CN107053860A - 喷墨打印装置及喷墨打印方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种喷墨打印装置及喷墨打印方法，包括至少一个工作腔，所述工作腔中设有工作台以及加热机构，所述工作腔的腔壁上设有传递口；真空机构、打印机构、传动机构以及控制机构。上述喷墨打印装置，可以对打印薄膜进行原位真空干燥处理，在整个干燥过程中不会对基板有任何动作处理，保证了打印墨水成膜均匀，没有析出相和咖啡环(Mura)等缺陷的产生。

Description

喷墨打印装置及喷墨打印方法

技术领域

本发明涉及像素薄膜制备技术领域，特别是涉及一种喷墨打印装置及喷墨打印方法。

背景技术

采用溶液加工制作有机发光器件(OLED)以及量子点发光器件(QLED)的方法，由于其成本低、高产能、易于实现大尺寸等优点，是未来显示技术发展的重要方向。其中，印刷技术被认为是实现OLED、QLED低成本和大面积全彩显示的最有效途径。然而，包括喷墨打印装置、打印墨水和打印工艺在内的印刷技术尚有许多技术难题需要克服。其中，如何提高像素内成膜的均匀度是一个难点。

一般用于印刷工艺的墨水材料通常会配合印刷装置进行相应优化，例如通常会在材料的溶剂中增加一定比例的高沸点溶剂，从而有效地防止喷墨打印装置(InkjetPrinter)的喷嘴(Nozzle)因材料溶剂挥发太快而造成喷嘴堵塞。而这种高沸点的溶剂在喷墨打印结束之后就会比较难处理，通常的处理方法是使用真空干燥(Vacuum Drying)来降低溶剂的沸点在较低的温度下比较充分地挥发。而在打印墨水进行真空干燥处理之前，从打印墨水被打印到基板上到基板被转移到真空干燥装置的这个过程中，就有一部分低沸点溶剂开始挥发，这样就可能造成部分打印墨水不稳定而有相成分析出，导致最终成膜不均匀。另外，在利用传送装置将打印后的基板转移到真空干燥装置的过程中，因为像素内薄膜还处于液态具有流动性的时候就被顶针(Ping)顶起进、被机械手等传动装置进行转移，很容易因为顶针、机械手臂等与基板的温度差异造成接触时薄膜受热不均匀而产生咖啡环(Mura)，导致最终成膜不均匀。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

