CN107532903B - 转动速率传感器和方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种转动速率传感器，具有第一旋转地悬挂的质量块，所述质量块具有第一旋转轴和第一转动速率测量元件，所述转动速率测量元件被构造用于检测围绕所述第一旋转轴的转动速率；具有第二旋转地悬挂的质量块，所述质量块具有第二旋转轴以及第二转动速率测量元件，所述第二旋转轴是平行于所述第一旋转轴布置的，所述第二转动速率测量元件被构造用于检测围绕所述第二旋转轴的转动速率；以及具有驱动设备，所述驱动设备被构造用于这样地驱动所述第一质量块和所述第二质量块，使得所述第一质量块和所述第二质量块向着相反的方向执行旋转运动。此外本发明公开了一种相应的方法。

Description

转动速率传感器和方法

技术领域

本发明涉及转动速率传感器以及用于检测转动速率的相应的方法。

背景技术

如今转动速率传感器在大量的应用中被使用。例如转动速率传感器能够被使用在车辆中，以便检测所述车辆的当前的运动。这些数据是需要的，以便能够例如在车辆中提供电子的稳定程序。

不过，转动速率传感器能够例如也被使用在移动的通讯设备中，例如智能手机，以便检测所述智能手机的运动。这能够实现的是，例如检测通过所述智能手机的运动来对所述智能手机的应用进行的输入。例如城市地图的地图视角能够相应于所述智能手机的运动而运动。

转动速率传感器能够在此例如作为微机电系统被建立。通常这样的微机电系统在此由反平行振动质量块系统构成。通过科里奥利力产生垂直于所述驱动运动的偏转，其能够借助于适合的评估电路被测量。

替代地也能够使用旋转地工作的方案，就这些方案而言将质量块置于旋转或者旋转振动中，并且围绕X或者Y轴的转动速率通过由这个平面的倾斜来测量。

文献DE10 2006/052 522 A1示出了一种这样的转动速率传感器，所述转动速率传感器能够检测围绕两个垂直地彼此垂直的轴的转动速率。

如果用于检测围绕第三轴例如Z轴的转动速率的结构应当集成在这样的传感器中，那么为此通常使用在转子之外的结构。如果这种结构被集成在所述转子上，那么这会导致的是：离心力叠加所述科里奥利力，并且使信号的评估变得困难。

发明内容

本发明公开了一种转动速率传感器以及一种方法。

因而设置的是：

转动速率传感器，其具有第一旋转地悬挂的质量块，所述质量块具有第一旋转轴和第一转动速率测量元件，所述转动速率测量元件被构造用于检测围绕所述第一旋转轴的转动速率并且在信号中输出；具有第二旋转地悬挂的质量块，所述质量块具有第二旋转轴以及第二转动速率测量元件，所述第二旋转轴是平行于所述第一旋转轴布置的，所述第二转动速率测量元件被构造用于检测围绕所述第二旋转轴的转动速率并且在信号中输出；以及具有驱动设备，所述驱动设备被构造用于这样地驱动所述第一质量块和所述第二质量块，使得所述第一质量块和所述第二质量块向着相反的方向执行旋转运动；并且具有评估设备，所述评估设备被构造用于将所述第一转动速率测量元件和所述第二转动速率测量元件的信号的差作为有待测量的转动速率输出。

此外设置的是：

用于检测转动速率的方法，具有将第一旋转地悬挂的质量块置于围绕第一旋转轴的振动中；将第二旋转地悬挂的质量块置于相反于所述第一质量块的振动的、围绕第二旋转轴的振动中，所述第二旋转轴是平行于所述第一旋转轴布置的；以及通过由第一转动速率测量元件（4）的信号和第二转动速率测量元件的信号的差形成来检测在平行于所述第一旋转轴和所述第二旋转轴的第三旋转轴中的转动速率，所述第一转动速率测量元件是被布置在所述第一质量块上的，所述第二转动速率测量元件是被布置在所述第二质量块上的。

本发明的优点

本发明的基础的认知在于，在旋转运动时的离心力始终是指向远离所述旋转的中心，而所述科里奥利力取决于转动方向。

本发明的基础的构思当前在于，考虑这种认知并且设置转动速率传感器，就所述转动速率传感器而言两个质量块是这样被驱动的，使得所述质量块向着相反的方向围绕它们的相应旋转轴旋转或者执行旋转的振动。

