CN107061758A - 真空压力控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供真空压力控制装置，使得即使弹性密封部件劣化也不会发生内部泄漏。真空压力控制装置(1)具有：形成有阀座(7a)的环状弹性密封部件(7)；和与阀座(7a)抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯(9)，该真空压力控制装置位于连接真空容器(27)与真空泵(28)的配管上，并通过使蝶阀阀芯(9)沿第一方向(E)旋转来使真空容器(27)内的真空压力变化，该真空压力控制装置(1)具有控制基板(13)，该控制基板(13)使蝶阀阀芯(9)沿第一方向(E)的反方向(F)旋转，使蝶阀阀芯(9)位于与初始的第一闭阀位置不同的第二闭阀位置。

Description

真空压力控制装置

技术领域

本发明涉及真空压力控制装置，该真空压力控制装置具有阀座形成为环状的弹性密封部件、和与阀座抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯，该真空压力控制装置位于连接真空容器与真空泵的配管上，并通过使蝶阀阀芯向第一方向旋转来使真空容器内的真空压力变化。

背景技术

作为以往使用的真空压力控制装置，例如有本申请人所申请的专利文献1。该真空压力控制装置的提升阀虽然适于真空压力控制，但是存在流导小、无法紧凑化的问题。

因此，为了使流导增大并进一步在大气压附近进行控制，考虑采用双偏心蝶阀。在真空下进行压力控制时，需要通过阀关断位置附近的微妙的开度来进行控制，阀的上游与下游的压力差越大越有问题。

此处，采用双偏心蝶阀是为了：在阀关断位置附近，能够使阀的开度相对于阀芯的旋转角度慢慢地变化，从而容易进行关断位置附近的压力控制。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-148254号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，通常会为了防止杂质附着于阀座而对阀体加热，但是在蝶阀中，存在形成有阀座的弹性密封部件劣化而发生内部泄漏的担心。当真空压力控制装置被使用在半导体制造工序中的情况下，由于存在使用毒性气体的情况，所以在异常停止时，为了确保安全，不得存在泄漏。

本发明正是为了解决上述问题点，其目的在于提供即使弹性密封部件劣化也不会发生内部泄漏的真空压力控制装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明一方式的真空压力控制装置具有：形成有阀座的环状弹性密封部件；和与阀座抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯，该真空压力控制装置位于连接真空容器与真空泵的配管上，并通过使蝶阀阀芯从作为初始状态的第一闭阀位置沿第一方向旋转来使真空容器内的真空压力变化，该真空压力控制装置的特征在于，具有控制装置，该控制装置使蝶阀阀芯沿第一方向的反方向旋转，使蝶阀阀芯位于与第一闭阀位置不同的第二闭阀位置。

此处，所谓第一方向，是指使双重偏心了的蝶阀阀芯的外周的具有一半以上的部分从阀座离开的方向。因此，蝶阀阀芯的外周的较短部分成为与阀座抵接的方向。

发明效果

根据上述方式，真空压力控制装置即使弹性密封部件劣化，也能够通过将蝶阀阀芯设定于第二闭阀位置而形成闭阀状态，因此没有发生内部泄漏的担心。即使是真空压力控制装置被使用在半导体制造工序中的情况下，也能够在异常停止时确保安全。

