CN107121318A - 一种基于铌酸锂夹层结构芯片的实时可控微液滴阵列化装置及方法 - Google Patents

一种基于铌酸锂夹层结构芯片的实时可控微液滴阵列化装置及方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于铌酸锂夹层结构芯片的实时可控微液滴阵列化装置及方法，该装置包括激光器1、光阑2、空间滤波器3、透镜(1)4、透镜(2)5、掩膜6、分束器7、CCD相机(1)8、计算机9、背景光源10、铌酸锂夹层结构芯片11、透明微动芯片平移台12、物镜13、半透半反镜14、滤光片15、CCD相机(2)16。本发明由微液滴阵列化光路、实时观测光路以及光强探测光路三部分组成，利用激光照射铌酸锂夹层结构芯片产生的光生伏打效应实现微液滴阵列化，且可对阵列化后的微液滴进行合并及并行输运操作，此过程可实时观测。该技术在生物分析及检测、化学反应、药物研发等领域有重要的应用前景。

Description

一种基于铌酸锂夹层结构芯片的实时可控微液滴阵列化装置 及方法
技术领域
本发明涉及一种微液滴操控技术，具体是一种基于铌酸锂夹层结构芯片的实时可控微液滴阵列化装置及方法。
背景技术
随着微流控芯片的迅速发展，微液滴操控已经成为该领域的研究热点。微液滴操控技术主要应用于生物、化学、制药等过程中微量样品的分析及检测，它主要涉及微量试剂的输运、混合及分离等。它对生物医疗、药物诊断、食品卫生、环境监测以及分子生物学等领域的发展具有非常重要的意义。
2006年Utkan Demirci(Acoustic Picoliter Droplets for EmergingApplications in Semiconductor Industry and Biotechnology，Journal ofMicroelectromechanical Systems，15，957-966(2006))通过利用声表面波叠加克服表面张力实现了微液滴的阵列化。该方法需要在压电基底上制备叉指换能器，成本高、工艺复杂，且液体介质与叉指换能器直接接触，会对其造成污染。
2010年秦建华利用浮力和表面张力将高通量微液滴固定，实现了微液滴的阵列化(申请公布号为：CN102259040 A)。该方法先将连续相和分散相分别注入微流控芯片，继而在T型微液滴生成区形成连续的单分散性微液滴；在注射泵驱动下微液滴继续流动并进入液滴捕获器阵列，通过浮力和表面张力被捕获，后续液滴从已固定液滴的液滴捕获器下方通道流过，被顺序地捕获于后续的液滴捕获器中。此方法原理虽然简单，但前期需制备T型微液滴生成区，加工工艺复杂，在微液滴阵列形成的过程中需将连续相和分散相混合，容易造成交叉污染，另外，该方法微液滴阵列中的每个微液滴不能同时形成(即不能一次性形成微液滴阵列)，且不能对捕获后的微液滴进行输运，严重限制了应用。
2014年李会增利用界面润湿技术实现了微液滴分离及微阵列的制备(申请公布号为：CN105689026 A)。该方法需通过光刻技术在基底表面构筑图案化的亲水性区域和疏水性区域，以0-650μN的压力和1-20mm/s的速度在基底表面拖动液滴，形成微液滴阵列，工艺过程复杂而且拖动液滴的压力和速度不好控制，不能保证阵列化后微液滴体积的均匀性。
2015年张旻提出了一种利用气压驱动产生微液滴阵列的方法(申请公布号为：CN105381903 A)。通过控制进气孔和排气孔控制阀的通断，先使密封气腔内的压力升高至足以使液体挤出到分样板的喷嘴处，随后使密封气腔内的压力降低，进而使喷嘴处的液体断裂形成液滴并喷出，承接于多孔板中。此方法需要较为复杂的外接驱动设备，并且需要设计制作导气管、封闭气腔等结构，该方法芯片制作工艺复杂，喷嘴结构易被堵塞、不易清洁，不能对该过程进行实时观测，而且不能对分离出的微液滴进行合并及并行输运操作。
发明内容
