CN110523450B - 一种微流控基板、微流控芯片、微流控系统及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种微流控基板、微流控芯片、微流控系统及检测方法，以改善现有技术的微流控基板存在控制精度受限的问题，无法操控比像素电极尺寸更小的液滴的问题。所述微流控基板，包括：透明衬底基板，位于所述透明衬底基板一面的光敏薄膜，位于所述光敏薄膜背离所述透明衬底基板一面的电控制层；所述电控制层包括：多个呈阵列排布的控制电极，位于相邻所述控制电极行间隙处的栅线，以及位于相邻所述控制电极列间隙处的数据线；每一所述控制电极通过一晶体管与一所述栅线、一所述数据线电连接；所述光敏薄膜被配置为在由所述透明衬底基板侧入射的光照射时，产生光生内建电场。

Description

一种微流控基板、微流控芯片、微流控系统及检测方法

技术领域

本发明涉及微流控技术领域，尤其涉及一种微流控基板、微流控芯片、微流控系统及检测方法。

背景技术

微流控技术(Microfluidics)是一种精确控制和操控微尺度流体的技术，通过此技术，研究人员可以把样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块厘米级芯片上。此技术一般应用于生物、化学、制药等领域的微量药品的分析过程，它主要涉及微量试剂的输运、混合等。此技术对于生物医疗、药物诊断、食品卫生、环境监测及分子生物学等领域的发展具有重要的意义。

但现有技术的微流控基板存在控制精度受限的问题，无法操控比像素电极尺寸更小的液滴。

发明内容

本发明提供一种微流控基板、微流控芯片、微流控系统及检测方法，以改善现有技术的微流控基板存在控制精度受限的问题，无法操控比像素电极尺寸更小的液滴的问题。

本发明实施例提供一种微流控基板，包括：透明衬底基板，位于所述透明衬底基板一面的光敏薄膜，位于所述光敏薄膜背离所述透明衬底基板一面的电控制层；

所述电控制层包括：多个呈阵列排布的控制电极，位于相邻所述控制电极行间隙处的栅线，以及位于相邻所述控制电极列间隙处的数据线；每一所述控制电极通过一晶体管与一所述栅线、一所述数据线电连接；

所述光敏薄膜被配置为在由所述透明衬底基板侧入射的光照射时，产生光生内建电场。

在一种可能的实施方式中，所述电控制层的背离所述透明衬底基板的一面还具有疏水层；

所述疏水层与所述电控制层之间还具有介质层。

在一种可能的实施方式中，所述电控制层在背离所述光敏薄膜的一面依次包括：栅极层、栅极绝缘层、有源层、源漏极层、平坦层和控制电极层；

所述栅线位于所述栅极层，所述数据线位于所述源漏极层，所述控制电极位于所述控制电极层。

在一种可能的实施方式中，所述平坦层包括：第一平坦层，以及位于所述第一平坦层的面向所述控制电极层的第二平坦层；

所述第一平坦层与所述第二平坦层之间还具有遮光层，所述遮光层在所述透明衬底基板的正投影覆盖所述有源层在所述透明衬底基板的正投影。

在一种可能的实施方式中，所述光敏薄膜的材质为铌酸锂。

本发明实施例还提供一种微流控芯片，包括如本发明实施例提供的所述微流控基板，还包括与所述微流控基板相对的对向基板，所述微流控基板与所述对向基板之间形成微流通道。

本发明实施例还提供一种微流控系统，包括：如本发明实施例提供的所述微流控基板，或者，包括如本发明实施例提供的所述微流控芯片；还包括激光照射设备；

所述激光照射设备被配置为在进行光控制时，由所述透明衬底基板的一侧照射所述光敏薄膜，以使所述光敏薄膜产生内建电场。

在一种可能的实施方式中，还包括：刚性支架，所述刚性支架包括沿第一支部，以及与所述第一支部垂直的第二支部，所述激光照射设备固定于所述第一支部；位于所述激光设备出光侧的光阑，位于所述光阑背离所述激光照射设备一侧的半透半反膜片，位于所述半透半反膜片背离所述光阑的聚焦物镜，位于所述聚焦物镜背离所述半透半反膜片一侧的用于承载所述微流控芯片的透明平移台，位于所述透明平移台背离所述聚焦物镜一侧的背光源；其中，所述激光照射设备，所述光阑，所述半透半反膜片、所述聚焦物镜，所述透明平移台、所述背光源同轴准直，所述光阑，所述半透半反膜片、所述聚焦物镜，所述透明平移台、所述背光源均固定于所述第二支部；