附图说明

图1示出蝶阀阀芯位于第一闭阀位置的状态，是图5的AA剖视图。

图2示出蝶阀阀芯位于第二闭阀位置的状态，是图5的AA剖视图。

图3示出蝶阀阀芯位于第一开阀位置的状态，是图5的AA剖视图。

图4示出蝶阀阀芯位于第二开阀位置的状态，是图5的AA剖视图。

图5是第一实施方式的真空压力控制装置的剖视图。

图6是第一实施方式的真空压力控制装置的右视图。

图7是图1的B部放大图。

图8是图2的C部放大图。

图9是示出拆除弹性密封部件的构造的图。

图10是示出真空压力控制装置的构成的框图。

图11是示出蝶阀阀芯的旋转角度与Cv值之间的关系的图。

图12是示出蝶阀阀芯的旋转角度与第一阀芯部的开度之间的关系的图。

图13是示出蝶阀阀芯的旋转角度与第二阀芯部的开度之间的关系的图。

图14是示出蝶阀阀芯的旋转角度与第一阀芯部和第二阀芯部的平均开度之间的关系的图。

图15是示出第二实施方式的真空压力控制装置的蝶阀阀芯位于第一闭阀位置的状态的剖视图。

图16是示出第二实施方式的真空压力控制装置的蝶阀阀芯位于第二闭阀位置的状态的剖视图。

图17是示出第二实施方式的真空压力控制装置的蝶阀阀芯位于第一开阀位置的状态的剖视图。

图18是示出第二实施方式的真空压力控制装置的蝶阀阀芯位于第二开阀位置的状态的剖视图。

图19是示出其他实施方式的真空压力控制装置的剖视图。

附图标记说明

1 真空压力控制装置

4 阀体

5、6 接头

7 弹性密封部件

7a 阀座

7b 环形槽

8 引导部件

9 蝶阀阀芯

71 薄壁部

72、73 厚壁部

具体实施方式

以下，关于本发明的真空压力控制装置，一边参照图面一边在以下详细地说明。

＜第一实施方式＞

首先，利用图1至图8对第一实施方式的真空压力控制装置1的构成进行说明。图5是第一实施方式的真空压力控制装置1的剖视图。图1至图4是图5的AA剖视图。图1示出蝶阀阀芯9的第一闭阀位置，图2示出第二闭阀位置。图3示出蝶阀阀芯9的第一开阀位置，图4示出第二开阀位置。此处，所谓第一闭阀位置，是指处于初始(通常)的闭阀状态的时候；所谓第二闭阀位置，是指处于阀沿第一方向E的反方向F旋转了的状态的时候。此外，所谓第一开阀位置，是指沿第一方向E旋转而处于只有第一阀芯部91开阀的状态的时候；所谓第二开阀位置，是指沿第一方向E进一步旋转而处于第一阀芯部91和第二阀芯部92双方都完全开阀的状态的时候。图6是真空压力控制装置1的右视图。图7是图1的B部放大图，图8是图2的C部放大图。图9是示出拆除弹性密封部件7的构造的图。图10是示出真空压力控制装置1的构成的框图。

真空压力控制装置1如图5所示具有驱动部2和阀本体3。

驱动部2具有电动机11、减速机12、编码器26和控制基板13。如图10所示，控制基板13上具有存储装置131。存储装置131存储有后述的蝶阀阀芯9的规定的第一闭阀位置和第二闭阀位置的固定值。另外，控制基板13是本发明中的“控制装置”的一个例子。

如图10所示，阀本体3位于连接真空容器27与真空泵28的配管30上。如图5所示，阀本体3具有蝶阀阀芯9、安装了蝶阀阀芯9的圆筒形状的阀体4、以及在阀体4两侧的不锈钢制的接头5、6。接头5形成有流路5a，且具有凸缘部5b。接头6形成有流路6a，且具有凸缘部6b。接头5连接于真空泵28，接头6连接于真空容器27。如图6所示，在凸缘部5b、6b上分别以形成圆形的方式配置有用于与阀体4固定的8个螺钉24，并且在凸缘部5b、6b上形成有用于将阀体4与接头5、6拆分开的螺纹孔16、17。另外，在图6中，只图示出了接头6，由于接头5也具有同样的结构，所以省略接头5的图示。另外，在本实施方式中，接头5与真空泵28连接，接头6与真空容器27连接，但是也可以接头5与真空容器27连接、接头6与真空泵28连接。

