CN107036554A - 平面光学元件绝对面形检测装置 - Google Patents

Abstract

一种平面光学元件绝对面形检测装置，主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测，实现了提高检测精度的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。

Description

平面光学元件绝对面形检测装置

技术领域

本发明涉及高精度平面光学元件的高精度检测，具体是一种平面光学元件绝对面形检测装置。可实现平面元件全口径的绝对面形检测，提高检测精度，更能有标志性的定量加工水平，为加工精度的进一步突破实现指导意义。

背景技术

目前光学元件对检测水平要求越来越高，特别是在投影光刻曝光光学系统中，对元件面形RMS值的要求达到纳米甚至亚纳米级别，这对光学检测水平是一个极高的挑战。目前，干涉测量法是一种最为有效的高精度光学平面的测量方法。常用的光学元件面形检测方法基本属于相对检测法，其测量结果仅能表征待测元件相对于参考镜的面形偏差，检测精度低于参考镜的面形精度。随着高功率固体激光装置对光学元件面形精度要求的不断提高，相对检测法已经不能满足光学元件加工及使用的需求，因此实现光学元件面形的绝对检测是目前亟待解决的问题。绝对检测就是一种能够实现将参考平面误差从测量结果中分离出去从而得到被测元件绝对面形的方法。可实现纳米精度的面形测量，逐渐成为光学检测的关键技术。

现阶段，干涉仪检测都是相对测量，干涉检测的精度受到干涉仪自身参考镜面形的限制(PV值一般优于0.1λ)，特别当检测元件面形质量PV优于0.1λ甚至更高的时候，就无法判别测量结果的准确性，需要对参考镜误差进行分离，实现绝对测量。

目前的三面互检方法，处理数据过程中大都用到多项式拟合，失去了波面的中高频信息，使获得的平面面形信息不完整，影响了绝对检测的测量精度。

发明内容

本发明的目的旨在提供一种平面光学元件绝对面形检测装置，采用基于N位旋转测量的绝对检测方法对参考镜的绝对面形进行了测量，将其从元件相对检测结果中去除，即可得到被测元件的绝对面形，这种方法有效的剥离出了系统误差的影响，与传统相对检测方法相比，提升了设备检测的检测精度和能力，为高精度平面光学元件的质量评定提供可靠的检测依据。实现平面光学元件的绝对面形检测，提高检测精度。

本发明的技术解决方案如下：

一种平面光学元件绝对面形检测装置，其特点在于，包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3套夹持平面光学元件的平面光学元件夹具和反射镜旋转电器控制系统。所述的扩束准直系统放置于激光干涉仪激光出射端；所述的透射镜二维调整系统放置于扩束准直系统的激光出射端；所述的反射镜四维调整系统放置于透射镜二维调整系统的激光出射端；所述的第一、第二、第三加持平面光学元件的平面光学元件夹具可分别挂在透射镜二维调整系统3和反射镜四维调整系统上；所述的反射镜旋转电器控制系统的输出端与反射镜四维调整系统上的私服电机相连，所述的反射镜旋转电器控制系统的输入端与圆形光栅尺相连；

所述的透射镜二维调整系统，包括透射镜镜座、透射镜倾斜调整手轮、透射镜俯仰调整手轮、透射镜倾斜调整减速机、透射镜俯仰调整减速机、透射镜倾斜调整连接杆、透射镜俯仰调整连接杆、透射镜夹具挂板、透射镜夹具挂靠定位销、透射镜座倾斜滑动连接块和透射镜座转动连接轴，所述的透射镜倾斜调整减速机固定在透射镜镜座的右下方，所述的透射镜俯仰调整减速机固定在透射镜镜座的左上方，所述的透射镜夹具挂板通过下端左右两侧的透射镜座倾斜滑动连接块和透射镜座转动连接轴与透射镜镜座相连，所述的透射镜倾斜调整手轮通过其连杆与所述的透射镜倾斜调整减速机相连，所述的透射镜俯仰调整手轮通过其连杆与透射镜俯仰调整减速机相连，所述的透射镜倾斜调整减速机通过透射镜倾斜调整连接杆与透射镜座倾斜滑动连接块相连，所述的透射镜俯仰调整减速机通过透射镜俯仰调整连接杆与透射镜夹具挂板相连，所述的透射镜夹具挂靠定位销固定在透射镜夹具挂板左右两侧对称位置与平面光学元件夹具上左右对称的标准镜夹具异形定位孔耦合；