本发明此外在所述质量块的每个质量块上设置转动速率测量元件。如同上面已经解释的那样，在旋转时的离心力始终指向远离所述旋转的中心。

通过所述转动速率测量元件的输出信号的差形成，因此相互消除了由所述离心力引起的信号分量。

不过由于所述科里奥利力是依赖于所述转动方向的，所述转动速率测量元件中的一个元件产生了正信号，并且所述转动速率测量元件中的一个元件产生了负信号。通过由两个具有相反的符号的信号分量的差形成，因此得出了具有各个转动速率信号的、大约双倍的振幅的转动速率信号。

有利的实施方式和改型方案由说明参照附图得出。

在一种实施方式中，所述转动速率传感器具有耦接元件，所述耦接元件被构造用于这样地相互耦接所述第一质量块和所述第二质量块，从而在驱动所述第一质量块和所述第二质量块时构造共同的驱动模式。这导致各个质量块的共同的或者说同时的运动，并且能够实现简单的差形成。

在一种实施方式中，所述耦接元件被构造为所述驱动装置。这能够实现所述转动速率传感器的简单的和少许复杂的结构。

在一种实施方式中，所述第一转动速率测量元件具有第一活动的探测质量块和第二活动的探测质量块，其中，在所述第一质量块上的所述第一探测质量块和所述第二探测质量块是对称地在所述第一旋转轴的相对置的侧面上在经过所述第一旋转轴延伸的第一线上布置的。这能够实现在围绕所述第一旋转轴转动时产生的力的简单的测量。

在一种实施方式中，所述第二转动速率测量元件具有第一活动的探测质量块和第二活动的探测质量块，其中，在所述第二质量块上的所述第一探测质量块和所述第二探测质量块是对称地在所述第二旋转轴的相对置的侧面上在经过所述第二旋转轴延伸的第二线上布置的。这能够实现在围绕所述第二旋转轴转动时产生的力的简单的测量。

在一种实施方式中，所述转动速率传感器具有至少两个第一评估电极，所述评估电极在所述探测质量块中的每个上是这样布置的，使得在相应质量块围绕相应的旋转轴转动时在相应第一评估电极之间的可测量的物理量变化。例如所述第一评估电极中的一个评估电极能够被构造为相应探测质量块或者相应探测质量块的一部分。所述第一评估电极中的第二个评估电极能够例如是这样在相应的探测质量块的附近布置的，使得在所述探测质量块运动时在所述第一评估电极之间的电容、电压、其他的电的量或者诸如此类变化。

在一种实施方式中，所述第一质量块的第一评估电极和所述第二质量块的第一评估电极布置在微分电路（Differenzschaltung）中。这导致的是：减去由所述离心力引起的这样的信号分量，并且加上由科里奥利加速度引起的这样的信号分量。

在一种实施方式中，所述微分电路由所述第一质量块的第一评估电极相对于所述第二质量块的第一评估电极的颠倒的极性提供。这能够实现所述差的非常简单的形成，由于所述第一质量块的第一评估电极的电接通和所述第二质量块的第一评估电极的电接通能够简单地相互电连接。

在一种实施方式中，所述转动速率传感器具有至少两个第二评估电极，所述评估电极是这样分别被布置在所述第一质量块上和在所述第二质量块上的，使得在围绕垂直于相应旋转轴的第一轴的相应质量块转动时在相应的第二评估电极之间的可测量的物理量变化。这能够实现在其他的第一轴中的所述转动速率和/或所述加速度的测量。

在一种实施方式中，所述转动速率传感器具有至少两个第三评估电极，所述评估电极是这样分别被布置在所述第一质量块上和在所述第二质量块上的，使得在围绕垂直于相应旋转轴和相应第一轴的第二轴的相应的质量块转动时在相应第三评估电极之间的可测量的物理量变化。这能够实现在其他的第二轴中的所述转动速率和/或所述加速度的测量。

在一种实施方式中，所述第一线和所述第二线以相互成90°的角度布置或者分别与一个轴成45°的角度布置，所述轴处在所述第一质量块和所述第二质量块之间。在这样一种布置方式中，所述其他的第一轴和所述其他的第二轴不是以相互成90°的角度布置的，因此例如围绕X轴和Y轴的转动速率不直接被测量。更确切地说，所述转动速率在以45°的幅度倾斜的坐标系中被检测并且能够被换算成具有在所述轴之间90°的角度的、通常的3轴的坐标系。

