CN107247159B - Mems转动加速度传感器及转动加速度测量装置 - Google Patents

Mems转动加速度传感器及转动加速度测量装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置，涉及传感器领域。其通过将第一可动电容极板设置于第一质量块上随第一质量块转动，第二可动电容极板设置于第二质量块上随第二质量块转动，第一固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第一可变电容器，第二固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第二可变电容器，第一电荷放大电路与第一可变电容器耦合，第二电荷放大电路与第二可变电容器耦合，第一电荷放大电路与第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以根据输出电压判断MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态。本发明能够提供一种结构简单、体积小巧的转动加速度传感器，能精确判断构件是否转动。

Description

MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置
技术领域
本发明涉及传感器领域，具体而言，涉及一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置。
背景技术
随着社会的发展，在许多领域，尤其是在土木工程监测领域中，经常需要识别地面、构件或结构体的某个平面是否处于转动状态，以及准确测量该平面相对轴向的运动转动加速度，进而判定被评估物体的破坏程度。
但是，现在测量地面、构件等是否转动的部件体积都较大，制作成本高，同时也无法精确的反应物体是否转动。
发明内容
本发明的目的在于提供一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置，其能够提供一种结构简单、体积小巧以及成本低廉的转动加速度传感器，并且能精确判断构件是否转动。
本发明的实施例是这样实现的：
第一方面，本发明实施例提供了一种MEMS转动加速度传感器，其包括壳体、第一质量块、第二质量块、第一连接杆、第一弹性连接件、第二弹性连接件、第一固定电容极板、第二固定电容极板、第一可动电容极板、第二可动电容极板、第一电荷放大电路以及第二电荷放大电路，所述第一质量块与所述第二质量块刚性连接后与所述第一连接杆的一端固定连接，所述第一连接杆的另一端固定连接于所述壳体上，所述第一弹性连接件分别与所述壳体和所述第一质量块连接，所述第二弹性连接件分别与所述壳体和所述第二质量块连接，所述第一可动电容极板设置于所述第一质量块上随所述第一质量块转动，所述第二可动电容极板设置于所述第二质量块上随所述第二质量块转动，所述第一固定电容极板与所述壳体固定连接，所述第一固定电容极板与所述第一可动电容极板组成第一可变电容器，所述第二固定电容极板与所述壳体固定连接，所述第二固定电容极板与所述第二可动电容极板组成第二可变电容器，所述第一电荷放大电路与所述第一可变电容器耦合，所述第二电荷放大电路与所述第二可变电容器耦合，所述第一电荷放大电路与所述第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以使所述处理器根据第一电荷放大电路和所述第二电荷放大电路输出的电压判断所述MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态。
在本发明较佳的实施例中，上述MEMS转动加速度传感器还包括差分采样电路，所述差分采样电路分别与所述第一电荷放大电路的输出端和所述第二电荷放大电路的输出端耦合，所述差分采样电路用于提取所述第一电荷放大电路和所述第二电荷放大电路输出的电压信号，以使所述MEMS转动加速度传感器的输出电压与转动加速度成正比。
在本发明较佳的实施例中，上述MEMS转动加速度传感器还包括第一PID反馈电路和第二PID反馈电路，所述第一PID反馈电路的输入端与所述第一电荷放大电路的输出端耦合，所述第一PID反馈电路的输出端与所述第一可变电容器的输出端耦合，所述第一PID反馈电路用于调节所述第一可变电容器的电荷输出，所述第二PID反馈电路的输入端与所述第二电荷放大电路的输出端耦合，所述第二PID反馈电路的输出端与所述第二可变电容器的输出端耦合，所述第二PID反馈电路用于调节所述第二可变电容器的电荷输出。