目前已报道的微液滴阵列化方法存在诸多缺点，如：装置成本高、芯片结构复杂；不能一次性形成体积均等的微液滴组成的阵列；阵列化后的微液滴不可合并、不可输运；阵列化过程不能实时控制等。针对上述问题，本发明提供一种简单、易行的微液滴阵列化方法，阵列化后的微液滴体积相等，而且可合并、可并行输运，整个过程实时可控。
一种微液滴实时可控阵列化的装置，其特征在于：激光器1、光阑2、空间滤波器3、透镜(1)4、透镜(2)5、掩膜6、半透半反镜14、物镜13、透明微动芯片平移台12、铌酸锂夹层结构芯片11按顺序形成微液滴阵列化光路；背景光源10、铌酸锂夹层结构芯片11、透明芯片微动平移台12、物镜13、半透半反镜14、滤光片15、CCD相机(2)16按顺序形成实时观测光路；激光器1、光阑2、空间滤波器3、透镜(1)4、透镜(2)5、掩膜6、分束器7、CCD相机(1)8、计算机9按顺序形成光强实时探测光路，通过三条部分重合的光路实现微液滴阵列化、观测及操控的同时进行。
一种实现微液滴阵列化的方法，其特征在于：经透镜(1)和透镜(2)扩束并准直的激光通过开有多个小孔的掩膜产生激光光斑阵列，激光光斑阵列经物镜会聚于铌酸锂夹层结构芯片上，通过离焦操作，使各激光光斑之间距离变大，实现微液滴的阵列化；通过CCD相机(1)检测各激光光斑功率，保证阵列化后的每个微液滴同时形成并且体积相等；通过聚焦操作，使各激光光斑之间距离变小，实现阵列化后的微液滴合并；通过激光光斑在铌酸锂夹层结构芯片上的扫描动作可实现阵列化后微液滴的并行输运。
与现有技术相比，本发明的优点在于：基于铌酸锂夹层结构芯片以及物镜激光聚焦系统，装置结构简单、成本较低；可通过激光光斑阵列使铌酸锂夹层结构芯片中的微液滴阵列化；该方法可保证阵列中的每个微液滴同时形成且体积相等；可实现阵列化后微液滴的合并及并行输运；另外该方法整个过程实时可控。
附图说明
图1为本发明基于铌酸锂夹层结构芯片的微液滴实时可控阵列化方案的装置整体结构示意图。
图2为本发明基于铌酸锂夹层结构芯片的微液滴实时可控阵列化方案的一种实施例(实施例1)的阵列化过程图。
图3为本发明基于铌酸锂夹层结构芯片的微液滴实时可控阵列化方案的一种实施例(实施例2)的阵列化过程图。
图4为本发明基于铌酸锂夹层结构芯片的微液滴实时可控阵列化方案的一种实施例(实施例3)的阵列化过程图。
图5为本发明基于铌酸锂夹层结构芯片的微液滴实时可控阵列化方案的一种实施例(实施例4)阵列化后的微液滴合并过程图。
图6为本发明基于铌酸锂夹层结构芯片的微液滴实时可控阵列化方案的一种实施例(实施例5)阵列化后的微液滴并行输运效果图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明做进一步说明。
本发明公开了一种微液滴实时可控阵列化的装置及方法，该装置包括：激光器1、光阑2、空间滤波器3、透镜(1)4、透镜(2)5、掩膜6、分束器7、CCD相机(1)8、计算机9、背景光源10、铌酸锂夹层结构芯片11、透明微动芯片平移台12、物镜13、半透半反镜14、滤光片15、CCD相机(2)16。激光器1、光阑2、空间滤波器3、透镜(1)4、透镜(2)5、掩膜6、半透半反镜14、物镜13、透明微动芯片平移台12、铌酸锂夹层结构芯片11按顺序形成微液滴阵列化光路；背景光源10、铌酸锂夹层结构芯片11、透明微动芯片平移台12、物镜13、半透半反镜14、滤光片15、CCD相机(2)16按顺序形成实时观测光路；激光器1、光阑2、空间滤波器3、透镜(1)4、透镜(2)5、掩膜6、分束器7、CCD相机(1)8、计算机9按顺序形成光强实时探测光路。
本发明公开了一种微液滴实时可控阵列化的装置及方法，该方法的操作步骤为：将待阵列化的微液滴导入铌酸锂夹层结构芯片中，并将铌酸锂夹层结构芯片置于透明微动芯片平移台上，调节透明微动芯片平移台，使待阵列化的微液滴位于物镜焦点附近，利用CCD相机(2)捕获清晰的物象；打开激光器，利用两透镜将光阑和空间滤波器调整的激光扩束，并使扩束后的激光通过开有多个小孔的掩膜形成激光光斑阵列，调整光路使CCD相机(1)检测到的每个激光光斑功率相同；调节透明微动芯片平移台使待阵列化微液滴的中心与聚焦激光光斑重合，调节铌酸锂夹层结构芯片在竖直方向上的位置使其离焦，利用产生的激光光斑阵列完成微液滴的阵列化过程；通过调节铌酸锂夹层结构芯片在竖直方向上的位置使其重新回到焦点处，实现阵列化后微液滴的合并；通过激光光斑阵列在铌酸锂夹层结构芯片上的扫描动作实现阵列化后微液滴的并行输运。
