CN209010574U - 一种密封性好的靶材热处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种密封性好的靶材热处理装置，属于靶材技术领域，其技术方案要点是，包括箱体和热处理腔室，箱体的一侧面铰接有观察门，观察区的一侧设置有热处理腔室，热处理腔室包括第一腔室和第二腔室，第一腔室内部固定连接有两支加热管，两支加热管之间设置有放置槽，放置槽的一端与第一腔室的内侧壁相互焊接，第一腔室的右侧固定连接有隔板，第一腔室与第二腔室通过隔板相互隔开，第二腔室的内部固定连接有两个加热板，且两个加热板平行设置，通过加热管与加热板对靶材进行加热处理使得靶材受热均匀，避免了靶材在使用过程中因为没有预热而容易开裂，提高了靶材的使用效率，避免了靶材的资源浪费。

Description

一种密封性好的靶材热处理装置

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，特别涉及一种密封性好的靶材热处理装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

金属靶材的制作过程一般包括熔炼、均匀化处理、塑性变形加工、热处理等步骤，其中靶材在使用过程中需要进行加热处理，而目前在使用靶材时一般没有进行预热处理，导致靶材在使用一段时间产生开裂，产生了靶材使用效率不高和靶材资源浪费的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种密封性好的靶材热处理装置，解决靶材在使用过程中产生使用效率不高和靶材资源浪费的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种密封性好的靶材热处理装置，包括箱体和热处理腔室，所述箱体的一侧面铰接有观察门，所述观察门的外侧壁上固定连接有观察区，所述观察区的下方设置有温控装置，所述温控装置与观察门相互卡接，所述观察区的一侧设置有热处理腔室，所述热处理腔室包括第一腔室和第二腔室，所述第二腔室位于第一腔室的右侧，所述第一腔室和第二腔室与温控装置通过导线连接，所述第一腔室的内部固定连接有两支加热管，两支所述加热管之间加工有放置槽，所述放置槽的一端与第一腔室的内侧壁相互焊接，所述位于右侧放置槽的上端安装有第一传感器，所述第一传感器与温控装置通过导线相互连接，所述第一腔室的右侧固定连接有隔板，所述第一传感器的一端与隔板固定连接，所述第一腔室与第二腔室通过隔板相互隔开，所述第二腔室的内部固定连接有两个加热板，且所述两个加热板平行设置，所述第二腔室的右内侧壁上安装有第二传感器，且第二传感器位于两个加热板之间，所述第二传感器与温控装置通过导线相互连接。

优选的，所述加热板的内部加工有加热槽，所述加热板的外侧壁插接有导线管，所述加热板与第二腔室内侧壁通过导线管固定连接。

优选的，所述加热管的一端插接有线槽，所述加热管的两侧对称设置有固定架，所述固定架的一端与第一腔室内侧壁固定连接。

优选的，所述温控装置包括手动调控按钮和显示屏，所述手动调控按钮的上端设置有显示屏，所述显示屏与第一传感器、第二传感器通过导线相互连接。

优选的，所述放置槽设置有两组，两组所述放置槽在同一水平线上，且放置槽呈“凹形”状。

优选的，所述温控装置的右侧设置有拉手，所述拉手与观察门的右端嵌入设置。

优选的，所述热处理腔室的外侧设置有隔腔，所述处理腔室与箱体通过隔腔相互隔开

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、该种密封性好的靶材热处理装置，第一腔室内部固定连接有两支加热管，两支加热管之间设置有放置槽，且放置槽呈“凹形”状，放置槽的一端与第一腔室的内侧壁相互焊接，通过将靶材卡接在放置槽内，上下两支加热管对固定的靶材进行加热处理，“凹形”状的放置槽能够有效的固定靶材以便进行靶材的加热处理，上下设置的两支加热管能够充分的对靶材进行加热处理，经加热的靶材能够更好的进行靶材使用，有效的提高了靶材的使用效率，避免了靶材资源的浪费。

2、该种密封性好的靶材热处理装置，第二腔室的内部固定连接有两个加热板，且两个加热板平行设置，一些无法放置在第一腔室内的靶材可以放置在第二腔室内部进行加热处理，将靶材放置在加热槽内部，加热板对加热槽内部的靶材进行加热处理，两组加热板能够加热更多的靶材，且加热板使得靶材能够均匀受热，避免靶材因加热不均匀而产生裂口，提高了靶材的使用效率。

