CN107263035A - 一种高平面度金属超薄板的加工方法 - Google Patents

一种高平面度金属超薄板的加工方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种高平面度金属超薄板的加工方法，通过将初始毛坯厚度方向的一侧通过机械加工工艺去除部分材料，加工成镂空毛坯，镂空毛坯的镂空侧作为后续加工的镂空支撑结构；镂空毛坯的另一侧作为后续的超薄板零件毛坯。镂空支撑结构使零件内部的残余应力得到有效释放，结合去应力退火工艺，使得厚金属板切出超薄板时，由于内部残余应力释放引起的翘曲变形能够得到有效控制；本发明通过在支撑结构上加工孔结构或槽结构，通过毛细作用渗胶，有效减小了胶层厚度和粘结变形，使得夹持变形得到有效控制；同时，通过同种材料基板上盘，减小了加工过程中温度梯度引起的热变形；本发明采用石蜡或松香蜡粘接，不采用电磁吸盘，可用于加工非铁磁性材料。

Description

一种高平面度金属超薄板的加工方法
技术领域
本发明涉及一种高平面度金属超薄板的加工方法，属于磨粒加工领域。
背景技术
目前，金属超薄板类零件的应用范围非常广泛，其尺寸精度和形位精度往往对于零件使用性能有很大的影响。这类零件常见的有垫圈、摩擦片、样板和超薄反射镜等。薄板零件厚度比长度(或直径)小一个甚至两个量级以上，最典型的力学特性是刚度极低，在加工过程中各种力和温度引起的变形非常明显。薄板加工过程中为了增加刚度，要通过上盘工艺将待加工件和支撑结构固定，在加工结束后再通过下盘工艺将工件和支撑结构分离，上盘、下盘前后的工件夹持变形不稳定给面形控制带来很大困难。磨削、研磨和抛光是加工高平面度薄板零件的常用工艺流程。为了获得高平面度的薄板零件，相比常规小径厚比零件，必须解决各工艺流程中的工件夹持变形、温度不均匀引起的热变形和加工损伤引起的应力变形三个问题。此外，由于金属零件的内应力状态相比光学零件常用的单晶或陶瓷类材料更加复杂，在加工过程中残余应力释放也对金属薄板的加工带来诸多困难。四种因素复合作用使得金属薄板高平面度表面的加工面临诸多难题，因此，提出一种普适性的方法解决高平面度金属薄板的加工具有十分重要的意义。
针对高平面度薄板的加工问题，国内外学者和工程技术人员做了大量的研究工作，其中以光学领域的透明薄片加工工艺最为成熟。苏瑛等在《应用光学》杂志的2009年第30卷第1期，第93-95页发表的《增厚-光胶法控制超薄、变形平面零件的加工工艺研究》一文中详细介绍了目前最主流的透明薄片加工工艺，在该工艺方法中，主要通过增厚零件原始厚度、采用传统工艺方法加工出其中一个表面，再以该面为基准面，采用光胶上盘，将零件磨削减薄到指定厚度，按传统工艺加工出要求面形精度后下盘。在该方法中，一方面，通过增加原始厚度减小了第一个面的高平面度加工难度，另一方面，通过光胶上盘有效减少了因粘结变形引起的工件夹持变形，确保第二个面加工下盘后没有过大的附加变形。这种方法可以成功加工出具有高面形精度要求的透明光学超薄板，但应用于金属超薄板加工时又遇到诸多问题。首先，增厚零件磨削或研磨减薄过程中，由于金属零件内部残余应力的存在，减薄后应力释放，会产生亚毫米甚至毫米量级的变形，而类似情况在单晶类光学元件材料中很少发生，单晶类材料制备过程中的内部残余应力较金属材料小2-3个量级以上。其次，金属材料非透明，无法采用能够有效减小胶结变形的光胶技术上盘。所以，现有增厚原始零件厚度和光胶上盘技术结合的超薄板加工方法无法实现高平面度金属超薄板的加工。
