CN102967582A - 高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法 - Google Patents
高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102967582A CN102967582A CN2012104833138A CN201210483313A CN102967582A CN 102967582 A CN102967582 A CN 102967582A CN 2012104833138 A CN2012104833138 A CN 2012104833138A CN 201210483313 A CN201210483313 A CN 201210483313A CN 102967582 A CN102967582 A CN 102967582A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- micro
- nano fiber
- fiber
- nano
- microcavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
本发明涉及一种高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器。该生化传感器由微纳光纤制作的结型微环谐振腔和由飞秒激光作用在微环谐振腔两边形成的F-P微腔组成的复合型微腔构成。其制造方法是将普通单模光纤进行熔融制成微纳光纤，并在微纳光纤内用飞秒激光制作两个反射镜，在两个反射镜之间打结，最终制成微纳光纤F-P腔和结型微纳光纤环形腔构成的微纳光纤复合型微腔。本发明涉及的微纳光纤复合型微腔由于其Fano谐振谱线而在中心波长处具有极大的变化斜率，陡峭的斜率可以把微小的环境参量变化转化为大的可探测的强度变化，可极大提高生化传感器的灵敏度，从而可以实现快响应速度和高灵敏度的微纳米量级生化测量。
Description
技术领域
本发明涉及一种高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法，属于光纤器件领域。
技术背景
上世纪以来，光纤通信以及光纤传感领域发展迅速。光纤及光纤器件是光纤传感的传输媒介，其发展程度的高低在很大程度上决定着光纤传感领域的发展。光纤传感器抗干扰能力强、绝缘性好安全度高、灵敏度高、重量轻体积小易于集成，因而在很多行业如能源石化、资源勘探、生物医疗等领域均有着广阔的应用前景。随着光纤传感领域的快速发展，对光纤器件的要求也越来越高，具有微尺寸、高灵敏度、快速响应等优势的新型光纤器件逐渐成为研究的热点。其中，微纳光纤器件以其低损耗、低成本、高性能、高可靠性在光纤器件中占据了很大份额。与普通单模光纤相比，微纳光纤的很大一部分光场能量以渐逝波的形式在芯外传播，这部分芯外渐逝场与环境相互作用时，对周围环境的折射率变化很敏感，因此可以被应用为高灵敏度的微型传感器。另外，F-P腔以及基于F-P腔的各种传感器现已被广泛应用，但是普通基于F-P腔的传感器灵敏度不高，响应速度较慢。近年来，随着各种微加工技术不断成熟，基于光纤端面、光纤表面和光纤内部而进行的微结构制备得到了大力发展，极大地促进了各种新型光纤微传感器在传感方面的应用。
用飞秒脉冲激光在微纳光纤内部制备F-P微腔以及基于F-P微腔的复合传感器应用很少。使用飞秒激光器在微纳光纤内部刻写F-P微腔，并制成由微纳光纤F-P微腔和结型微纳光纤环形腔构成的微纳光纤复合型微腔，其Fano谐振谱线在中心波长处具有极大的变化斜率，陡峭的斜率可以把微小的环境参量变化转化为大的可探测的强度变化，可极大地提高生化传感器的灵敏度，可以实现比普通F-P腔更高的分辨率、更高的灵敏度以及更大范围的传感。再加以改进工艺，可以实现快响应速度和高灵敏度的微纳米量级生化测量。
发明内容
本发明的目的在于改善现有F-P腔以及基于F-P腔的各种传感器灵敏度不高，响应速度较慢的不足，提供一种高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法，以实现更高灵敏度、更快响应速度和微量检测，这将在微型化和高灵敏度的生化传感领域有广泛应用前景。
为达到上述目的，本发明采用下述技术方案：
一种高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器，由一根微纳光纤和在其内部的第一光纤内部反射镜、第二光纤内部反射镜和微纳光纤F-P腔以及一个结型微纳光纤环形腔构成，其特征在于：所述微纳光纤是由普通单模光纤进行熔融制成的在微纳光纤内部用飞秒激光制作两个反射镜，然后在两个反射镜之间打结，最终制成由微纳光纤F-P腔和结型微纳光纤环形腔构成的微纳光纤复合型微腔；该微纳米光纤复合型微腔的Fano谐振谱线在中心波长处具有极大的变化斜率，陡峭的斜率可以把微小的环境参量变化转化为大的可探测的强度变化，极大地提高了生化传感器的灵敏度。
一种高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器的制造方法，用于制作上述高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器，其操作步骤如下：
1）微纳光纤制备：用氢氧火焰作为热源对一段长2米 
