CN107179576A - 一种可见光波段的渐变相位金属光栅 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种可见光波段的渐变相位金属光栅，包括金属光栅层，金属光栅层的上表面设有周期性排布的多组凹槽，每组凹槽包括N个不同的凹槽，N为大于等于3的自然数，每组凹槽中各凹槽的相位逐渐增大，后一组凹槽中的第一个凹槽与前一组凹槽中的第一个凹槽的相位差是2π。本发明的金属光栅层的厚度在波长级别，采用贵金属如银作为材料，结构简单，易于加工；在可见光波段实现了异常反射，对于p偏振的入射波，可以实现负反射且具有极高的反射效率，达到80%以上，同时，该光栅对于‑70°到70°的宽范围入射角都有较好的效果；对于s偏振的入射波，则发生正常的镜面反射，因而可以把p偏振和s偏振的反射波区分开来，可以作为高性能的偏振分光器。
Description
技术领域
本发明涉及一种金属光栅，尤其涉及一种可见光波段的渐变相位金属光栅。
背景技术
在光学或信息处理系统中，光学光栅是一个非常重要的光学元件。传统偏振光栅通过在传播方向上积累连续的相位来对光的振幅和相位进行周期性调制。它可以把入射的非偏振光分成两束正交的偏振光，通常用自然双折射晶体或多层介质膜来制作，然而前者尺寸较大，光在器件中的传播距离较长，后者制造成本较高，都难以达到理想光子调制器件的要求。
在过去的几年，超表面凭借其独特的特性引起了广泛的关注。一般超表面的结构是在基底材料表面上排列周期性的微小散射体或腔体阵列，从而在表面上引入突变相位，并且在一个空间结构周期内相位变化必须覆盖0到2π。因而此类超表面实际上是一种特殊的亚波长光栅结构，可以用来实现很多光学现象或者新的效应，例如它可以激发和调制多种电磁模式，实现超常的反射、折射和吸收现象，可用于全息成像，光学聚焦，光偏振态的调制等，在亚波长光学元件领域中具有重要地位。但是现有基于超表面的金属光栅器件，无法同时实现p偏振的负反射、s偏振的镜面反射以及宽角度和高反射率这两个特性，无法满足高性能偏振分光器的要求。
发明内容
本发明克服了现有技术的不足，提供一种可见光波段的渐变相位金属光栅，可以实现反射光波在0级次的遏制，从而使得光波在高级次具有极高的反射效率，同时，该光栅对于-70°到70°的宽范围入射角都有较好的效果，可以作为高性能的偏振分光器。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种可见光波段的渐变相位金属光栅，包括金属光栅层，所述金属光栅层的上表面设有周期性排布的多组凹槽，每组凹槽包括N个不同的凹槽，每组凹槽中各凹槽的相位逐渐增大，后一组凹槽中的第一个凹槽与前一组凹槽中的第一个凹槽的相位差是2π，其中N 为大于等于3的自然数。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括每组凹槽包括N个宽度各不相同、深度均相同的凹槽。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括每组凹槽中各凹槽的宽度逐渐减小。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括每组凹槽包括N个宽度均相同、深度各不相同的凹槽。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括每组凹槽中各凹槽的深度逐渐增大。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括相邻所述凹槽的中心距离均相等，每组凹槽中相邻两个所述凹槽之间的相位差均相等，该相位差为2π/N。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括所述凹槽采用蚀刻工艺形成。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括所述凹槽中的介质为空气、二氧化硅、环氧树脂中的任意一种。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括所述金属光栅层的材料为银、铝、铜、镍中的任意一种。
本发明一个较佳实施例中，一种可见光波段的渐变相位金属光栅进一步包括N＝5。
本发明具有以下有益效果：
(1)本发明设计的金属光栅层的厚度在波长级别，且采用贵金属如银作为材料，结构简单，易于加工，在集成光学和微纳米光学器件中具有较高的可用性。