3、该种密封性好的靶材热处理装置，温控装置包括手动调控按钮和显示屏，手动调控按钮的上端设置有显示屏，显示屏与第一传感器、第二传感器通过导线相互连接，第一传感器和第二传感器能够将温度信号传输至温控装置，手动调控按钮进行逆时针旋转时能够调节加热温度，显示屏能够及时有效的反馈加热温度数据，通过温控装置对加热温度的调控，提高了靶材加热的效率，同时有效加热的靶材能够更好的被使用，避免了靶材的浪费。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构图；

图2为本实用新型的内部结构图；

图3为本实用新型的加热板结构图；

图4为本实用新型的温控装置结构图；

图5为本实用新型图2中A部结构图。

图中，1、箱体；11、隔腔；2、观察门；21、观察区；22、拉手；3、热处理腔室；31、第一腔室；32、隔板；33、第二腔室；4、温控装置；41、手动调控按钮；42、显示屏；5、加热管；51、线槽；52、固定架；6、放置槽；7、加热板；71、加热槽；72、导线管；8、第一传感器；9、第二传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型中仪器的型号为：

第一传感器8的型号为：A2TPMI；

第二传感器9的型号为：A2TPMI。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种密封性好的靶材热处理装置，包括箱体1和热处理腔室3，箱体1的一侧面铰接有观察门2，观察门2的外侧壁上固定连接有观察区21，观察区21可以观察靶材在处理腔室3中的加热情况，有利于了解靶材加热情况，观察区21的下方设置有温控装置4，温控装置4与观察门2相互卡接，观察区21的一侧设置有热处理腔室3，热处理腔室3包括第一腔室31和第二腔室33，第二腔室33位于第一腔室31的右侧，第一腔室31和第二腔室33与温控装置4通过导线连接，第一腔室31的内部固定连接有两支加热管5，两支加热管5之间加工有放置槽6，靶材通过放置在放置槽6上，然后通过加热管5进行加热处理，上下设置的加热管5能够有效的对靶材进行均匀加热，放置槽6的一端与第一腔室31的内侧壁相互焊接，位于右侧放置槽6的上端安装有第一传感器8，第一传感器8与温控装置4通过导线相互连接，第一腔室31的右侧固定连接有隔板32，第一传感器8的一端与隔板32固定连接，第一腔室31与第二腔室33通过隔板32相互隔开，第二腔室33的内部固定连接有两个加热板7，且两个加热板7平行设置，加热板7上放置靶材，加热板7上设置有加热槽71，通过加热槽71对靶材进行加热处理，第二腔室33的右内侧壁上安装有第二传感器9，且第二传感器9位于两个加热板7之间，第二传感器9与温控装置4通过导线相互连接，第一传感器8和第二传感器9能够实时对第一腔室31和第二腔室33内部的加热温度情况通过导线反馈至温控装置4，通过连通电源开启加热管5和加热板7，然后工作人员通过温控装置4上的手动调控按钮41逆时针进行温度设定，从而提高了靶材的加热效率。

进一步的，加热板7的内部加工有加热槽71，加热板7的外侧壁插接有导线管72，加热板7与第二腔室33内侧壁通过导线管72固定连接，加热槽71能够放置一些不能放置在第一腔室31内部的靶材，通过开启电源来开启加热槽71，靶材通过放置在加热槽71上可以实现均匀受热，固定在加热板7的外侧壁上的导线管72不仅固定了加热板7，同时也便利了导线的传接。

进一步的，加热管5的一端插接有线槽51，加热管5的两侧对称设置有固定架52，固定架52的一端与第一腔室31内侧壁固定连接，加热管5通过固定架52固定在第一腔室31内部，固定架52使得两支加热管5间的距离恒定，放置在两支加热管5之间的靶材能够受热均匀，固定架52有效的稳固了加热管5，线槽51使得导线能够有效的固定在隔腔11中。

进一步的，温控装置4包括手动调控按钮41和显示屏42，手动调控按钮41的上端设置有显示屏42，显示屏42与第一传感器8、第二传感器9通过导线相互连接，第一传感器8、第二传感器9将第一腔室31和第二腔室33内部的温度信息通过导线传输至温控装置4，而手动调控按钮42和自动调控按钮41能够根据显示屏42上的实时温度信息进行相应的加热温度调节。

进一步的，放置槽6设置有两组，两组放置槽6在同一水平线上，且放置槽6呈“凹形”状，将靶材放置在“凹形”状的放置槽6内部，“凹形”状的放置槽6使得靶材的放置更加稳固，水平设置的放置槽6将靶材水平放置在第一腔室31内部，使得靶材能够在加热过程中均匀受热，提高了靶材的加热效率。