还包括：位于所述半透半反膜片的背离所述第二支部一侧的第一滤光片，位于所述第一滤光片的背离所述半透半反膜片一侧的第二滤光片，以及位于所述第二滤光片的背离所述第一滤光片一侧的照相设备；其中，所述第一滤光片、所述第一滤光片、所述照相设备均固定于所述第一支部；

以及还包括：控制设备，所述控制设备被配置为在进行微流控检测时，向所述微流控芯片输入控制信号。

本发明实施例还提供一种如本发明实施例提供的所述微流控系统的检测方法，包括：

在进行电控制时，控制待检测液滴所在位置处的栅线打开，并控制待检测液滴位置周围的数据线沿第一方向依次打开；

在进行光控制时，关闭所述栅线和所述数据线，通过激光照射设备照射所述微流控基板具有所述透明衬底基板的一侧，并控制所述激光照射设备沿第二方向移动。

在一种可能的实施方式中，所述在进行光控制时，关闭所述栅线和所述数据线，通过激光照射设备照射所述微流控基板具有所述透明衬底基板的一侧，并控制所述激光照射设备沿第二方向移动，具体包括：

所述控制设备控制所述栅线和所述数据线关闭，控制所述激光照射设备打开，并通过调节所述聚焦物镜的位置调整激光的光斑分布，使所述光斑位于所述待检测液滴的边缘；

所述控制设备控制所述透明平移台带动所述微流控芯片或所述微流控基板运动，使所述光斑在所述微流控芯片或所述微流控基板上做相对扫描运动，带动所述待检测液滴移动。

本发明实施例有益效果如下：本发明实施例中，微流控基板包括电控制层，控制电极层包括呈阵列排布的控制电极，通过对不同位置的控制电极加电，可以使不同位置根据需要产生电场，当微流控基板表面设置待检测液滴时，待检测液滴可以根据电场位置的不同而产生相应移动，进而可以通过电控制层实现对待检测液滴位置的控制；而且，微流控基板包括光敏薄膜，光敏薄膜可以在受光照射时，产生内建电场，当微流控基板设置待检测液滴时，待检测液滴可以根据光照产生的内建电场位置的不同而产生相应移动，进而还可以通过对光敏薄膜不同位置的照射实现对待检测液滴的光控制，可以避免若电控制层由于控制电极的加工工艺等问题易导致部分控制电极失效，最终导致微流控基板失去其应有功能(例如，一旦某一根栅线或数据线出现断，会导致多个控制电极的不可逆失效)，即，在电控制层失效时，仍可以通过光敏薄膜进行控制。另外，由于电控制层可以对待检测液滴的进行大通量控制，而对于光敏薄膜，由于激光照射设备的光束较小，进而可以实现对带检测液滴的精细控制，进而可以使微流控基板不仅可以对较大量的液滴进行控制，也可以对较小的液滴进行精细控制。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种微流控基板的剖视结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种微流控基板的俯视结构示意图；

图3为本发明实施例提供的微流控基板的驱动原理示意图；

图4为本发明实施例提供的一种微流控系统的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种微流控系统的检测流程示意图。

具体实施方式

为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。

参见图1和图2，本发明实施例提供一种微流控基板，包括：透明衬底基板1，位于透明衬底基板1一面的光敏薄膜2，位于光敏薄膜2背离透明衬底基板1一面的电控制层3，透明衬底基板1具体可以为玻璃衬底基板；

电控制层3包括：多个呈阵列排布的控制电极380，位于相邻控制电极380行间隙处的栅线36，以及位于相邻控制电极380列间隙处的数据线37；每一控制电极380通过一晶体管30与一栅线36、一数据线37电连接，具体的，晶体管30的栅极与栅线36电连接，源极与数据线37电连接，漏极与控制电极380电连接；

