CN107064066B - 一种基于光纤微腔双f-p游标放大氢气传感器的自标定方法及装置 - Google Patents
一种基于光纤微腔双f-p游标放大氢气传感器的自标定方法及装置 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及一种基于光纤微腔双F‑P游标放大氢气传感器的自标定方法及装置,其特征在于包括宽带光源、光谱分析仪、3dB耦合器、单模光纤、双F‑P氢气传感模块;双F‑P氢气传感模块由空芯光纤、多模光纤熔接形成;其中空芯光纤构成第一F‑P光纤微腔;多模光纤构成第二F‑P光纤微腔,外表面镀有银膜,银/钯复合膜。第一F‑P光纤微腔作为“基标尺”,提供一系列基准线,第二F‑P光纤微腔作为“游标尺”,用于感应待测量;当氢气浓度增加,银/钯复合膜体积发生膨胀,导致干涉谱移动,检测干涉波长的变化就可以得到氢气的浓度。针对现有光纤氢气传感器零基漂移的问题,提出了一种精度高,感应量程大的基于光纤微腔双F‑P游标放大氢气传感器的自标定方法及装置。
Description
技术领域
本发明属于光纤传感技术领域,特别涉及一种基于光纤微腔双F-P游标放大氢气传感器的自标定方法及装置。
背景技术
随着我国经济的高速发展,能源的需求与日俱增。而现在所使用的石油、煤炭等能源都是不可再生资源。同时,这些能源的使用会排放出大量的二氧化碳和温室气体,对环境危害大。氢能是一种无污染,储量大,热值高的清洁能源,是保障能源安全的永久性战略。但是,由于氢气分子量小,容易泄露,在生产,储存,运输,使用中存在很多安全隐患。因此,氢能在存储和使用过程中必须对其进行监测。现有的氢气传感器有催化式、热导式、电化学式、光学式等几大类产品。然而目前还没有任何一种氢气传感器能完全满足所有的市场要求。面对未来氢能市场的巨大需求,不断提升传感器的灵敏度、选择性、响应时间和稳定性一直是氢气传感技术的热点和难点。
光纤传感器兴起于八十年代,因其具有良好的实时性,具有较高的灵敏度等特点已经广泛应用于各个邻域,特别是受环境温湿度影响小,体积小,重量轻,是无源器件,不产生火花,本质安全这些特点,光纤传感技术在氢气检测领域引起广泛关注。目前,常见的光纤氢气传感器的类型主要有光纤干涉型、微透镜型、倏逝场型和布拉格光栅型等。钯因为其对氢气有很好的选择性、透过性和吸收性而普遍被用作光学氢气传感中。当氢气遇到钯时,氢气能够在钯表面离解为氢原子,通过扩散进入钯体内。当环境中的氢气浓度降低时钯中的氢又会结合成氢气脱附,该反应为可逆反应。但是在一些特殊场合,光纤氢气传感器仍存在一些不足,例如没有基准线,会出现零基漂移,测量精度不高;钯膜容易开裂导致测量范围小,探测灵敏度不高等问题。
针对上述光纤氢气传感器中所存在的不足,解决零漂问题,实现对氢气的高精度检测。本发明提出了一种基于光纤微腔双F-P游标放大氢气传感器的自标定方法及装置,这种方法选取双F-P干涉腔中一组干涉峰作为自标定线,解决零漂的问题,充分利用了光纤微腔所形成的双F-P干涉结构,实现游标放大效应,结合具有高稳定性的银钯合金膜实现对氢气的高精度检测。根据此技术所制做的光纤传感器具有感应氢气量程大,选择性好,精度高,响应时间短,重复性好,抗温度干扰等优点。
发明内容
本发明提供了一种基于光纤微腔双F-P游标放大氢气传感器的自标定方法及装置,以解决光纤氢气传感器普遍存在的零基漂移问题。
本发明的方法包括以下步骤:
步骤一选择一个输出波长为1420nm至1620nm的宽带光源(1),一个工作波长覆盖1420nm至1620nm的光谱分析仪(2),一个3dB耦合器(3),单模光纤(4),长度差为5μm~50μm的空芯光纤(6)、多模光纤(7);
步骤二将空芯光纤(6)和多模光纤(7)这两段光纤的末端垂直切割,并用熔接机进行熔接,形成双F-P氢气传感模块(5),其中空芯光纤(6)构成第一F-P光纤微腔(10),多模光纤(7)构成第二F-P光纤微腔(11);