如图5所示，在阀体4上形成有阀孔4d，该阀孔4d由剖视呈圆弧状的内壁构成，在阀孔4d的轴向上的一端部(在图5中，与接头5相接触侧)，在阀孔4d的径向外侧形成有凹部4a。在凹部4a中卡合有橡胶制的环形弹性密封部件7，弹性密封部件7由阀体4与接头5夹持着。

在弹性密封部件7上形成有阀座7a。如图7所示，弹性密封部件7的截面形成为具有在一边(外周面)开口的环形槽7b的U字形。弹性密封部件7具有：形成有环形槽7b的薄壁部71；和在薄壁部71两侧的厚壁部72、73。厚壁部73的轴向距离Z1、引导部件8(或是薄壁部71)的轴向距离Z2和厚壁部72的轴向距离Z3具有相同的距离(Z1:Z2:Z3＝1:1:1)在环形槽7b中嵌合有向径向外侧以环状突出的引导部件8。在半导体制造装置中，对于与气体接触的部件，需要使用具有耐腐蚀性的材料。但是，引导部件8由于弹性密封部件7而被与气体所接触的部分隔离开，因此不限材质。此外，弹性密封部件7与引导部件8之间的接合方法也不限于使用粘结剂等的一体成型等方法。在维修等进行阀分解时，引导部件8成为支撑，即使弹性密封部件7固着于阀体4，也能够确实地拆分开。若没有引导部件8，则弹性密封部件7在上述分解时有时会被拉脱、有时会损伤表面。此外，通过改变引导部件8的厚度，能够容易地改变弹性密封部件7的密封性、反力等密封特性。

如图6所示，在阀体4上设有用于固定加热器14、15的孔4b、4c。由此，由于加热器14、15位于阀体4内，所以能够直接对阀体4进行加温。加热器14、15能够从阀体4的外侧表面通过固定螺钉22、23等而被固定、拆卸。进一步，通过用隔热材料(未图示)卷绕在阀体4的外装部件上，能够提高加热效率，同时，热电偶、恒温器也能够固定于阀体4或隔热材料的任一方上。

由于能够将弹性密封部件7固定于阀体4侧，并通过加热器14、15直接对阀体4进行加温，所以连弹性密封部件7自身也不会冷却。因此，由于使之密封，所以产物不容易附着于弹性密封部件7。由此能够保持密封性。

如图5所示，蝶阀阀芯9通过与驱动部2位于同一轴上的旋转轴10旋转而与阀座7a抵接或离开。旋转轴10通过编码器26而掌握旋转角度，并通过带减速机12的电动机11而旋转。由此，能够使电动机11小型化，并且即使电动机11的电源切断也能够掌握阀的开度。此外，在双偏心阀中，若没有保持力，则存在蝶阀阀芯9由于压力差而旋转的担心。因此，选定下述这样的减速机12，即：使得即使在电源切断的状态下旋转轴10也不在该阀因压力差而产生的旋转转矩的作用下旋转。此外，电动机11中还存在定位转矩(detent torque)等电动机11自身的保持转矩(holding torque)，因此，减速机与电动机并用，能够在电源切断时使得阀不动。在旋转轴10与阀体4之间配置有用于密封的O型环18、29、20、21。

如图1所示，旋转轴10的中心轴P相对于蝶阀阀芯9的中心点Q在流路5a、6a的轴心方向上以距离X偏心，且相对于蝶阀阀芯9的中心点Q在与流路5a、6a的轴心正交的方向上以距离Y偏心，由此形成双重偏心。蝶阀阀芯9包括设置有旋转轴10的第一面9b、包括与阀座7a抵接的周缘部9c的第二面9a，周缘部9c形成为具有规定曲率的曲面。通过取大的规定曲率，能够使弹性密封部件7与蝶阀阀芯9的接触面S扩大，因此在使用氦气等透过性气体时，气体不容易透过。如图1及图6所示，蝶阀阀芯9包括：相对于中心轴P，具有蝶阀阀芯9的外周一半以上的第一阀芯部91；和与该第一阀芯部91相比，外周较短的第二阀芯部92。