在本发明较佳的实施例中，上述MEMS转动加速度传感器还包括第一电容开关和第二电容开关，所述第一电荷放大电路的输入端和所述第一可变电容器的输出端通过所述第一电容开关耦合，所述第二电荷放大电路的输入端和所述第二可变电容器的输出端通过所述第二电容开关耦合。
在本发明较佳的实施例中，上述MEMS转动加速度传感器还包括第三电容开关和第四电容开关，所述第一PID反馈电路的输出端与所述第一可变电容器的输出端通过所述第三电容开关耦合，所述第二PID反馈电路的输出端与所述第二可变电容器的输出端通过所述第四电容开关耦合。
在本发明较佳的实施例中，上述第一电容开关、所述第二电容开关、所述第三电容开关以及所述第四电容开关内均设置有晶振，所述晶振用于当采样电压信号时，导通所述第一电容开关和所述第二电容开关并闭合所述第三电容开关和所述第四电容开关，当反馈调节时，闭合所述第一电容开关和所述第二电容开关并导通所述第三电容开关和所述第四电容开关。
在本发明较佳的实施例中，上述MEMS转动加速度传感器还包括第二连接杆，所述第一质量块和所述第二质量块通过所述第二连接杆刚性连接。
在本发明较佳的实施例中，上述第一弹性连接件为弹簧，所述第二弹性连接件为弹簧。
在本发明较佳的实施例中，上述MEMS转动加速度传感器还包括电源模块，所述电源模块分别与所述第一电荷放大电路、所述第二电荷放大电路、所述第一PID反馈电路、所述第二PID反馈电路以及所述差分采样电路耦合。
第二方面，本发明实施例提供了一种转动加速度测量装置，其包括处理器和上述MEMS转动加速度传感器，所述处理器与所述差分采样电路耦合，所述处理器用于根据所述差分采样电路提取的电压信号获取所述MEMS转动加速度传感器的转动加速度值。
本发明实施例提供的MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置包括壳体、第一质量块、第二质量块、第一连接杆、第一弹性连接件、第二弹性连接件、第一固定电容极板、第二固定电容极板、第一可动电容极板、第二可动电容极板、第一电荷放大电路以及第二电荷放大电路，该第一质量块与第二质量块刚性连接后与第一连接杆的一端固定连接，第一连接杆的另一端固定连接于壳体上，第一弹性连接件分别与壳体和第一质量块连接，第二弹性连接件分别与壳体和第二质量块连接，通过将第一可动电容极板设置于第一质量块上随第一质量块转动，第二可动电容极板设置于第二质量块上随第二质量块转动，将第一固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第一可变电容器，第二固定电容极板固定连接于壳体上与第二可动电容极板组成第二可变电容器，将第一电荷放大电路与第一可变电容器耦合，第二电荷放大电路与第二可变电容器耦合，使第一电荷放大电路与第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以使处理器根据第一电荷放大电路和第二电荷放大电路输出的电压判断该MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态，从而能够能够提供一种结构简单、体积小巧以及成本低廉的转动加速度传感器，并且能精确判断构件是否转动。
本发明的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明实施例而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。通过附图所示，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。
图1为本发明实施例提供的MEMS转动加速度传感器的一种电路原理图；
图2为本发明实施例提供的MEMS转动加速度传感器的另一种电路原理图；
图3为本发明实施例提供的MEMS转动加速度传感器的电源模块供电图；
图4为本发明实施例提供的转动加速度测量装置的电路原理图。