进一步的，温控装置4的右侧设置有拉手22，拉手22与观察门2的右端嵌入设置，靶材进行加热处理时通过拉手22将观察门2进行开启，然后将靶材放置到放置槽6或加热槽71进行加热，靶材加热工作结束后通过拉手22将观察门2关闭，拉手22的设置便利了观察门2的开启或关闭。

进一步的，热处理腔室3的外侧设置有隔腔11，处理腔室3与箱体1通过隔腔11相互隔开，第一感应器8、第二感应器9上连接的导线通过隔腔11与温控装置4相互连接，隔腔11的设置便利了导线的收纳。

工作原理：首先，工作人员通过拉手22开启观察门2，接着将靶材放入第一腔室31内部的放置槽6内，然后关闭观察门2，接着开启电源启动加热管5，接着加热管5对靶材进行加热处理，针对无法放置在第一腔室31内部的靶材可以放置在第二腔室33内部的加热槽71内，然后通过控制电源开启加热板7，接着加热板7对靶材进行加热处理，在加热过程中，第一传感器8和第二传感器9对第一腔室31和第二腔室33内部的加热温度进行探测并通过导线传输至温控装置4上，工作人员通过显示屏42可以观察加热温度，通过手动调控按钮41的逆时针旋转对加热管5和加热板7的加热温度进行控制，加热工作完成后工作人员可以通过拉手22关闭观察门，通过设置观察区21，使得靶材在加热过程中工作人员可以观察内部加热情况，加热管5与加热板7能够对靶材进行有效的加热，受热后的靶材有利于更好的使用，该装置使得靶材受热均匀，避免了靶材在使用过程中因为没有预热而容易开裂，提高了靶材的使用效率，避免了靶材的资源浪费。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (7)

1.一种密封性好的靶材热处理装置，包括箱体（1）和热处理腔室（3），其特征在于：所述箱体（1）的一侧面铰接有观察门（2），所述观察门（2）的外侧壁上固定连接有观察区（21），所述观察区（21）的下方设置有温控装置（4），所述温控装置（4）与观察门（2）相互卡接，所述观察区（21）的一侧设置有热处理腔室（3），所述热处理腔室（3）包括第一腔室（31）和第二腔室（33），所述第二腔室（33）位于第一腔室（31）的右侧，所述第一腔室（31）和第二腔室（33）与温控装置（4）通过导线连接，所述第一腔室（31）的内部固定连接有两支加热管（5），两支所述加热管（5）之间加工有放置槽（6），所述放置槽（6）的一端与第一腔室（31）的内侧壁相互焊接，所述位于右侧放置槽（6）的上端安装有第一传感器（8），所述第一传感器（8）与温控装置（4）通过导线相互连接，所述第一腔室（31）的右侧固定连接有隔板（32），所述第一传感器（8）的一端与隔板（32）固定连接，所述第一腔室（31）与第二腔室（33）通过隔板（32）相互隔开，所述第二腔室（33）的内部固定连接有两个加热板（7），且所述两个加热板（7）平行设置，所述第二腔室（33）的右内侧壁上安装有第二传感器（9），且第二传感器（9）位于两个加热板（7）之间，所述第二传感器（9）与温控装置（4）通过导线相互连接。

2.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述加热板（7）的内部加工有加热槽（71），所述加热板（7）的外侧壁插接有导线管（72），所述加热板（7）与第二腔室（33）内侧壁通过导线管（72）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述加热管（5）的一端插接有线槽（51），所述加热管（5）的两侧对称设置有固定架（52），所述固定架（52）的一端与第一腔室（31）内侧壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述温控装置（4）包括手动调控按钮（41）和显示屏（42），所述手动调控按钮（41）的上端设置有显示屏（42），所述显示屏（42）与第一传感器（8）、第二传感器（9）通过导线相互连接。

5.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述放置槽（6）设置有两组，两组所述放置槽（6）在同一水平线上，且放置槽（6）呈“凹形”状。

6.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述温控装置（4）的右侧设置有拉手（22），所述拉手（22）与观察门（2）的右端嵌入设置。

7.根据权利要求1所述的一种密封性好的靶材热处理装置，其特征在于：所述热处理腔室（3）的外侧设置有隔腔（11），所述处理腔室（3）与箱体（1）通过隔腔（11）相互隔开。