CN107044439A - 真空泵 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够有效地将轴承所产生的热传导至轴承外部的真空泵用轴承装置。涡轮分子泵(1)包括：轴承装置(100)；以及排气功能部，具有受到轴承装置(100)支撑的旋转体(60)且排出气体。轴承装置(100)包括：轴承(30)，具有外轮(31)、内轮(32)及转动体(33)；润滑油储存部(70)；润滑油供应构造(50)，将润滑油储存部(70)所储存的润滑油供应至轴承(30)；保持构件(40)，保持轴承(30)；以及多孔体(81、82)，设置在轴承(30)的外轮(31)的外侧。

Description

真空泵
技术领域
本发明涉及一种真空泵。
背景技术
对于高速旋转的滚动轴承，需要通过持续供应微量的润滑油来维持转动面的润滑，且防止过量的润滑油附着于转动面。若超出润滑所需的润滑油附着于转动面，则会产生润滑油的搅拌阻力，从而导致发热。
作为真空泵中的轴承装置，已提出有专利文献1(日本专利第5303137号公报)所记载的构造。在专利文献1所记载的轴承装置中，润滑油从润滑油储存部经由油绳(wick)供应至具有圆锥表面的喷雾螺帽的外周倾斜面。供应至喷雾螺帽的外周倾斜面的润滑油会随着喷雾螺帽的旋转而在倾斜面上上升，并供应至轴承固定器所保持的滚动轴承。供应至滚动轴承的润滑油中的剩余的润滑油会被引导至设置在轴承固定器与滚动轴承的外轮之间的间隙，并返回至润滑油储存部内。滚动轴承的外轮由轴向浮环(axial floating ring)及径向浮环(radial floating ring)保持。
对于如上所述的润滑油供应型的轴承装置，为了防止轴承内产生由润滑油搅拌引起的多余的发热，优选将供应至轴承的润滑油的量设为必需的最小限度的量。专利文献1所记载的轴承装置的构造是以供应至滚动轴承的润滑油的量剩余为前提。因此，若将向滚动轴承供应的润滑油的供应量设为必需的最小限度的量，则利用轴承的热传导使轴承内所产生的转动体与转动面的摩擦热发散至外部的效果会减小，有可能无法获得充分的散热效果。
发明内容
本发明解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。
本发明所述的真空泵包括：轴承装置；以及排气功能部，具有受到所述轴承装置支撑的旋转体且排出气体，所述轴承装置包括：轴承，具有外轮、内轮及转动体；润滑油储存部，储存润滑油；润滑油供应构造，将所述润滑油储存部所储存的润滑油供应至所述轴承；保持构件，保持所述轴承；以及多孔体，配置在所述轴承的所述外轮的外侧，且填充有从所述润滑油供应构造供应至所述轴承的润滑油。
在更优选的实施方式中，所述多孔体包括第一部分与第二部分中的至少一个部分，所述第一部分配置在所述轴承的所述外轮的轴方向外侧，所述第二部分配置在所述外轮的直径方向外侧。
在更优选的实施方式中，所述多孔体包括连续气泡体，通过所述连续气泡体内所填充的所述润滑油来形成从所述多孔体的内表面延续至外表面的导热路径。
在更优选的实施方式中，所述多孔体由热传导率比所述轴承的所述外轮更大的材料形成。
在更优选的实施方式中，还包括设置在所述轴承的所述外轮与所述保持构件之间的一个以上的阻尼器，包含所述多孔体、所述轴承及所述阻尼器的构造部的刚性在轴方向上为100N/mm～1000N/mm，在直径方向上为50N/mm～500N/mm。
在更优选的实施方式中，所述多孔体包括多孔膜，所述多孔膜设置于所述轴承的所述外轮的外表面的至少一部分与所述保持构件的面向所述轴承的所述外轮的面的至少一部分中的至少一方。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,借由上述技术方案，能够有效地将轴承所产生的热传导至轴承的外部。
附图说明
图1是表示本发明的真空泵的实施例1的图。
图2是图1所图示的真空泵用轴承装置的放大图。