图标：100-MEMS转动加速度传感器；102-壳体；104-第一质量块；106-第二质量块；108-第一连接杆；110-第一弹性连接件；112-第二弹性连接件；114-第一固定电容极板；116-第二固定电容极板；118-第一可动电容极板；120-第二可动电容极板；122-第一电荷放大电路；124-第二电荷放大电路；126-差分采样电路；128-第一PID反馈电路；130-第二PID反馈电路；132-第一电容开关；134-第二电容开关；136-第三电容开关；138-第四电容开关；140-第二连接杆；142-电源模块；200-转动加速度测量装置；210-处理器。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
第一实施例
请参照图1，本实施例提供了一种MEMS转动加速度传感器100，其包括壳体102、第一质量块104、第二质量块106、第一连接杆108、第一弹性连接件110、第二弹性连接件112、第一固定电容极板114、第二固定电容极板116、第一可动电容极板118、第二可动电容极板120、第一电荷放大电路122以及第二电荷放大电路124，其中，该第一质量块104、第二质量块106、第一连接杆108、第一弹性连接件110、第二弹性连接件112、第一固定电容极板114、第二固定电容极板116、第一可动电容极板118、第二可动电容极板120、第一电荷放大电路122以及第二电荷放大电路124均设置于壳体102内。
在本实施例中，MEMS转动加速度传感器100是基于MEMS技术制造的，MEMS传感器体积小巧、重量轻、成本低、可靠性高并易于实现数字化和智能化，因此，作为一种方式，利于MEMS技术制作差动电容器，使其输出与角加速度成比例，进而得到被测物体的转动振动量。
作为本实施例的一种实施方式，该第一质量块104与第二质量块106是该MEMS转动加速度传感器100的执行器，第一质量块104和第二质量块106均为敏感质量块。该第一质量块104与第二质量块106刚性连接，即该第一质量块104和第二质量块106不可相对移动，进一步的，刚性连接后的第一质量块104和第二质量块106与第一连接杆108的一端固定连接，该第一连接杆108的另一端固定连接于壳体102上，可以理解的，第一连接杆108与壳体102可以通过粘接固定连接、可以通过螺纹件固定连接，也可以一体成型，以保证该第一质量块104和第二质量块106通过第一连接杆108固定连接于壳体102内。
作为一种方式，第一弹性连接件110分别与壳体102和第一质量块104连接，第二弹性连接件112分别与壳体102和第二质量块106连接，可以理解的，在第一弹性连接件110和第二弹性连接件112的作用下，该第一质量块104和第二质量块106可产生转动运动，优选的，该第一质量块104和第二质量块106以第一连接杆108的一端为圆心的转动发生转动。
进一步的，第一可动电容极板118设置于第一质量块104上随第一质量块104转动，优选的，第一可动电容极板118设置于第一质量块104的两侧；第二可动电容极板120设置于第二质量块106上随第二质量块106转动，优选的，第二可动电容极板120设置于第二质量块106的两侧。可以理解的，当该MEMS转动加速度传感器100的壳体102发生转动振动时，相互连接的第一质量块104和第二质量块106以第一连接杆108为圆心发生转动，进而带动第一可动电容极板118和第二可动电容极板120发生转动。
进一步的，该第一固定电容极板114与壳体102固定连接，该第一固定电容极板114与第一可动电容极板118组成第一可变电容器，可以理解的，当第一质量块104转动带动第一可动电容极板118转动时，该第一固定电容极板114和第一可动电容极板118之间的间距和正对面积发生改变，形成第一可变电容器并输出电荷；该第二固定电容极板116与壳体102固定连接，该第二固定电容极板116与第二可动电容极板120组成第二可变电容器，可以理解的，当第二质量块106转动带动第二可动电容极板120转动时，该第二固定电容极板116和第二可动电容极板120之间的间距和正对面积发生改变，形成第二可变电容器并输出电荷。
作为本实施例的一种实施方式，该第一电荷放大电路122与第一可变电容器耦合，即该第一电荷放大电路122的输入端与第一可变电容器的输出端耦合，从第一可变电容器输出的电荷经第一电荷放大电路122将电荷信号转变成电压信号输出；该第二电荷放大电路124与第二可变电容器耦合，即该第二电荷放大电路124的输入端与第二可变电容器的输出端耦合，从第二可变电容器输出的电荷经第二电荷放大电路124将电荷信号转变成电压信号输出。