接下来，利用图11至图14对真空压力控制装置1的作用效果进行说明。图11是示出蝶阀阀芯9的旋转角度与Cv值之间的关系的图。横轴表示阀的旋转角度，纵轴表示Cv值。此外，用线G示出现有技术的数据，用线H示出本实施方式的数据。图12是示出蝶阀阀芯9的旋转角度与图1的第一阀芯部91的开度(由图3的箭头T示出。)之间的关系的图。用线J示出现有技术的数据，用线K示出本实施方式的数据。图13是示出与现有技术相比较的蝶阀阀芯9的旋转角度与图1的第二阀芯部92的开度之间的关系的图。用线L示出现有技术的数据，用线M示出本实施方式的数据。图14是示出蝶阀阀芯9的旋转角度与图1的第一阀芯部91和第二阀芯部92的平均开度之间的关系的图。用线N示出现有技术的数据，用线O示出本实施方式的数据。另外，在图12至图14中，横轴表示阀的旋转角度，纵轴表示阀的开度。阀的开度在正侧表示阀打开的状态，在负侧表示阀关闭且弹性密封部件7被压变形的状态。

在初始的闭阀状态下，蝶阀阀芯9位于图1所示的第一闭阀位置。当在大气压附近开阀时，使蝶阀阀芯9沿第一方向E旋转，成为图3所示的第一开阀位置。此时，是只有第一阀芯部91从阀座7a离开的开阀状态，而第二阀芯部92是与阀座7a抵接的闭阀状态。此处，所谓第一方向E，是指使双重偏心了的第一阀芯部91从阀座7a离开的方向。因此，第二阀芯部92成为与阀座7a抵接的方向。蝶阀阀芯9沿着阀体4的阀孔4d的圆弧状内壁而动作。当开度T较小时，如图3所示，蝶阀阀芯9的周缘部9c的曲面的顶点W与流路5a、6a的高度(线V所示)相比位于上方(外侧)，因此能够对流路5a、6a进行节流。因此，在开度T较小的时候，不会有气体急剧流过的情况，控制性提高。

若使蝶阀阀芯9进一步沿第一方向E旋转，则如图4所示，成为使第一阀芯部91和第二阀芯部92都开阀的完全开阀状态。在通常的真空压力控制装置1的运转中，蝶阀阀芯9的开度在第一闭阀位置、第一开阀位置、第二开阀位置、或是其间的位置使用。

关于第一、第二闭阀位置的确定方法，首先，利用编码器26来掌握旋转轴10的旋转角度，并以该角度为基准来掌握闭阀位置。接着，利用作为电动机11的步进电动机等，将机械停止位置(步进电动机的失步位置)设于第二闭阀位置，以停止的地点为基准并通过用编码器26测得的角度信号来管理、掌握闭阀位置。另外，也可以不采用编码器26，而是采用电位计。

当在大气压下闭阀时，在阀关断位置附近，若使用不是双重偏心的阀，则阀芯会急剧地关闭，控制性差。但是，通过采用双偏心蝶阀9，则能够如图12的线K、图13的线M、图14的线O所示那样，分别与现有技术的线J、线L、线N相比，阀的开度的变化量均变缓，对于在阀关断位置附近进行的大气压附近的压力控制，由于只对第一阀芯部91的开度进行调整就能够控制压力，因此，与通过第一阀芯部91和第二阀芯部92双方的开度控制压力相比，能够进行更微妙的压力控制。

此处，通常为了防止杂质附着于阀座7a上而对阀体4进行加热，但是在蝶阀阀芯9中，存在形成有阀座7a的弹性密封部件7经长时间变化而劣化从而发生内部泄漏的担心。当在半导体制造工序中使用真空压力控制装置的情况下，存在使用毒性气体的情况，因此在异常停止时，为了确保安全，不得发生泄漏。

