CN107254668A - 自动化镀膜机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种自动化镀膜机，包括真空室、抽真空装置、加热器、卡伞、工转电机、坩埚、电子枪和控制柜，抽真空装置和加热器均与真空室连通，卡伞设于真空室的顶部，工转电机位于真空室外侧，与卡伞连接，坩埚和电子枪均设于真空室底部，电子枪与坩埚相对应，控制柜与抽真空装置、工转电机、加热器连接。通过设有卡伞，可以在卡伞上固定多个镜片，提高一次对光学镜片镀膜的效率；设有坩埚和电子枪，可以方便药材放置在坩埚内，通过电子枪，可以方便坩埚内药剂的雾化，便于雾化后的药剂均匀的镀在光学镜片的表面，有效避免了镜片局部温度过高，提高了镜片的镀膜质量。

Description

自动化镀膜机

技术领域

本发明属于一种镀膜机，尤其是涉及一种自动化镀膜机。

背景技术

现有的光学镜片在镀膜时，直接将镀膜材料放置于安装了镀膜镜片下方区域，然后采用高温加热直接将镀膜材料气化后对镜片进行镀膜，这无疑会导致整个镀膜空间内温度过高，从而对镜片造成较大伤害，且容易出现镀膜不均匀的现象。同时，很多真空镀膜机一次只能对一片或少数的几篇光学镜片进行镀膜，工作效率较低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动化镀膜机，能够解决上述问题中的至少一个。

根据本发明的一个方面，提供了一种自动化镀膜机，包括真空室、抽真空装置、加热器、卡伞、工转电机、坩埚、电子枪和控制柜，抽真空装置和加热器均与真空室连通，卡伞设于真空室的顶部，工转电机位于真空室外侧，与卡伞连接，坩埚和电子枪均设于真空室底部，电子枪与坩埚相对应，控制柜与抽真空装置、工转电机、加热器连接。

本发明的有益效果是：通过设有卡伞，可以在卡伞上固定多个镜片，提高一次对光学镜片镀膜的效率；设有坩埚和电子枪，可以方便药材放置在坩埚内，通过电子枪，可以方便坩埚内药剂的雾化，便于雾化后的药剂均匀的镀在光学镜片的表面，有效避免了镜片局部温度过高，提高了镜片的镀膜质量。

在一些实施方式中，自动化镀膜机还包括冷却装置，冷却装置包括水塔、水阀和冷却管道，冷却管道设于真空室的外侧，水阀和水塔均与冷却管道连通。由此，设有冷却装置，可以有效降低真空室体表面因为加热器产生的温度，防止表面过热。

在一些实施方式中，抽真空装置包括依次连接的机械泵、罗茨泵和扩散泵，扩散泵与真空室连通。由此，可以有效保证真空室内在工作时处于真空状态。

在一些实施方式中，自动化镀膜机还包括温控探头，温控探头有多个，均与真空室相对应，温控探头与控制柜连接。由此，设有温控探头，可以检测镀膜空间的温度，有利于调节温度，使得真空室内保持恒温。

在一些实施方式中，自动化镀膜机还包括真空门，真空门与真空室相对应，可以开合。由此，方便真空室内各产品的取放。

在一些实施方式中，真空门上设有观察窗。由此，便于在镀膜过程中通过观察窗，观察真空室内各部件的运转状况。

在一些实施方式中，坩埚为多个，坩埚底部设有托盘，托盘能够转动，托盘与控制柜连接。由此，方便通过坩埚的转动，将装有相应药剂的坩埚转动到电子枪处。

在一些实施方式中，电子枪的枪头设有正负两极。由此，便于电子枪产生高强电流溶解坩埚里面的药材。

在一些实施方式中，自动化镀膜机还包括卡伞架，卡伞通过卡伞架与工转电机连接。由此，便于卡伞的安装和转动，使得每片镜片表面均能均匀的被蒸镀相同厚度的膜层。

在一些实施方式中，自动化镀膜机还包括膜厚仪探头，膜厚度仪探头位于卡伞架的中心轴一侧。由此，可以实时反馈镜片上膜的厚度。

附图说明

图1是本发明的自动化镀膜机的左侧结构示意图。

图2是本发明的自动化镀膜机的正面结构示意图；

图3是本发明的自动化镀膜机的右侧结构示意图；

图4是本发明的自动化镀膜机的俯视结构示意图；

图5是本发明的自动化镀膜机的内部结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细的说明。

参照图1～图5：本发明的自动化镀膜机，包括真空室1、抽真空装置2、加热器3、卡伞4、工转电机5、坩埚6、电子枪7和控制柜8，抽真空装置2和加热器3均与真空室4连通，卡伞4设于真空室1的顶部，工转电机5位于真空室1外侧，与卡伞4连接，坩埚6和电子枪7均设于真空室1底部，电子枪7与坩埚6相对应，控制柜8与抽真空装置2、工转电机5、加热器3连接。

该自动化镀膜机在使用时，将待镀膜的镜片固定在卡伞4上，卡伞4上有多个固定为，可以一次固定多个镜片，提高镀膜效率。控制柜8可以控制工转电机5的转动速度；同时，可以控制加热器3的加热温度，从而实现对真空室1内的温度控制。