在本实施例中，该第一电荷放大电路122与第二电荷放大电路124用于与处理器耦合，以使该处理器根据第一电荷放大电路122和第二电荷放大电路124输出的电压判断该MEMS转动加速度传感器100是否处于转动状态，可以理解的，当该MEMS转动加速度传感器100转动振动时，第一质量块104和第二质量块106转动形成第一可变电容器输出电荷和形成第二可变电容器输出电荷，经第一电荷放大电路122和第二电荷放大电路124转变成电压后输入处理器，处理器根据接收到的电压大小判断MEMS转动加速度传感器100是否处于转动状态，作为一种方式，当处理器接收到的电压大于预设的电压大小时，则判断该MEMS转动加速度传感器100处于转动振动状态。
请参照图2，作为本实施例的一种实施方式，MEMS转动加速度传感器100还包括差分采样电路126，其中，该差分采样电路126分别与第一电荷放大电路122和第二电荷放大电路124耦合，可以理解的，该差分采样电路126的输入端分别与第一电荷放大电路122和第二电荷放大电路124的输出端耦合。该差分采样电路126同时采集第一电荷放大电路122和第二电荷放大电路124输出的电压信号，提取电压信号，以抵消水平振动的干扰并增强转动振动时该MEMS转动加速度传感器100的灵敏度，使该MEMS转动加速度传感器100的输出电压与转动加速度成正比，从而根据输出电压计算得到该MEMS转动加速度传感器100的转动加速度。
在本实施例中，该MEMS转动加速度传感器100还包括第一PID反馈电路128，其中，第一PID反馈电路128的输入端与第一电荷放大电路122的输出端耦合，第一PID反馈电路128的输出端与第一可变电容器的输出端耦合，该第一PID反馈电路128接收经该第一电荷放大电路122转变的电压信号，并根据该电压信号反馈调节该第一可变电容器的电荷输出。该MEMS转动加速度传感器100还包括第二PID反馈电路130，其中，第二PID反馈电路130的输入端与第二电荷放大电路124的输出端耦合，第二PID反馈电路130的输出端与第二可变电容器的输出端耦合，该第二PID反馈电路130接收经该第二电荷放大电路124转变的电压信号，并根据该电压信号反馈调节该第二可变电容器的电荷输出。可以理解的，通过上述第一PID反馈电路128和第二PID反馈电路130的设置，可以对第一可变电容器和第二可变电容器的输出电荷进行调节。
进一步的，该MEMS转动加速度传感器100还包括第一电容开关132，其中，第一电荷放大电路122的输入端和第一可变电容器的输出端通过第一电容开关132耦合，该第一电容开关132用于控制第一可变电容器和第一电荷放大电路122之间的开合。该MEMS转动加速度传感器100还包括第二电容开关134，其中，第二电荷放大电路124的输入端和第二可变电容器的输出端通过第二电容开关134耦合，该第二电容开关134用于控制第二可变电容器和第二电荷放大电路124之间的开合。
进一步的，该MEMS转动加速度传感器100还包括第三电容开关136，其中，第一PID反馈电路128的输出端和第一可变电容器的输出端通过该第三电容开关136耦合，该第三电容开关136用于控制第一电容器和第一PID反馈电路128之间的开合。该MEMS转动加速度传感器100还包括第四电容开关138，其中，第二PID反馈电路130的输出端和第二可变电容器的输出端通过该第四电容开关138耦合，该第四电容开关138用于控制第二电容器和第二PID反馈电路130之间的开合。
可以理解的，当需要进行电压信号的采样时，控制第一电容开关132和第二电容开关134导通，第三电容开关136和第四电容开关138关闭。当需要进行力反馈控制时，控制第一电容开关132和第二电容开关134关闭，第三电容开关136和第四电容开关138导通。作为本实施例的一种实施方式，该第一电容开关132、第二电容开关134、第三电容开关136以及第四电容开关138内均设置有晶振，可以理解的，该晶振用于当需要进行电压信号的采样时，控制第一电容开关132和第二电容开关134导通，第三电容开关136和第四电容开关138关闭。当需要进行力反馈控制时，控制第一电容开关132和第二电容开关134关闭，第三电容开关136和第四电容开关138导通。