图3是表示包括与图2不同的真空泵用轴承装置的真空泵的实施例2的图。
图4是表示包括与图2不同的真空泵用轴承装置的真空泵的实施例3的图。
图5是表示包括与图2不同的真空泵用轴承装置的真空泵的实施例4的图。
图6是表示包括与图2不同的真空泵用轴承装置的真空泵的实施例5的图。
图7是表示包括与图2不同的真空泵用轴承装置的真空泵的实施例6的图。
图8是表示包括与图2不同的真空泵用轴承装置的真空泵的实施例7的图。
图9是表示包括与图2不同的真空泵用轴承装置的真空泵的实施例8的图。
图10是表示包括与图2不同的真空泵用轴承装置的真空泵的实施例9的图。
[符号说明]
1：涡轮分子泵
2：基座
3：泵转子
4：马达
4a：马达定子
4b：马达转子
5：间隔件
6：永磁铁磁轴承
6a：永磁铁
6b：永磁铁
9：轴承
10：转子轴
11：磁铁固定器
12：泵壳体
13：轴承固定器
15：固定叶片
16：定子
17：旋转叶片
18：圆筒部
19：下部盖体
21、21a、21b：止推阻尼器(阻尼器)
22：径向阻尼器(阻尼器)
30：轴承
31：外轮
32：内轮
33：转动体
40：轴承壳体
50：润滑油供应构造
51：润滑油储存部外壳
60：旋转体
61：倾斜面
70：润滑油储存部
71：供油绳
81～88：多孔体构件(多孔体)
89：多孔膜(多孔体)
91：排油路径
100：真空泵用轴承装置
II：区域
P1：涡轮泵部
P2：霍尔维克泵部
R：旋转体单元
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
-实施例1-
图1是表示本发明的真空泵的实施例1的图，且是涡轮分子泵1的剖面图。其中，涡轮分子泵1连接着供应电力的电源单元，但图1中省略了图示。
图1所示的涡轮分子泵1包括涡轮泵部P1与霍尔维克泵(Holweck pump)部P2作为排气功能部，所述涡轮泵部P1包括涡轮叶片，所述霍尔维克泵部P2包括螺旋形的槽。以下，以涡轮分子泵1为例进行说明，但本发明不限于在排气功能部包括涡轮泵部P1及霍尔维克泵部P2的真空泵，也能够适用于仅包括涡轮叶片的真空泵、或者仅包括西格巴恩泵(Siegbahn pump)或霍尔维克泵等牵引泵(drag pump)的真空泵、或者组合有这些泵的真空泵。
涡轮泵部P1包含：多段的旋转叶片17，形成于泵转子(pump rotor)3；以及多段的固定叶片15，配置在基座(base)2及泵壳体(pump casing)12侧。旋转叶片17与固定叶片15交替地配置在轴方向上。各固定叶片15因其外周侧的周缘由配置在该固定叶片15之间的间隔件(spacer)5夹持而受到固定。另一方面，设置在涡轮泵部P1的排气下游侧的霍尔维克泵部P2包含形成于泵转子3的圆筒部18、与配置在基座2侧的定子(stator)16。在圆筒状的定子16的内周面形成有螺旋槽。多段的旋转叶片17与圆筒部18构成旋转侧排气功能部，多段的固定叶片15与定子16构成固定侧排气功能部。
泵转子3连接于旋转轴即转子轴10，转子轴10由马达(motor)4旋转驱动。马达4例如可使用直流无刷马达(Direct Current brushless motor，DC brushless motor)，基座2上设置有马达定子4a，转子轴10上设置有马达转子4b。包含转子轴10与泵转子3的旋转体单元R旋转自如地受到使用有永磁铁6a、6b的永磁铁磁轴承6与滚动轴承即轴承30支撑。轴承30是图2所详细说明的轴承装置100的构成部件。
永磁铁6a、6b是在轴方向上被磁化的环状的永磁铁。设置于泵转子3的多个永磁铁6a是以使同极彼此相向的方式配置在轴方向上。另一方面，固定侧的多个永磁铁6b安装于磁铁固定器11，该磁铁固定器11固定于泵壳体12。所述多个永磁铁6b也是以使同极彼此相向的方式配置在轴方向上。设置于泵转子3的永磁铁6a的轴方向位置设定得比配置在其内周侧的永磁铁6b的位置稍靠上侧。即，旋转侧的永磁铁的磁极相对于固定侧的永磁铁的磁极，在轴方向上错开了规定量。永磁铁磁轴承6的支撑力根据该规定量的大小而有所不同。在图1所示的例子中，永磁铁6a配置在图示的上侧，因此，由于永磁铁6a与永磁铁6b的斥力，径向(radial direction)的支撑力与轴方向朝上(泵排气口侧方向)的力作用于旋转体单元R。