如图7所示，在第一闭阀位置，配置成：弹性密封部件7与蝶阀阀芯9实施密封的、弹性密封部件7与蝶阀阀芯9的接触面S2的大部分位于弹性密封部件7的厚壁部72上，仅少部分在薄壁部71上。此时，接触面S2位于离弹性密封部件7的厚壁部72的端面S(即ち、阀体4の凹部4aと接する面)有距离S1a的位置处。因压力控制阀等的动作而弹性密封部件7随时间变化，弹性密封部件7会磨损，密封性会降低。

如图2所示，第二闭阀位置为：使蝶阀阀芯9从第一闭阀位置沿第一方向E的反方向F旋转了距离D的、不同于第一闭阀位置的位置。如图8所示，蝶阀阀芯9旋转，从而接触面S2从厚壁部72向薄壁部71方向移动。接触面S2位于离弹性密封部件7的厚壁部72的端面S有距离S1b的位置。距离S1b比第一闭阀位置时的距离S1a大(S1a＜S1b)。位于第二闭阀位置时的弹性密封部件7与蝶阀阀芯9的接触面S2的一部分(距离S1b与距离S1a的差)不作为位于第一闭阀位置时的弹性密封部件7与蝶阀阀芯9的接触面S2来使用，是不随时间变化的状态。因此，即使位于第一闭阀位置时的弹性密封部件7与蝶阀阀芯9的接触面S2经长时间而变化，也能够通过在第二闭阀位置进行密封而实现完全密封。此外，在第二闭阀位置，由于是通过薄壁部71实现的密封，所以，能够得到大的基于将弹性密封部件7压变形(推压)而产生的反力，能够提高密封性能。

再者，如图3所示，在第一开阀位置，由于第二阀芯部92与厚壁部73相接触，所以即使来自厚壁部73的反力小，也能够减小旋转轴10的旋转转矩。

本实施方式的真空压力控制装置在维修时由于只是通过将接头5从阀体4上拆下就能够容易地拆下弹性密封部件7，所以能够提高作业性。接头5、接头6、弹性密封部件7、蝶阀阀芯9以及旋转轴10能够容易地分解。由于只是通过拆下接头5与接头6的凸缘固定用螺钉24就能够容易地分解，所以能够分解、清洗产物等、以及进行真空压力控制装置1的再利用。作为消耗品的弹性密封部件7、密封旋转轴10的各O型环18、29、20、21也能够容易地更换。

此外，通过热等而固着的弹性密封部件7在维修等分解时能够容易地从阀体4上拆分开。当加热阀体4时，存在弹性密封部件7在阀体4与接头5之间固着的担心。有时该固着力较大，无法简单地拆分开。因此，如图9所示，在接头5的凸缘部5b上设置螺纹孔16，通过插入螺钉25就能够将阀体4和接头5拆分开。另外，由于螺纹孔16与螺纹孔17是相同的结构，所以在图9中只示出了螺纹孔16。此外，对于用于此处的螺纹孔16、17，由于能够将接头5的凸缘固定用的8个螺钉24拆下来直接使用，所以无需新准备专用的螺钉。也可以在接头5与阀体4之间预先设置间隙，利用杠杆原理采用撬开的方法。

如以上所说明的那样，根据第一实施方式的真空压力控制装置1，能够获得下述的作用效果。

(1)一种真空压力控制装置1，具有：形成有阀座7a的环状弹性密封部件7；和与阀座7a抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯9，该真空压力控制装置1位于连接真空容器27与真空泵28连接的配管30上，并通过使蝶阀阀芯9从作为初始状态的第一闭阀位置沿第一方向E旋转来使真空容器27内的真空压力变化，该真空压力控制装置1的特征在于，具有控制基板13，该控制基板13使蝶阀阀芯9沿第一方向E的反方向F旋转，使蝶阀阀芯9位于与初始的第一闭阀位置不同的第二闭阀位置，因此，即使弹性密封部件7经长时间变化而劣化，也能够通过将蝶阀阀芯9设定于第二闭阀位置而成为闭阀状态，因而没有发生内部泄漏的担心。此外，即使在初始阶段异常停止时，也由于设定在第二闭阀位置而不会有泄漏，能够强化安全性。