光敏薄膜2被配置为在由透明衬底基板1侧入射的光照射时，产生光生内建电场。

本发明实施例中，微流控基板包括电控制层，控制电极层包括呈阵列排布的控制电极，通过对不同位置的控制电极加电，可以使不同位置根据需要产生电场，当微流控基板表面设置待检测液滴时，待检测液滴可以根据电场位置的不同而产生相应移动，进而可以通过电控制层实现对待检测液滴位置的控制；而且，微流控基板包括光敏薄膜，光敏薄膜可以在受光照射时，产生内建电场，当微流控基板设置待检测液滴时，待检测液滴可以根据光照产生的内建电场位置的不同而产生相应移动，进而还可以通过对光敏薄膜不同位置的照射实现对待检测液滴的光控制，可以避免若电控制层由于控制电极的加工工艺等问题易导致部分控制电极失效，最终导致微流控基板失去其应有功能(例如，一旦某一根栅线或数据线出现断，会导致多个控制电极的不可逆失效)，即，在电控制层失效时，仍可以通过光敏薄膜进行控制。另外，由于电控制层可以对待检测液滴的进行大通量控制，而对于光敏薄膜，由于激光照射设备的光束较小，进而可以实现对带检测液滴的精细控制，进而可以使微流控基板不仅可以对较大量的液滴进行控制，也可以对较小的液滴进行精细控制。

在具体实施时，本发明实施例中，光敏薄膜2的材质具体可以为铌酸锂。铌酸锂是一种具有优秀光电性能的光学晶体，在激光的照射下晶体表面会形成光生伏打电场，其过程如下：当激光照射晶体时，晶体中的杂质被电离而产生光激载流子；光激载流子在驱动场(光生伏打与扩散电场)的作用下而运动(迁移及扩散)；迁移的载流子在晶体内部经激发-迁移-俘获-激发这几个过程的循环后，最终到达暗区被俘获，并致使正负电荷的空间分离，最终在晶体内部建立相应的光折变空间电荷场，其电场分布由激光光斑直接决定。因此在基于铌酸锂晶体的微流控基板上，我们可以通过介电泳或介电润湿效应实现对液滴的直接光操控，并且通过对液滴操控装置的设计可以控制在铌酸锂晶体上形成直径1微米以下的电场。

具体的，可以利用半导体工艺在玻璃基底上加工一层c切单晶铌酸锂薄膜，之后制备薄膜晶体管组成阵列，在同一微流控基板上实现了光场驱动与电场驱动的有机结合。该微流控基板同时具有光操控的操控精度高与有源矩阵电操控通量大的特点，此外此微流控基板通过对光场操控与电场操控的有机结合大大避免了由于微流控基板部分结构失效导致的微流控基板功能丧失问题。本发明实施例提供的微流控基板，在生物医疗、药物诊断、食品卫生、环境监测及分子生物学等领域，具有广泛的应用前景。

在具体实施时，电控制层3的背离透明衬底基板1的一面还具有疏水层5。本发明实施例中，电控制层3的背离透明衬底基板1的一面设置的疏水层5，可以使待检测液滴的接触角变大，在相同电场下增加其接触角变化值，以增强微流控基板对待检测液滴的驱动力，并减小透明衬底基板1在待检测液滴移动过程中对待检测液滴的阻力。当对控制电极加电时，会使液体的接触角由θ₀变为θ，液滴形变后会获得一形变方向的驱动力，其形变程度可以通过Young-Lippmann方程进行描述：即，cosθ＝cosθ₀+[ε₀ε_r(ΔV)²」/(2dγ_LG)；其中，θ₀表示液滴初始疏水角，ε_r表示介质层介电常数，d表示介质层厚度，ΔV表示介质层两侧的电势差，γ_LG表示液滴与周围介质表面张力系数。

在具体实施时，疏水层5与电控制层3之间还具有介质层4。本发明实施例中，疏水层5与电控制层3之间还具有介质层4，可以隔绝待检测微液滴与电控制层的接触，防止待检测微液滴发生电解，并且增强加电时固液界面处的界面能，降低待检测液滴的驱动电压。

