CN107164735B - 蒸镀坩埚提取装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蒸镀坩埚提取装置，属于蒸镀技术领域。所述蒸镀坩埚提取装置包括：长杆、控制单元和提取单元；提取单元设置在长杆的一端，控制单元设置在长杆的另一端且与提取单元连接，提取单元能够在控制单元的控制下由第一状态切换至第二状态；当提取单元处于第一状态时，提取单元能够通过蒸镀坩埚的盖子上的通孔，当提取单元处于第二状态时，提取单元不能够通过通孔。使用该装置进行蒸镀坩埚提取时，由于作业人员不需要到蒸镀坩埚跟前取坩埚，减少了作业人员在蒸镀腔滞留的时间，从而减少了作业人员进入蒸镀腔对蒸镀腔造成的污染，同时降低了蒸镀腔内的残留气体或粉尘也会对作业人员的人身健康产生的不良影响。

Description

蒸镀坩埚提取装置

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀坩埚提取装置。

背景技术

蒸镀是有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)等产品制备过程中的常用工艺，例如在OLED制备过程中可以采用蒸镀工艺制作OLED的有机膜层。

不同类型的产品使用的蒸镀材料可能不同，所以当一个产品的蒸镀过程完成后，需要进行蒸镀材料的更换以进行下一个产品的蒸镀。在更换蒸镀材料时，需要作业人员进入蒸镀腔内人工将蒸镀坩埚取出，待完成蒸镀材料更换后，再将蒸镀坩埚放回蒸镀腔。由作业人员进入蒸镀腔取出或放回蒸镀坩埚，不仅会对蒸镀腔造成污染，同时蒸镀腔内的残留气体或粉尘也会对作业人员的人身健康产生不良影响。

发明内容

为了解决现有技术中，由作业人员进入蒸镀腔取出或放回蒸镀坩埚，不仅会对蒸镀腔造成污染，同时蒸镀腔内的残留气体或粉尘也会对作业人员的人身健康产生不良影响的问题，本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚提取装置。所述技术方案如下：

本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚提取装置，所述蒸镀坩埚提取装置包括：长杆、控制单元和提取单元；所述提取单元设置在长杆的一端，所述控制单元设置在所述长杆的另一端且与所述提取单元连接，所述提取单元能够在所述控制单元的控制下由第一状态切换至第二状态；当所述提取单元处于第一状态时，所述提取单元能够通过蒸镀坩埚的盖子上的通孔，当所述提取单元处于第二状态时，所述提取单元不能够通过所述通孔。

在本发明实施例的一种实现方式中，所述提取单元包括安装杆、竖杆和至少一个连动杆，所述安装杆垂直固定连接于长杆的一端，所述竖杆可滑动地安装在所述安装杆上，且所述竖杆的长度方向和滑动方向均与所述安装杆的长度方向相同；每个所述连动杆包括第一杆部和第二杆部，所述第一杆部的一端可转动连接在所述安装杆上，所述第一杆部的另一端与所述第二杆部的一端可转动连接，所述第二杆部的另一端可转动连接在所述竖杆的远离所述长杆的一端上，所述第一杆部的一端与所述安装杆之间的转动轴线、所述第一杆部的另一端与所述第二杆部的一端的转动轴线和所述第二杆部的另一端与所述竖杆之间的转动轴线均与所述竖杆的长度方向垂直。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述提取单元包括四个连动杆，所述四个连动杆沿所述竖杆的周向均匀间隔设置。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述提取单元还包括复位元件，所述复位元件用于在所述提取单元处于第二状态时提供一恢复力，所述恢复力用于促使所述提取单元由所述第二状态恢复到所述第一状态。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述提取单元还包括固定在所述安装杆上的固定座，所述竖杆可滑动地穿过所述固定座，所述连动杆位于所述固定座的远离长杆的一侧。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述固定座为圆形盖板，所述安装杆穿过所述圆形盖板的中部。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述控制单元包括手柄和长线，所述手柄设置在长杆的另一端上，所述长线的一端固定在所述手柄上，所述长线的另一端固定在所述竖杆的一端上，所述长线能够在所述手柄的带动下带动所述竖杆沿所述安装杆滑动。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述手柄的一端可转动设置在所述长杆上，所述手柄的一端还与所述长线连接，且所述手柄与长线的连接点和所述手柄的转动点间隔布置。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述安装杆为筒状安装杆，所述竖杆插设在所述筒状安装杆内。

