CN107254668A - 自动化镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种自动化镀膜机,包括真空室、抽真空装置、加热器、卡伞、工转电机、坩埚、电子枪和控制柜,抽真空装置和加热器均与真空室连通,卡伞设于真空室的顶部,工转电机位于真空室外侧,与卡伞连接,坩埚和电子枪均设于真空室底部,电子枪与坩埚相对应,控制柜与抽真空装置、工转电机、加热器连接。通过设有卡伞,可以在卡伞上固定多个镜片,提高一次对光学镜片镀膜的效率;设有坩埚和电子枪,可以方便药材放置在坩埚内,通过电子枪,可以方便坩埚内药剂的雾化,便于雾化后的药剂均匀的镀在光学镜片的表面,有效避免了镜片局部温度过高,提高了镜片的镀膜质量。
Description
技术领域
本发明属于一种镀膜机,尤其是涉及一种自动化镀膜机。
背景技术
现有的光学镜片在镀膜时,直接将镀膜材料放置于安装了镀膜镜片下方区域,然后采用高温加热直接将镀膜材料气化后对镜片进行镀膜,这无疑会导致整个镀膜空间内温度过高,从而对镜片造成较大伤害,且容易出现镀膜不均匀的现象。同时,很多真空镀膜机一次只能对一片或少数的几篇光学镜片进行镀膜,工作效率较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种自动化镀膜机,能够解决上述问题中的至少一个。
根据本发明的一个方面,提供了一种自动化镀膜机,包括真空室、抽真空装置、加热器、卡伞、工转电机、坩埚、电子枪和控制柜,抽真空装置和加热器均与真空室连通,卡伞设于真空室的顶部,工转电机位于真空室外侧,与卡伞连接,坩埚和电子枪均设于真空室底部,电子枪与坩埚相对应,控制柜与抽真空装置、工转电机、加热器连接。
本发明的有益效果是:通过设有卡伞,可以在卡伞上固定多个镜片,提高一次对光学镜片镀膜的效率;设有坩埚和电子枪,可以方便药材放置在坩埚内,通过电子枪,可以方便坩埚内药剂的雾化,便于雾化后的药剂均匀的镀在光学镜片的表面,有效避免了镜片局部温度过高,提高了镜片的镀膜质量。
在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括冷却装置,冷却装置包括水塔、水阀和冷却管道,冷却管道设于真空室的外侧,水阀和水塔均与冷却管道连通。由此,设有冷却装置,可以有效降低真空室体表面因为加热器产生的温度,防止表面过热。
在一些实施方式中,抽真空装置包括依次连接的机械泵、罗茨泵和扩散泵,扩散泵与真空室连通。由此,可以有效保证真空室内在工作时处于真空状态。
在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括温控探头,温控探头有多个,均与真空室相对应,温控探头与控制柜连接。由此,设有温控探头,可以检测镀膜空间的温度,有利于调节温度,使得真空室内保持恒温。
在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括真空门,真空门与真空室相对应,可以开合。由此,方便真空室内各产品的取放。
在一些实施方式中,真空门上设有观察窗。由此,便于在镀膜过程中通过观察窗,观察真空室内各部件的运转状况。
在一些实施方式中,坩埚为多个,坩埚底部设有托盘,托盘能够转动,托盘与控制柜连接。由此,方便通过坩埚的转动,将装有相应药剂的坩埚转动到电子枪处。
在一些实施方式中,电子枪的枪头设有正负两极。由此,便于电子枪产生高强电流溶解坩埚里面的药材。
在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括卡伞架,卡伞通过卡伞架与工转电机连接。由此,便于卡伞的安装和转动,使得每片镜片表面均能均匀的被蒸镀相同厚度的膜层。
在一些实施方式中,自动化镀膜机还包括膜厚仪探头,膜厚度仪探头位于卡伞架的中心轴一侧。由此,可以实时反馈镜片上膜的厚度。
附图说明
图1是本发明的自动化镀膜机的左侧结构示意图。
图2是本发明的自动化镀膜机的正面结构示意图;
图3是本发明的自动化镀膜机的右侧结构示意图;
图4是本发明的自动化镀膜机的俯视结构示意图;
图5是本发明的自动化镀膜机的内部结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细的说明。
参照图1~图5:本发明的自动化镀膜机,包括真空室1、抽真空装置2、加热器3、卡伞4、工转电机5、坩埚6、电子枪7和控制柜8,抽真空装置2和加热器3均与真空室4连通,卡伞4设于真空室1的顶部,工转电机5位于真空室1外侧,与卡伞4连接,坩埚6和电子枪7均设于真空室1底部,电子枪7与坩埚6相对应,控制柜8与抽真空装置2、工转电机5、加热器3连接。
