待坩埚冷却，冷却完成后，再选择另一个坩埚号，重复以上步骤，进行另一个坩埚的融料工作。
CN201710276600.4A 2017-04-25 2017-04-25 一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法 Pending CN107267950A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710276600.4A CN107267950A (zh) 2017-04-25 2017-04-25 一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710276600.4A CN107267950A (zh) 2017-04-25 2017-04-25 一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107267950A true CN107267950A (zh) 2017-10-20

Family

ID=60074226

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710276600.4A Pending CN107267950A (zh) 2017-04-25 2017-04-25 一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107267950A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2596512Y (zh) * 2002-12-20 2003-12-31 北京有色金属研究总院 计算机控制精密x－y移动台
JP2006331616A (ja) * 2005-04-28 2006-12-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd フォーカス制御調整方法および光ディスク装置
CN101619440A (zh) * 2009-07-29 2010-01-06 中国科学院上海光学精密机械研究所 计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法
JPWO2010125701A1 (ja) * 2009-04-27 2012-10-25 京セラ株式会社 移動ステージ、移動ステージを有する搬送装置および荷電粒子線装置
CN203178562U (zh) * 2013-04-16 2013-09-04 山东省立医院 遥控移动式显微镜工作台
CN103738882A (zh) * 2014-01-24 2014-04-23 长安大学 一种空间定位平台
CN105945422A (zh) * 2016-06-12 2016-09-21 西安中科微精光子制造科技有限公司 一种超快激光微细加工系统

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2596512Y (zh) * 2002-12-20 2003-12-31 北京有色金属研究总院 计算机控制精密x－y移动台
JP2006331616A (ja) * 2005-04-28 2006-12-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd フォーカス制御調整方法および光ディスク装置
JPWO2010125701A1 (ja) * 2009-04-27 2012-10-25 京セラ株式会社 移動ステージ、移動ステージを有する搬送装置および荷電粒子線装置
CN101619440A (zh) * 2009-07-29 2010-01-06 中国科学院上海光学精密机械研究所 计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法
CN203178562U (zh) * 2013-04-16 2013-09-04 山东省立医院 遥控移动式显微镜工作台
CN103738882A (zh) * 2014-01-24 2014-04-23 长安大学 一种空间定位平台
CN105945422A (zh) * 2016-06-12 2016-09-21 西安中科微精光子制造科技有限公司 一种超快激光微细加工系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
贾宝柱 等: "《轮机自动化基础》", 31 March 2011, 大连海事大学出版社 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107267950A (zh) 一种蒸发台束斑遥控盒及其控制方法
CN213125189U (zh) 一种配电柜用散热机构
CN105289927A (zh) 一种全自动喷漆机
CN107731607A (zh) 一种高压开关自动开合装置
CN109306519A (zh) 一种携带备用籽晶的蓝宝石晶体生长炉及其引晶方法
CN205304031U (zh) 一种智能低压配电柜
CN210074559U (zh) 一种电控柜用具有散热功能的底座
CN208965079U (zh) 一种半导体晶棒熔炼拉晶装置
CN109108432B (zh) 基于plc的多功能焊机控制器
CN207431535U (zh) 数控激光切割机
CN211170856U (zh) 一种升华磁控溅射镀膜一体机
CN205711032U (zh) 一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉
CN205325027U (zh) 基于成组技术的自动焊接装置
CN219581577U (zh) 一种原料钉搓丝机
CN217104140U (zh) 一种单晶硅棒拉拔调速装置
CN208304117U (zh) 火焰切割机自动定位装置
CN112265021A (zh) 一种带多工位切换功能的气动分切刀
CN112008202A (zh) 一种手工钨极氩弧焊细丝辅助送丝装置
CN212064700U (zh) 一种控制柜
CN217859430U (zh) 一种钣金用激光切割设备
CN110391080A (zh) 一种高精度自动浸锡装置
CN218300610U (zh) 一种便于安装更换的集装箱式柴油发电机组控制柜体
CN215316316U (zh) 用于母线热缩管切割的激光切割机
CN217823906U (zh) 一种散热效果好的控制柜
CN109047898A (zh) 一种便于固定的五金件切割机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20171020

RJ01 Rejection of invention patent application after publication