在本发明实施例的另一种实现方式中，所述安装杆的侧壁上设有通孔，所述安装杆的内壁上设有滑轮，所述长线穿过所述通孔后绕过所述滑轮。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明通过在长杆的一端上设置提取单元来提取蒸镀腔内的坩埚，使用时作业人员握住长杆的另一端，通过控制单元控制提取单元；具体可以在蒸镀腔外或者蒸镀腔内距离蒸镀坩埚较远处，将处于第一状态的提取单元穿过蒸镀坩埚的盖子上的通孔，然后通过控制单元控制提取单元由第一状态切换至第二状态，由于提取单元在第二状态下不能通过所述通孔，所以此时提取单元会卡在盖子的内部，然后通过向上提拉并移动长杆就可以将蒸镀坩埚提取到蒸镀腔外；由于作业人员不需要到蒸镀坩埚跟前取坩埚，减少了作业人员在蒸镀腔滞留的时间，从而减少了作业人员进入蒸镀腔对蒸镀腔造成的污染，同时降低了蒸镀腔内的残留气体或粉尘也会对作业人员的人身健康产生的不良影响。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种蒸镀坩埚提取装置的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种提取单元的状态变化示意图；

图3是本发明实施例提供的一种提取单元的状态变化示意图；

图4是本发明实施例提供的一种提取单元的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的蒸镀坩埚提取装置使用时的示意图；

图6是本发明实施例提供的蒸镀坩埚提取装置使用时的示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚提取装置，该蒸镀坩埚提取装置包括：长杆、控制单元和提取单元；所述提取单元设置在长杆的一端，所述控制单元设置在所述长杆的另一端且与所述提取单元连接，所述提取单元能够在所述控制单元的控制下由第一状态切换至第二状态；当所述提取单元处于第一状态时，所述提取单元能够通过蒸镀坩埚的盖子上的通孔，当所述提取单元处于第二状态时，所述提取单元不能够通过所述通孔。

本发明通过在长杆的一端上设置提取单元来提取蒸镀腔内的坩埚，使用时作业人员握住长杆的另一端，通过控制单元控制提取单元；具体可以在蒸镀腔外或者蒸镀腔内距离蒸镀坩埚较远处，将处于第一状态的提取单元穿过蒸镀坩埚的盖子上的通孔，然后通过控制单元控制提取单元由第一状态切换至第二状态，由于提取单元在第二状态下不能通过所述通孔，所以此时提取单元会卡在盖子的内部，然后通过向上提拉并移动长杆就可以将蒸镀坩埚提取到蒸镀腔外；由于作业人员不需要到蒸镀坩埚跟前取坩埚，减少了作业人员在蒸镀腔滞留的时间，从而减少了作业人员进入蒸镀腔对蒸镀腔造成的污染，同时降低了蒸镀腔内的残留气体或粉尘也会对作业人员的人身健康产生的不良影响。

图1是本发明实施例提供的一种蒸镀坩埚提取装置的结构示意图，参见图1，标号100为长杆、标号200为控制单元、标号300为提取单元。其中，提取单元300设置在长杆100的一端，控制单元200设置在长杆100的另一端且与提取单元300连接，提取单元300能够在控制单元200的控制下由第一状态(如图2所示)切换至第二状态(如图3所示)。

图2和图3是本发明实施例提供的一种提取单元的状态变化示意图，其中图2所示为提取单元处于第一状态的示意图，图3所示为提取单元处于第二状态的示意图。参见图2和图3，该提取单元300包括安装杆301、竖杆302和至少一个连动杆303，安装杆301垂直固定连接于长杆100的一端，竖杆302可滑动地安装在安装杆301上，且竖杆302的长度方向和滑动方向均与安装杆301的长度方向相同。