上面的实施方案和改型方案如果合适能够任意相互组合。本发明的其他的可能的实施方案、改型方案以及执行也包括之前或者以下关于实施例描述的本发明的特征的未明确提到的组合。尤其，在此本领域技术人员还将添加各个方面作为对本发明的各基本形式的改进或补充。

附图说明

本发明后续借助在附图的示意图中说明的实施例作更详细地解释。在此，附图中：

图1 示出了根据本发明的转动速率传感器的一种实施方式的框图；

图2 示出了根据本发明的方法的一种实施方式的流程图；

图3示出了根据本发明的转动速率传感器的另一种实施方式的框图；

图4 示出了根据本发明的转动速率传感器的另一种实施方式的框图。

在所有附图中，相同的或者功能相同的元件和装置——如果没有其他的说明——设有同样的附图标记。

具体实施方式

图1示出了根据本发明的转动速率传感器1-1的一种实施方式的框图。在图1中此外示出了一种坐标系，就所述坐标系而言所述X轴向右示出，所述Y轴以相对X轴成90°的角度向上示出，并且所述Z轴由绘图平面出来以相对所述X轴成90°的角度并且以相对所述Y轴成90°的角度示出。

图1的所述转动速率传感器1-1具有两个质量块2和6，所述质量块是旋转地悬挂的。旋转地表示在以下联系中：所述质量块2、6执行至少一个旋转的振动。旋转地不是必须表示：所述质量块2、6执行连续的旋转运动。

所述第一质量块2在此是这样悬挂的或者说被紧固的，使得它执行围绕第一旋转轴3的旋转的运动。所述第二质量块6是这样悬挂的或者说被紧固的，使得它执行围绕第二旋转轴7的旋转的运动。所述第一旋转轴3和第二旋转轴7是在此尤其平行地相互布置的。

此外，所述质量块2、6中的每个具有转动速率测量元件4、8，所述转动速率测量元件被构造用于：检测围绕相应旋转轴3、7的相应质量块2、6的转动速率5、9以及输出相应的信号21、22。

所述转动速率测量元件4的信号21和所述转动速率测量元件8的信号22被评估设备11询问并且相减。所述评估设备11输出所述相减12的结果作为有待检测的转动速率30。

所述转动速率传感器1-1此外具有驱动设备10，所述驱动设备是这样驱动所述两个质量块2、6的，使得所述质量块在有源的驱动时执行相反的旋转的运动，也就是执行向着相反的方向的旋转的运动。

根据本发明的转动速率传感器1-1能够在一种实施方式中例如被构造为微机电的、MEMS、转动速率传感器1-1。在此所述驱动设备10能够例如被构造为静电的驱动设备10或者诸如此类。

图2示出了用于检测转动速率30的根据本发明的方法的一种实施方式的流程图。

所述方法设置了：将第一旋转地悬挂的质量块2置于S1围绕第一旋转轴3的振动中。此外将第二旋转地悬挂的质量块6置于围绕第二旋转轴7的振动中，所述第二旋转轴是平行于所述第一旋转轴3布置的，其是相反于所述第一质量块2的振动的。

最后设置的是：通过由第一转动速率测量元件4的和第二转动速率测量元件8的信号而得的差形成检测S3在平行于所述第一旋转轴3和所述第二旋转轴7的第三旋转轴中的转动速率30，所述第一转动速率测量元件4被布置在所述第一质量块2上，所述转动速率测量元件8被布置在所述第二质量块6上。

为了更为简单地评估所述两个质量块2、6的信号21、22，所述第一质量块2和所述第二质量块6能够是这样相互耦接的，使得在所述第一质量块2的振动和所述第二质量块6的振动时构造共同的驱动模式。

在一种实施方式中所述方法能够设置：将第一探测质量块14和第二探测质量块15作为所述第一转动速率测量元件4布置在所述第一质量块2上，以及将第一探测质量块14和第二探测质量块15作为所述第二转动速率测量元件8布置在所述第二质量块6上。