该自动化镀膜机在使用时,将待镀膜的镜片固定在卡伞4上,卡伞4上有多个固定为,可以一次固定多个镜片,提高镀膜效率。控制柜8可以控制工转电机5的转动速度;同时,可以控制加热器3的加热温度,从而实现对真空室1内的温度控制。
自动化镀膜机还包括冷却装置9,冷却装置9包括水塔、水阀91和冷却管道,冷却管道设于真空室1的外侧,水阀91和水塔均与冷却管道连通。水塔内冷却水通过水阀91和冷却管道,可以使得真空室1外侧的温度得以降低,有效防止真空室1表面因加热器3加热而导致的温度过高。
抽真空装置2包括依次连接的机械泵21、罗茨泵22和扩散泵23,扩散泵23与真空室1连通。在实际使用过程中,控制柜8控制机械泵21、罗茨泵22和扩散泵依次按照顺序打开,将真空室1内抽至真空状态,直至镀膜完成。为了方便得知真空室1的真空状态,在真空室1的外侧设有真空计,用于实时检测真空室1内的真空状态,利于监测。
自动化镀膜机还包括温控探头10,温控探头10有三个,均与真空室1相对应,温控探头10与控制柜8连接。温控探头10用于检测镀膜空间的温度。温控探头10将检测到的温度实时发送至控制柜8,控制柜8根据温度情况,控制加热器3的加热情况,使得真空室1内保持恒温状态。
自动化镀膜机还包括真空门20,真空门20与真空室1相对应,可以开合。设有真空门20,可以方便真空室1的开启和闭合,便于光学镜片的取放。
真空门20上设有观察窗201,便于在镀膜过程中通过观察窗,观察真空室内各部件的运转状况。
坩埚6为多个,坩埚6底部设有托盘,托盘能够转动,托盘与控制柜8连接。托盘处设有转轴,在实际使用过程中,坩埚6为多个,不同位置的坩埚6穴位防止不同的镀膜药材,依据设定的工艺选择不同的药材,使之运转到电子枪7的工作范围内。
电子枪7的枪头设有正负两极,通过高压电柜供电产生高强电流溶解相应坩埚6内的药材,使其雾化挥发,向上均匀的附着在镜片表面。
本发明的自动化镀膜机还包括卡伞架30,卡伞4通过卡伞架30与工转电机5连接。当卡伞4上镜片固定完成后,将卡伞4固定在卡伞架30上,设有卡伞架30可以方便卡伞的取放。卡伞架30与工转电机5的输出轴连接,工转电机5带动卡伞架30转动,卡伞架30带动卡伞4转动,使得卡伞4上各位置的镜片均能被蒸镀相同厚度的膜层。
自动化镀膜机还包括膜厚仪探头40,膜厚度仪探头40位于卡伞架30的中心轴一侧。膜厚仪探头40可以探测到镜片上的膜层厚度,将数据实时反馈至控制柜8内,当膜层厚度达到所需要求后,停止镀膜,各部件停止运作,打开真空门20后可以取出镜片。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.自动化镀膜机,其特征在于,包括真空室(1)、抽真空装置(2)、加热器(3)、卡伞(4)、工转电机(5)、坩埚(6)、电子枪(7)和控制柜(8),所述抽真空装置(2)和加热器(3)均与真空室(4)连通,所述卡伞(4)设于真空室(1)的顶部,所述工转电机(5)位于真空室(1)外侧,与卡伞(4)连接,所述坩埚(6)和电子枪(7)均设于真空室(1)底部,所述电子枪(7)与坩埚(6)相对应,所述控制柜(8)与抽真空装置(2)、工转电机(5)、加热器(3)连接。
2.根据权利要求1所述的自动化镀膜机,其特征在于,还包括冷却装置(9),所述冷却装置(9)包括水塔、水阀(91)和冷却管道,所述冷却管道设于真空室(1)的外侧,所述水阀(91)和水塔均与冷却管道连通。
3.根据权利要求2所述的自动化镀膜机,其特征在于,所述抽真空装置(2)包括依次连接的机械泵(21)、罗茨泵(22)和扩散泵(23),所述扩散泵(23)与真空室(1)连通。
4.根据权利要求1~3任一项所述的自动化镀膜机,其特征在于,还包括温控探头(10),所述温控探头(10)有多个,均与真空室(1)相对应,所述温控探头(10)与控制柜(8)连接。
5.根据权利要求4所述的自动化镀膜机,其特征在于,还包括真空门(20),所述真空门(20)与真空室(1)相对应,可以开合。
6.根据权利要求5所述的自动化镀膜机,其特征在于,所述真空门(20)上设有观察窗(201)。
7.根据权利要求1所述的自动化镀膜机,其特征在于,所述坩埚(6)为多个,所述坩埚(6)底部设有托盘,所述托盘能够转动,所述托盘与控制柜(8)连接。
8.根据权利要求7所述的自动化镀膜机,其特征在于,所述电子枪(7)的枪头设有正负两极。