基于此，本发明的目的是提供一种喷墨打印装置。

具体的技术方案如下：

一种喷墨打印装置，包括

至少一个工作腔，所述工作腔中设有工作台以及加热机构，所述工作台用于承载待加工基板，所述加热机构用于使所述工作腔达到预设温度，所述工作腔的腔壁上设有传递口；

真空机构，用于使所述工作腔达到预设的真空度；

打印机构，用于对所述待加工基板进行喷墨打印，所述打印机构具有位于所述工作腔内的工作位以及位于所述工作腔外的准备位；

传动机构，用于通过所述传递口传送所述打印机构，使所述打印机构在所述工作位与所述准备位之间转换；以及

控制机构，与所述加热机构、所述真空机构、所述打印机构以及所述传动机构电连接，用于控制所述加热机构、所述真空机构、所述打印机构以及所述传动机构的运行。

在其中一个实施例中，所述工作台的材质为多孔质陶瓷，所述多孔质陶瓷的微孔孔径≤2μm。

在其中一个实施例中，所述工作台的台面设有若干个通孔或通槽。

在其中一个实施例中，所述通孔均匀分布于所述工作台，所述通孔的尺寸为≤4mm，形状为圆形、正方形或不规则图形。

在其中一个实施例中，所述通槽均匀分布于所述工作台，所述通槽的宽度为≤4mm，形状为矩形或不规则图形。

在其中一个实施例中，所述工作台的材质为大理石，所述工作台的平面度≤10μ。

在其中一个实施例中，所述工作台设有定位系统，所述定位系统为三点机械定位系统或图像传感定位系统。

在其中一个实施例中，所述传递口具有开启状态和关闭状态，当处于关闭状态时，使用橡胶密封圈以保证所述工作腔的气密性。

在其中一个实施例中，所述橡胶密封圈的选自氟素橡胶密封圈、氟硅橡胶密封圈、硅橡胶密封圈、氢化丁腈橡胶密封圈、丁腈橡胶密封圈、三元乙丙橡胶密封圈、氯丁橡胶密封圈、丁基橡胶密封圈、丙烯酸脂橡胶密封圈、天然橡胶密封圈、聚氨脂橡胶密封圈或金属橡胶密封圈。

本发明的另一目的是提供一种喷墨打印方法。

具体的技术方案如下：

一种喷墨打印方法，采用权利要求1-8任一项所述的喷墨打印装置，包括如下步骤：

S1、将待加工基板置于所述工作台上；

S2、使所述传递口处于开启状态，利用所述传送机构将所述打印机构传送至所述打印机构的工作位；

S3、所述打印机构对所述待加工基板进行喷墨打印；

S4、所述传送机构将所述打印机构传送至所述打印机构的准备位；

S5、使所述传递口处于关闭状态，利用所述真空机构对所述工作腔施加负压，利用所述加热机构对所述工作腔进行加热；

S6、重复S2-S5步骤，直至所述待加工基板上的薄膜全部打印完毕，即可。

上述喷墨打印装置设置了工作腔，利用打印机构移动来取代现有技术的待加工基板的移动实现了待加工基板进行喷墨打印之后的原位真空干燥，避免了现有技术在对打印后的待加工基板转移到真空干燥设备过程中液态薄膜的相分离以及传动装置与基板的接触点的受热不均匀等造成的薄膜不均匀现象。

上述喷墨打印装置，可以对打印薄膜进行原位真空干燥处理，在整个干燥过程中不会对基板有任何动作处理，保证了打印墨水成膜均匀，没有析出相和咖啡环(Mura)等缺陷的产生。

附图说明

图1为实施例1中喷墨打印方法步骤S1的状态图；

图2为实施例1中喷墨打印方法步骤S2的状态图；

图3为实施例1中喷墨打印方法步骤S3的状态图；

图4为实施例1中喷墨打印方法步骤S5的状态图；

图5为实施例2的喷墨打印装置结构示意图。

附图标记说明：

110、工作腔；110a、第一工作腔；110b、第二工作腔；111、准备腔；112、工作腔；112a、第三工作腔；112b、第四工作腔；120、工作台；130、传动机构；131、打印机构；140、传递口；150、真空机构；151、152、出气口；160、加热机构；210、待加工基板；211、液态薄膜。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“安装于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连通”另一个元件，它可以是直接连通到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

实施例1

本实施例一种喷墨打印装置，包括

至少一个工作腔110，所述工作腔110中设有工作台120以及加热机构160，所述工作台120用于承载待加工基板210，所述加热机构160用于使所述工作腔110达到预设温度，所述工作腔110的腔壁上设有传递口140；

所述工作台120用于承载待加工基板210，所述工作台可以选用大理石材料加工而成，具有高稳定性、高硬度，能在重负荷下保持高精度。优选地，所述工作台的平面度小于等于10μ，，本实施例选用的平面度为5μ，与x轴平行度为10μ，并垂直于Z轴10μ。

进一步地，所述工作台120上设有通孔或通槽，可以使用真空泵通过通孔或通槽施加负压，即可将所述待加工基板固定在所述工作台120上。所述通孔和所述通槽的位置分布、大小、形状、结构等会对成膜产生较大的影响。因为当待加工基板上涂布一层液态薄膜后，液态薄膜中的溶剂会逐渐挥发，溶剂挥发是一个吸热过程，热量的吸收通过液态薄膜直接接触基板和空气进行传导，并间接通过所述工作台120进行传导，而所述工作台有通孔或通槽的位置与所述待加工基板接触的是空气，与所述工作台本身的热传导速度不同，最终导致液态薄膜对应位置的挥发速度不同造成成膜不均匀的现象发生。