每个连动杆303包括第一杆部331和第二杆部332，第一杆部331的一端可转动连接在安装杆301上，第一杆部331的另一端与第二杆部332的一端可转动连接，第二杆部332的另一端可转动连接在竖杆302的远离长杆100的一端上，第一杆部331的一端与安装杆301之间的转动轴线、第一杆部331的另一端与第二杆部332的一端的转动轴线和第二杆部332的另一端与竖杆302之间的转动轴线均与竖杆302的长度方向垂直。

在该实现方式中，提取单元300中的安装杆301与长杆100垂直固定连接，一方面安装杆301作为竖杆302滑动的载体，保证提取单元300的正常运作，另一方面，安装杆301和长杆100形成L形，方便作业人员将提取单元300穿过坩埚的盖子上的通孔；另外，提取单元300处于第一状态时，第一杆部331和第二杆部332处于一条直线；当竖杆302沿着安装杆301朝向长杆100移动时，第二杆部332随着竖杆302移动，使得第二杆部332的一端带动第一杆部331横向张开，从而能够托起蒸镀坩埚的盖子，达到第二状态。

优选地，第一杆部331的一端可转动连接在安装杆301的一端，这样安装杆301的长度能够被充分利用，不存在多余的部分。

在本发明实施例中，安装杆301和长杆100之间的连接方式可以为可拆卸连接，从而能够实现不同尺寸的长杆100和不同规格的提取单元300进行搭配，满足不同需求的蒸镀坩埚提取任务，例如不同蒸镀坩埚的盖子上的通孔的尺寸可能不同，此时可能就需要选用不同大小的提取单元。可拆卸连接的具体连接方式包括但不限于在长杆100的端部设置螺纹，在安装杆301的端部设置螺孔，从而实现连接，或者同时在安装杆301和长杆100上对应设置螺孔，采用螺栓进行连接。

具体地，安装杆301、第一杆部331、第二杆部332、竖杆302之间的转动连接，均可以通过转动轴实现，例如第一杆部331的另一端和第二杆部332的一端同时穿过一根转动轴(例如销轴)实现二者之间的转动连接。

参见图2和图3，第一杆部331的一端可以可转动连接在安装杆301的侧壁上。而第二杆部332的另一端与竖杆302的侧壁接触，由于其不是安装在竖杆302的侧壁上，所以可以在竖杆的端部设置径向向外延伸的凸起结构(图未示)，然后将第二杆部332的另一端可转动连接在该凸起结构上。该凸起结构的安装方式以能够保证第一杆部和第二杆部处于同一平面内为最优。

具体地，可以在安装杆301的侧壁上开设有若干安装槽，安装槽为长条形，长条形安装槽沿着安装杆301的长度方向布置，安装槽的一端处于安装杆301的一端的端部。每个安装槽内设置有一个安装杆，且第一杆部331的一端可转动安装在安装槽的另一端处，当提取单元处于第一状态时，第一杆部331沿着该安装槽的长度方向延伸。

图4是本发明实施例提供的一种提取单元的俯视图，参见图4，该提取单元300包括四个连动杆303，四个连动杆303沿竖杆302的周向均匀间隔设置，间隔布置四个连动杆303能够保证提取单元对蒸镀坩埚的盖子的夹持效果。从图4可以看出，布置四个连动杆303时，相邻布置的连动杆303在垂直于竖杆302的平面内的投影的夹角为90度。

在这种实现方式里，竖杆302的直径与两个连接杆的直径之和，小于蒸镀坩埚的盖子上的通孔的直径。按照这是方式设计竖杆302和连接杆的尺寸，保证第一状态下能够插入盖子上的通孔内。

参见图2和图3，该提取单元300还可以包括复位元件304，复位元件304用于在提取单元300处于第二状态时提供一恢复力，恢复力用于促使提取单元300由第二状态恢复到第一状态。通过设置复位元件304，使得提取单元300在不受控制单元控制时，能够依靠恢复力从第二状态恢复到第一状态，无需手动操作。另外，由于提取单元300能够实现由第二状态切回第一状态，则该提取装置还可以用于将坩埚放回蒸镀腔。