步骤三在空芯光纤(6)外表面涂覆银胶,再对双F-P氢气传感模块(5)进行磁控溅射,使得双F-P氢气传感模块(5)外表面均匀镀上银膜(8)、银/钯复合膜(9);银膜(8)的厚度应为2nm~10nm,银/钯复合膜(9)的厚度应为10nm~40nm,银/钯复合膜(9)中钯含量为银含量的2.5~3.5倍;由于空芯光纤(6)已涂覆银胶,所以不能紧密粘敷银膜(8)和银/钯复合膜(9);进一步洗净银胶,只有多模光纤(7)外表面镀的银膜(8)和银/钯复合膜(9)被保留,从而形成敏感探头;先溅射银膜(8),后溅射银/钯复合膜(9)能够提高膜与光纤传感头的结合力,另一方面也能够提高传感器的重复性和灵敏度;第一F-P光纤微腔(10)外表无镀膜,作为自标定技术“双标尺”中稳定的“基标尺”,为自标定技术提供一系列基准线,第二F-P光纤微腔(11)外表镀有银膜(8),银/钯复合膜(9),作为“游标尺”,用于感应待测量,可随待测量移动;
步骤四3dB耦合器(3)一侧的两个端口分别与宽带光源(1),光谱分析仪(2)相连,3dB耦合器(3)另一侧的端口通过单模光纤(4)与带有自标定功能的双F-P氢气传感模块(5)相连;光谱分析仪(2)作为信号解调部分。
本发明为解决技术问题所采取的装置:
其特征在于:由宽带光源(1)、光谱分析仪(2)、3dB耦合器(3)、单模光纤(4)、双F-P氢气传感模块(5)组成;所述双F-P氢气传感模块(5)由空芯光纤(6)、多模光纤(7)熔接而成;其中空芯光纤(6)构成第一F-P光纤微腔(10);多模光纤(7)构成第二F-P光纤微腔(11),外表面镀有银膜(8),银/钯复合膜(9);3dB耦合器(3)一侧的两个端口分别与宽带光源(1),光谱分析仪(2)相连,3dB耦合器(3)另一侧的端口通过单模光纤(4)与双F-P氢气传感模块(5)相连;光谱分析仪(2)作为信号解调部分。
本发明的有益效果为:
本发明选取双F-P干涉腔中一组干涉峰作为自标定线,解决零漂的问题,充分利用了光纤微腔所形成的双F-P干涉结构,实现游标放大效应,结合具有高稳定性的银钯合金膜实现对氢气的高精度检测。根据此技术所制做的光纤传感器具有感应氢气量程大,选择性好,精度高,响应时间短,重复性好,抗温度干扰等优点。
附图说明
图1为本发明的装置结构示意图。
图2为本发明的双F-P氢气传感模块(5)的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进一步描述。
参见附图1,一种基于光纤微腔双F-P游标放大氢气传感器的自标定方法及装置,包括宽带光源(1)、光谱分析仪(2)、3dB耦合器(3)、单模光纤(4)、双F-P氢气传感模块(5);所述双F-P氢气传感模块(5)由空芯光纤(6)、多模光纤(7)熔接而成;其中空芯光纤(6)构成第一F-P光纤微腔(10);多模光纤(7)构成第二F-P光纤微腔(11),外表面镀有银膜(11),银/钯复合膜(12);3dB耦合器(3)一侧的两个端口分别与宽带光源(1),光谱分析仪(2)相连,3dB耦合器(3)另一侧的端口通过单模光纤(4)与双F-P氢气传感模块(5)相连;光谱分析仪(2)作为信号解调部分。
本发明的工作方式为:宽带光源(1)产生信号光,由单模光纤(4)输入到3dB耦合器(3),3dB耦合器(3)将信号光通过单模光纤(4)输入到双F-P氢气传感模块(5)在端面反射,反射光经过单模光纤(4),通过3dB耦合器(3)与宽带光源(1)相连接侧的另一端口相干输出到光谱分析仪(2)。
第一F-P光纤微腔(10)外无氢气敏感膜,作为自标定技术“双标尺”中稳定的“基标尺”,为自标定技术提供一系列基准线,第二F-P光纤微腔(11)外表镀有银膜(8),银/钯复合膜(9),作为“游标尺”,用于感应待测量,可随待测量移动;这时的光纤微腔双F-P游标放大氢气传感器具有自标定功能。
第一F-P光纤微腔(10)与第二F-P光纤微腔(11)分别对应于游标卡尺里面的标尺和游尺,所以双F-P氢气传感模块(5)由于游标放大效应,能实现对氢气的高精度测量;
当氢气浓度增加,银/钯复合膜(9)吸收氢后,体积发生膨胀,从而对第二F-P光纤微腔(11)施加轴向的应力,改变光纤干涉仪相位,导致光纤传感头干涉谱移动;第一F-P光纤微腔(10)无氢气敏感膜,微腔有效长度不变,为实验提供“基线”;利用光谱分析仪(2)检测干涉波长的变化就可以得到氢气的浓度。