在磁铁固定器11的中央，固定有保持轴承9的轴承固定器13。图1中使用了深槽滚珠轴承(deep groove ball bearing)等滚珠轴承作为轴承9、30，但不限于此，例如也可以使用角接触轴承(angular contact bearing)。轴承9作为对转子轴10上部的径向振动进行限制的保护轴承(touchdown bearing)而发挥功能。在稳定旋转状态下，转子轴10与轴承9不接触，在施加有大干扰的情况下，或者在转子轴10的离心旋转在旋转加速或减速时变大的情况下，转子轴10与轴承9接触。
轴承30收纳在轴承壳体40中，该轴承壳体40固定于基座2。轴承30是油润滑式的滚动轴承。轴承壳体40具有大致圆柱状的内部空间，在该内部空间内，收容有用以将润滑油供应至轴承30的润滑油储存部70。在轴承壳体40的下部，使用螺栓等连接构件而固定有下部盖体19。也可以在该下部盖体19的外周面设置公螺纹，在基座2的内周面设置母螺纹，将公螺纹旋合于母螺纹，从而将下部盖体19固定于基座2。
图2是本发明的真空泵用轴承装置100的主要部分的放大剖面图，换句话说，是图1中的虚线所包围的区域II的放大剖面图。再者，以下将真空泵用轴承装置100仅称为轴承装置100。
轴承装置100包括轴承30、润滑油储存部70、供油用的旋转体60、止推阻尼器(thrust damper)21a、止推阻尼器21b、径向阻尼器(radial damper)22、多孔体构件81、多孔体构件82、供油绳71、保持轴承30的保持构件即轴承壳体40以及润滑油储存部外壳51。
轴承30包括外轮31、内轮32以及转动体33。内轮32嵌合着转子轴10的下端。将旋转体60安装于从内轮32向下方突出的转子轴10的下端，由此，转子轴10的下端固定于轴承30。轴承30的外轮31配置在润滑油储存部外壳51上，并通过固定于基座2的下部盖体19而固定在轴承壳体40内。
旋转体60与转子轴10同轴且可装卸地安装于转子轴10的下端。旋转体60是直径向润滑油储存部70侧减小且具有倾斜面61的圆锥台形状的构件。虽未图示，但将设置于旋转体60内周面的母螺纹部旋合于设置于如下轴部外周面的公螺纹部，从而将旋转体60固定于转子轴10，所述轴部设置于转子轴10的前端部且直径小。
止推阻尼器21a、21b分别是在中心侧形成有直径比轴承30的内轮32更大的贯通孔的圆盘状构件，且配置在轴承30的外轮31的轴方向外侧的上下两侧。即，止推阻尼器21a配置于轴承30的外轮31的轴方向的上表面，换句话说，配置于润滑油储存部70侧的相反侧的面，止推阻尼器21b配置于轴承30的外轮31的轴方向的下表面，换句话说，配置于润滑油储存部70侧的面。止推阻尼器21a、21b的内周面位于轴承30的外轮31的内周面与内轮32的外周面之间。
径向阻尼器22是在中心侧具有直径与轴承30的外周面大致相同的贯通孔的筒状构件，且配置在轴承30的外轮31与轴承壳体40的内部空间的外周面之间。径向阻尼器22在轴承30的轴方向上，配置于轴承30的厚度方向的大致中央，径向阻尼器22的贯通孔的内周面是以与轴承30的外轮31的外周面接触的方式设置。
止推阻尼器21a、21b以及径向阻尼器22由金属或橡胶等弹性体(elastomer)形成。
润滑油储存部70由能够保持润滑油的毡状或海绵状的润滑油保持构件构成，且保持着润滑油。润滑油储存部70形成为圆筒状，在其内周面设置有供油绳71。供油绳71从润滑油储存部70向旋转体60的外周面大致水平地延伸。供油绳71可与润滑油储存部70一体化地形成，也可以形成为与润滑油储存部70不同的构件而连接于润滑油储存部70。供油绳71将润滑油储存部70所保持的润滑油供应至旋转体60的倾斜面61。即，供油绳71的前端与旋转体60的倾斜面61滚动接触。圆锥台形状的旋转体60与供油绳71构成润滑油供应构造50。