具体地，所述通孔和所述通槽的位置分布、大小、形状、结构可以为：

均匀分布于工作台面的通孔，形状选自圆形、正方形和不规则图形，以圆形通孔为例加以说明。圆形通孔的直径≤4mm，直径越小越好。通孔在台面的排布为均匀排布，例如等距均匀排布，每两个通孔之间的距离为10cm。通孔之间的距离越小，通孔在工作台面分布的密度就越大，薄膜成膜均匀性越好；同样的，也可以选自通槽均匀分布于工作台面，通槽的形状可以为矩形或者不规则图形，以矩形通槽为例，矩形的宽度≤4mm，长度比工作台上待加工基板小即可，每个矩形长条之间的距离越小，矩形通槽在工作台面的分布密度就越大，薄膜成膜均匀性越好。

按照上述的位置分布、大小、形状，可以保证薄膜成膜均匀。

更优选地，所述工作台120采用多孔质陶瓷加工而成，所述多孔质陶瓷的微孔孔径≤2μ，可以更好地保证成膜的均匀性。多孔质陶瓷其工作台面的为微孔结构，孔径非常小，且分布密度非常大，负压通过微孔施加到待加工基板上受力非常均匀，固薄膜成膜不会受负压吸附的影响，很容易获得均匀薄膜。

所述工作台120还设有定位系统，所述定位系统可以是三点机械定位系统或图像传感定位系统。

所述加热机构160，可以是独立设置也可以与所述工作台集成，用于对所述工作腔110进行加热，本实施例对加热方式不做限定，可以选自电阻丝加热、红外线加热、电磁波加热、氙灯、紫外光、暖气水、油浴加热灯。较佳的，加热源的位置可均匀分布于所述工作腔底部。另外，也可直接对所述工作台加热，从而达到给基板、液态薄膜和所述工作腔加热的效果。

所述传递口具有开启状态和关闭状态，当处于关闭状态时，使用橡胶密封圈以保证所述工作腔的气密性。所述橡胶密封圈的选自氟素橡胶密封圈、氟硅橡胶密封圈、硅橡胶密封圈、氢化丁腈橡胶密封圈、丁腈橡胶密封圈、三元乙丙橡胶密封圈、氯丁橡胶密封圈、丁基橡胶密封圈、丙烯酸脂橡胶密封圈、天然橡胶密封圈、聚氨脂橡胶密封圈或金属橡胶密封圈。

真空机构150，用于使所述工作腔110达到预设的真空度；

所述的真空机构与所述工作腔相连，用于使所述工作腔达到预设的真空度。进一步的，所述工作腔还包括至少1个出气口与所述真空机构相连。所述出气口用于提供所述工作腔中气体的进出通道。所述出气口也是带有阀门可选择关闭，并且出气口也具有密封性设计，当出气口关闭时，可以保证所述工作腔中的气密性。优选的，可以设置多个出气口151，均匀分布于所述工作腔110的顶部，保证所述工作腔内部气流由下向上，不会发生紊乱。

优选地，可以设置至少一个准备腔111，所述准备腔可用于承载所述打印机构和所述传动机构。

打印机构，用于对所述待加工基板进行喷墨打印，所述打印机构具有位于所述工作腔内的工作位以及位于所述工作腔外的准备位；

本实施例所述打印机构(可以是常规的打印机构)包括打印头、墨水补给装置、X,Y,Z三轴控制装置、图像观测装置。所述X、Y、Z轴控制装置直接与所述传动机构相连，用于控制打印头的运动。所述打印头与X、Y、Z轴控制装置相连，用于向待加工基板打印墨水。所述墨水补给装置与打印头相连，用于给打印头补给打印墨水。所述图像观测装置与打印头相连，由于帮助确定打印头对待加工基板的相对位置，同时可监控打印头打印墨水的实时状态。