(2)在(1)所述的真空压力控制装置1中，弹性密封部件7的截面形成为具有一边开口的环形槽7b的U字形，在环形槽7b中卡合有以环状突出的引导部件8，因此，蝶阀阀芯9除了对弹性密封部件7在旋转方向上施加力，还承受由具有足够高度(整体的二分之一以上)的引导部件8施加的力，因而弹性密封部件7被引导部件8固定，不会脱落。

(3)在(2)所述的真空压力控制装置中，通过位于第一闭阀位置的蝶阀阀芯9，即使弹性密封部件7因随时间变化而磨损，通过使蝶阀阀芯9配置于第二闭阀位置，蝶阀阀芯9与弹性密封部件7之间也能够被完全密封，因此，即使弹性密封部件7劣化，由于蝶阀阀芯9的位置在第二闭阀位置，也没有发生内部泄漏的担心。

(4)在(1)至(3)中任一项所述的真空压力控制装置1中，蝶阀阀芯9具有包括与阀座7a抵接的周缘部9c的面，该周缘部9c是曲面，因此，由于能够增大与弹性密封部件7的接触面积，所以能够相应地减少弹性密封部件7的变形量，从而能够降低密封所需要的反力，因而能够延迟弹性密封部件7的劣化，能够提高耐久性。

(5)在(1)至(4)中任一项所述的真空压力控制装置中，由安装有蝶阀阀芯9的阀体4与接头5夹持着弹性密封部件7，因此，在维修时，仅通过取下接头5就能够容易地拆下弹性密封部件7，由此能够提高作业性。阀体4大多被加热使用，虽然有时蝶阀阀芯9与弹性密封部件7会固着在一起，但是由于弹性密封部件7被阀体4与接头5夹持着，所以不会因开闭而导致弹性密封部件7被拉扯脱落的情况。

＜第二实施方式＞

下面，利用图15至图18对第二实施方式的真空压力控制装置1的结构进行说明。图15是示出第二实施方式的真空压力控制装置1的蝶阀阀芯19位于第一闭阀位置的状态的剖视图。图16是示出蝶阀阀芯19位于第二闭阀位置的状态的剖视图；图17是示出位于第一开阀位置的状态的剖视图；图18是示出位于第二开阀位置的状态的剖视图。

第一实施方式与第二实施方式的主要不同点为蝶阀阀芯的形状。另外，在以下的说明中，对于与第一实施方式的真空压力控制装置1相同的构造，标注相同的引用编号，并由此省略其说明。

如图15所示，在第二实施方式的蝶阀阀芯19上，第二面19a包括与阀座7a抵接的曲面状的周缘部19d，在与第二面19a相对的第一面19b、即具有旋转轴10的第一面19b上，在第一阀芯部191形成有凹状的切缺部19c。

此处，在第一实施方式的蝶阀阀芯9中，如图1所示，其重心的位置位于蝶阀阀芯9的中心点Q。在该情况下，惯性力矩变大。若惯性力矩变大，则在蝶阀阀芯9与弹性密封部件7抵接着的时候就会有振动，由此就存在产生微粒的担心。此外，当使蝶阀阀芯9停止时，因惯性力而过冲(overshoot)，存在停止的响应性差的问题。