(2)本发明在可见光波段实现了异常反射，中心波长在650nm，对于p偏振的入射波，可以实现负反射且具有极高的反射效率，达到80％以上，同时，该光栅对于-70°到70°的宽范围入射角都有较好的效果；
(3)本发明只对p偏振的入射波有效果，而对于s偏振的入射波，只存在正常的镜面反射，因此可以把p偏振和s偏振的反射波区分开来，可以作为高性能的偏振分光器。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1为本发明的优选实施例一的几何结构图；
图2为本发明的优选实施例一的凹槽处于不同深度时光波在出射界面处相位和凹槽宽度w的关系曲线图；
图3是本发明的优选实施例一的当ξ＝k0时入射角和反射角的对应关系等频图；
图4是本发明的优选实施例一的当ξ＝1.3k0时入射角和反射角的对应关系等频图；
图5为本发明的优选实施例一的当ξ＝k0时不同入射角度下负反射磁场分布示意图；
图6为本发明的优选实施例一的当ξ＝1.3k0时不同入射角度下负反射磁场分布示意图；
图7为本发明的优选实施例一的当ξ＝k0时不同级次的反射率随入射角的变化曲线图；
图8为本发明的优选实施例一的当ξ＝1.3k0时不同级次的反射率随入射角的变化曲线图；
图9为本发明的优选实施例二的几何结构图；
图10为本发明的优选实施例二的凹槽处于不同宽度时光波在出射界面处相位和凹槽深度d的关系曲线图。
具体实施方式
现在结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
实施例一
如图1所示，一种可见光波段的渐变相位金属光栅，包括金属光栅层2，金属光栅层2的上表面设有周期性排布的多组凹槽，金属光栅层2的材料为银、铝、铜、镍中的任意一种，优选为银，每个凹槽均采用蚀刻工艺形成，每个凹槽中的介质为空气、二氧化硅、环氧树脂中的任意一种，优选为空气，每组凹槽中各凹槽的相位逐渐增大，后一组凹槽中的第一个凹槽与前一组凹槽中的第一个凹槽的相位差是2π，本实施例中每组凹槽包括5个宽度各不相同、深度均相同的凹槽，该5个凹槽从左至右分别是第一凹槽4、第二凹槽6、第三凹槽8、第四凹槽10和第五凹槽12，第一凹槽4、第二凹槽6、第三凹槽8、第四凹槽 10和第五凹槽12的宽度依次设为w1,w2,w3,w4,w5，第一凹槽4、第二凹槽6、第三凹槽8、第四凹槽10和第五凹槽12的深度均为d，第二凹槽6与第一凹槽 4的中心距离、第三凹槽8与第二凹槽6的中心距离、第四凹槽10与第三凹槽 8的中心距离、第五凹槽12与第四凹槽10的中心距离以及下一组凹槽的第一凹槽4与上一组凹槽的第五凹槽12的中心距离均为a，第一凹槽4与第二凹槽6 之间为第一金属栅条14，第二凹槽6与第三凹槽8之间为第二金属栅条16，第三凹槽8与第四凹槽10之间为第三金属栅条18，第四凹槽10与第五凹槽12之间为第四金属栅条20，第五凹槽12与下一组凹槽的第一凹槽4之间为第五金属栅条22，第一凹槽4、第一金属栅条14、第二凹槽6、第二金属栅条16、第三凹槽8、第三金属栅条18、第四凹槽10、第四金属栅条20、第五凹槽12和第五金属栅条22组成金属光栅层2的光栅周期，后一组凹槽设于后一个光栅周期中，前一组凹槽设于前一个光栅周期中，光栅周期长度为p，p＝5a。凹槽的不同宽度导致光在凹槽中的波矢不同，由此带来出射界面处相位的不同，在一个周期长度内，保证相邻两个凹槽之间的相位差为也就是第二凹槽8与第一凹槽6之间的相位差、第三凹槽10与第二凹槽8之间的相位差、第四凹槽12 与第三凹槽10之间的相位差、第五凹槽14与第四凹槽12之间的相位差均为由此可以使得反射波波前连续。
在两个相距很近的金属平板之间，可以有SPP(表面等离子体激元)的存在，它沿着金属表面传播，因此在两个界面处的SPP可以耦合在一起，作为波导模式在平板间传播。在两个金属平板距离很近的时候，对于TM波，只存在基模，而对于TE波，截止，对于TM波基模的波矢β可以由此等式得出：
其中是空气中的波矢，w是凹槽的宽度，εm是金属的相对介电常数，εd是介质的相对介电常数，对于空气槽来说εd＝1，选取入射波的工作波长λ＝650nm，在此波长下银的介电常数为εm＝-17.36+0.715i。由等式看出β的值包含实部和虚部两部分，实部表示传播常数，虚部表示损耗，在传播距离很短的情况下，一般忽略损耗。
凹槽深度为d，光波在出射界面处相位为：
其中2βd是SPP在凹槽中传播的相位，θ是由金属和空气界面引起的多重散射相位，表达式如下