所述的激光器1，要求其所发出的激光照射在铌酸锂晶片上能有效地激发出载流子，故其波长应介于350～650nm，其功率应介于0.4～40mW；透镜(1)的焦距应介于6～30mm，透镜(2)的焦距应介于150～350mm；铌酸锂夹层结构芯片可选用铌酸锂晶片+C面对-C面或铌酸锂+C表面上盖一片石英；物镜12放大倍率介于5～30倍。
综合上述并考虑元件的成本以及阵列化的效果，各参数的优选范围是：激光器波长应介于390～550nm，其激光功率应介于8～20mW；透镜(1)的焦距应介于10～20mm，透镜(2)的焦距应介于200～300mm；铌酸锂夹层结构芯片选用铌酸锂晶片+C面对-C面；聚焦物镜放大倍率介于6～20倍。
为保证光的正确传播和测量精度，光路上所有光学元件和电子器件均固定在刚性连接架上。
本发明方案的工作原理：激光照射铌酸锂晶片，会产生定向移动的光激载流子(电子)，由于光激载流子沿+C方向运动，使得+C面带负电，-C面带正电。
本方案中的夹层结构芯片由铌酸锂晶片+C面对-C面或铌酸锂晶片+C面和一片石英平行组合而成，因此当激光光斑阵列照射铌酸锂夹层结构芯片时，光斑处芯片内表面会产生电荷，形成电场，通过介电泳力对微液滴进行操控。通过离焦操作，使各激光光斑之间距离变大，产生的介电泳力将微液滴向四周拉扯，使其阵列化；通过聚焦操作，使各激光光斑之间距离变小，从而使阵列化后的微液滴合并；通过激光光斑阵列在铌酸锂夹层结构芯片上的扫描动作可改变介电泳力对每个微液滴的作用方向和位置，从而实现阵列化后微液滴的并行输运。
下面给出本发明实现实时可控微液滴阵列化方案的具体实施例，具体实施例仅用于详细说明本发明，并不限制本申请权利要求的保护范围。
实施例1
使用532nm激光器，激光功率为7.9mW，透镜(1)的焦距为15mm，透镜(2)的焦距为250mm，铌酸锂夹层结构芯片选用铌酸锂晶片+C面对-C面，聚焦物镜放大倍数为10倍，将待阵列化的体积为0.407nL的微液滴导入铌酸锂夹层结构芯片中，扩束后的激光穿过开有四个呈中心对称小孔的掩膜，通过综合调节透明微动芯片平移台移动夹层液滴，使液滴位于四个聚焦激光光斑形成的正方形中心，阵列化后得到的小液滴体积为101.75pL。
实施例2
使用405nm激光器，激光功率为8.1mW，透镜(1)的焦距为15mm，透镜(2)的焦距为250mm，铌酸锂夹层结构芯片选用铌酸锂晶片+C表面上盖一片石英，聚焦物镜放大倍数为10倍，将待阵列化的体积为0.308nL的微液滴导入铌酸锂夹层结构芯片中，扩束后的激光穿过开有四个呈中心对称小孔的掩膜，形成由四个激光光斑组成的光斑阵列，通过综合调节透明微动芯片平移台移动夹层液滴，使液滴位于四个聚焦激光光斑形成的正方形中心，阵列化后得到的小液滴体积为77pL。
实施例3
使用532nm激光器，激光功率为4.5mW，透镜(1)的焦距为15mm，透镜(2)的焦距为250mm，铌酸锂夹层结构芯片选用铌酸锂晶片+C面对-C面，聚焦物镜放大倍数为10倍，将待阵列化的体积为0.348nL的微液滴导入铌酸锂夹层结构芯片中，扩束后的激光穿过开有四个呈中心对称小孔的掩膜，形成由四个激光光斑组成的光斑阵列，通过综合调节透明微动芯片平移台移动夹层液滴，使液滴位于四个聚焦激光光斑形成的正方形中心，阵列化后得到的小液滴体积为87pL。
实施例4
使用532nm激光器，激光功率为7.9mW，透镜(1)的焦距为15mm，透镜(2)的焦距为250mm，铌酸锂夹层结构芯片选用铌酸锂晶片+C面对-C面，聚焦物镜放大倍数为10倍，扩束后的激光穿过开有四个呈中心对称小孔的掩膜，形成由四个激光光斑组成的光斑阵列，调节激光光斑与透明微动芯片平移台的相对位置使阵列化后的微液滴分别与四个激光光斑位置重合，调节透明微动芯片平移台在竖直方向上的位置，使阵列化后的四个微液滴合并。