9.根据权利要求1或7或8所述的自动化镀膜机,其特征在于,还包括卡伞架(30),所述卡伞(4)通过卡伞架(30)与工转电机(5)连接。
10.根据权利要求9所述的自动化镀膜机,其特征在于,还包括膜厚仪探头(40),所述膜厚度仪探头(40)位于卡伞架(30)的中心轴一侧。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201710636173.6A CN107254668A (zh) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 自动化镀膜机 |
Publications (1)
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710636173.6A Pending CN107254668A (zh) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 自动化镀膜机 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108286036A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-07-17 | 湘潭大学 | 一种原位补氧型扫描式电子束气相沉积(ioc-sevd)装置及其方法 |
CN109267033A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-01-25 | 沈阳爱科斯科技有限公司 | 蒸发镀膜装置及镀膜系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102703867A (zh) * | 2012-01-13 | 2012-10-03 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 电子轰击镀膜机 |
CN102787299A (zh) * | 2012-05-21 | 2012-11-21 | 杭州大和热磁电子有限公司 | 一种真空镀膜装置、真空镀膜控制系统及控制方法 |
CN202968673U (zh) * | 2012-12-14 | 2013-06-05 | 福建福光光电科技有限公司 | 镜片镀膜装置 |
CN104862656A (zh) * | 2015-06-10 | 2015-08-26 | 光驰科技(上海)有限公司 | 双向沉积镀膜装置及镀膜方法 |
-
2017
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102703867A (zh) * | 2012-01-13 | 2012-10-03 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 电子轰击镀膜机 |
CN102787299A (zh) * | 2012-05-21 | 2012-11-21 | 杭州大和热磁电子有限公司 | 一种真空镀膜装置、真空镀膜控制系统及控制方法 |
CN202968673U (zh) * | 2012-12-14 | 2013-06-05 | 福建福光光电科技有限公司 | 镜片镀膜装置 |
CN104862656A (zh) * | 2015-06-10 | 2015-08-26 | 光驰科技(上海)有限公司 | 双向沉积镀膜装置及镀膜方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108286036A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-07-17 | 湘潭大学 | 一种原位补氧型扫描式电子束气相沉积(ioc-sevd)装置及其方法 |
CN108286036B (zh) * | 2018-01-04 | 2020-05-19 | 湘潭大学 | 一种原位补氧型扫描式电子束气相沉积(ioc-sevd)装置及其方法 |
CN109267033A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-01-25 | 沈阳爱科斯科技有限公司 | 蒸发镀膜装置及镀膜系统 |
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