在此在所述第一质量块2上的所述第一探测质量块14和所述第二探测质量块15能够对称地在所述第一旋转轴3的相对置的侧面上在经过所述第一旋转轴3延伸的第一线16上布置。此外在所述第二质量块6上的所述第一探测质量块14和所述第二探测质量块15能够对称地在所述第二旋转轴7的相对置的侧面上在经过所述第二旋转轴7延伸的第二线17上布置。在一种实施方式中，所述探测质量块14、15在此能够是这样被布置的，使得所述第一线16和所述第二线17以相互成90°的角被布置。

为了简单地评估所述转动速率测量元件4、8，至少两个第一评估电极18-1、18-2在所述探测质量块14、15中的每个探测质量块上能够是这样被布置的，使得在相应质量块2、6围绕相应的旋转轴转动时在相应第一评估电极18-1、18-2之间的可测量的物理量变化。例如能够改变在所述第一评估电极18-1、18-2之间的电容或者电压。

所述评估的一种简单的可能性在一种实施方式中在于：所述第一质量块2的所述第一评估电极18-1、18-2以及所述第二质量块6的第一评估电极18-1、18-2电路连接在微分电路中。

在一种实施方式中，能够将所述微分电路作为被动的微分电路提供，在所述微分电路中所述第一评估电极18-1、18-2的接触直接被相互电耦接。所述差形成能够通过相对于所述第二质量块6的第一评估电极18-1、18-2的、所述第一质量块2的所述第一评估电极18-1、18-2的颠倒的极性来提供。

例如所述第一质量块2的所述第一评估电极18-1、18-2能够是这样被构造的，使得其在有待测量转动速率30时在预定的方向中输出正信号，并且所述第二质量块6的所述第一评估电极18-1、18-2能够被构造，在一转速时向着所述预定的方向输出负的信号。

此外可能的是，对其他的转动速率测量使用所述质量块2和6，为此可测量的物理量在相应质量块2、6围绕垂直于相应旋转轴3、7的、具有至少两个第二评估电极19-1、19-2的第一轴转动时能够被检测，所述至少两个第二评估电极是被布置在相应质量块2、6上的。此外可测量的物理量在相应质量块2、6围绕垂直于相应旋转轴3、7的以及相应第一轴的、具有至少两个第三评估电极20-1、20-2的第二轴转动时能够被检测，所述至少两个第三评估电极是被布置在相应质量块2、6上的。

由此可能的是：借助根据本发明的方法检测在其他的附图中所示出的坐标系的、在三个轴中的也就是例如在所述X、Y和Z轴中的转动速率。

图3示出了根据本发明的转动速率传感器1-2的另一种实施方式的框图。

图3的所述转动速率传感器1-2基于图1的所述转动速率传感器1-1并且与此区别如下：所述转动速率测量元件4或者8不是明确描绘的，而是分别通过两个探测质量块14、15代表的。

此外，所述第一质量块2的探测质量块14、15是被布置在线16上的，所述线与在所述两个质量块2、7之间的垂直线成45°的角度。所述探测质量块14在此指向外，也就是由所述第二质量块6远离并且所述探测质量块15在此指向内，也就是向着所述第二质量块6。

所述第二质量块2的探测质量块14、15同样是被布置在线17上的，所述线与在所述两个质量块2、7之间的垂直线成45°的角度。在此所述线17与所述线16成90°的角度。所述探测质量块14在此指向外，也就是由所述第一质量块2远离，并且所述探测质量块15在此指向内，也就是向着所述第一质量块2。

所述质量块2和6的这种布置方式导致的是：所述质量块2和6由所述X轴或者所述Y轴出来的倾斜不直接被检测。更确切地说，在所述质量块2和6由所述X轴或者所述Y轴出来倾斜时检测在以45°的幅度倾斜的坐标系中的转动速率。在围绕所述Y轴或者所述Z轴纯倾斜时因此能够检测在两个质量块2和6上的相应的转动速率的分量。这些分量能够在例如通过计算设备例如ASIC、微控制器或者诸如此类评估时被结算，以便计算相应的转动速率。

这此外有以下优点：围绕所述X轴和所述Y轴的转动速率冗余地也就是在两个通道中被检测。

所述探测质量块14、15能够例如作为弹性地悬挂的质量块14、15被构造，所述质量块能够通过在相应探测质量块14、15上起作用的力由它们的静止位置被移出。所述探测质量块14、15的运动能够由它们的静止位置，如同在图3中的示出那样，例如通过适合的被安置的评估电极18-1、18-2被检测。