其中d是凹槽的深度，由公式(1)，(2)，(3)，可以得到相位和宽度w的关系曲线，通过这一关系曲线，选取不同的宽度就能得到不同的出射相位。例如，在d＝λ,d＝0.75λ,d＝0.5λ,d＝0.25λ的情况下，分别画出相位和宽度w的关系曲线图，如图2所示，由图可知，宽度w越大时，相位越小。为了得到较好的效果，减少由金属引起的正常反射，即要使得凹槽的占比尽量大，因此选取d＝λ这种情况。由于一个光栅周期中凹槽的个数为5，可以先确定第一凹槽4的宽度，满足相邻两个凹槽之间的相位差为得到第二凹槽6 的宽度，依次类推，就得到五个凹槽的宽度w1＝120nm，w2＝76.81nm， w3＝54.85nm，w4＝42.53nm，w5＝34.39nm。当然每个凹槽的宽度可以做调整，每个凹槽的宽度均增大一些或每个凹槽的宽度均减小一些。这种光栅的反射级次n和对应的反射角θr可以通过下面的公式得出：
k0sinθi＝k0sinθr-ξ+nG (4)
其中θi是入射角，是由一个周期内出射界面上的相位变化导致的，是由光栅结构的多个重复周期结构导致的。这一公式更形象的描述可以用等频图表示，如图3、图4所示，不同的入射角对应不同的级次和反射角度，其中当p取不同的值，ξ和G的值变化，同一个入射角对应的反射角就会不同。比如当p＝650nm时，入射角分别为θi＝0°，30°，45°，60°时，对应的反射角分别为θr＝±90°，-30°，-17°，-7.7°；当p＝500nm时，此时，使反射角θr＝±90°，同时结合图4，当入射角θi超过 17.5°时，n＝2；当入射角θi小于-17.5°时，n＝0，当入射角θi在-17.5°到17.5°之间时，n＝1,因此，存在一个临界角θc＝17.5°，当入射角小于临界角时，反射角等于入射角，当入射角大于临界角，反射波耦合到高级次，因此入射角分别为θi＝0°，17.5°，40.5°，60°时，对应的反射角分别为θr＝0°，-90°，-40.5°， -25.7°。
图5和图6是通过模拟的高斯波入射到超表面光栅的磁场分布示意图，箭头指向下表示的入射光，正常反射方向的对应n＝1，异常反射方向的对应n＝0和n＝2,图5中(a)图对应θi＝0°，图5中(b)图对应θi＝30°°,图5中(c) 图对应θi＝45°,图5中(d)图对应θi＝60°,可以看出，上述的理论分析和模拟结果吻合。通过comsol软件计算得到的该光栅不同级次的反射效率随入射角的变化曲线图，由图7可以看出，对于ξ＝k0的情况，入射角从-70°到0°，该超表面光栅都可以实现负反射效果，且反射效率在80％以上；由图8可以看出，对于ξ＝1.3k0的情况，入射角从-70°到-20°，该超表面光栅也可以实现负反射效果，反射效率在70％以上。
实施例二
实施例二与实施例一的区别在于：每组凹槽包括5个深度各不相同、宽度均相同的凹槽，如图9所示，该5个凹槽从左至右分别是第一凹槽32、第二凹槽34、第三凹槽36、第四凹槽38和第五凹槽40，第一凹槽32、第二凹槽34、第三凹槽36、第四凹槽38和第五凹槽40的宽度依次设为d1、d2、d3、d4、d5，第一凹槽32、第二凹槽34、第三凹槽36、第四凹槽38和第五凹槽40的宽度均为w，第一凹槽32与第二凹槽34之间为第一金属栅条42，第二凹槽34与第三凹槽36之间为第二金属栅条44，第三凹槽36与第四凹槽38之间为第三金属栅条46，第四凹槽38与第五凹槽40之间为第四金属栅条48，第五凹槽40与下一组凹槽的第一凹槽32之间为第五金属栅条50，第一凹槽32、第二凹槽34、第三凹槽36、第四凹槽38、第五凹槽40、第一金属栅条42、第二金属栅条44、第三金属栅条46、第四金属栅条48和第五金属栅条50组成金属光栅层2的光栅周期，光栅周期长度为p，p＝5a。凹槽的不同深度度导致光在凹槽中的波矢不同，由此带来出射界面处相位的不同，在一个周期长度内，保证相邻两个凹槽之间的相位差为也就是第二凹槽34与第一凹槽32之间的相位差、第三凹槽36与第二凹槽34之间的相位差、第四凹槽38与第三凹槽36之间的相位差、第五凹槽40与第四凹槽38之间的相位差均为由此可以使得反射波波前连续。
由实施例一的公式(1)，(2)，(3)，可以得到相位和深度d的关系曲线，通过这一关系曲线，选取不同的深度就能得到不同的出射相位。例如，在 w＝65nm，w＝45nm，w＝25nm的情况下，分别画出相位和深度d的关系曲线图，如图10所示，由图可知，深度d越大时，相位越大。为了得到较好的效果，减少由金属引起的正常反射，即要使得凹槽的占比尽量大，因此选取 w＝65nm这种情况。由于一个光栅周期中凹槽的个数为5，可以先确定第五凹槽40的深度，满足相邻两个凹槽之间的相位差为得到第四凹槽38的深度，依次类推，就得到五个凹槽的深度d1＝192.5nm，d2＝240.6nm，d3＝288.7nm， d4＝336.9nm，d5＝385.0nm。当然每个凹槽的深度可以做调整，每个凹槽的深度均增大一些或每个凹槽的深度均减小一些。