传动机构，用于通过所述传递口传送所述打印机构，使所述打印机构在所述工作位与所述准备位之间转换。

控制机构，与所述加热机构、所述真空机构、所述打印机构以及所述传动机构电连接，用于控制所述加热机构、所述真空机构、所述打印机构以及所述传动机构的运行。

所述控制机构可以用于对所有部件进行实时采集数据、分析数据、按最优值迅速地对所有部件发送指令，进行过程控制。

以下结合图1，图2，图3，图4和上述喷墨打印装置详细阐述一种喷墨打印方法：

S1：将待加工基板210放置于工作台120上。

如图1所示，通过机械手等传动方式自动、半自动或者人工手动将待加工基板放置于工作台上并完成定位，之后利用真空吸附将待加工基板固定在工作台120上。

S2：打开工作腔110与准备腔111之间传递口140的密封阀，利用传送机构130将打印机构131传送到工作腔110，进入打印待命状态；

如图2所示，当工作腔110和准备腔111之间传递口140的密封阀打开之后，利用传动机构将打印机构转移到工作腔中的工作位，打印机构找到初始位置后进入待命状态。

S3：利用打印机构131对待加工基板进行喷墨打印；

如图3所示，利用打印机构131对待加工基板210进行喷墨打印，当打印机构使用多个打印头一同打印，整个打印过程会在很短的时间内完成，打印完成后基板上的墨水还是处于液体状态。

S4：利用传送机构130将打印机构131传送到准备腔111，并关闭工作腔110与准备腔111之间传递口140的密封阀；

S5：利用真空机构150给工作腔110施加负压，然后利用加热机160构对腔体1中的气体进行加热；

如图4所示，当打印机构131完成工作腔110中的即时打印任务之后，利用传动机构将打印机构转移到准备腔，并关闭工作腔与准备腔之间传递口的密封阀。然后快速打开真空机构150给工作腔110施加负压，然后再打开加热机构160对工作腔内的气体、载物台加热并间接对液态薄膜211加热，最终给带有液态薄膜211的基板提供一个原位真空干燥的氛围。

S6：重复S3-S5的过程，直到所有薄膜打印完毕即可。

整个过程中，待加工基板一直保持在载物台上固定不动，直到最后一层打印薄膜打印烘干结束，再使用传动装置自动、半自动或手动将基板转移到下一工序。

实施例2

本实施例一种喷墨打印装置，包括

2个工作腔110和112，所述工作腔110中设有工作台120以及加热机构160，所述工作台120用于承载待加工基板210，所述加热机构160用于使所述工作腔110达到预设温度，所述工作腔110的腔壁上设有传递口140；

所述工作台120用于承载待加工基板210，所述工作台可以选用大理石材料加工而成，具有高稳定性、高硬度，能在重负荷下保持高精度。优选地，所述工作台的平面度小于等于10μ，，本实施例选用的平面度为5μ，与x轴平行度为10μ，并垂直于Z轴10μ。

进一步地，所述工作台120上设有通孔或通槽，可以使用真空泵通过通孔或通槽施加负压，即可将所述待加工基板固定在所述工作台120上。所述通孔和所述通槽的位置分布、大小、形状、结构等会对成膜产生较大的影响。因为当待加工基板上涂布一层液态薄膜后，液态薄膜中的溶剂会逐渐挥发，溶剂挥发是一个吸热过程，热量的吸收通过液态薄膜直接接触基板和空气进行传导，并间接通过所述工作台120进行传导，而所述工作台有通孔或通槽的位置与所述待加工基板接触的是空气，与所述工作台本身的热传导速度不同，最终导致液态薄膜对应位置的挥发速度不同造成成膜不均匀的现象发生。

具体地，所述通孔和所述通槽的位置分布、大小、形状、结构可以为：

均匀分布于工作台面的通孔，形状选自圆形、正方形和不规则图形，以圆形通孔为例加以说明。圆形通孔的直径≤4mm，直径越小越好。通孔在台面的排布为均匀排布，例如等距均匀排布，每两个通孔之间的距离为10cm。通孔之间的距离越小，通孔在工作台面分布的密度就越大，薄膜成膜均匀性越好；同样的，也可以选自通槽均匀分布于工作台面，通槽的形状可以为矩形或者不规则图形，以矩形通槽为例，矩形的宽度≤4mm，长度比工作台上待加工基板小即可，每个矩形长条之间的距离越小，矩形通槽在工作台面的分布密度就越大，薄膜成膜均匀性越好。

