CN211170856U - 一种升华磁控溅射镀膜一体机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种升华磁控溅射镀膜一体机，属于溅射镀膜设备技术领域，包括蒸发室、工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置、定位压紧装置和控制柜，所述工件驱动装置上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒，所述承载筒能够在工件驱动装置的驱动下沿着蒸发室的长度方向移动，所述溅射镀膜装置的输出端罩设在承载筒上，所述水冷装置的输出端与蒸发室连通，所述工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置和定位压紧装置均与控制柜电性连接。本实用新型能实现对整个镀膜环境温度进行控制，提高镀膜完成物件的合格率，二者通过两组压紧部件以及抽真空设备持续实现蒸发室内真空效果，避免在镀膜过程中蒸发室内的真空程度不稳定。

Description

一种升华磁控溅射镀膜一体机

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜设备技术领域，特别涉及一种升华磁控溅射镀膜一体机。

背景技术

目前市场上生产LCD、OLED、TP等元器件中材料很多例如：SiO2、SIN、TiO2、ITO、IZO、金属等常用膜层材料都会用到真空磁控溅射镀膜机(PVD)；真空溅镀设备一般由阴极系统，真空系统、传送系统等部分组成；真空镀膜的核心在于连续稳定的真空腔体中制备均匀的所需膜层，目前的设备和基板都往大尺寸方向发展，就需要更少的真空腔体开腔频率，更均匀的膜层均匀行来保证设备高效稳定的运行。

磁控溅射镀膜在该领域是一种大面积的镀膜技术，被镀工件的镀膜面积大到几平方米，一套镀膜设备要考虑整个生产能力和质量的平稳，它所面临的主要问题有，一方面现有设备实际对物件镀膜过程中，存在镀膜环境温度控制不精准，真空环境保持不稳定的情况发生，另一方面，现有设备只能完成单种模式的真空镀膜作业，无法根据需要完成多种形式的镀膜作业。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种升华磁控溅射镀膜一体机。

为解决上述问题，本实用新型提供以下技术方案：一种升华磁控溅射镀膜一体机，包括蒸发室、工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置、定位压紧装置和控制柜，所述定位压紧装置分别设置在蒸发室的两端，所述溅射镀膜装置和工件驱动装置均设置在蒸发室内，所述工件驱动装置上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒，所述承载筒能够在工件驱动装置的驱动下沿着蒸发室的长度方向移动，所述溅射镀膜装置的输出端罩设在承载筒上，所述水冷装置的输出端与蒸发室连通，所述工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置和定位压紧装置均与控制柜电性连接。

所述蒸发室包括呈圆柱形结构的箱体、机架和两个门板，所述机架安装在箱体的底部，两个所述门板分别与箱体的两侧铰接，每个所述门板的内侧壁上均设有能与箱体内侧壁紧密贴合的密封橡胶圈，每个所述门板上均设有观察窗，所述水冷装置包括通水护罩、冷水接入管道和热水接入管道，所述通水护罩包裹在箱体的外部，所述冷水接入管道和热水接入管道分别与通水护罩的两端连通。

所述溅射镀膜装置包括升华组件、磁控溅射组件和工件烘烤组件，所述工件烘烤组件设置在箱体的内侧壁上，所述磁控溅射组件安装在箱体内且与承载筒的位置对接，所述升华组件安装在两个门板上且其输出端贯穿门板，最终设置在门板的内侧壁上。

所述工件烘烤组件包括若干组沿着箱体的轴线方向间隔设置的环形加热网，每个所述环形加热网均安装在箱体的内侧壁上，所述磁控溅射组件包括第一溅射电源、第二溅射电源和挡板部，所述第一溅射电源和第二溅射电源分别设置在箱体内部的两端，所述挡板部设置在箱体内且罩设在承载筒上。

所述工件驱动装置包括移动承载部件、竖向定位部件和横向驱动部件，所述移动承载部件设置在箱体内且设置方向与箱体的延伸方向相同，所述承载筒设置在移动承载部件的顶部，所述移动承载部件安装在横向驱动部件的输出端上，所述竖向定位部件安装在机架的顶部且输出端向箱体内延伸，所述横向驱动部件与竖向定位部件传动连接。