当ξ＝k0时入射角和反射角的对应关系等频图与实施例一的图3相，当ξ＝1.3k0时入射角和反射角的对应关系等频图与实施例一的图4相同，当ξ＝k0时不同入射角度下负反射磁场分布示意图与实施例一的图5相同，当ξ＝1.3k0时不同入射角度下负反射磁场分布示意图与实施例一的图6相同，当ξ＝k0时不同级次的反射率随入射角的变化曲线图与实施例一的图7相同，当ξ＝1.3k0时不同级次的反射率随入射角的变化曲线图与实施例一的图8相同，在此不再赘述。
当然还可以设置每组凹槽中各凹槽的宽度和深度均不相同，使得后一组凹槽中的第一个凹槽与前一组凹槽中的第一个凹槽的相位差是2π。
以上依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
Claims (10)
1.一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：包括金属光栅层，所述金属光栅层的上表面设有周期性排布的多组凹槽，每组凹槽包括N个不同的凹槽，N为大于等于3的自然数，每组凹槽中各凹槽的相位逐渐增大，后一组凹槽中的第一个凹槽与前一组凹槽中的第一个凹槽的相位差是2π。
2.根据权利要求1所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：每组凹槽包括N个宽度各不相同、深度均相同的凹槽。
3.根据权利要求2所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：每组凹槽中各凹槽的宽度逐渐减小。
4.根据权利要求1所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：每组凹槽包括N个宽度均相同、深度各不相同的凹槽。
5.根据权利要求4所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：每组凹槽中各凹槽的深度逐渐增大。
6.根据权利要求3或5所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：相邻所述凹槽的中心距离均相等，每组凹槽中相邻两个所述凹槽之间的相位差均相等，该相位差为2π/N。
7.根据权利要求6所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：所述凹槽采用蚀刻工艺形成。
8.根据权利要求7所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：所述凹槽中的介质为空气、二氧化硅、环氧树脂中的任意一种。
9.根据权利要求1所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：所述金属光栅层的材料为银、铝、铜、镍中的任意一种。
10.根据权利要求6所述的一种可见光波段的渐变相位金属光栅，其特征在于：N=5。
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108594446A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-09-28 | 西北工业大学 | 一种基于微纳结构阵列的反射式平面偏振分光器 |
| CN110727037A (zh) * | 2019-09-20 | 2020-01-24 | 同济大学 | 一种基于高反膜的线性位相梯度超表面结构 |
| CN111198447A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-05-26 | 苏州大学 | 基于相位渐变超构光栅的光学笼子及其应用 |
| WO2020224254A1 (zh) * | 2019-05-05 | 2020-11-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 皮米光梳、皮米光梳的制造装置和制造方法 |
| CN112285813A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-01-29 | 中国计量大学 | 一种太赫兹人工表面等离子激元的介质超光栅高效激发装置 |
| WO2023134248A1 (zh) * | 2022-01-11 | 2023-07-20 | 苏州大学 | 基于超构光栅的多功能高效分束器 |