按照上述的位置分布、大小、形状，可以保证薄膜成膜均匀。

更优选地，所述工作台120采用多孔质陶瓷加工而成，所述多孔质陶瓷的微孔孔径≤2μ，可以更好地保证成膜的均匀性。

所述工作台120还设有定位系统，所述定位系统可以是三点机械定位系统或图像传感定位系统。

所述加热机构160，可以是独立设置也可以与所述工作台集成，用于对所述工作腔110进行加热，本实施例对加热方式不做限定，可以选自电阻丝加热、红外线加热、电磁波加热、氙灯、紫外光、暖气水、油浴加热灯。较佳的，加热源的位置可均匀分布于所述工作腔底部。另外，也可直接对所述工作台加热，从而达到给基板、液态薄膜和所述工作腔加热的效果。

所述传递口具有开启状态和关闭状态，当处于关闭状态时，使用橡胶密封圈以保证所述工作腔的气密性。所述橡胶密封圈的选自氟素橡胶密封圈、氟硅橡胶密封圈、硅橡胶密封圈、氢化丁腈橡胶密封圈、丁腈橡胶密封圈、三元乙丙橡胶密封圈、氯丁橡胶密封圈、丁基橡胶密封圈、丙烯酸脂橡胶密封圈、天然橡胶密封圈、聚氨脂橡胶密封圈或金属橡胶密封圈。

真空机构150，用于使所述工作腔110达到预设的真空度；

所述的真空机构与所述工作腔相连，用于使所述工作腔达到预设的真空度。进一步的，所述工作腔还包括至少1个出气口与所述真空机构相连。所述出气口用于提供所述工作腔中气体的进出通道。所述出气口也是带有阀门可选择关闭，并且出气口也具有密封性设计，当出气口关闭时，可以保证所述工作腔中的气密性。优选的，可以设置多个出气口151，均匀分布于所述工作腔110的顶部，保证所述工作腔内部气流由下向上，不会发生紊乱。

优选的，在加热和抽真空之前，可以在待加工基板上方增加挡板152，将所述工作腔110分为第一工作腔110a和第二工作腔110b，这样可缩小所述待加工基板所在空间的体积，从而加快所述第一工作腔内部升温和抽真空的速度。进一步的，增加的挡板至少需要有一个出气口，本实施例选自出气口数量比第一工作腔顶部出气口数量更多且均匀分布于挡板上，保证待加工基板所在腔体气流的稳定。另外，所述真空机构包括负压产生装置和负压控制装置。负压产生装置选自吸尘器、负压发生器、真空泵、负压吸引器、负压风机等能够产生负压的装置；负压控制装置有调压阀、电磁阀、气动阀、压力表、质量流量计等各种能实现气压通断和调节的通用原件构成。

优选地，可以设置至少一个准备腔111，所述准备腔可用于承载所述打印机构和所述传动机构。为了增加生产效率，工作腔可以设置2个(110和112)，一个准备腔支持2个工作腔。

优选的，本实施例为了提高打印机构的工作效率，增加了一套工作腔112(包括第三工作腔112a和第四工作腔112b)，同样配制工作台、加热机构和真空机构，工作腔110与工作腔112配套一致，直接与准备腔相连。当打印机构完成工作腔110中的打印任务后通过传动机构传送到工作腔112中继续进行工作腔112的打印任务，从而将打印机构的工作效率提高1倍。类似的，还可以在准备腔周围继续增加工作腔和相应的载物台、加热机构、真空机构来进一步提高打印机构的工作效率。