驱动马达4，旋转体60与转子轴10一起高速旋转之后，由供油绳71涂布至旋转体60的倾斜面61的润滑油通过离心力作用，向旋转体60的直径大的方向即轴方向的上方移动，即向轴承30侧移动。随着涂布至旋转体60的倾斜面61的润滑油的所述移动，润滑油储存部70所保持的润滑油通过毛细管作用，经由供油绳71而持续地供应至旋转体60的倾斜面61。在旋转体60的倾斜面61上向轴方向上方移动的润滑油按照轴承30的内轮32→转动体33→外轮31的顺序移动，并供应至轴承30的整个内部。这样，润滑油储存部70所保持的润滑油经由润滑油供应构造50而供应至轴承30的内部。
多孔体构件81、82配置在轴承30的外轮31的外侧。
多孔体构件81、82分别具有剖面大致呈L字状的周缘部。L字形状包含第一部分与第二部分。第一部分具有相对于轴承30的轴方向大致垂直地延伸的圆盘形状，且配置在外轮31的轴方向外侧。第二部分具有相对于轴承30的直径方向大致垂直地延伸的圆筒形状，且配置在外轮31的直径方向外侧。上下地配置的多孔体构件81与多孔体构件82具有大致相同的形状，且分别具有大致托盘形状。但是，相对于轴承30的直径方向大致垂直地延伸的圆筒形状的第二部分在多孔体构件81中，向润滑油储存部70侧延伸，在多孔体构件82中，向多孔体构件81的反方向延伸。多孔体构件81的第一部分配置在轴承壳体40的内部空间的上表面与止推阻尼器21a之间，多孔体构件81的第二部分配置在轴承壳体40的内部空间的内周面与止推阻尼器21a的外周面之间。即，多孔体构件81跨越止推阻尼器21a的上表面与外周面而覆盖止推阻尼器21a。
多孔体构件82的第一部分配置在润滑油储存部外壳51与止推阻尼器21b之间，多孔体构件82的第二部分配置在轴承壳体40的内部空间的内周面与止推阻尼器21b的外周面之间。即，多孔体构件82跨越止推阻尼器21b的下表面与外周面而覆盖止推阻尼器21b。多孔体构件81、82的内周面分别配置在与止推阻尼器21a、21b的内周面大致相同的位置。
这样，因为在轴承30的外轮31的外侧设置有多孔体构件81、82，所以供应至轴承30内部的润滑油通过毛细管作用，经由止推阻尼器21a、21b而浸润填充至多孔体构件81、82的气泡体内。接着，通过浸润填充至各气泡体的润滑油来形成导热路径。因此，轴承30的内部所产生的热会经由多孔体构件81、82而有效地传导至轴承壳体40及润滑油储存部外壳51。由此，能够抑制轴承30的温度上升。
包含多孔体构件81、多孔体构件82、轴承30、止推阻尼器21a、止推阻尼器21b的构造部的刚性优选在轴方向上设为100N/mm～1000N/mm，在直径方向上设为50N/mm～500N/mm。由此，能够抑制旋转体单元R的异常振动，而且能够减少离心旋转。
多孔体构件81、82能够由烧结金属或聚氨基甲酸酯、聚烯烃等树脂形成，所述烧结金属由青铜等金属形成。多孔体构件81、82也可以是独立气泡体以及连续气泡体中的任一种气泡体，但在连续气泡体的情况下，通过浸润至多孔体构件81、82的气泡体内的润滑油，形成从多孔体构件81、82的内表面侧延续至外表面侧的导热路径，因此更优选所述连续气泡体。特别是在利用聚氨基甲酸酯等树脂形成多孔体构件81、82的情况下，推荐采用连续气泡体。
在利用聚氨基甲酸酯形成多孔体构件81、82的情况下，可进一步通过热压来使密度提高数倍，将形成有50个/in～100个/in的气泡体的连续气泡体型聚氨酯泡沫(urethanefoam)加工为规定形状。通过提高密度，能够获得提高含油能力的效果。聚氨酯材料具有粘附于金属面的性质，因此，由形成于聚氨酯的连续的气泡体形成的网眼构造以连接轴承壳体40与轴承30的外轮的方式受到固定，润滑油能够在网眼构造的内部移动。