作为一种方式，该MEMS转动加速度传感器100还包括第二连接杆140，该第一质量块104和第二质量块106通过第二连接杆140刚性连接，优选的，第一连接杆108的一端连接于第二连接杆140的中部，从而使第一质量块104和第二质量块106以第一连接杆108为圆心转动。
在本实施例中，该第一弹性连接件110为弹簧，该第二弹性连接件112为弹簧。
请参照图3，进一步的，该MEMS转动加速度传感器100还包括电源模块142，其中，该电源模块142分别与第一电荷放大电路122、第二电荷放大电路124、第一PID反馈电路128、第二PID反馈电路130以及差分采样电路126耦合，以为第一电荷放大电路122、第二电荷放大电路124、第一PID反馈电路128、第二PID反馈电路130以及差分采样电路126供电。
请参照图4，本发明实施例还提供了一种转动加速度测量装置200，其包括处理器210和上述MEMS转动加速度传感器100，该处理器210与差分采样电路126耦合，处理器210用于根据差分采样电路126提取的电压信号获取该MEMS转动加速度传感器100的转动加速度值。
本发明实施例提供的MEMS转动加速度传感器100当壳体102发生转动振动时，相互连接的第一质量块104和第二质量块106发生转动，使得位于第一质量块104两侧的第一可动电容极板118与第一固定电容极板114组成第一可变电容器输出电荷与转动加速度成正比，使第二质量块106两侧的第二可动电容极板120与第二固定电容极板116组成第二可变电容器输出电荷与转动加速度成正比，该第一可变电容器输出的电荷经第一电荷放大电路122转变成电压信号输出，该第二可变电容器输出的电荷经第二电荷放大电路124转变成电压信号输出，进而差分采样电路126提取上述电压信号使得MEMS转动加速度传感器100输出的电压与转动加速度成正比。同时电压信号经第一PID反馈电路128输入到第一可变电容器，经第二PID反馈电路130输入到第二可变电容器，从而形成闭环控制反馈式转动加速度传感器。
综上所述，本发明实施例提供的MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置包括壳体、第一质量块、第二质量块、第一连接杆、第一弹性连接件、第二弹性连接件、第一固定电容极板、第二固定电容极板、第一可动电容极板、第二可动电容极板、第一电荷放大电路以及第二电荷放大电路，该第一质量块与第二质量块刚性连接后与第一连接杆的一端固定连接，第一连接杆的另一端固定连接于壳体上，第一弹性连接件分别与壳体和第一质量块连接，第二弹性连接件分别与壳体和第二质量块连接，通过将第一可动电容极板设置于第一质量块上随第一质量块转动，第二可动电容极板设置于第二质量块上随第二质量块转动，将第一固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第一可变电容器，第二固定电容极板固定连接于壳体上与第二可动电容极板组成第二可变电容器，将第一电荷放大电路与第一可变电容器耦合，第二电荷放大电路与第二可变电容器耦合，使第一电荷放大电路与第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以使处理器根据第一电荷放大电路和第二电荷放大电路输出的电压判断该MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态，从而能够能够提供一种结构简单、体积小巧以及成本低廉的转动加速度传感器，并且能精确判断构件是否转动。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种MEMS转动加速度传感器，其特征在于，包括壳体、第一质量块、第二质量块、第一连接杆、第一弹性连接件、第二弹性连接件、第一固定电容极板、第二固定电容极板、第一可动电容极板、第二可动电容极板、第一电荷放大电路以及第二电荷放大电路，所述第一质量块与所述第二质量块刚性连接后与所述第一连接杆的一端固定连接，所述第一连接杆的另一端固定连接于所述壳体上，所述第一弹性连接件分别与所述壳体和所述第一质量块连接，所述第二弹性连接件分别与所述壳体和所述第二质量块连接，所述第一可动电容极板设置于所述第一质量块上随所述第一质量块转动，所述第二可动电容极板设置于所述第二质量块上随所述第二质量块转动，所述第一固定电容极板与所述壳体固定连接，所述第一固定电容极板与所述第一可动电容极板组成第一可变电容器，所述第二固定电容极板与所述壳体固定连接，所述第二固定电容极板与所述第二可动电容极板组成第二可变电容器，所述第一电荷放大电路与所述第一可变电容器耦合，所述第二电荷放大电路与所述第二可变电容器耦合，所述第一电荷放大电路与所述第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以使所述处理器根据第一电荷放大电路和所述第二电荷放大电路输出的电压判断所述MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态；