所述移动承载部件包括承载小车、承载驱动组件和两个承载传动组件，两个所述承载传动组件对称安装在箱体内底部，所述承载驱动组件与其中一个承载传动组件传动连接，两个承载传动组件之间构成供承载筒装载的容纳空间，所述承载小车设置在两个承载传动组件之间，在安装状态下，所述承载筒与承载小车的顶部紧密贴合。

每个所述承载传动组件包括传动主轴、传动套轴和两个第一轴承座，两个所述第一轴承座对称安装在箱体内底部的两端，所述传动套轴的两端分别与两个第一轴承座转动连接，所述传动主轴贯穿传动套轴设置且与传动套轴的内部空间紧密贴合，所述承载驱动组件包括第一伞齿、第二伞齿和第一驱动电机，所述第一伞齿套设在其中一个传动主轴上，所述第一伞齿与第二伞齿啮合，所述第一驱动电机安装在箱体内，所述第二伞齿与第一驱动电机的主轴固定连接。

所述竖向定位组件包括横向定位板、驱动定位板、薄型气缸和三个延伸驱动座，三个所述延伸驱动座间隔设置在箱体外底部，每个所述延伸驱动座的输出端沿着竖直方向贯穿箱体且向其内部延伸，所述横向定位板设置在箱体内底部且与三个延伸驱动座的输出端固定连接，所述驱动定位板设置在其中两个延伸驱动座的底部且位于机架的顶部，所述薄型气缸设置在机架上，所述薄型气缸的输出端与驱动定位板的底部固定连接。

所述横向驱动组件包括第二驱动电机、第三伞齿、第四伞齿和两个滑动辅助部，两个所述滑动辅助部对称设置在箱体内底部且位于承载传动组件的下方，每个所述滑动辅助部包括滑动导轨和两个第二轴承座，两个第二轴承座安装在横向定位板顶部的两端，所述滑动导轨安装在两个第二轴承座上，所述第三伞齿安装在其中一个滑动导轨的端部，所述第二驱动电机安装在机架上且输出轴竖直向上，最终贯穿箱体向其内部延伸，所述第四伞齿安装在第二驱动电机的主轴上，所述第三伞齿与第四伞齿啮合。

所述定位压紧装置包括两组压紧部件，两组所述压紧部件分别设置在两个箱门上，每个所述压紧部件包括矩形箱体、定位压紧板和横向驱动气缸，所述矩形箱体设置在箱门的外侧壁上，所述定位压紧板安装在矩形箱体的内部，所述横向驱动气缸安装在矩形箱体的上，且输出端与定位压紧板的侧壁固定连接，所述定位压紧板与箱门的外侧壁固定连接。

有益效果：第一，本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修，整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装；蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热或冷却，则能实现对整个镀膜环境温度进行控制，提高镀膜完成物件的合格率，二者通过两组压紧部件以及抽真空设备持续实现蒸发室内真空效果，避免在镀膜过程中蒸发室内的真空程度不稳定。

蒸发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头，阀门采用气动，操作极为方便，使用可靠，采用水冷挡板可防止扩散泵返油，蒸发室抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降到极低的程度；

本设备配备的抽气元件抽速较大，主机与控电柜独立，采用积木化设计，各功能模块可根据不同用途任意组合，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等优点。

第二，该镀膜机适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜、电子工业蒸镀各种金属薄膜、光学工业蒸镀各种介质膜、微电子及光学成膜技术领域；是开展各种薄膜工艺研究的理想设备。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的局部结构示意图一；