在具体实施时，结合图1所示，电控制层3在背离光敏薄膜2的一面依次包括：栅极层31、栅极绝缘层32、有源层33、源漏极层(具体可以包括源极34和漏极35)、平坦层和控制电极层；栅线36位于栅极层31，数据线37位于源漏极层，控制电极380位于控制电极层。

在具体实施时，平坦层包括：第一平坦层391，以及位于第一平坦层391的面向控制电极层38的第二平坦层392；第一平坦层391与第二平坦层392之间还具有遮光层393，遮光层393在透明衬底基板1的正投影覆盖有源层33在透明衬底基板1的正投影。本发明实施例中，微流控基板还包括遮光层393，遮光层393在透明衬底基板1的正投影覆盖有源层33在透明衬底基板1的正投影，可以避免外界环境光对晶体管有源层33的照射，避免对晶体管性能的影响。

在具体实施时，可以通过以下步骤形成本发明实施例中的微流控基板：

首先，在玻璃衬底基板上制备一层厚度为600nm的铌酸锂薄膜，之后采用逐层光刻沉积方式加工薄膜晶体二极管。将栅极、源极、漏极依次加工后使用树脂(Resin)进行平坦化处理，之后再薄膜晶体二极管上使用不透明金属制备一层遮光层，之后再次使用Resin进行平坦化处理，之后制备ITO透明控制电极并使其与薄膜晶体二极管的漏极相连。最后制备介质层及疏水层。其中，薄膜晶体二极管采用阵列化排布，控制电极380为正方形，边长大小为20微米，相邻控制电极380之间的最小间距为1微米，沿水平方向延伸的为栅线36，沿竖直方向延伸的为数据线37。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供一种微流控芯片，包括如本发明实施例提供的微流控基板，还包括与微流控基板相对的对向基板，微流控基板与对向基板之间形成微流通道。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供一种微流控系统，包括：如本发明实施例提供的微流控基板，或者，包括如本发明实施例提供的微流控芯片；还包括激光照射设备；激光照射设备被配置为在进行光控制时，由透明衬底基板的一侧照射光敏薄膜，以使光敏薄膜产生内建电场。在具体实施时，本发明实施例中的微流控基板可以直接作为微流控芯片，也可以是和对向基板对合后形成微流控芯片。

在具体实施时，参见图3所示，本发明实施例提供的微流控系统还可以包括：刚性支架，刚性支架包括沿第一支部101，以及与第一支部101垂直的第二支部102，激光照射设备11固定于第一支部101；位于激光照射设备11出光侧的光阑12，位于光阑12背离激光照射设备11一侧的半透半反膜片13，位于半透半反膜片13背离光阑12的聚焦物镜14，位于聚焦物镜14背离半透半反膜片13一侧的用于承载微流控芯片100的透明平移台15，位于透明平移台15背离聚焦物镜14一侧的背光源16；其中，激光照射设备11，光阑12，半透半反膜片13、聚焦物镜14，透明平移台15、背光源16同轴准直，光阑12，半透半反膜片13、聚焦物镜14，透明平移台15、背光源16均固定于第二支部102；

还包括：位于半透半反膜片13的背离第二支部102一侧的第一滤光片17，位于第一滤光片17的背离半透半反膜片13一侧的第二滤光片18，以及位于第二滤光片18的背离第一滤光片17一侧的照相设备19；其中，第一滤光片17、第二滤光片18、照相设备19均固定于第一支部101，第一滤光片17、第二滤光片18、照相设备19同轴准直；

以及还包括：控制设备PC，控制设备PC被配置为在进行微流控检测时，向微流控芯片输入控制信号，控制设备PC具体可以为计算机。

以下结合图3所示的微流控系统，并以图4所示的微流控基板为例(其中，微流控基板表面具有待检测液滴9)，对本发明实施例提供的微流控系统的检测原理进行进一步说明如下：

电操控：首先打开照相设备19(具体可以为CCD相机)与背光源16通过观测光路确定待检测液滴位置，并通过计算机控制打开相应薄膜晶体二极管的栅线(Gate)电源，之后通过计算机控制数据线(Source)的扫描，通过介电润湿效应完成对大量待检测液滴的操控。