0.2米的单模光纤进行熔融制成微纳光纤：在此单模光纤中间剥去长3厘米
0.3厘米的涂覆层，并用酒精擦拭干净裸纤部分，放置在间距为5cm
0.5cm的光纤夹具上，尾纤的一端连接到宽带光源，另一端连接至光功率计，用以监控单模光纤在熔融过程中的损耗变化情况。通过热源的氢气流量和火焰温度等参数的优化设定，可以保证所制得的微纳光纤均一性较好。
2）飞秒激光制作微纳光纤复合型微腔：将制备的微纳光纤置于三维移动平台上，使微纳光纤轴向垂直于飞秒脉冲激光光束的传输方向；飞秒脉冲激光通过显微镜的物镜聚焦于光纤熔锥锥腰的中心，三维移动平台沿飞秒脉冲激光传输方向移动，使飞秒脉冲激光的聚焦点沿光纤径向扫描光纤熔锥的锥腰，至飞秒激光刻写区域覆盖光纤熔锥锥腰区的纤芯，即单个反射面制备完毕；每制作一个反射面时，三维移动平台的移动距离为锥腰直径的二分之一，移动速度为0.7-0.8 μm/s；控制台沿x轴向锥腰另一端移动所需腔长的距离，完成第二个反射面的制备。在制备好的两个反射面之间对微纳光纤打结，就制成了由微纳光纤F-P腔和结型微纳光纤环形腔构成的微纳光纤复合型微腔。
本发明的工作原理
与普通单模光纤相比，微纳光纤的很大一部分光场能量以渐逝波的形式在芯外传播，这部分芯外渐逝场与环境相互作用，对外界的折射率变化很敏感， 因此微纳光纤可以被应用为高灵敏度的微型传感器。同时，与普通F-P腔以及基于F-P腔的各种传感器相比，基于复合型F-P微腔的传感器具有更高的灵敏度。本发明将微纳光纤倏逝波的高灵敏度和复合型F-P微腔的高灵敏度结合，制成由微纳光纤F-P腔和结型微纳光纤环形腔构成的微纳光纤复合型微腔高灵敏度生化传感器，由于其Fano谐振谱线在中心波长处具有极大的变化斜率，陡峭的斜率可以把微小的环境参量变化转化为大的可探测的强度变化，因此极大地提高了生化传感器的灵敏度和响应速度，可以实现快响应速度和高灵敏度的微纳米量级生化测量。同时，本发明提出的生化传感器具有结构简单，易于制造，便于集成，成本低廉，而且具有分辨率高，动态范围大，易于检测分析等优势，这将在微型化、高精度和低探测极限的生化传感领域有广泛应用前景。
本发明与现有技术相比较，具有如下实质性特点和显著优点：
（1）结合了微纳光纤倏逝波和复合型F-P微腔二者的优良特性，可实现小尺寸、高灵敏度和快响应速度的微量生化检测；
（2）所发明的器件易于制造，便于集成，成本低廉，并且可以根据需求，制备不同直径、不同腔长、不同微环直径的传感器件，适应性强；
（3）飞秒激光微加工技术成本低廉，精度和重复性高，易于实现器件的批量加工。
附图说明
图1是本发明中高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器的结构示意图。
图2是本发明中制作微纳光纤的装置示意图。
图3是本发明中利用飞秒激光在微纳光纤内部刻写F-P腔的装置示意图。
图4是本发明中微纳光纤复合型微腔和普通单环腔的谱线对比图。
具体实施方式
本发明的优选实施例并结合附图说明如下：
实施例一：
参见图1，本高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器，由一根微纳光纤（4）和在其内部的第一光纤内部反射镜（1）、第二光纤内部反射镜（2）、微纳光纤F-P腔（3）以及结型微纳光纤环形腔（5）构成。所述微纳光纤（4）是通过火焰加工单模光纤制成的，第一光纤内部反射镜（1）和第二光纤内部反射镜（2）分别是通过飞秒脉冲激光沿微纳光纤（4）内部纤芯的径向改变光纤的折射率形成的反射面。然后在两个反射镜之间打结，最终制成由微纳光纤F-P腔（3）和结型微纳光纤环形腔（5）构成的微纳光纤复合型微腔。
实施例二：
参见图2，本高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器的制造方法，用于制作根据实施例一所述的微纳光纤。用氢氧火焰（6）作为热源对一段长2米
0.2米的单模光纤（7）进行熔融制成微纳光纤：在此单模光纤中间剥去长3厘米
0.3厘米的涂覆层，并用酒精擦拭干净裸纤部分（8），放置在间距为5cm的光纤夹具（9）上，尾纤的一端连接到宽带光源（10），另一端连接至光功率计（11），用以监控单模光纤在熔融过程中的损耗变化情况。通过热源的氢气流量、火焰温度等参数的优化设定，可以保证所制得的微纳光纤（12）均一性较好。
实施例三：
参见图3，本高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器的制造方法，用于制作根据实施例一所述的利用飞秒激光在微纳光纤内部刻写F-P腔。将制备的微纳光纤（12）置于三维移动平台（13）上，使微纳光纤（12）轴向垂直于飞秒脉冲激光光束（14）的传输方向；飞秒脉冲激光（15）通过显微镜的物镜（16）聚焦于光纤熔锥锥腰的中心，三维移动平台沿飞秒脉冲激光传输方向移动，使飞秒脉冲激光的聚焦点沿光纤径向扫描光纤熔锥的锥腰，至飞秒激光刻写区域覆盖光纤熔锥锥腰区的纤芯，即单个反射面制备完毕；每制作一个反射面时，三维移动平台的移动距离为锥腰直径的二分之一，移动速度为0.7-0.9 μm/s；控制台沿x轴向锥腰另一端移动所需腔长的距离，完成第二个反射面的制备。在制备好的两个反射面之间对微纳光纤打结，就制成了由微纳光纤F-P腔和结型微纳光纤环形腔构成的微纳光纤复合型微腔。
图4是本发明中微纳光纤复合型微腔和普通单微环腔的谱线对比示意图。
Claims (2)