实施例5
使用405nm激光器，激光功率为8.5mW，透镜(1)的焦距为15mm，透镜(2)的焦距为250mm，铌酸锂夹层结构芯片选用铌酸锂晶片+C表面上盖一片石英，聚焦物镜放大倍数为10倍，扩束后的激光穿过开有四个呈中心对称小孔的掩膜，形成由四个激光光斑组成的光斑阵列，调节激光光斑与透明微动芯片平移台的相对位置使阵列化后的微液滴分别与四个激光光斑位置重合，对阵列化后的四个微液滴进行并行输运。
以上所述具体实例对本发明的技术方案、实施办法做了进一步的详细说明，应理解的是，以上实例并不仅用于本发明，凡是在本发明的精神和原则之内进行的同等修改、等效替换、改进等均应该在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种实时可控的微液滴阵列化装置，其特征在于：激光器1、光阑2、空间滤波器3、透镜(1)4、透镜(2)5、掩膜6、半透半反镜14、物镜13、透明微动芯片平移台12、铌酸锂夹层结构芯片11按顺序形成微液滴阵列化光路；背景光源10、铌酸锂夹层结构芯片11、透明芯片微动平移台12、物镜13、半透半反镜14、滤光片15、CCD相机(2)16按顺序形成实时观测光路；激光器1、光阑2、空间滤波器3、透镜(1)4、透镜(2)5、掩膜6、分束器7、CCD相机(1)8、计算机9按顺序形成光强实时探测光路，通过三条部分重合的光路实现微液滴阵列化、观测及操控的同时进行。
2.一种实时可控的微液滴阵列化方法，其特征在于：经透镜(1)和透镜(2)扩束并准直的激光通过开有多个小孔的掩膜产生激光光斑阵列，激光光斑阵列经物镜会聚于铌酸锂夹层结构芯片上，通过离焦操作，使各激光光斑之间距离变大，实现微液滴的阵列化；通过CCD相机(1)检测各激光光斑功率，保证阵列化后的每个微液滴同时形成并且体积相等；通过聚焦操作，使各激光光斑之间距离变小，实现阵列化后的微液滴合并；通过激光光斑在铌酸锂夹层结构芯片上的扫描动作可实现阵列化后微液滴的并行输运。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107930711A (zh) * 2017-12-07 2018-04-20 河北工业大学 一种基于y切铌酸锂芯片的光触发微液滴定向输运方法
CN108031499A (zh) * 2017-12-07 2018-05-15 河北工业大学 一种基于聚甲基丙烯酸甲酯与c切铌酸锂晶体夹层芯片的光诱导微液滴持续生成转移方法
CN108246372A (zh) * 2018-01-23 2018-07-06 河北工业大学 一种基于铌酸锂夹层结构芯片的实时可控微液滴往复输运装置及方法
CN108872084A (zh) * 2018-04-24 2018-11-23 河北工业大学 一种基于非对称铌酸锂夹层结构的全光微液滴分离方法
CN109507008A (zh) * 2018-10-24 2019-03-22 西安交通大学 一种基于声表面波液滴微流控芯片的微液滴急速固化装置
CN110092347A (zh) * 2019-04-26 2019-08-06 河北工业大学 一种基于铌酸锂光操控微液滴制备微纳电极的装置和方法
CN110161596A (zh) * 2019-05-20 2019-08-23 河北工业大学 一种制作变焦液体微透镜的装置及方法
CN110523450A (zh) * 2019-09-30 2019-12-03 京东方科技集团股份有限公司 一种微流控基板、微流控芯片、微流控系统及检测方法
CN110864864A (zh) * 2019-11-22 2020-03-06 北京航空航天大学 一种可原位观测撞击变形和撞击力测量的实验装置和试验方法
CN111974470A (zh) * 2020-06-09 2020-11-24 天津城建大学 一种在异质衬底上实现微液滴输运的装置及方法