图3为本实用新型的局部结构示意图二；

图4为本实用新型的局部剖视图一；

图5为本实用新型的局部剖视图二。

附图标记说明：蒸发室1，箱体1a，机架1b，门板1c，工件驱动装置2，承载小车2a，承载驱动组件2b，第一伞齿2b1，第二伞齿2b2，承载传动组件2c，传动主轴2c1，传动套轴2c2，第一轴承座2c3，横向定位板2d，驱动定位板2e，薄型气缸2f，延伸驱动座2g，第二驱动电机2h，第三伞齿2i，第四伞齿2j，滑动辅助部2k，滑动导轨2k1，第二轴承座2k2，溅射镀膜装置3，水冷装置4，定位压紧装置5，控制柜6，承载筒7，矩形箱体8，定位压紧板9，横向驱动气缸10。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1至图5所示的一种升华磁控溅射镀膜一体机，包括蒸发室1、工件驱动装置2、溅射镀膜装置3、水冷装置4、定位压紧装置5和控制柜6，所述定位压紧装置5分别设置在蒸发室1的两端，所述溅射镀膜装置3和工件驱动装置2均设置在蒸发室1内，所述工件驱动装置2上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒7，所述承载筒7能够在工件驱动装置2的驱动下沿着蒸发室1的长度方向移动，所述溅射镀膜装置3的输出端罩设在承载筒7上，所述水冷装置4的输出端与蒸发室1连通，所述工件驱动装置2、溅射镀膜装置3、水冷装置4和定位压紧装置5均与控制柜6电性连接，工作原理：两种镀膜方式，其一，电阻蒸发是将膜材置于由金属制成的真空室内，通过电阻蒸发源加热使其蒸发，当蒸发分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后，蒸汽的原子和分子从蒸发源表面逸出后，很少受到其它分子或原子的冲击与阻碍，可直接到达被镀的基片表面上，由于基片温度较低，便凝结其上而成膜，电子束蒸发是利用在一定真空条件下，加负高压产生电子束，通过特定磁场的作用，按照一定的路线，轰击氩原子，产生正的氩离子，高速跑向靶材表面，溅射出靶原子沉积在基材上，完成镀膜，由于离子溅射能量大，镀膜致密性很好，其二，电子束蒸发是利用在一定真空条件下，加负高压产生电子束，通过特定磁场的作用，按照一定的路线，轰击氩原子，产生正的氩离子，高速跑向靶材表面，溅射出靶原子沉积在基材上，完成镀膜，由于离子溅射能量大，镀膜致密性很好；

本设备的控电柜采用了大板结构和新型可编程控制器PLC比以前的结构更合理，显示直观全面，操作简单，维修方便；通过优化的程序控制，可以避免手动可能造成的误操作，提高了设备的安全和可靠性。

控电柜正面板上安装了直流溅射电源、射频溅射电源、真空计、数字温控仪、电位器及操作开关和指示灯，通过表头和指示灯可观测机器工作参数和状态。面板上还装有触摸屏，通过上面的触摸按钮可以方便的对整机进行真空及其他操作。

控电柜内部为电器板，安装真空系统控制元件，工转调速器、烘烤、阻蒸用调功器及转接用接线座。

本设备的电气，其电源为220V/380V，50Hz的交流电源，经总开关空气断路器接至各部份，在控电箱下方有三个三相电源指示灯，各个分路均有独立的控制部份详见电气原理图。

该设备所有电气除个别元件如：电阻蒸发变压器装在主机骨架内外，均安装在670×1480×2000mm的控电箱内。

该机所用机械泵为3.7KW，为防止中途突然停电，特设置机械泵放气阀。扩散泵由于功率较大，采用三相加热共6~8KW，有指示灯示意其工作状态，同时在线路中设有水流监控器，在水压不足时，能自动发出警报；工件的转动由一交流电机传动，其转速可调；基片烘烤功率为6KW，温度的控制和测量利用可控硅调整和数字式温度指示仪配合，可自动升温控制，为确保设备安全可靠工作，主机和控电箱必须可靠接地，并均有接地螺钉和“接地” 标牌，另外主机和控电箱均有门开关，防止高压不安全事故发生，只有当各个门全部妥然关上后才能接通高压电源。

所述蒸发室1包括呈圆柱形结构的箱体1a、机架1b和两个门板1c，所述机架1b安装在箱体1a的底部，两个所述门板1c分别与箱体1a的两侧铰接，每个所述门板1c的内侧壁上均设有能与箱体1a内侧壁紧密贴合的密封橡胶圈，每个所述门板1c上均设有观察窗，所述水冷装置4包括通水护罩、冷水接入管道和热水接入管道，所述通水护罩包裹在箱体1a的外部，所述冷水接入管道和热水接入管道分别与通水护罩的两端连通，由箱体1a和门组成。两者用铰链连接，“O”型真空橡胶圈密封，密封压力主要依靠作用于门上面的大气压力，预压力通过门上面的压紧机构作用产生。箱体1a底盘上有多个φ33．5mm孔，可用来安装其它接头，门上各有1个直径为80mm的观察窗，观察工件镀膜情况，观察蒸发源工作情况；蒸发室1全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热或冷却。蒸发室1底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头。阀门采用气动，操作极为方便。使用可靠。采用水冷挡板可防止扩散泵返油。蒸发室1抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室1的油污染降到极低的程度。本设备配备的抽气元件抽速较大，主机与控电柜独立，采用积木化设计，各功能模块可根据不同用途任意组合。因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等优点。