1.一种高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器，由一根微纳光纤（4）和在其内部的第一光纤内部反射镜（1）、第二光纤内部反射镜（2）、和微纳光纤F-P腔（3）以及一个结型微纳光纤环形腔（5）构成，其特征在于：所述微纳光纤（4）是通过火焰加工单模光纤制成的，第一光纤内部反射镜（1）和第二光纤内部反射镜（2）分别是通过飞秒脉冲激光沿微纳光纤（4）内部纤芯的径向改变光纤的折射率形成的反射面；由结型微纳光纤环形腔（5）和微纳光纤F-P腔（3）构成微纳米光纤复合型微腔；该微纳米光纤复合型微腔由于其Fano谐振谱线而在中心波长处具有极大的变化斜率，陡峭的斜率可以把微小的环境参量变化转化为大的可探测的强度变化，极大地提高了生化传感器的灵敏度，可实现快响应速度和高灵敏度的微纳米量级生化测量。
2.一种高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器的制造方法，用于制作根据权利要求1所述的高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器，其特征在于：将普通单模光纤进行熔融制成微纳光纤（4），并且在微纳光纤内部用飞秒激光制作两个反射镜，然后在两个反射镜之间打结，最终制成由微纳光纤F-P腔（3）和结型微纳光纤环形腔（5）构成的微纳光纤复合型微腔，其中微纳光纤直径在微纳米量级；其操作步骤如下：
1）微纳光纤制备：用氢氧火焰（6）作为热源对一段长2米 
0.2米的单模光纤（7）进行熔融制成微纳光纤：在此单模光纤中间剥去长3厘米0.3厘米的涂覆层，并用酒精擦拭干净裸纤部分（8），放置在间距为5cm
0.5cm的光纤夹具（9）上，尾纤的一端连接到宽带光源（10），另一端连接至光功率计（11），用以监控单模光纤在熔融过程中的损耗变化情况；通过热源的氢气流量和火焰温度的优化设定，保证所制得的微纳光纤（12）均一性；
2）飞秒激光制作微纳光纤复合型微腔：将制备的微纳光纤（12）置于三维移动平台（13）上，使微纳光纤（12）轴向垂直于飞秒脉冲激光光束（14）的传输方向；飞秒脉冲激光（15）通过显微镜的物镜（16）聚焦于光纤熔锥锥腰的中心，三维移动平台沿飞秒脉冲激光传输方向移动，使飞秒脉冲激光的聚焦点沿光纤径向扫描光纤熔锥的锥腰，从而飞秒激光刻写区域覆盖光纤熔锥锥腰区的纤芯，即单个反射面制备完毕；每制作一个反射面时，三维移动平台的移动距离为锥腰直径的二分之一，移动速度为0.7-0.9 μm/s；控制台沿x轴向锥腰另一端移动所需腔长的距离，完成第二个反射面的制备；在制备好的两个反射面之间对微纳光纤打结，制成由微纳光纤F-P腔（3）和结型微纳光纤环形腔（5）构成的微纳光纤复合型微腔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012104833138A CN102967582A (zh) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | 高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012104833138A CN102967582A (zh) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | 高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102967582A true CN102967582A (zh) | 2013-03-13 |
Family
ID=47797871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012104833138A Pending CN102967582A (zh) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | 高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102967582A (zh) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103293103A (zh) * | 2013-05-16 | 2013-09-11 | 成都谱视科技有限公司 | 外延光栅fp腔与微环谐振腔级联型光学生化传感芯片 |
| CN106197493A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-12-07 | 西安交通大学 | 一种基于飞秒激光直写的光纤法布里‑珀罗传感器的快速制备方法 |
| CN107389610A (zh) * | 2017-05-12 | 2017-11-24 | 南京大学 | 基于微腔Fano共振的传感方法及装置 |
| CN108899750A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-11-27 | 华南理工大学 | 一种多孔道中空微结回音壁模式谐振腔及其制备方法 |
| CN109324020A (zh) * | 2018-09-01 | 2019-02-12 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于微纳光纤卷型谐振器的盐度和折射率传感器制作方法 |