CN112718028A (zh) * 2020-12-24 2021-04-30 深圳先进技术研究院 一种光操控液滴运动材料及其制备方法和应用
CN115140933A (zh) * 2022-06-27 2022-10-04 河北工业大学 一种实时光纤制备的装置及方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1591823A1 (en) * 2004-04-28 2005-11-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Optical shutter and light scanning apparatus employing the same
JP2010182555A (ja) * 2009-02-06 2010-08-19 Komatsu Ltd 極端紫外光源装置
US20140069850A1 (en) * 2011-09-16 2014-03-13 University Of North Carolina At Charlotte Methods and devices for optical sorting of microspheres based on their resonant optical properties
CN104232468A (zh) * 2014-08-28 2014-12-24 中北大学 激光阵列编码和光诱导的细胞分离装置
CN104694372A (zh) * 2015-03-09 2015-06-10 东南大学 一种垂直捕获裂殖酵母细胞的微流控芯片及方法
CN105413767A (zh) * 2015-11-17 2016-03-23 河北工业大学 一种基于铌酸锂晶片夹层结构的微液滴实时可控分离装置及方法
CN105510615A (zh) * 2015-12-30 2016-04-20 河北工业大学 一种基于y切铌酸锂晶片的微液滴输运方法
CN105921355A (zh) * 2016-05-24 2016-09-07 河北工业大学 一种基于铌酸锂晶体实时可控的微液滴喷射装置及方法
CN106093443A (zh) * 2016-05-31 2016-11-09 河北工业大学 一种基于c切铌酸锂芯片实时可控的微液滴输运方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1591823A1 (en) * 2004-04-28 2005-11-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Optical shutter and light scanning apparatus employing the same
JP2010182555A (ja) * 2009-02-06 2010-08-19 Komatsu Ltd 極端紫外光源装置
US20140069850A1 (en) * 2011-09-16 2014-03-13 University Of North Carolina At Charlotte Methods and devices for optical sorting of microspheres based on their resonant optical properties
CN104232468A (zh) * 2014-08-28 2014-12-24 中北大学 激光阵列编码和光诱导的细胞分离装置
CN104694372A (zh) * 2015-03-09 2015-06-10 东南大学 一种垂直捕获裂殖酵母细胞的微流控芯片及方法
CN105413767A (zh) * 2015-11-17 2016-03-23 河北工业大学 一种基于铌酸锂晶片夹层结构的微液滴实时可控分离装置及方法
CN105510615A (zh) * 2015-12-30 2016-04-20 河北工业大学 一种基于y切铌酸锂晶片的微液滴输运方法