所述溅射镀膜装置3包括升华组件、磁控溅射组件和工件烘烤组件，所述工件烘烤组件设置在箱体1a的内侧壁上，所述磁控溅射组件安装在箱体1a内且与承载筒7的位置对接，所述升华组件安装在两个门板1c上且其输出端贯穿门板1c，最终设置在门板1c的内侧壁上。

所述工件烘烤组件包括若干组沿着箱体1a的轴线方向间隔设置的环形加热网，每个所述环形加热网均安装在箱体1a的内侧壁上，所述磁控溅射组件包括第一溅射电源、第二溅射电源和挡板部，所述第一溅射电源和第二溅射电源分别设置在箱体1a内部的两端，所述挡板部设置在箱体1a内且罩设在承载筒7上，第一溅射电源和第二溅射电源能够分别采用有5KW的直流溅射电源跟1KW的交流溅射电源，以完成溅射电源的设置。

所述工件驱动装置2包括移动承载部件、竖向定位部件和横向驱动部件，所述移动承载部件设置在箱体1a内且设置方向与箱体1a的延伸方向相同，所述承载筒7设置在移动承载部件的顶部，所述移动承载部件安装在横向驱动部件的输出端上，所述竖向定位部件安装在机架1b的顶部且输出端向箱体1a内延伸，所述横向驱动部件与竖向定位部件传动连，由位于蒸发室1侧部的横向驱动部件。横向驱动部件内的第二驱动电机2h的传动，通过齿轮减速，带动工件架转动，第二驱动电机2h可以无级调速，方便客户任意需求，而且转动非常平稳。

所述移动承载部件包括承载小车2a、承载驱动组件2b和两个承载传动组件2c，两个所述承载传动组件2c对称安装在箱体1a内底部，所述承载驱动组件2b与其中一个承载传动组件2c传动连接，两个承载传动组件2c之间构成供承载筒7装载的容纳空间，所述承载小车2a设置在两个承载传动组件2c之间，在安装状态下，所述承载筒7与承载小车2a的顶部紧密贴合，当需要同步移动承载筒7和承载小车2a时，通过承载驱动组件2b带动其中一个承载传动组件2c转动，因为承载筒7的底部均与两个承载传动组件2c紧密贴合，又因为横向驱动部件与承载小车2a连接，当横向驱动部件和承载驱动组件2b同步作业时，则能带动承载筒7和承载小车2a同步移动。

每个所述承载传动组件2c包括传动主轴2c1、传动套轴2c2和两个第一轴承座2c3，两个所述第一轴承座2c3对称安装在箱体1a内底部的两端，所述传动套轴2c2的两端分别与两个第一轴承座2c3转动连接，所述传动主轴2c1贯穿传动套轴2c2设置且与传动套轴2c2的内部空间紧密贴合，所述承载驱动组件2b包括第一伞齿2b1、第二伞齿2b2和第一驱动电机，所述第一伞齿2b1套设在其中一个传动主轴2c1上，所述第一伞齿2b1与第二伞齿2b2啮合，所述第一驱动电机安装在箱体1a内，所述第二伞齿2b2与第一驱动电机的主轴固定连接，通过第一驱动电机带动第二伞齿2b2转动，因为第一伞齿2b1与第二伞齿2b2啮合，则能带动第一伞齿2b1转动，则能带动其中一个传动主轴2c1转动，则能带动承载筒7在两个传动套轴2c2上的移动。

所述竖向定位组件包括横向定位板2d、驱动定位板2e、薄型气缸2f和三个延伸驱动座2g，三个所述延伸驱动座2g间隔设置在箱体1a外底部，每个所述延伸驱动座2g的输出端沿着竖直方向贯穿箱体1a且向其内部延伸，所述横向定位板2d设置在箱体1a内底部且与三个延伸驱动座2g的输出端固定连接，所述驱动定位板2e设置在其中两个延伸驱动座2g的底部且位于机架1b的顶部，所述薄型气缸2f设置在机架1b上，所述薄型气缸2f的输出端与驱动定位板2e的底部固定连接，当需要微调整个承载筒7在箱体1a内的位置时，通过薄型气缸2f带动驱动定位板2e移动，因为延伸驱动座2g安装在驱动定位板2e上，又因为横向定位板2d安装在延伸驱动座2g的输出端处，则能带动横向定位板2d沿着竖直方向移动，又因为横向驱动组件安装在横向定位板2d上，则能带动承载筒7在箱体1a内进行位置的微调。