| CN109631963A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-04-16 | 杭州光预科技有限公司 | 基于微结构光纤干涉微波光子传感方法的多元参量测量系统及方法 |
| CN109782298A (zh) * | 2016-04-20 | 2019-05-21 | 安徽大学 | 微腔芯片型激光自混合距离传感系统 |
| CN109946004A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-06-28 | 华侨大学 | 一种微型压力变色传感器及其制备方法 |
| CN111766659A (zh) * | 2020-08-04 | 2020-10-13 | 西湖大学 | 一种纳米光纤的可控制备装置及方法 |
| CN114018402A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-02-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学谐振腔传感信号增强方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102221422A (zh) * | 2011-04-01 | 2011-10-19 | 上海大学 | 飞秒脉冲激光制备的本征型光纤法珀温度传感器及其制作方法 |
| CN102508337A (zh) * | 2011-11-03 | 2012-06-20 | 上海大学 | 基于光纤熔锥的本征型法布里-珀罗器件及其制造方法 |
-
2012
- 2012-11-26 CN CN2012104833138A patent/CN102967582A/zh active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102221422A (zh) * | 2011-04-01 | 2011-10-19 | 上海大学 | 飞秒脉冲激光制备的本征型光纤法珀温度传感器及其制作方法 |
| CN102508337A (zh) * | 2011-11-03 | 2012-06-20 | 上海大学 | 基于光纤熔锥的本征型法布里-珀罗器件及其制造方法 |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| HUAXIANG YI等: "Highly sensitive silicon microring sensor with sharp asymmetrical resonance", 《OPTICS EXPRESS》 * |
| WEI LIANG等: "Transmission characteristics of a Fabry–Perot etalon–microtoroid resonator coupled system", 《OPTICS LETTERS》 * |
| 李燕等: "微米光纤环形谐振腔的构造与传输特性的研究", 《福州大学学报(自然科学版)》 * |
| 杨青等: "半导体纳米线和氧化硅微光纤环型结复合结构激光器", 《激光与光电子学进展》 * |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103293103A (zh) * | 2013-05-16 | 2013-09-11 | 成都谱视科技有限公司 | 外延光栅fp腔与微环谐振腔级联型光学生化传感芯片 |
| CN109782298A (zh) * | 2016-04-20 | 2019-05-21 | 安徽大学 | 微腔芯片型激光自混合距离传感系统 |
| CN109782298B (zh) * | 2016-04-20 | 2020-06-02 | 安徽大学 | 异侧耦合式微腔芯片型激光自混合距离传感系统 |
| CN109818245B (zh) * | 2016-04-20 | 2020-03-31 | 安徽大学 | 微腔芯片型激光自混合距离传感系统 |
| CN109818245A (zh) * | 2016-04-20 | 2019-05-28 | 安徽大学 | 微腔芯片型激光自混合距离传感系统 |
| CN106197493B (zh) * | 2016-06-29 | 2018-12-07 | 西安交通大学 | 一种基于飞秒激光直写的光纤法布里-珀罗传感器的快速制备方法 |
| CN106197493A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-12-07 | 西安交通大学 | 一种基于飞秒激光直写的光纤法布里‑珀罗传感器的快速制备方法 |
| CN107389610A (zh) * | 2017-05-12 | 2017-11-24 | 南京大学 | 基于微腔Fano共振的传感方法及装置 |
| CN107389610B (zh) * | 2017-05-12 | 2020-08-04 | 南京大学 | 基于微腔Fano共振的传感方法及装置 |
| CN108899750A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-11-27 | 华南理工大学 | 一种多孔道中空微结回音壁模式谐振腔及其制备方法 |