CN105921355A (zh) * 2016-05-24 2016-09-07 河北工业大学 一种基于铌酸锂晶体实时可控的微液滴喷射装置及方法
CN106093443A (zh) * 2016-05-31 2016-11-09 河北工业大学 一种基于c切铌酸锂芯片实时可控的微液滴输运方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KATSUMASA FUJITA 等: "Confocal multipoint multiphoton excitation microscope with microlens and pinhole arrays", 《OPTICS COMMUNICATIONS》 *

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107930711A (zh) * 2017-12-07 2018-04-20 河北工业大学 一种基于y切铌酸锂芯片的光触发微液滴定向输运方法
CN108031499A (zh) * 2017-12-07 2018-05-15 河北工业大学 一种基于聚甲基丙烯酸甲酯与c切铌酸锂晶体夹层芯片的光诱导微液滴持续生成转移方法
CN107930711B (zh) * 2017-12-07 2020-10-02 河北工业大学 一种基于y切铌酸锂芯片的光触发微液滴定向输运方法
CN108031499B (zh) * 2017-12-07 2020-10-02 河北工业大学 一种光诱导微液滴持续生成转移方法
CN108246372A (zh) * 2018-01-23 2018-07-06 河北工业大学 一种基于铌酸锂夹层结构芯片的实时可控微液滴往复输运装置及方法
CN108246372B (zh) * 2018-01-23 2021-05-11 河北工业大学 一种微液滴往复输运方法
CN108872084A (zh) * 2018-04-24 2018-11-23 河北工业大学 一种基于非对称铌酸锂夹层结构的全光微液滴分离方法
CN109507008B (zh) * 2018-10-24 2020-02-14 西安交通大学 一种基于声表面波液滴微流控芯片的微液滴急速固化装置
CN109507008A (zh) * 2018-10-24 2019-03-22 西安交通大学 一种基于声表面波液滴微流控芯片的微液滴急速固化装置
CN110092347A (zh) * 2019-04-26 2019-08-06 河北工业大学 一种基于铌酸锂光操控微液滴制备微纳电极的装置和方法
CN110161596A (zh) * 2019-05-20 2019-08-23 河北工业大学 一种制作变焦液体微透镜的装置及方法
CN110523450A (zh) * 2019-09-30 2019-12-03 京东方科技集团股份有限公司 一种微流控基板、微流控芯片、微流控系统及检测方法
CN110523450B (zh) * 2019-09-30 2022-01-25 京东方科技集团股份有限公司 一种微流控基板、微流控芯片、微流控系统及检测方法
CN110864864A (zh) * 2019-11-22 2020-03-06 北京航空航天大学 一种可原位观测撞击变形和撞击力测量的实验装置和试验方法
CN111974470A (zh) * 2020-06-09 2020-11-24 天津城建大学 一种在异质衬底上实现微液滴输运的装置及方法
CN112718028A (zh) * 2020-12-24 2021-04-30 深圳先进技术研究院 一种光操控液滴运动材料及其制备方法和应用
CN115140933A (zh) * 2022-06-27 2022-10-04 河北工业大学 一种实时光纤制备的装置及方法

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