多孔体构件81、82的热传导率优选为大于外轮31的热传导率。原因在于：多孔体构件81、82有效地夺取外轮31的热，并使该热传导至轴承壳体40及润滑油储存部外壳51。外轮31需要具有作为轴承的高强度，因此，由铁或不锈钢等强度高的材料形成，无法由热传导率非常高而强度不佳的铝或铜形成。因此，利用热传导率非常高的铝或铜的烧结金属来形成强度要求不如外轮31的多孔体构件81、82，由此，能够有效地散热。
根据所述实施例1，产生下述效果。
(1)使用油润滑型的轴承30来保持高速旋转的泵转子6的涡轮分子泵1采用如下构造，即，在轴承30的外轮31的外侧配置多孔体构件81、82。多孔体构件81、82分别是以热耦合于轴承30与轴承壳体40的内周之间、或轴承30与润滑油储存部外壳51之间的方式配置。在多孔体构件81、82中，通过浸润或填充至气泡体的润滑油来形成导热路径。因此，能够有效地将轴承30的内部所产生的热传导至轴承壳体40及润滑油储存部外壳51。由此，能够抑制轴承30的温度上升。
(2)浸润至多孔体构件81、82的气泡体的润滑油在包含气泡体的网眼构造内，粘性阻力起作用。因此，会产生使轴承30的振动衰减的效果。
-实施例2-
图3是表示包括真空泵用轴承装置100的真空泵的实施例2的图，所述真空泵用轴承装置100具有与图2不同的构造。
实施例2为如下构造，即，相对于轴承30的外轮31的止推阻尼器21a、21b及多孔体构件81、82的层叠顺序与实施例1相反。
即，多孔体构件81配置在轴承30的外轮31的上表面上，止推阻尼器21a配置在多孔体构件81与轴承壳体40的内部空间的上表面之间。另外，多孔体构件82配置在轴承30的外轮31的下表面下，止推阻尼器21b配置在多孔体构件82与润滑油储存部外壳51之间。多孔体构件81、82分别利用周缘部的L字状剖面的第一部分及第二部分，以跨越轴承30的外轮31的上表面或下表面与外周面之间的方式覆盖轴承30。
实施例2的其他构造与实施例1相同，对相对应的构件附上相同符号且省略说明。
在实施例2中，润滑油储存部70所保持的润滑油也在包含供油绳71及旋转体60的润滑油供应构造50中移动而供应至轴承30的内部，并进一步从轴承30供应至多孔体构件81、82而浸润填充至多孔体构件81、82。因此，实施例2也会产生与实施例1相同的效果。
-实施例3-
图4是表示包括真空泵用轴承装置100的真空泵的实施例3的图，所述真空泵用轴承装置100具有与图2不同的构造。
实施例3具有包括多孔体构件83的构造，所述多孔体构件83是实施例1中的上下一对的多孔体构件81与多孔体构件82一体化而成的构件。
即，实施例3中的多孔体构件83具有由实施例1中的多孔体构件81的第二部分与多孔体构件82的第二部分连接而成的构造。换句话说，具有大致桶形的形状，该大致桶形的形状的周侧部的剖面设为方括号形状，且在中心部形成有圆形的贯通孔。多孔体构件83的内周面是以与轴承30的外轮31的外周面接触的方式配置。径向阻尼器22是以使其内周面与多孔体构件83的外周面接触的方式设置。
实施例3的其他构造与实施例1相同，对相对应的构件附上相同符号且省略说明。
在实施例3中，润滑油储存部70所保持的润滑油也在包含供油绳71及旋转体60的润滑油供应构造50中移动而供应至轴承30的内部。供应至轴承30的内部的润滑油进一步从轴承30经由止推阻尼器21a、21b而供应至多孔体构件83而浸润填充至多孔体构件83。因此，实施例3也会产生与实施例1相同的效果。
-实施例4-
图5是表示包括真空泵用轴承装置100的真空泵的实施例4的图，所述真空泵用轴承装置100具有与图2不同的构造。
实施例4为如下构造，即，相对于轴承30的外轮31的止推阻尼器21a、21b及多孔体构件83的层叠顺序与实施例3相反。
即，多孔体构件83覆盖轴承30的外轮31的外周面、上表面及下表面地设置，止推阻尼器21a、21b分别设置在多孔体构件83的上表面与轴承壳体40的内部空间的上表面之间、多孔体构件83的下表面与润滑油储存部外壳51之间。
实施例4的其他构造与实施例3相同，对相对应的构件附上相同符号且省略说明。