但是，在第二实施方式的蝶阀阀芯19中，由于在旋转轴10所在的面19b上形成有切缺部19c，所以如图15所示，能够使蝶阀阀芯19的重心位置为旋转轴10的轴上的点R。由此，能够减小蝶阀阀芯19的惯性力矩。一旦惯性力矩变小，在蝶阀阀芯19开闭时，由惯性力矩引起的振动就会变小，因此能够抑制微粒的产生。此外，当使蝶阀阀芯19停止时不会过冲，提高了响应性。

以上，如所说明的那样，根据第二实施方式的真空压力控制装置1，在蝶阀阀芯19的与阀座7a抵接的面19a的相对面19b上形成有切缺部19c，因此，能够使蝶阀阀芯19的重心位置为旋转轴上的点R，能够缩小旋转半径(旋转轴与蝶阀阀芯的重心之间的距离)。由此能够减小惯性力矩。

另外，上述各实施方式只是例示而已，并不对本发明构成任何限定。因此，本发明当然能够在不脱离其主旨的范围内进行各种改进、变形。

例如，在上述实施方式中，弹性密封部件7的抵接面在本实施方式中为直线状，但也可以是曲面形状。

例如，在上述实施方式中，在弹性密封部件7上嵌合引导部件8，厚壁部73的轴向距离Z1、引导部件8的轴向距离Z2和厚壁部72的轴向距离Z3具有相同的距离(Z1:Z2:Z3＝1:1:1)，但是，引导部件8和厚壁部72、73的厚度，只要能够确保密封性，可以是任意的厚度。根据情况，如图19所示，没有引导部件8也可以。在该情况下，由于能够通过选择弹性密封部件7的材质，例如通过选择硬度高的弹性密封部件7来提高反力，所以能够确保密封性。关于弹性密封部件7的材质，例如可以采用FKM(氟橡胶)、FFKM(全氟橡胶)、NBR(丁腈橡胶)。

Claims (9)

1.一种真空压力控制装置，具有：

形成有阀座的环状弹性密封部件；和

与所述阀座抵接或离开的双偏心蝶阀阀芯，

所述真空压力控制装置位于连接真空容器与真空泵的配管上，并通过使所述蝶阀阀芯从作为初始状态的第一闭阀位置沿第一方向旋转来使所述真空容器内的真空压力变化，所述真空压力控制装置的特征在于，

具有控制装置，所述控制装置使所述蝶阀阀芯沿第一方向的反方向旋转，使所述蝶阀阀芯位于与所述第一闭阀位置不同的第二闭阀位置。

2.根据权利要求1所述的真空压力控制装置，其特征在于，

所述弹性密封部件的截面形成为具有一边开口的环形槽的U字形，在所述环形槽中卡合有以环状突出的引导部件。

3.根据权利要求1或2所述的真空压力控制装置，其特征在于，

通过位于所述第一闭阀位置的所述蝶阀阀芯，即使经长时间变化而所述弹性密封部件磨损，由于使所述蝶阀阀芯配置于第二闭阀位置，所述蝶阀阀芯与所述弹性密封部件之间也被完全密封。

4.根据权利要求1或2所述的真空压力控制装置，其特征在于，

所述蝶阀阀芯具有包括与所述阀座抵接的周缘部的面，该周缘部为曲面。

5.根据权利要求1或2所述的真空压力控制装置，其特征在于，

在所述蝶阀阀芯的与所述阀座抵接的面的相对面上形成有切缺部。

6.根据权利要求1或2所述的真空压力控制装置，其特征在于，

由安装有所述蝶阀阀芯的阀体与接头夹持着所述弹性密封部件。

7.根据权利要求3所述的真空压力控制装置，其特征在于，

所述蝶阀阀芯具有包括与所述阀座抵接的周缘部的面，该周缘部为曲面。

8.根据权利要求3所述的真空压力控制装置，其特征在于，

在所述蝶阀阀芯的与所述阀座抵接的面的相对面上形成有切缺部。

9.根据权利要求3所述的真空压力控制装置，其特征在于，

由安装有所述蝶阀阀芯的阀体与接头夹持着所述弹性密封部件。