该发明能够实现基于光纤微腔双F-P游标放大氢气传感器的自标定方法及装置的关键技术有:
选取双F-P干涉腔中一个无氢气敏感膜的F-P光纤微腔作为自标定方法“双标尺”中的“基标尺”,为自标定方法提供一系列基准线,从而获得一个稳定的“基标尺”,另一个镀有银膜,银/钯复合膜的F-P光纤微腔作为“游标尺”,用于感应待测量,可随待测量移动,以此解决零漂的问题;利用了光纤微腔所形成的双F-P干涉结构,选取了两段等效腔长不同的F-P光纤微腔,实现游标放大效应;结合具有高稳定性的银钯合金膜,通过多次交替溅射,提高膜与光纤传感头的结合力,实现对氢气的高精度检测。根据此方法所研制的光纤传感器具有感应氢气量程大,选择性好,精度高,响应时间短,重复性好,抗温度干扰等优点。
本发明的一个具体实施例中,光源的输出波长为1200nm~1650nm;光谱仪的工作波长覆盖范围为1200nm~1650nm;单模光纤用的是常规单模光纤(G.625),纤芯直径为8.2μm,包层直径为125μm,多模光纤用的是渐变折射率多模光纤,纤芯直径为62.5μm,包层直径为125μm,空芯光纤用的是石英毛细管(TSP075150),外径为150μm,内径为75μm,涂层为12μm;空芯光纤和多模光纤的长度分别为200μm和215μm,长度差为15μm;银膜厚度为5nm,银/钯复合膜厚度为30nm,银和钯的比例为1∶3,在氢气浓度在0%至1.6%范围内,基于光纤微腔双F-P游标放大氢气传感器的灵敏度为20nm/%。
Claims (2)
1.一种基于光纤微腔双F-P游标放大氢气传感器的自标定方法,其特征在于该方法包括如下步骤:
步骤一选择一个输出波长为1420nm至1620nm的宽带光源(1),一个工作波长覆盖1420nm至1620nm的光谱分析仪(2),一个3dB耦合器(3),单模光纤(4),长度差为5μm~50μm的空芯光纤(6)、多模光纤(7);
步骤二将空芯光纤(6)和多模光纤(7)这两段光纤的末端垂直切割,并用熔接机进行熔接,形成双F-P氢气传感模块(5),其中空芯光纤(6)构成第一F-P光纤微腔(10),多模光纤(7)构成第二F-P光纤微腔(11);
步骤三在空芯光纤(6)外表面涂覆银胶,再对双F-P氢气传感模块(5)进行磁控溅射,使得双F-P氢气传感模块(5)外表面均匀镀上银膜(8)、银/钯复合膜(9);银膜(8)的厚度应为2nm~10nm,银/钯复合膜(9)的厚度应为10nm~40nm,银/钯复合膜(9)中钯含量为银含量的2.5~3.5倍;由于空芯光纤(6)已涂覆银胶,所以不能紧密粘敷银膜(11)和银/钯复合膜(12);进一步洗净银胶,只有多模光纤(7)外表面镀的银膜(8)和银/钯复合膜(9)被保留,从而形成敏感探头;先溅射银膜(8),后溅射银/钯复合膜(9)能够提高膜与光纤传感头的结合力,另一方面也能够提高传感器的重复性和灵敏度;第一F-P光纤微腔(10)外表无镀膜,作为自标定技术“双标尺”中稳定的“基标尺”,为自标定技术提供一系列基准线,第二F-P光纤微腔(11)外表镀有银膜(8),银/钯复合膜(9),作为“游标尺”,用于感应待测量,可随待测量移动;
步骤四3dB耦合器(3)一侧的两个端口分别与宽带光源(1),光谱分析仪(2)相连,3dB耦合器(3)另一侧的端口通过单模光纤(4)与带有自标定功能的双F-P氢气传感模块(5)相连;光谱分析仪(2)作为信号解调部分。
2.实现权利要求1所述方法的装置,其特征在于:由宽带光源(1)、光谱分析仪(2)、3dB耦合器(3)、单模光纤(4)、双F-P氢气传感模块(5)组成;所述双F-P氢气传感模块(5)由空芯光纤(6)、多模光纤(7)熔接而成;其中空芯光纤(6)构成第一F-P光纤微腔(10);多模光纤(7)构成第二F-P光纤微腔(11),外表面镀有银膜(8),银/钯复合膜(9);3dB耦合器(3)一侧的两个端口分别与宽带光源(1),光谱分析仪(2)相连,3dB耦合器(3)另一侧的端口通过单模光纤(4)与双F-P氢气传感模块(5)相连;光谱分析仪(2)作为信号解调部分。
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