| CN116880010A (zh) * | 2023-09-06 | 2023-10-13 | 之江实验室 | 基于铌酸锂的集成环形布拉格金属光栅耦合器及制备方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1160589A1 (en) * | 2000-05-31 | 2001-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and optical system having the same |
| CN1478205A (zh) * | 2000-11-03 | 2004-02-25 | OVD�������ķ�ɷݹ�˾ | 衍射光的二元光栅结构 |
| CN105629493A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-06-01 | 上海交通大学 | 复合结构双层金属光栅偏振分束器 |
-
2017
- 2017-06-05 CN CN201710411060.6A patent/CN107179576B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1160589A1 (en) * | 2000-05-31 | 2001-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and optical system having the same |
| CN1478205A (zh) * | 2000-11-03 | 2004-02-25 | OVD�������ķ�ɷݹ�˾ | 衍射光的二元光栅结构 |
| CN105629493A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-06-01 | 上海交通大学 | 复合结构双层金属光栅偏振分束器 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108594446A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-09-28 | 西北工业大学 | 一种基于微纳结构阵列的反射式平面偏振分光器 |
| WO2020224254A1 (zh) * | 2019-05-05 | 2020-11-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 皮米光梳、皮米光梳的制造装置和制造方法 |
| US12025819B2 (en) | 2019-05-05 | 2024-07-02 | Shanghai Institute Of Optics And Fine Mechanics, Chinese Academy Of Sciences | Picometer optical comb, and device and method for generating the same |
| CN110727037A (zh) * | 2019-09-20 | 2020-01-24 | 同济大学 | 一种基于高反膜的线性位相梯度超表面结构 |
| CN111198447A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-05-26 | 苏州大学 | 基于相位渐变超构光栅的光学笼子及其应用 |
| CN111198447B (zh) * | 2019-11-05 | 2023-10-24 | 苏州大学 | 基于相位渐变超构光栅的光学笼子及其应用 |
| CN112285813A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-01-29 | 中国计量大学 | 一种太赫兹人工表面等离子激元的介质超光栅高效激发装置 |
| WO2023134248A1 (zh) * | 2022-01-11 | 2023-07-20 | 苏州大学 | 基于超构光栅的多功能高效分束器 |
| CN116880010A (zh) * | 2023-09-06 | 2023-10-13 | 之江实验室 | 基于铌酸锂的集成环形布拉格金属光栅耦合器及制备方法 |
| CN116880010B (zh) * | 2023-09-06 | 2023-12-19 | 之江实验室 | 基于铌酸锂的集成环形布拉格金属光栅耦合器及制备方法 |
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