| CN109324020A (zh) * | 2018-09-01 | 2019-02-12 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于微纳光纤卷型谐振器的盐度和折射率传感器制作方法 |
| CN109631963A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-04-16 | 杭州光预科技有限公司 | 基于微结构光纤干涉微波光子传感方法的多元参量测量系统及方法 |
| CN109946004A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-06-28 | 华侨大学 | 一种微型压力变色传感器及其制备方法 |
| CN109946004B (zh) * | 2019-04-29 | 2024-02-02 | 华侨大学 | 一种微型压力变色传感器及其制备方法 |
| CN111766659A (zh) * | 2020-08-04 | 2020-10-13 | 西湖大学 | 一种纳米光纤的可控制备装置及方法 |
| CN111766659B (zh) * | 2020-08-04 | 2022-10-04 | 西湖大学 | 一种纳米光纤的可控制备装置及方法 |
| CN114018402A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-02-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学谐振腔传感信号增强方法 |
| CN114018402B (zh) * | 2021-10-22 | 2022-11-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学谐振腔传感信号增强方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102967582A (zh) | 高灵敏度微纳光纤复合型微腔生化传感器及其制造方法 | |
| CN102508337B (zh) | 基于光纤熔锥的本征型法布里-珀罗器件及其制造方法 | |
| Cibula et al. | Miniature all-glass robust pressure sensor | |
| CN103940456B (zh) | 一种干涉型反射探针式光纤微传感器及其制作方法 | |
| CN102539013A (zh) | 基于标尺效应的级联光纤f-p微腔温度传感器及其制备方法 | |
| CN106289504B (zh) | 一种光纤法珀声波探头装置及其制作方法 | |
| CN103162722A (zh) | 微光纤法-珀微腔传感器及制作方法 | |
| Hou et al. | Polymer optical fiber twisted macro-bend coupling system for liquid level detection | |
| CN102967388A (zh) | 基于微尺寸锥形光纤探针的本征型f-p微腔高灵敏度温度传感器及其制造方法 | |
| CN210221338U (zh) | 一种基于并联游标效应的光纤高温传感器 | |
| CN103900992B (zh) | 内悬芯光纤光栅温度自动补偿微流控传感器及内悬芯光纤 | |
| CN109752793A (zh) | 混合集成Michelson式光纤微流芯片 | |
| CN112326060A (zh) | 一种高灵敏并行双f-p腔光纤温度传感装置 | |
| CN104266668A (zh) | 一种用于温度和曲率双参量测量的光纤传感器 | |
| CN107219198B (zh) | 折射率传感器、其制备方法及折射率检测装置 | |
| CN105953958A (zh) | 全石英光纤珐珀压力传感器 | |
| CN106644154A (zh) | 一种基于毛细管结构的光纤高温传感器及制备方法 | |
| CN106482765A (zh) | 一种f‑p微腔光纤传感器及其制作方法 | |
| CN109655176B (zh) | 一种基于空腔填充型微结构光纤干涉仪的高精度温度探头 | |
| CN111025477A (zh) | 一种单模光纤与毛细管光纤耦合器及其制备方法 | |
| Wei et al. | Fiber SPR two-dimensional micro displacement sensor based on the coaxial double waveguide with a conical structure | |
| CN114111857A (zh) | 一种基于游标效应的光纤fpi级联mi传感装置 | |
| CN101109663A (zh) | 一种基于弯曲损耗的光纤温度传感器 | |
| CN112710633A (zh) | 一种制备拼接结构马赫-曾德尔折射率传感器方法 | |
| CN210005129U (zh) | 一种免熔接f-p腔光纤温度传感装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130313 |