在实施例4中，润滑油储存部70所保持的润滑油也在包含供油绳71及旋转体60的润滑油供应构造50中移动而供应至轴承30的内部。供应至轴承30的内部的润滑油进一步从轴承30供应至多孔体构件83而浸润填充至多孔体构件83。因此，实施例4也会产生与实施例1相同的效果。
再者，若参照图3～图5进行说明，则描绘为在实施例2～实施例4的轴承装置100中，轴承30的径向振动受到多孔体构件83阻碍。但是，在外轮31的外周面与多孔体构件83的内周面之间、及多孔体构件83的外周面与轴承壳体40的内部空间的内周面之间，设置有规定的间隙即仅允许轴承30的径向振动的间隙。
-实施例5-
图6是表示包括真空泵用轴承装置100的真空泵的实施例5的图，所述真空泵用轴承装置100具有与图2不同的构造。
实施例5具有将实施例1中的多孔体构件81、82设为多孔体构件84、85而成的构造，所述多孔体构件84、85仅具有与轴方向大致垂直地延伸的圆盘形状的第一部分。
即，实施例5中的多孔体构件84、85分别不具有相对于直径方向垂直地延伸的第二部分，而是具有在中心部形成有圆形贯通孔的较薄的环形状。
实施例5的其他构造与实施例1相同，对相对应的构件附上相同符号且省略说明。
在实施例5中，润滑油储存部70所保持的润滑油在包含供油绳71及旋转体60的润滑油供应构造50中移动而供应至轴承30的内部。供应至轴承30的内部的润滑油进一步从轴承30经由止推阻尼器21a、21b而供应至多孔体构件84、85，从而浸润填充至多孔体构件84、85内。因此，实施例5也会产生与实施例1相同的效果。
-实施例6-
图7是表示包括真空泵用轴承装置100的真空泵的实施例6的图，所述真空泵用轴承装置100具有与图2不同的构造。
实施例6为如下构造，即，相对于轴承30的外轮31的止推阻尼器21a、21b及多孔体构件84、85的层叠顺序与实施例5相反。
即，多孔体构件84配置在轴承30的外轮31的上表面上，止推阻尼器21a配置在多孔体构件84与轴承壳体40的内部空间的上表面之间。另外，多孔体构件85配置在轴承30的外轮31的下表面下，止推阻尼器21b配置在多孔体构件85与润滑油储存部外壳51之间。
实施例6的其他构造与实施例5相同，对相对应的构件附上相同符号且省略说明。
在实施例6中，润滑油储存部70所保持的润滑油也在包含供油绳71及旋转体60的润滑油供应构造50中移动而供应至轴承30的内部。供应至轴承30的内部的润滑油进一步从轴承30供应至多孔体构件84、85而浸润填充至多孔体构件84、85内。因此，实施例6也会产生与实施例1相同的效果。
-实施例7-
图8是表示包括真空泵用轴承装置100的真空泵的实施例7的图，所述真空泵用轴承装置100具有与图2不同的构造。
实施例7具有仅在轴承30的直径方向外侧配置有多孔体构件86、87的构造。
即，多孔体构件86、87分别形成为形成有贯通孔的环状构件，所述贯通孔具有与轴承30的外轮31的外周面接触的内周面。多孔体构件86、87分别配置在轴方向上的轴承30的上表面侧及下表面侧的、轴承30的外轮31的外周面与轴承壳体40的内部空间的外周面之间。实施例7的真空泵用轴承装置100不包括配置在轴方向上的多孔体构件。另外，止推阻尼器21仅设置在轴承30的外轮31与轴承壳体40的内部空间的上表面之间，在轴承30的外轮31与润滑油储存部外壳51之间未设置止推阻尼器。在本实施方式的涡轮分子泵1中，由于永磁铁6a与永磁铁6b的斥力，转子轴10与泵转子3一起向轴方向上方浮起，因此，也能够形成如上所述的构造。再者，实施例1～实施例6也能够像实施例7那样采用如下构造，即，在轴承30的外轮31与润滑油储存部外壳51之间不设置止推阻尼器。
实施例7的其他构造与实施例1相同，对相对应的构件附上相同符号且省略说明。
在实施例7中，润滑油储存部70所保持的润滑油也在包含供油绳71及旋转体60的润滑油供应构造50中移动而供应至轴承30的内部。供应至轴承30的内部的润滑油进一步从轴承30供应至多孔体构件86、87而浸润填充至多孔体构件86、87内。因此，实施例7也会产生与实施例1相同的效果。