中国专利号CN201710089820.6公开了周平等人的《一种粘弹性垫的制作方法及薄板类工件平面磨削方法》，通过粘弹性垫减小电磁吸盘对薄板工件的吸附夹持变形，采用平面磨床加工金属薄板工件，获得了面形精度达到PV 5.5m的薄钢板(薄钢板长110mm、宽100mm、厚5mm)，然而，该技术用于更大径厚比的超薄板时，夹持变形以及磨削残余应力引起的变形都变得非常难以控制，此外，这种方法只适用于铁磁性材料薄板加工。
发明内容
为解决现有技术存在的上述问题，本发明要设计一种能实现以下目的的高平面度金属超薄板的加工方法：
1、厚金属板切出超薄板时，由于内部残余应力释放引起的翘曲变形能够得到有效控制；
2、非透明金属材料胶结上盘时，夹持变形能够得到有效控制；
3、用于径厚比大于25的超薄板时，磨削残余应力引起的变形易于控制；
4、适用于非铁磁性金属材料的薄板加工。
为实现以上目的，本发明的技术方案如下：一种高平面度金属超薄板的加工方法，包括以下步骤：
A、将初始毛坯厚度方向的一侧通过机械加工工艺去除部分材料，加工成镂空毛坯，镂空毛坯的镂空侧作为后续加工的镂空支撑结构；镂空毛坯的另一侧作为后续的超薄板零件毛坯；超薄板零件毛坯的厚度为目标厚度t与加工厚度余量Δt之和，初始毛坯总厚度为h，镂空支撑结构的镂空深度为h-t-Δt；
B、对镂空毛坯进行去应力退火；
C、通过磨削、研磨和抛光工艺依序对镂空毛坯的超薄板零件毛坯一侧的表面进行精密加工，使面形精度达到要求，最后一道抛光工艺将磨削和研磨产生的划痕去除；
D、采用线切割工艺将镂空支撑结构与超薄板零件毛坯切开，对超薄板零件毛坯的线切割面进行磨削和研磨加工，快速去除线切割损伤层，再进行化学腐蚀或电化学腐蚀，将残余损伤彻底去除，形成超薄板零件毛坯研磨面；
E、对镂空支撑结构的线切割面进行磨削和研磨加工，形成镂空支撑结构研磨面，并对镂空支撑结构研磨面进行清洗；
F、将镂空支撑结构研磨面压到超薄板零件毛坯研磨面上，整体加热；加热温度控制在80-120℃之间，使石蜡或松香蜡熔化在镂空支撑结构研磨面和超薄板零件毛坯研磨面的接触面边缘，通过毛细作用渗透于镂空支撑结构研磨面和超薄板零件毛坯研磨面的接触面间；将镂空支撑结构和超薄板零件毛坯在保持相对位置不变条件下整体翻转，使超薄板零件毛坯位于镂空支撑结构上方，自然冷却至室温；
G、对固定到镂空支撑结构上的超薄板零件毛坯外表面依序进行磨削、研磨和抛光加工，达到预期面形精度；
H、加热使石蜡或松香蜡融化，将超薄板零件毛坯和支撑结构分离，对超薄板零件毛坯进行清洗，此时的超薄板零件毛坯即为高平面度金属超薄板。
进一步地，所述的初始毛坯的径厚比即最大尺寸与总厚度比为2-10。
进一步地，所述的镂空支撑结构为孔结构或槽结构。
进一步地，所述的镂空支撑结构内部任意一点距离零件表面的最短距离小于超薄板零件毛坯厚度的两倍，超薄板零件毛坯和镂空支撑结构粘结后，局部无支撑区域的最大尺寸小于超薄板零件毛坯厚度的5倍。
进一步地，所述的磨削和研磨两道工艺用固结磨料研磨盘研磨工艺代替。
进一步地，步骤C所述的线切割用丝锯切割代替。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