具体地，该复位元件304可以为弹簧，弹簧套设在竖杆302上，且该弹簧的一端与第一杆部331和安装杆301的接触点相抵，弹簧的另一端与第二杆部332和竖杆302的接触点相抵。通过设置弹簧，使得提取单元在第二状态下能够依靠弹力恢复到第一状态。

参见图2和图3，该提取单元300还可以包括固定在安装杆301上的固定座305，竖杆302可滑动地穿过固定座305，连动杆303位于固定座305的远离长杆100的一侧。在第一状态时，固定座305能够用于指示提取单元300插入是否到位，在第二状态时，固定座305能够与连动杆303配合夹住盖子，实现提取的稳固性能。

具体地，该固定座305可以为圆形盖板，安装杆301穿过圆形盖板的中部。圆形盖板设计制作方便，且可以和坩埚形状匹配，保证夹持效果。当然，在其他实施例中，该固定座306也可以有其他形状，如三角形、四边形或其他多边形。

进一步地，该圆形盖板可拆卸设置在安装杆301上，具体地，该圆形盖板可以由两个半圆形盖板拼接而成，半圆形盖板的直径边的两端布置有带孔的连接块，在装配完成后，通过螺栓连接块使得两个半圆形盖板夹紧安装杆。通过可拆卸的装配圆形盖板，从而可以根据蒸镀坩埚的盖子的大小选用相应大小的圆形盖板。

参见图1，控制单元200可以包括手柄201和长线202，手柄201设置在长杆100的另一端上，长线202的一端固定在手柄201上，长线202的另一端固定在竖杆302的一端上，长线202能够在手柄201的带动下带动竖杆302沿安装杆301滑动。通过手柄201拉动长线202，从而拉动竖杆302向上滑动，进而带动第一杆部331和第二杆部332转动，实现从第一状态切换到第二状态。在提取出坩埚后，如果该装置不包括复位元件304，则需要手动(或者依靠重力作用)将竖杆302向下滑动，实现退回到第一状态。如果该装置包括复位元件304，则只需要松开手柄，依靠复位元件304的恢复力带动提取单元由第二状态恢复到第一状态。

如图1所示，手柄201的一端可转动设置在长杆100上，手柄201的一端还与长线202连接，且手柄201与长线202的连接点和手柄201的转动点间隔布置。将长线202连接在手柄201设置有转动点的一端，而使用时手可以握在手柄201的另一端，在另一端施力，形成一省力杠杆，方便作业人员操作。

如图1所示，该手柄201可以为带有锯齿状的三角形，其中一个角可转动设置在长杆上，另一个角连接长线202，由于该三角形的顶角度数较小，故前述两个角也就位于手柄201的一端。锯齿布置在该三角形的顶角的两侧边上，方便作业人员手握。

该长杆101的另一端设置有便于手握的握杆111，手柄201可转动设置在该握杆111上。

在其他实现方式中，该手柄还可以采用手摇杆替代，当摇动手摇杆时，手摇杆圈起长线，拉动提取单元。

在其他实施例中，该控制单元200还可以不包括手柄201，而只包括长线202，长线202完全伸展时，提取单元处于第一状态，作业人员可以通过直接拉动长线202，实现将提取单元由第一状态切换到第二状态。为了便于操作，该长线202具体可以是一根绳子或带子，从而便于作业人员手握和拉紧。