其中，所述第一质量块和所述第二质量块以所述第一连接杆为圆心发生转动，或所述第一质量块和所述第二质量块以所述第一连接杆的一端为圆心发生转动。
2.根据权利要求1所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述MEMS转动加速度传感器还包括差分采样电路，所述差分采样电路分别与所述第一电荷放大电路的输出端和所述第二电荷放大电路的输出端耦合，所述差分采样电路用于提取所述第一电荷放大电路和所述第二电荷放大电路输出的电压信号，以使所述MEMS转动加速度传感器的输出电压与转动加速度成正比。
3.根据权利要求2所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述MEMS转动加速度传感器还包括第一PID反馈电路和第二PID反馈电路，所述第一PID反馈电路的输入端与所述第一电荷放大电路的输出端耦合，所述第一PID反馈电路的输出端与所述第一可变电容器的输出端耦合，所述第一PID反馈电路用于调节所述第一可变电容器的电荷输出，所述第二PID反馈电路的输入端与所述第二电荷放大电路的输出端耦合，所述第二PID反馈电路的输出端与所述第二可变电容器的输出端耦合，所述第二PID反馈电路用于调节所述第二可变电容器的电荷输出。
4.根据权利要求3所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述MEMS转动加速度传感器还包括第一电容开关和第二电容开关，所述第一电荷放大电路的输入端和所述第一可变电容器的输出端通过所述第一电容开关耦合，所述第二电荷放大电路的输入端和所述第二可变电容器的输出端通过所述第二电容开关耦合。
5.根据权利要求4所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述MEMS转动加速度传感器还包括第三电容开关和第四电容开关，所述第一PID反馈电路的输出端与所述第一可变电容器的输出端通过所述第三电容开关耦合，所述第二PID反馈电路的输出端与所述第二可变电容器的输出端通过所述第四电容开关耦合。
6.根据权利要求5所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述第一电容开关、所述第二电容开关、所述第三电容开关以及所述第四电容开关内均设置有晶振，所述晶振用于当采样电压信号时，导通所述第一电容开关和所述第二电容开关并闭合所述第三电容开关和所述第四电容开关，当反馈调节时，闭合所述第一电容开关和所述第二电容开关并导通所述第三电容开关和所述第四电容开关。
7.根据权利要求1所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述MEMS转动加速度传感器还包括第二连接杆，所述第一质量块和所述第二质量块通过所述第二连接杆刚性连接。
8.根据权利要求1所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述第一弹性连接件为弹簧，所述第二弹性连接件为弹簧。
9.根据权利要求3所述的MEMS转动加速度传感器，其特征在于，所述MEMS转动加速度传感器还包括电源模块，所述电源模块分别与所述第一电荷放大电路、所述第二电荷放大电路、所述第一PID反馈电路、所述第二PID反馈电路以及所述差分采样电路耦合。
10.一种转动加速度测量装置，其特征在于，包括处理器和权利要求2-6任一项所述的MEMS转动加速度传感器，所述处理器与所述差分采样电路耦合，所述处理器用于根据所述差分采样电路提取的电压信号获取所述MEMS转动加速度传感器的转动加速度值。
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