光操控：首先通过计算机PC关闭Source线与Gate线的电源，之后打开激光照射设备11，调节聚焦物镜14的位置调整激光光斑分布，并使激光光斑位于待检测液滴边缘；然后通过计算机PC控制透明平移台15驱动微流控芯片100运动，使聚焦激光在微流控芯片100的二维平面上做相对扫描动作，通过介电润湿效应带动单个待检测液滴的移动。当有源数字矩阵部分控制电极380失效时，可通过激光照射微流控芯片100利用光操控在牺牲部分通量的情况下保全微流控芯片功能；当出现由c切单晶铌酸锂薄膜成分不均导致的光操控部分失效时，可通过调节激光功率或通过电操控实现对单个液滴的操控。

参见图5所示，本发明实施例还提供一种如本发明实施例提供的微流控系统的检测方法，包括：

步骤S100、在进行电控制时，控制待检测液滴所在位置处的栅线打开，并控制待检测液滴位置周围的数据线沿第一方向依次打开。

步骤S200、在进行光控制时，关闭栅线和数据线，通过激光照射设备照射微流控基板具有透明衬底基板的一侧，并控制激光照射设备沿第二方向移动。

具体地，在本发明实施例提供的微流控系统的检测方法中，在进行光控制时，关闭栅线和数据线，通过激光照射设备照射微流控基板具有透明衬底基板的一侧，并控制激光照射设备沿第二方向移动，具体包括：

控制设备控制栅线和数据线关闭，控制激光照射设备打开，并通过调节聚焦物镜的位置调整激光的光斑分布，使光斑位于待检测液滴的边缘；

控制设备控制透明平移台带动微流控芯片或微流控基板运动，使光斑在微流控芯片或微流控基板上做相对扫描运动，带动待检测液滴移动。

本发明实施例有益效果如下：本发明实施例中，微流控基板包括电控制层，控制电极层包括呈阵列排布的控制电极，通过对不同位置的控制电极加电，可以使不同位置根据需要产生电场，当微流控基板表面设置待检测液滴时，待检测液滴可以根据电场位置的不同而产生相应移动，进而可以通过电控制层实现对待检测液滴位置的控制；而且，微流控基板包括光敏薄膜，光敏薄膜可以在受光照射时，产生内建电场，当微流控基板设置待检测液滴时，待检测液滴可以根据光照产生的内建电场位置的不同而产生相应移动，进而还可以通过对光敏薄膜不同位置的照射实现对待检测液滴的光控制，可以避免若电控制层由于控制电极的加工工艺等问题易导致部分控制电极失效，最终导致微流控基板失去其应有功能(例如，一旦某一根栅线或数据线出现断，会导致多个控制电极的不可逆失效)，即，在电控制层失效时，仍可以通过光敏薄膜进行控制。另外，由于电控制层可以对待检测液滴的进行大通量控制，而对于光敏薄膜，由于激光照射设备的光束较小，进而可以实现对带检测液滴的精细控制，进而可以使微流控基板不仅可以对较大量的液滴进行控制，也可以对较小的液滴进行精细控制。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种微流控基板，其特征在于，包括：透明衬底基板，位于所述透明衬底基板一面的光敏薄膜，位于所述光敏薄膜背离所述透明衬底基板一面的电控制层；

所述电控制层包括：多个呈阵列排布的控制电极，位于相邻所述控制电极行间隙处的栅线，以及位于相邻所述控制电极列间隙处的数据线；每一所述控制电极通过一晶体管与一所述栅线、一所述数据线电连接；