-实施例8-
图9是表示包括真空泵用轴承装置100的真空泵的实施例8的图，所述真空泵用轴承装置100具有与图2不同的构造。
实施例8具有在轴承30的外轮31中形成有多个排油路径91的构造。
实施例8与实施例7同样地，具有仅在轴承30的直径方向外侧配置有多孔体构件88的构造。但是，与实施例7不同，在实施例8中，多孔体构件88具有由实施例7中的多孔体构件86、87一体化而成的构造。即，多孔体构件88配置在轴承30的外轮31的外周面与轴承壳体40的内部空间的外周面之间，且具有沿着轴方向延伸的圆筒形状。另外，在实施例8中，在轴承30的外轮31的上表面侧、下表面侧设置有止推阻尼器21a、21b。再者，虽未设置径向阻尼器22，但仍能够通过多孔体构件88产生抑制轴承30的径向振动的效果。
实施例8的其他构造与实施例7相同，对相对应的构件附上相同符号且省略说明。
实施例8的轴承30中设置有从外轮31的内周面贯通至外周面的多个排油路径91。对于所述构造，从润滑油储存部70在供油绳71及旋转体60中移动而供应至轴承30的内部的润滑油中的过剩的润滑油，会从排油路径91供应至多孔体构件88，并浸润至多孔体构件88内。因此，实施例8也会产生与实施例1相同的效果。特别是在实施例8中，润滑油容易经由轴承30的外轮31中所形成的排油路径91向多孔体构件87移动，因此，更容易使供应至轴承30的润滑油的量为最小限度。若供应至轴承30的润滑油的量增多，则会产生由润滑油搅拌引起的多余的发热，但通过使润滑油的量为最小限度，能够抑制如上所述的多余的发热，从而维持良好的润滑。
再者，实施例1～实施例7也可以采用如下构造，即，在轴承30的外轮31中设置排油路径91。
-实施例9-
图10是表示包括真空泵用轴承装置100的真空泵的实施例9的图，所述真空泵用轴承装置100具有与图2不同的构造。
实施例9的特征在于将多孔体形成为多孔膜89。
多孔膜89例如形成为镀敷膜。为了通过镀敷形成多孔体，例如在镀敷液中添加多孔电镀用添加剂并进行电镀。
如图10所图示，多孔膜89形成于轴承30的外轮31的外表面即外周面及上下表面。在轴承30的上表面所形成的多孔膜89与轴承壳体40的内部空间的上表面之间，配置有止推阻尼器21。在轴承30的外轮31的外周面所形成的多孔膜89与轴承壳体40的内部空间的外周面之间，配置有径向阻尼器22。
对实施例9的对应于其他实施方式的构件附上相同符号。
在实施例9中，润滑油储存部70所保持的润滑油也在包含供油绳71及旋转体60的润滑油供应构造50中移动而供应至轴承30的内部。供应至轴承30的内部的润滑油进一步从轴承30供应至多孔膜89而浸润填充至多孔膜89。因此，轴承30的内部所产生的热经由多孔膜89及止推阻尼器21而传导至轴承壳体40，另外，经由多孔膜89而有效地传导至润滑油储存部外壳51。因此，实施例9也会产生与实施例1相同的效果。另外，根据实施例9，通过镀敷形成多孔膜89，因此，部件数减少，能够高效地组装涡轮分子泵1。
再者，在实施例9中，例示了将多孔膜89设置于轴承30的外轮31的结构。但是，多孔膜89也可以形成于形成轴承壳体40的内部空间的内周面或上表面。在此情况下，多孔膜89无需设置于轴承30的外轮31的整个外表面，可以设置于轴承30的外轮31的一部分，例如外周面、上表面或下表面等。在将多孔膜89设置于轴承壳体40的情况下，也无需设置于面向轴承30的外轮31的全部的面，可以设置于面向轴承30的外轮31的面的一部分。
所述实施例1～实施例8中的多孔体构件81～多孔体构件88能够由实施例9所示的多孔膜89代替。再者，在本说明书中，多孔体被解释为包含多孔体构件81～多孔体构件88及多孔膜89的术语。
所述各实施方式所例示的轴方向上下一对的各多孔体构件81与多孔体构件82、多孔体构件84与多孔体构件85、多孔体构件86与多孔体构件87分别例示为大致相同的构件。但是，也可以设为厚度、大小等不同的构件。另外，也可以像多孔体构件81与多孔体构件85等那样，设为将形状完全不同的多孔体构件组合而成的上下一对。