在图3的实施方式中，为此在所述探测质量块14、15中的每个上安置两个评估电极18-1、18-2。在此在图3中，在相应探测质量块14、15旁布置所述第一评估电极18-1。在图3中，相应第二评估电极18-2被构造为相应探测质量块14、15本身。在其他的实施方式中所述探测质量块14、15能够具有专用的评估电极18-2。

所述评估电极18-1、18-2能够例如构造为板状结构，其法线基本上指向旋转质量块2的旋转轴3的中心点。如果相应的探测质量块14、15由它们的静止位置运动出来，那么因此在所述第一评估电极18-1和所述第二评估电极18-2的板之间的间隔变化，这导致可测量的物理量例如电容、电感、阻抗或者诸如此类的变化。

所述评估电极18-1、18-2能够尤其被构造用于：探测向着所述转动中心的运动以及由所述转动中心远离的运动。

此外在一种实施方式中的所述评估电极18-1和/或所述评估电极18-2能够被构造为差分评估电极18-1、18-2，就这些评估电极而言分别设置两个单个电极。例如这能够是这样被布置的，使得在所述单个电极中的一个电极上的可测量的电容在相应探测质量块14、15运动时上升，并且在所述单个电极的另一个电极上的可测量的电容在相应探测质量块14、15运动时下降。这能够实现针对所述探测质量块14、15中的每个已经分开地执行差观察，并且通过紧接着的差形成由测量结果算出整个转动速率传感器的线性运动。

图3的布置方式能够实现有待检测的转动速率30的一种非常简单的检测。有待检测的转动速率30在此相应于整个转动速率传感器1-2的转动速率30，并且是不依赖于各个质量块2、6的转动速率的，所述转动速率是通过所述质量块2、6的旋转的运动被产生的。

在所述质量块2、6转动时，两个不同的力作用到所述质量块2、6或者所述相应的探测质量块14、15上。一方面离心力作用到相应探测质量块14、15上，所述探测质量块是由所述旋转轴3或者所述旋转轴7始终向外指向的。

因此在进行所述信号21和22的减法时通过所述离心力产生的信号分量相互消除。

由所述科里奥利力产生的这样的信号分量与所述离心力相反不过是依赖于相应质量块2、6的转动方向的。由于所述质量块2、6执行相反的旋转的运动，所以由所述科里奥利力产生的所述信号21、22的信号分量因此具有不同的符号。这导致的是：由于所述减法12产生一种输出信号，就所述输出信号而言由所述科里奥利力产生的信号分量具有由所述两个信号21、22构成的、相应的信号分量的总和。在所述质量块2和所述质量块6的相同的实施方案时这种信号分量也就是具有相对于各个信号21、22的双倍的值。

图4示出了根据本发明的转动速率传感器1-3的另一种实施方式的框图。

所述转动速率传感器1-3基于图3的所述转动速率传感器1-2，并且与此区别如下：所述质量块2和6是构造为方形的质量块2、6。在其他的实施方式中所述质量块2和6的任意其他的形状是可能的。

所述质量块2和6在其中心或者说相应旋转轴3、7中通过弹簧元件25被保持，所述弹簧元件能够实现所述相应质量块2、6的旋转的运动。

此外设置了作为支撑体13或者说作为框架13被构造的耦接元件13，所述耦接元件是通过弹簧元件24-1—24-4与所述质量块2和6耦接的。在此描绘了在所述质量块2和6之上的所述框架13的一部分以及在所述质量块2和6之下的所述框架13一部分。所述框架13的其他的可能的组成部分同样是可能的，不过为了简明起见未被示出。

在此所述弹簧24-1和24-2是装在所述质量块2或者6的上面的外部的拐角上的并且所述弹簧24-3和24-4是分别装在所述质量块2和6的内部的下面的拐角上的。

在图4中此外在所述支撑体13的上面的部分上描绘了向上示出的力26，并且在所述支撑体13的下面的部分上描绘向下示出的力26，所述力象征所述支撑体13的偏转。在所述支撑体的这样的偏转时，把 所述两个质量块2和6置于相反的旋转的运动中。如果所述支撑体13周期性地向着所述方向26运动，那么由此得出所述质量块2和6的相反的旋转的振动。所述支撑体13能够因此在所描绘的实施方式中也作为驱动元件10被使用。