所述光敏薄膜被配置为在由所述透明衬底基板侧入射的光照射时，产生光生内建电场；

所述电控制层的背离所述透明衬底基板的一面还具有疏水层；

所述疏水层与所述电控制层之间还具有介质层。

2.如权利要求1所述的微流控基板，其特征在于，所述电控制层在背离所述光敏薄膜的一面依次包括：栅极层、栅极绝缘层、有源层、源漏极层、平坦层和控制电极层；

所述栅线位于所述栅极层，所述数据线位于所述源漏极层，所述控制电极位于所述控制电极层。

3.如权利要求2所述的微流控基板，其特征在于，所述平坦层包括：第一平坦层，以及位于所述第一平坦层的面向所述控制电极层的第二平坦层；

所述第一平坦层与所述第二平坦层之间还具有遮光层，所述遮光层在所述透明衬底基板的正投影覆盖所述有源层在所述透明衬底基板的正投影。

4.如权利要求1-3任一项所述的微流控基板，其特征在于，所述光敏薄膜的材质为铌酸锂。

5.一种微流控芯片，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的微流控基板，还包括与所述微流控基板相对的对向基板，所述微流控基板与所述对向基板之间形成微流通道。

6.一种微流控系统，其特征在于，包括：如权利要求1-4任一项所述的微流控基板，或者，包括如权利要求5所述的微流控芯片；还包括激光照射设备；

所述激光照射设备被配置为在进行光控制时，由所述透明衬底基板的一侧照射所述光敏薄膜，以使所述光敏薄膜产生内建电场。

7.如权利要求6所述的微流控系统，其特征在于，

还包括：刚性支架，所述刚性支架包括沿第一支部，以及与所述第一支部垂直的第二支部，所述激光照射设备固定于所述第一支部；位于所述激光照射设备出光侧的光阑，位于所述光阑背离所述激光照射设备一侧的半透半反膜片，位于所述半透半反膜片背离所述光阑的聚焦物镜，位于所述聚焦物镜背离所述半透半反膜片一侧的用于承载所述微流控芯片的透明平移台，位于所述透明平移台背离所述聚焦物镜一侧的背光源；其中，所述激光照射设备，所述光阑，所述半透半反膜片、所述聚焦物镜，所述透明平移台、所述背光源同轴准直，所述光阑，所述半透半反膜片、所述聚焦物镜，所述透明平移台、所述背光源均固定于所述第二支部；

还包括：位于所述半透半反膜片的背离所述第二支部一侧的第一滤光片，位于所述第一滤光片的背离所述半透半反膜片一侧的第二滤光片，以及位于所述第二滤光片的背离所述第一滤光片一侧的照相设备；其中，所述第一滤光片、所述第一滤光片、所述照相设备均固定于所述第一支部；

以及还包括：控制设备，所述控制设备被配置为在进行微流控检测时，向所述微流控芯片输入控制信号。

8.一种如权利要求6所述的微流控系统的检测方法，其特征在于，包括：

在进行电控制时，控制待检测液滴所在位置处的栅线打开，并控制待检测液滴位置周围的数据线沿第一方向依次打开；

在进行光控制时，关闭所述栅线和所述数据线，通过激光照射设备照射所述微流控基板具有所述透明衬底基板的一侧，并控制所述激光照射设备沿第二方向移动。

9.一种如权利要求7所述的微流控系统的检测方法，其特征在于，包括：

在进行电控制时，控制待检测液滴所在位置处的栅线打开，并控制待检测液滴位置周围的数据线沿第一方向依次打开；

在进行光控制时，关闭所述栅线和所述数据线，通过激光照射设备照射所述微流控基板具有所述透明衬底基板的一侧，并控制所述激光照射设备沿第二方向移动。

10.如权利要求9所述的微流控系统的检测方法，其特征在于，所述在进行光控制时，关闭所述栅线和所述数据线，通过激光照射设备照射所述微流控基板具有所述透明衬底基板的一侧，并控制所述激光照射设备沿第二方向移动，具体包括：

所述控制设备控制所述栅线和所述数据线关闭，控制所述激光照射设备打开，并通过调节所述聚焦物镜的位置调整激光的光斑分布，使所述光斑位于所述待检测液滴的边缘；

所述控制设备控制所述透明平移台带动所述微流控芯片或所述微流控基板运动，使所述光斑在所述微流控芯片或所述微流控基板上做相对扫描运动，带动所述待检测液滴移动。

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