打印机构，用于对所述待加工基板进行喷墨打印，所述打印机构具有位于所述工作腔内的工作位以及位于所述工作腔外的准备位；

本实施例所述打印机构(可以是常规的打印机构)包括打印头、墨水补给装置、X,Y,Z三轴控制装置、图像观测装置。所述X、Y、Z轴控制装置直接与所述传动机构相连，用于控制打印头的运动。所述打印头与X、Y、Z轴控制装置相连，用于向待加工基板打印墨水。所述墨水补给装置与打印头相连，用于给打印头补给打印墨水。所述图像观测装置与打印头相连，由于帮助确定打印头对待加工基板的相对位置，同时可监控打印头打印墨水的实时状态。

传动机构，用于通过所述传递口传送所述打印机构，使所述打印机构在所述工作位与所述准备位之间转换。

控制机构，与所述加热机构、所述真空机构、所述打印机构以及所述传动机构电连接，用于控制所述加热机构、所述真空机构、所述打印机构以及所述传动机构的运行。

所述控制机构可以用于对所有部件进行实时采集数据、分析数据、按最优值迅速地对所有部件发送指令，进行过程控制。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种喷墨打印装置，其特征在于，包括

至少一个工作腔，所述工作腔中设有工作台以及加热机构，所述工作台用于承载待加工基板，所述加热机构用于使所述工作腔达到预设温度，所述工作腔的腔壁上设有传递口；

真空机构，用于使所述工作腔达到预设的真空度；

打印机构，用于对所述待加工基板进行喷墨打印，所述打印机构具有位于所述工作腔内的工作位以及位于所述工作腔外的准备位；

传动机构，用于通过所述传递口传送所述打印机构，使所述打印机构在所述工作位与所述准备位之间转换；以及

控制机构，与所述加热机构、所述真空机构、所述打印机构以及所述传动机构电连接，用于控制所述加热机构、所述真空机构、所述打印机构以及所述传动机构的运行。

2.根据权利要求1所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述工作台的材质为多孔质陶瓷，所述多孔质陶瓷的微孔孔径≤2μm。

3.根据权利要求1所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述工作台的台面设有若干个通孔或通槽。

4.根据权利要求3所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述通孔均匀分布于所述工作台，所述通孔的尺寸为≤4mm，形状为圆形、正方形或不规则图形。

5.根据权利要求3所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述通槽均匀分布于所述工作台，所述通槽的宽度为≤4mm，形状为矩形或不规则图形。

6.根据权利要求3-5任一项所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述工作台的材质为大理石，所述工作台的平面度≤10μ。

7.根据权利要求1-5任一项所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述工作台设有定位系统，所述定位系统为三点机械定位系统或图像传感定位系统。

8.根据权利要求1-5任一项所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述传递口具有开启状态和关闭状态，当处于关闭状态时，使用橡胶密封圈以保证所述工作腔的气密性。

9.根据权利要求8所述的喷墨打印装置，其特征在于，所述橡胶密封圈的选自氟素橡胶密封圈、氟硅橡胶密封圈、硅橡胶密封圈、氢化丁腈橡胶密封圈、丁腈橡胶密封圈、三元乙丙橡胶密封圈、氯丁橡胶密封圈、丁基橡胶密封圈、丙烯酸脂橡胶密封圈、天然橡胶密封圈、聚氨脂橡胶密封圈或金属橡胶密封圈。

10.一种喷墨打印方法，其特征在于，采用权利要求1-9任一项所述的喷墨打印装置，包括如下步骤：

S1、将待加工基板置于所述工作台上；

S2、使所述传递口处于开启状态，利用所述传送机构将所述打印机构传送至所述打印机构的工作位；

S3、所述打印机构对所述待加工基板进行喷墨打印；

S4、所述传送机构将所述打印机构传送至所述打印机构的准备位；

S5、使所述传递口处于关闭状态，利用所述真空机构对所述工作腔施加负压，利用所述加热机构对所述工作腔进行加热；

S6、重复S2-S5步骤，直至所述待加工基板上的薄膜全部打印完毕，即可。