在图4中，相应其他的评估电极19-1、19-2和20-1、20-2是装在所述质量块2和6上的，所述评估电极被用作：检测所述质量块2和6的所述偏转或者在X和Y方向上的所述质量块2和6的转动速率。

最后在图4中描绘了所述探测质量块14、15中的一个探测质量块的增大的视图。可以判定出的是：所述探测质量块14、15具有质量块27，所述质量块是通过弹簧元件28-1—28-4与框架29耦接的。所述弹簧元件28-1—28-4在应当测量所述探测质量块14、15的运动的方向这样的方向上与在其他的方向上相比具有更小的弹簧刚性。所述探测质量块14、15的这种实施方式仅仅是示例性质。在其他的实施方式中所述探测质量块14、15也能够不同地实现。

尽管本发明上述借助优选的实施例被描述过，它在此是不被限制的，而是以多种的方式和方法能够被修改的。尤其本发明能够以各式各样的方式在没有偏离本发明的核心的情况下改变或者修改。

Claims (15)

1.转动速率传感器（1-1—1-4）具有：

第一旋转地悬挂的质量块（2），所述质量块具有第一旋转轴（3）和第一转动速率测量元件（4），所述转动速率测量元件被构造用于检测围绕所述第一旋转轴（3）的转动速率（5）并且在信号（21）中输出；

第二旋转地悬挂的质量块（6），所述质量块具有第二旋转轴（7）以及第二转动速率测量元件（8），所述第二旋转轴是平行于所述第一旋转轴（3）并且与所述第一旋转轴（3）间隔开布置的，所述第二转动速率测量元件（8）被构造用于检测围绕所述第二旋转轴（7）的转动速率（9）并且在信号（22）中输出；

驱动设备（10），所述驱动设备被构造用于这样地驱动所述第一质量块（2）和所述第二质量块（6），使得所述第一质量块（2）和所述第二质量块（6）向着相反的方向执行旋转运动；以及

评估设备（11），所述评估设备被构造用于将所述第一转动速率测量元件（4）和所述第二转动速率测量元件（8）的信号（21、22）的差（12）作为有待测量的转动速率（30）输出。

2.根据权利要求1所述的转动速率传感器，具有：

耦接元件（13），所述耦接元件被构造用于这样地相互耦接所述第一质量块（2）和所述第二质量块（6），使得在驱动所述第一质量块（2）和所述第二质量块（6）时构造共同的驱动模式。

3.根据权利要求2所述的转动速率传感器，

其中，所述耦接元件（13）被构造为所述驱动设备（10）。

4.根据权利要求1所述的转动速率传感器，

其中，所述第一转动速率测量元件（4）具有第一活动的探测质量块（14）和第二活动的探测质量块（15），其中，在所述第一质量块（2）上的所述第一探测质量块（14）和所述第二探测质量块（15）是对称地在所述第一旋转轴（3）的相对置的侧面上在经过所述第一旋转轴（3）延伸的第一线（16）上布置的；并且

其中，所述第二转动速率测量元件（8）具有第一活动的探测质量块（14）和第二活动的探测质量块（15），其中，在所述第二质量块（6）上的所述第一探测质量块（14）和所述第二探测质量块（15）是对称地在所述第二旋转轴（7）的相对置的侧面上在经过所述第二旋转轴（7）延伸的第二线（17）上布置的。

5.根据权利要求4所述的转动速率传感器，

其中，所述第一线（16）和所述第二线（17）以相互成90°的角度布置。

6.根据前述权利要求4和5中任一项所述的转动速率传感器，具有至少两个第一评估电极（18-1、18-2），所述评估电极在所述探测质量块（14、15）中的每个探测质量块上是这样布置的，使得在相应质量块（2、6）围绕相应的旋转轴转动时在相应第一评估电极（18-1、18-2）之间的能够测量的物理量变化，