在所述内容中说明了各种实施方式及变形例，但本发明并不限定于这些内容。例如，在所述实施方式中，以涡轮分子泵为例进行了说明，但不限于涡轮分子泵，也能够适用于各种真空泵。能够在本发明的技术思想的范围内想到的其他方式也包含在本发明的范围内。

Claims (11)

1.一种真空泵，其特征在于包括：
轴承装置；以及
排气功能部，具有受到所述轴承装置支撑的旋转体且排出气体，
所述轴承装置包括：
轴承，具有外轮、内轮及转动体；
润滑油储存部，储存润滑油；
润滑油供应构造，将所述润滑油储存部所储存的润滑油供应至所述轴承；
保持构件，保持所述轴承；以及
多孔体，配置在所述轴承的所述外轮的外侧，且填充有从所述润滑油供应构造供应至所述轴承的润滑油。
2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：所述多孔体包括第一部分与第二部分中的至少一个部分，所述第一部分配置在所述轴承的所述外轮的轴方向外侧，所述第二部分配置在所述外轮的直径方向外侧。
3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：所述多孔体包括连续气泡体，通过所述连续气泡体内所填充的所述润滑油来形成从所述多孔体的内表面延续至外表面的导热路径。
4.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于：所述多孔体包括连续气泡体，通过所述连续气泡体内所填充的所述润滑油来形成从所述多孔体的内表面延续至外表面的导热路径。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于：所述多孔体由热传导率比所述轴承的所述外轮更大的材料形成。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于：还包括设置在所述轴承的所述外轮与所述保持构件之间的一个以上的阻尼器，包含所述多孔体、所述轴承及所述阻尼器的构造部的刚性在轴方向上为100N/mm～1000N/mm，在直径方向上为50N/mm～500N/mm。
7.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于：还包括设置在所述轴承的所述外轮与所述保持构件之间的一个以上的阻尼器，包含所述多孔体、所述轴承及所述阻尼器的构造部的刚性在轴方向上为100N/mm～1000N/mm，在直径方向上为50N/mm～500N/mm。
8.根据权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于：所述多孔体包括多孔膜，所述多孔膜设置于所述轴承的所述外轮的外表面的至少一部分与所述保持构件的面向所述轴承的所述外轮的面的至少一部分中的至少一方。
9.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于：所述多孔体包括多孔膜，所述多孔膜设置于所述轴承的所述外轮的外表面的至少一部分与所述保持构件的面向所述轴承的所述外轮的面的至少一部分中的至少一方。
10.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于：所述多孔体包括多孔膜，所述多孔膜设置于所述轴承的所述外轮的外表面的至少一部分与所述保持构件的面向所述轴承的所述外轮的面的至少一部分中的至少一方。
11.根据权利要求7所述的真空泵，其特征在于：所述多孔体包括多孔膜，所述多孔膜设置于所述轴承的所述外轮的外表面的至少一部分与所述保持构件的面向所述轴承的所述外轮的面的至少一部分中的至少一方。
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