1、本发明通过将初始毛坯厚度方向的一侧通过机械加工工艺去除部分材料，加工成镂空毛坯，镂空毛坯的镂空侧作为后续加工的镂空支撑结构；镂空毛坯的另一侧作为后续的超薄板零件毛坯；使零件内部的残余应力得到有效释放，结合去应力退火工艺，使得厚金属板切出超薄板时，由于内部残余应力释放引起的翘曲变形能够得到有效控制；
2、本发明通过在支撑结构上加工孔结构或槽结构，通过毛细作用渗胶，有效减小了胶层厚度和粘结变形，使得夹持变形得到有效控制；同时，通过同种材料基板上盘，减小了加工过程中温度梯度引起的热变形；
3、本发明中每一次加工都通过腐蚀或抛光工艺将表面损伤层去除，避免了不同加工工艺结束后表面损伤层厚度和残余应力差异导致的面形不稳定；
4、本发明采用石蜡或松香蜡粘接将超薄板零件毛坯固定到镂空支撑结构上，不采用电磁吸盘，可用于加工非铁磁性材料。
附图说明
图1是将镂空毛坯切割成超薄板零件毛坯和镂空支撑结构示意图。
图2是通过平面度仪测量的上盘前超薄板面形测量结果；
图3是通过平面度仪测量的上盘后超薄板面形测量结果；
图4是通过平面度仪测量的下盘前超薄板面形测量结果。
图5是通过平面度仪测量的下盘前超薄板面形测量结果。
图中：1、镂空毛坯，2、超薄板零件毛坯，3、镂空支撑结构。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例来对本发明进行详细的说明。
一种试验用超薄铜板，材料为T2纯铜，要求直径150mm，厚度3mm，径厚比50，在有效直径120mm范围内面形精度达到PV<10m。
初始铜块尺寸为直径150mm，厚20mm，一面采用铣削工艺加工深度16.5mm等效直径6-10mm的盲孔，孔间壁厚2mm，另一面留下3.5mm厚的完整铜板，形成镂空毛坯1。对镂空毛坯1进行去应力退火消除残余应力，退火温度280℃，保温4小时，炉冷。镂空支撑结构3可以有效减小退火后内部的残余应力，从而有效抑制超薄铜板切下后由于内部应力释放引起的附加变形，在本实施例中，通过采用镂空结构退火，超薄铜板的残余应力释放变形从500微米左右下降到110微米。由于纯铜延展性好，采用磨削加工容易导致砂轮堵塞，因此粗加工改用碳化硅固结磨料研磨盘将铜表面加工至面形精度PV<10m，再通过化学机械抛光工艺去除表面损伤层。如图1所示，通过线切割将3.5mm厚的铜板即超薄板零件毛坯2(下同)和16.5mm厚的镂空支撑结构3切开，采用固结磨料研磨盘对两个切割面进行研磨，去除线切割引起的表面损伤层，再用电化学方法对铜板一侧的切割面进行阳极腐蚀和超声清洗，彻底清除损伤层材料。为效防止后续工艺中因表面应力状态变化引起的面形变化，必须将超薄铜板两面的损伤层完全去除，并且在后续的加工中要尽量去除表面损伤层材料。将研磨后的镂空支撑结构3切割面压到铜板切割面上，同时在电磁炉上加热至90℃，往镂空支撑结构3孔中滴入少量石蜡，使其在镂空支撑结构3和铜板间充分渗透，关掉电磁炉，等到石蜡开始凝固时将镂空支撑结构3和铜板翻转，镂空支撑结构3在下、铜板在上，自然冷却到室温。铜板和镂空支撑结构3粘结前后的面形测量结果如图2-3所示，可以看到，尽管超薄铜板的原始面形精度超过了100微米，但采用这种上盘方式，粘结引起的变形量小于5m。继续采用粒度#240和#600的碳化硅固结磨料研磨盘对铜表面进行加工，之后再用化学机械抛光方法对铜表面进行抛光加工。加工达到给定指标，下盘前后的面形测量结果如图4-5所示。下盘前表面面形精度小于PV 10m，其中直径120mm有效区域的面形精度达到PV 7m。由上盘过程中胶结变形和面形趋势一致，加热下盘后胶结变形消除使得面形精度继续提高，达到PV 3.1m。