在本实施例中，长线202可以为不锈钢软线，不锈钢软线能够保证控制单元的强度和使用寿命。

在本实施例中，安装杆301可以为筒状安装杆301，竖杆302插设在筒状安装杆301内，方便竖杆302以及连动杆303的布置。

具体地，再次参见图1，安装杆301的侧壁上设有通孔，安装杆301的内壁上设有滑轮311，长线202穿过通孔后绕过滑轮311。这样设计可以方便走线，减少磨损。

在其他实施例中，安装杆301可以不是筒状安装杆，此时可以在其侧壁开设滑槽，竖杆302设置在该滑槽内，从而保证竖杆302的上下滑动。

在一种实现方式中，长杆100的长度固定，且其长度大于或等于蒸镀腔的门到蒸镀坩埚放置处的距离。通过限定长杆100的长度，实现作业人员在蒸镀腔室外作业。

在另一种实现方式中，长杆100为可伸缩长杆，其长度可以根据实际需要在其伸缩范围内选择，从而使得该提取装置能够适用于不同应用场景。

在本实施例中，蒸镀坩埚提取装置的各个部分，如长杆101、手柄201、安装杆301、竖杆302、连动杆303等均可以采用金属制成，从而保证其整体强度。

其中，长杆101、安装杆301、竖杆302、连动杆303中的第一杆部和第二杆部均可以采用柱形(如圆柱或者棱柱)杆实现。

图1提供的一种蒸镀坩埚提取装置使用过程如下：提取坩埚前，未握紧手柄201，复位元件304处于舒张状态，此时连动杆303呈竖直状态，可插入蒸镀坩埚400的盖子401的通孔402内，如图5所示；待连动杆303伸入蒸镀坩埚400后，握紧手柄201，复位元件304即处于收缩状态，竖杆302向上移动，连带第二杆部332，进而使得第一杆部331达到水平状态，从而可以托住蒸镀坩埚400的盖子401，实现提取。重新放入蒸镀坩埚400的过程与上述过程相反。

以上仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述蒸镀坩埚提取装置包括：长杆、控制单元和提取单元；所述提取单元设置在长杆的一端，所述控制单元设置在所述长杆的另一端且与所述提取单元连接，所述提取单元能够在所述控制单元的控制下由第一状态切换至第二状态；当所述提取单元处于第一状态时，所述提取单元能够通过蒸镀坩埚的盖子上的通孔，当所述提取单元处于第二状态时，所述提取单元不能够通过所述通孔；

所述提取单元包括安装杆、竖杆和至少一个连动杆，所述安装杆垂直固定连接于长杆的一端，所述竖杆可滑动地安装在所述安装杆上，且所述竖杆的长度方向和滑动方向均与所述安装杆的长度方向相同；

每个所述连动杆包括第一杆部和第二杆部，所述第一杆部的一端可转动连接在所述安装杆上，所述第一杆部的另一端与所述第二杆部的一端可转动连接，所述第二杆部的另一端可转动连接在所述竖杆的远离所述长杆的一端上，所述第一杆部的一端与所述安装杆之间的转动轴线、所述第一杆部的另一端与所述第二杆部的一端的转动轴线和所述第二杆部的另一端与所述竖杆之间的转动轴线均与所述竖杆的长度方向垂直。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述提取单元包括四个连动杆，所述四个连动杆沿所述竖杆的周向均匀间隔设置。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述提取单元还包括复位元件，所述复位元件用于在所述提取单元处于第二状态时提供一恢复力，所述恢复力用于促使所述提取单元由所述第二状态恢复到所述第一状态。

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述提取单元还包括固定在所述安装杆上的固定座，所述竖杆可滑动地穿过所述固定座，所述连动杆位于所述固定座的远离长杆的一侧。

5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述固定座为圆形盖板，所述安装杆穿过所述圆形盖板的中部。

6.根据权利要求1或2所述的蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述控制单元包括手柄和长线，所述手柄设置在长杆的另一端上，所述长线的一端固定在所述手柄上，所述长线的另一端固定在所述竖杆的一端上，所述长线能够在所述手柄的带动下带动所述竖杆沿所述安装杆滑动。

7.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述手柄的一端可转动设置在所述长杆上，所述手柄的一端还与所述长线连接，且所述手柄与长线的连接点和所述手柄的转动点间隔布置。

8.根据权利要求6所述的蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述安装杆为筒状安装杆，所述竖杆插设在所述筒状安装杆内。

9.根据权利要求8所述的蒸镀坩埚提取装置，其特征在于，所述安装杆的侧壁上设有通孔，所述安装杆的内壁上设有滑轮，所述长线穿过所述通孔后绕过所述滑轮。