其中，所述第一质量块（2）的所述第一评估电极（18-1、18-2）和所述第二质量块（6）的所述第一评估电极（18-1、18-2）被布置在微分电路中。

7.根据权利要求6所述的转动速率传感器，

其中，所述微分电路由所述第一质量块（2）的第一评估电极（18-1、18-2）相对于所述第二质量块（6）的第一评估电极（18-1、18-2）的颠倒的极性提供。

8.根据权利要求1所述的转动速率传感器，

具有至少两个第二评估电极（19-1、19-2），所述评估电极是这样分别被布置在所述第一质量块（2）上和在所述第二质量块（6）上的，使得在相应的质量块（2、6）围绕垂直于相应的旋转轴的第一轴转动时在相应的第二评估电极（19-1、19-2）之间的能够测量的物理量变化；以及

具有至少两个第三评估电极（20-1、20-2），所述第三评估电极是这样相应地被布置在所述第一质量块（2）上和在所述第二质量块（6）上的，使得相应的质量块（2、6）在围绕垂直于相应旋转轴和相应第一轴的第二轴的转动时在相应的第三评估电极（20-1、20-2）之间的能够测量的物理量变化。

9.用于检测转动速率（30）的方法，具有：

将第一旋转地悬挂的质量块（2）置于（S1）围绕第一旋转轴（3）的振动中；

将第二旋转地悬挂的质量块（6）置于（S2）相反于所述第一质量块（2）的振动的、围绕第二旋转轴（7）的振动中，所述第二旋转轴是平行于所述第一旋转轴（3）并且与所述第一旋转轴（3）间隔开布置的；

通过由第一转动速率测量元件（4）的和第二转动速率测量元件（8）的信号而得的差形成来检测（S3）在平行于所述第一旋转轴（3）和所述第二旋转轴（7）的第三旋转轴中的转动速率（30），所述第一转动速率测量元件是被布置在所述第一质量块（2）上的，所述第二转动速率测量元件是被布置在所述第二质量块（6）上的。

10.根据权利要求9所述的方法，具有：

这样耦接所述第一质量块（2）和所述第二质量块（6），从而在所述第一质量块（2）的振动和所述第二质量块（6）的振动时构造共同的驱动模式。

11.根据前述权利要求9和10中任一项所述的方法，具有：

将第一探测质量块（14）和第二探测质量块（15）作为所述第一转动速率测量元件（4）布置在所述第一质量块（2）上，其中，在所述第一质量块（2）上的所述第一探测质量块（14）和所述第二探测质量块（15）是对称地在所述第一旋转轴（3）的相对置的侧面上在经过所述第一旋转轴（3）延伸的第一线（16）上布置的；以及

将第一探测质量块（14）和第二探测质量块（15）作为所述第二转动速率测量元件（8）布置在所述第二质量块（6）上，其中，在所述第二质量块（6）上的所述第一探测质量块（14）和所述第二探测质量块（15）是对称地在所述第二旋转轴（7）的相对置的侧面上在经过所述第二旋转轴（7）延伸的第二线（17）上布置的。

12.根据权利要求11所述的方法，

其中，所述探测质量块（14、15）是这样被布置的，使得所述第一线（16）和所述第二线（17）以相互成90°的角布置。

13.根据前述权利要求11所述的方法，具有：

这样在所述探测质量块（14、15）中的每个探测质量块上布置至少两个第一评估电极（18-1、18-2），使得在相应质量块（2、6）围绕相应的旋转轴转动时在相应第一评估电极（18-1、18-2）之间的能够测量的物理量变化；

其中，所述第一质量块（2）的所述第一评估电极（18-1、18-2）以及所述第二质量块（6）的所述第一评估电极（18-1、18-2）连接在微分电路中。

14.根据权利要求13所述的方法，

其中，所述微分电路通过相对于所述第二质量块（6）的第一评估电极（18-1、18-2）的、所述第一质量块（2）的所述第一评估电极（18-1、18-2）的颠倒的极性来提供。

15.根据前述权利要求9所述的方法，具有：

在相应质量块（2、6）围绕垂直于相应旋转轴的、具有至少两个第二评估电极（19-1、19-2）的第一轴转动时检测能够测量的物理量，所述至少两个第二评估电极是被布置在相应质量块（2、6）上的；以及

在相应质量块（2、6）围绕垂直于相应旋转轴以及相应第一轴的、具有至少两个第三评估电极（20-1、20-2）的第二轴转动时检测能够测量的物理量，所述至少两个第三评估电极是被布置在相应质量块（2、6）上的。

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