本发明不局限于本实施例，任何在本发明披露的技术范围内的等同构思或者改变，均列为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种高平面度金属超薄板的加工方法，其特征在于：包括以下步骤：
A、将初始毛坯厚度方向的一侧通过机械加工工艺去除部分材料，加工成镂空毛坯(1)，镂空毛坯(1)的镂空侧作为后续加工的镂空支撑结构(3)；镂空毛坯(1)的另一侧作为后续的超薄板零件毛坯(2)；超薄板零件毛坯(2)的厚度为目标厚度t与加工厚度余量Δt之和，初始毛坯总厚度为h，镂空支撑结构(3)的镂空深度为h-t-Δt；
B、对镂空毛坯(1)进行去应力退火；
C、通过磨削、研磨和抛光工艺依序对镂空毛坯(1)的超薄板零件毛坯(2)一侧的表面进行精密加工，使面形精度达到要求，最后一道抛光工艺将磨削和研磨产生的划痕去除；
D、采用线切割工艺将镂空支撑结构(3)与超薄板零件毛坯(2)切开，对超薄板零件毛坯(2)的线切割面进行磨削和研磨加工，快速去除线切割损伤层，再进行化学腐蚀或电化学腐蚀，将残余损伤彻底去除，形成超薄板零件毛坯(2)研磨面；
E、对镂空支撑结构(3)的线切割面进行磨削和研磨加工，形成镂空支撑结构(3)研磨面，并对镂空支撑结构(3)研磨面进行清洗；
F、将镂空支撑结构(3)研磨面压到超薄板零件毛坯(2)研磨面上，整体加热；加热温度控制在80-120℃之间，使石蜡或松香蜡熔化在镂空支撑结构(3)研磨面和超薄板零件毛坯(2)研磨面的接触面边缘，通过毛细作用渗透于镂空支撑结构(3)研磨面和超薄板零件毛坯(2)研磨面的接触面间；将镂空支撑结构(3)和超薄板零件毛坯(2)在保持相对位置不变条件下整体翻转，使超薄板零件毛坯(2)位于镂空支撑结构(3)上方，自然冷却至室温；
G、对固定到镂空支撑结构(3)上的超薄板零件毛坯(2)外表面依序进行磨削、研磨和抛光加工，达到预期面形精度；
H、加热使石蜡或松香蜡融化，将超薄板零件毛坯(2)和支撑结构分离，对超薄板零件毛坯(2)进行清洗，此时的超薄板零件毛坯(2)即为高平面度金属超薄板。
2.根据权利要求1所述的一种高平面度金属超薄板的加工方法，其特征在于：所述的初始毛坯的径厚比即最大尺寸与总厚度比为2-10。
3.根据权利要求1所述的一种高平面度金属超薄板的加工方法，其特征在于：所述的镂空支撑结构(3)为孔结构或槽结构。
4.根据权利要求1所述的一种高平面度金属超薄板的加工方法，其特征在于：所述的镂空支撑结构(3)内部任意一点距离零件表面的最短距离小于超薄板零件毛坯(2)厚度的两倍，超薄板零件毛坯(2)和镂空支撑结构(3)粘结后，局部无支撑区域的最大尺寸小于超薄板零件毛坯(2)厚度的5倍。
5.根据权利要求1所述的一种高平面度金属超薄板的加工方法，其特征在于：所述的磨削和研磨两道工艺用固结磨料研磨盘研磨工艺代替。
6.根据权利要求1所述的一种高平面度金属超薄板的加工方法，其特征在于：步骤C所述的线切割用丝锯切割代替。
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