自动化镀膜机还包括冷却装置9，冷却装置9包括水塔、水阀91和冷却管道，冷却管道设于真空室1的外侧，水阀91和水塔均与冷却管道连通。水塔内冷却水通过水阀91和冷却管道，可以使得真空室1外侧的温度得以降低，有效防止真空室1表面因加热器3加热而导致的温度过高。

抽真空装置2包括依次连接的机械泵21、罗茨泵22和扩散泵23，扩散泵23与真空室1连通。在实际使用过程中，控制柜8控制机械泵21、罗茨泵22和扩散泵依次按照顺序打开，将真空室1内抽至真空状态，直至镀膜完成。为了方便得知真空室1的真空状态，在真空室1的外侧设有真空计，用于实时检测真空室1内的真空状态，利于监测。

自动化镀膜机还包括温控探头10，温控探头10有三个，均与真空室1相对应，温控探头10与控制柜8连接。温控探头10用于检测镀膜空间的温度。温控探头10将检测到的温度实时发送至控制柜8，控制柜8根据温度情况，控制加热器3的加热情况，使得真空室1内保持恒温状态。

自动化镀膜机还包括真空门20，真空门20与真空室1相对应，可以开合。设有真空门20，可以方便真空室1的开启和闭合，便于光学镜片的取放。

真空门20上设有观察窗201，便于在镀膜过程中通过观察窗，观察真空室内各部件的运转状况。

坩埚6为多个，坩埚6底部设有托盘，托盘能够转动，托盘与控制柜8连接。托盘处设有转轴，在实际使用过程中，坩埚6为多个，不同位置的坩埚6穴位防止不同的镀膜药材，依据设定的工艺选择不同的药材，使之运转到电子枪7的工作范围内。

电子枪7的枪头设有正负两极，通过高压电柜供电产生高强电流溶解相应坩埚6内的药材，使其雾化挥发，向上均匀的附着在镜片表面。

本发明的自动化镀膜机还包括卡伞架30，卡伞4通过卡伞架30与工转电机5连接。当卡伞4上镜片固定完成后，将卡伞4固定在卡伞架30上，设有卡伞架30可以方便卡伞的取放。卡伞架30与工转电机5的输出轴连接，工转电机5带动卡伞架30转动，卡伞架30带动卡伞4转动，使得卡伞4上各位置的镜片均能被蒸镀相同厚度的膜层。

自动化镀膜机还包括膜厚仪探头40，膜厚度仪探头40位于卡伞架30的中心轴一侧。膜厚仪探头40可以探测到镜片上的膜层厚度，将数据实时反馈至控制柜8内，当膜层厚度达到所需要求后，停止镀膜，各部件停止运作，打开真空门20后可以取出镜片。

以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.自动化镀膜机，其特征在于，包括真空室(1)、抽真空装置(2)、加热器(3)、卡伞(4)、工转电机(5)、坩埚(6)、电子枪(7)和控制柜(8)，所述抽真空装置(2)和加热器(3)均与真空室(4)连通，所述卡伞(4)设于真空室(1)的顶部，所述工转电机(5)位于真空室(1)外侧，与卡伞(4)连接，所述坩埚(6)和电子枪(7)均设于真空室(1)底部，所述电子枪(7)与坩埚(6)相对应，所述控制柜(8)与抽真空装置(2)、工转电机(5)、加热器(3)连接。

2.根据权利要求1所述的自动化镀膜机，其特征在于，还包括冷却装置(9)，所述冷却装置(9)包括水塔、水阀(91)和冷却管道，所述冷却管道设于真空室(1)的外侧，所述水阀(91)和水塔均与冷却管道连通。

3.根据权利要求2所述的自动化镀膜机，其特征在于，所述抽真空装置(2)包括依次连接的机械泵(21)、罗茨泵(22)和扩散泵(23)，所述扩散泵(23)与真空室(1)连通。

4.根据权利要求1～3任一项所述的自动化镀膜机，其特征在于，还包括温控探头(10)，所述温控探头(10)有多个，均与真空室(1)相对应，所述温控探头(10)与控制柜(8)连接。

5.根据权利要求4所述的自动化镀膜机，其特征在于，还包括真空门(20)，所述真空门(20)与真空室(1)相对应，可以开合。

6.根据权利要求5所述的自动化镀膜机，其特征在于，所述真空门(20)上设有观察窗(201)。

7.根据权利要求1所述的自动化镀膜机，其特征在于，所述坩埚(6)为多个，所述坩埚(6)底部设有托盘，所述托盘能够转动，所述托盘与控制柜(8)连接。

8.根据权利要求7所述的自动化镀膜机，其特征在于，所述电子枪(7)的枪头设有正负两极。

9.根据权利要求1或7或8所述的自动化镀膜机，其特征在于，还包括卡伞架(30)，所述卡伞(4)通过卡伞架(30)与工转电机(5)连接。

10.根据权利要求9所述的自动化镀膜机，其特征在于，还包括膜厚仪探头(40)，所述膜厚度仪探头(40)位于卡伞架(30)的中心轴一侧。