所述横向驱动组件包括第二驱动电机2h、第三伞齿2i、第四伞齿2j和两个滑动辅助部2k，两个所述滑动辅助部2k对称设置在箱体1a内底部且位于承载传动组件2c的下方，每个所述滑动辅助部2k包括滑动导轨2k1和两个第二轴承座2k2，两个第二轴承座2k2安装在横向定位板2d顶部的两端，所述滑动导轨2k1安装在两个第二轴承座2k2上，所述第三伞齿2i安装在其中一个滑动导轨2k1的端部，所述第二驱动电机2h安装在机架1b上且输出轴竖直向上，最终贯穿箱体1a向其内部延伸，所述第四伞齿2j安装在第二驱动电机2h的主轴上，所述第三伞齿2i与第四伞齿2j啮合，通过第二驱动电机2h带动第四伞齿2j转动，因为第四伞齿2j与第三伞齿2i啮合，则能带动第三伞齿2i转动，因为第三伞齿2i套设在其中一个滑动导轨2k1上，则能带动滑动导轨2k1转动，实现对承载小车2a的驱动。

所述定位压紧装置5包括两组压紧部件，两组所述压紧部件分别设置在两个箱门上，每个所述压紧部件包括矩形箱体8、定位压紧板9和横向驱动气缸10，所述矩形箱体8设置在箱门的外侧壁上，所述定位压紧板9安装在矩形箱体8的内部，所述横向驱动气缸10安装在矩形箱体8的上，且输出端与定位压紧板9的侧壁固定连接，所述定位压紧板9与箱门的外侧壁固定连接，在需要压紧状态时，通过横向驱动气缸10带动定位压紧板9沿着水平方向移动，则能带动定位压紧板9箱箱门的外侧壁移动，实现在真空状态下，进一步对箱门的紧压，保持在镀膜状态下，箱体1a内的真空状态的稳定。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作出任何限制，故凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：包括蒸发室（1）、工件驱动装置（2）、溅射镀膜装置（3）、水冷装置（4）、定位压紧装置（5）和控制柜（6），所述定位压紧装置（5）分别设置在蒸发室（1）的两端，所述溅射镀膜装置（3）和工件驱动装置（2）均设置在蒸发室（1）内，所述工件驱动装置（2）上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒（7），所述承载筒（7）能够在工件驱动装置（2）的驱动下沿着蒸发室（1）的长度方向移动，所述溅射镀膜装置（3）的输出端罩设在承载筒（7）上，所述水冷装置（4）的输出端与蒸发室（1）连通，所述工件驱动装置（2）、溅射镀膜装置（3）、水冷装置（4）和定位压紧装置（5）均与控制柜（6）电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述蒸发室（1）包括呈圆柱形结构的箱体（1a）、机架（1b）和两个门板（1c），所述机架（1b）安装在箱体（1a）的底部，两个所述门板（1c）分别与箱体（1a）的两侧铰接，每个所述门板（1c）的内侧壁上均设有能与箱体（1a）内侧壁紧密贴合的密封橡胶圈，每个所述门板（1c）上均设有观察窗，所述水冷装置（4）包括通水护罩、冷水接入管道和热水接入管道，所述通水护罩包裹在箱体（1a）的外部，所述冷水接入管道和热水接入管道分别与通水护罩的两端连通。

3.根据权利要求2所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述溅射镀膜装置（3）包括升华组件、磁控溅射组件和工件烘烤组件，所述工件烘烤组件设置在箱体（1a）的内侧壁上，所述磁控溅射组件安装在箱体（1a）内且与承载筒（7）的位置对接，所述升华组件安装在两个门板（1c）上且其输出端贯穿门板（1c），最终设置在门板（1c）的内侧壁上。

4.根据权利要求3所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述工件烘烤组件包括若干组沿着箱体（1a）的轴线方向间隔设置的环形加热网，每个所述环形加热网均安装在箱体（1a）的内侧壁上，所述磁控溅射组件包括第一溅射电源、第二溅射电源和挡板部，所述第一溅射电源和第二溅射电源分别设置在箱体（1a）内部的两端，所述挡板部设置在箱体（1a）内且罩设在承载筒（7）上。

5.根据权利要求4所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述工件驱动装置（2）包括移动承载部件、竖向定位部件和横向驱动部件，所述移动承载部件设置在箱体（1a）内且设置方向与箱体（1a）的延伸方向相同，所述承载筒（7）设置在移动承载部件的顶部，所述移动承载部件安装在横向驱动部件的输出端上，所述竖向定位部件安装在机架（1b）的顶部且输出端向箱体（1a）内延伸，所述横向驱动部件与竖向定位部件传动连接。

6.根据权利要求5所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述移动承载部件包括承载小车（2a）、承载驱动组件（2b）和两个承载传动组件（2c），两个所述承载传动组件（2c）对称安装在箱体（1a）内底部，所述承载驱动组件（2b）与其中一个承载传动组件（2c）传动连接，两个承载传动组件（2c）之间构成供承载筒（7）装载的容纳空间，所述承载小车（2a）设置在两个承载传动组件（2c）之间，在安装状态下，所述承载筒（7）与承载小车（2a）的顶部紧密贴合。

7.根据权利要求6所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：每个所述承载传动组件（2c）包括传动主轴（2c1）、传动套轴（2c2）和两个第一轴承座（2c3），两个所述第一轴承座（2c3）对称安装在箱体（1a）内底部的两端，所述传动套轴（2c2）的两端分别与两个第一轴承座（2c3）转动连接，所述传动主轴（2c1）贯穿传动套轴（2c2）设置且与传动套轴（2c2）的内部空间紧密贴合，所述承载驱动组件（2b）包括第一伞齿（2b1）、第二伞齿（2b2）和第一驱动电机，所述第一伞齿（2b1）套设在其中一个传动主轴（2c1）上，所述第一伞齿（2b1）与第二伞齿（2b2）啮合，所述第一驱动电机安装在箱体（1a）内，所述第二伞齿（2b2）与第一驱动电机的主轴固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述竖向定位组件包括横向定位板（2d）、驱动定位板（2e）、薄型气缸（2f）和三个延伸驱动座（2g），三个所述延伸驱动座（2g）间隔设置在箱体（1a）外底部，每个所述延伸驱动座（2g）的输出端沿着竖直方向贯穿箱体（1a）且向其内部延伸，所述横向定位板（2d）设置在箱体（1a）内底部且与三个延伸驱动座（2g）的输出端固定连接，所述驱动定位板（2e）设置在其中两个延伸驱动座（2g）的底部且位于机架（1b）的顶部，所述薄型气缸（2f）设置在机架（1b）上，所述薄型气缸（2f）的输出端与驱动定位板（2e）的底部固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述横向驱动组件包括第二驱动电机（2h）、第三伞齿（2i）、第四伞齿（2j）和两个滑动辅助部（2k），两个所述滑动辅助部（2k）对称设置在箱体（1a）内底部且位于承载传动组件（2c）的下方，每个所述滑动辅助部（2k）包括滑动导轨（2k1）和两个第二轴承座（2k2），两个第二轴承座（2k2）安装在横向定位板（2d）顶部的两端，所述滑动导轨（2k1）安装在两个第二轴承座（2k2）上，所述第三伞齿（2i）安装在其中一个滑动导轨（2k1）的端部，所述第二驱动电机（2h）安装在机架（1b）上且输出轴竖直向上，最终贯穿箱体（1a）向其内部延伸，所述第四伞齿（2j）安装在第二驱动电机（2h）的主轴上，所述第三伞齿（2i）与第四伞齿（2j）啮合。

10.根据权利要求1所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述定位压紧装置（5）包括两组压紧部件，两组所述压紧部件分别设置在两个箱门上，每个所述压紧部件包括矩形箱体（8）、定位压紧板（9）和横向驱动气缸（10），所述矩形箱体（8）设置在箱门的外侧壁上，所述定位压紧板（9）安装在矩形箱体（8）的内部，所述横向驱动气缸（10）安装在矩形箱体（8）的上，且输出端与定位压紧板（9）的侧壁固定连接，所述定位压紧板（9）与箱门的外侧壁固定连接。

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