所述的反射镜四维调整系统，包括反射镜镜座、反射镜旋转驱动轮、反射镜夹具挂靠定位销、反射镜夹具挂板、反射镜俯仰调整连接杆、反射镜倾斜调整连接杆、圆形光栅尺固定装置、圆形光栅尺、伺服驱动电机、反射镜夹具挂板升降减速机、反射镜夹具挂板升降调整手轮、反射镜倾斜调整减速机、反射镜倾斜调整手轮、反射镜俯仰调整减速机、反射镜俯仰调整手轮、反射镜座滑动连接块、反射镜座转动连接轴、滚珠丝杠、圆形光栅尺连接装置，所述的反射镜倾斜调整减速机固定在反射镜镜座后方的左下方，所述的反射镜俯仰调整减速机固定在反射镜镜座后方的右上方，所述的反射镜夹具挂板升降减速机固定在反射镜镜座的右上方，所述的反射镜夹具挂板通过下端左右两侧的反射镜座滑动连接块和反射镜座转动连接轴与反射镜镜座相连，所述的反射镜倾斜调整手轮通过其连杆与反射镜倾斜调整减速机相连，所述的反射镜俯仰调整手轮通过其连杆与反射镜俯仰调整减速机相连，所述的反射镜夹具挂板升降调整手轮通过其连杆与反射镜夹具挂板升降减速机相连，所述的反射镜倾斜调整减速机通过反射镜倾斜调整连接杆与反射镜座滑动连接块相连，所述的反射镜俯仰调整减速机通过反射镜俯仰调整连接杆与反射镜夹具挂板相连，所述的反射镜夹具挂板升降减速机通过滚珠丝杠与固定在反射镜夹具挂板上的轴套相连，所述的伺服驱动电机固定在反射镜夹具挂板正上方的中轴线上，所述的反射镜旋转驱动轮固定在伺服驱动电机的旋转轴上，所述的圆形光栅尺通过圆形光栅尺固定装置固定在反射镜夹具挂板的中心轴上，所述的圆形光栅尺连接装置固定在圆形光栅尺的旋转轴上与所述的夹持平面光学元件的平面光学元件夹具上的可旋转标准镜夹持镜筒的边缘相连，所述的反射镜夹具挂靠定位销固定在反射镜夹具挂板21左右两侧对称位置与平面光学元件夹具上左右对称的标准镜夹具异形定位孔耦合；

所述的3套平面光学元件夹具5为同规格的夹具，每套夹具包括平面光学元件夹具挂板、夹具异形定位孔、可旋转标准镜夹持镜筒、旋转从动轮、待测平面光学元件。所述的夹具异形定位孔位于夹具挂板上端左右两侧对称分布；所述的旋转从动轮固定在夹具挂板37下方左右两侧，所述的可旋转标准镜夹持镜筒通过旋转从动轮固定在标准镜夹具挂板中心位置，所述的待测平面光学元件固定在可旋转标准镜夹持镜筒的中心。

所述的平面光学元件夹具顶端设置有一对吊环，两侧设置有一对把手。

所述的透射镜二维调整系统的顶端设置有一对吊环，底部设置有气浮装置。

所述的反射镜四维调整系统的顶端设置有一对吊环，底部设置有气浮装置。

激光干涉仪1出射小口径准直光束，通过扩束准直系统2扩束准直后出射大口径平行光束，扩束后的准直光束通过与所述的透射镜二维调整系统3相连的第一平面光学元件5后一部分光束原路返回形成参考光束，一部分光束透过第一平面光学元件传播至与所述的反射镜四维调整系统相连的第二的平面光学元件的前表面后原路返回形成测试光束，参考光束与测试光束在激光干涉仪内的CCD上相遇并形成明暗相间的干涉条纹实现干涉检测。

第一、第二、第三平面光学元件的以不同的相对位置两两组合，分别作为透射镜及反射镜，互检四次后，再增加一组N次旋转测量即可得到相对面形误差。

本发明的工作原理如下：

将相对面形误差函数分为偶偶、偶奇、奇偶、奇奇函数四个分量，前三个分量可通过四次测量获得，奇奇项利用N位平均近似思想，通过将其中一个平面光学元件相对另一光学元件旋转N次获得，经过数据处理后可获得三个平板各自的绝对面形误差。平面光学元件夹持在标准镜旋转标准镜镜框内，标准镜夹具可实现快速更换功能。主动摩擦轮驱动标准镜旋转镜框旋转，旋转从动轮支撑标准镜旋转镜框并在旋转镜框驱动下反向旋转实现平面光学元件高精度N次旋转。

测试及计算步骤如下：

假设有第一平面光学元件A、第二平面光学元件B、第三平面光学元件C的面形偏差函数分别表示为A(x,y)、B(x,y)、C(x,y)，在直角坐标系中，任何一个二维函数可以分解为偶偶函数、偶奇函数、奇偶函数、奇奇函数的组合，见公式(1)：

式中：

A(x,y),B(x,y),C(x,y)表示三块平板A，B，C的面形误差，nm；

表示三块平板的面形误差中偶-偶函数部分，nm；

表示三块平板的面形误差中偶-奇函数部分，nm；

表示三块平板的面形误差中奇-偶函数部分，nm；

表示三块平板的面形误差中奇-奇函数部分，nm。

平板两两组合的五种相对位置的示意图如图5所示，每一步(图5中)靠左边的平板作为干涉仪的透射平板，通过五步多次检测，经过计算可得到三块平板各自的面形误差。其中，第一步第一平面光学元件A和第二平面光学元件B进行相对测量，得到的相对测量结果记为Wab，第二步第一平面光学元件A和第三平面光学元件C进行相对测量，得到的相对测量结果记为Wac，第三步第二平面光学元件B和第三平面光学元件C进行相对测量，得到的测量相对结果记为Wbc0，第四步在第三步的基础上将第三平面光学元件C进行180°旋转后进行相对测量，将得到的相对测量结果记为Wbc180，第五步在第四步的基础上将第三平面光学元件C旋转回第三步的位置后分别进行旋转8个角度的相对测量，即0°，45°，90°，135°，180°，225°，270°，315°，得到的相对测量结果分别记为Wbc0，Wbc45，Wbc90，Wbc135，Wbc180，Wbc225，Wbc270，Wbc315。

在直角坐标系中，任何一个二维函数F(x,y)可以分解为偶偶函数F_ee、偶奇函数F_eo、奇偶函数F_oe、奇奇函数F_oo的组合，根据奇偶函数的性质可得如下方程组式(2)～(7)：

首先把实验得到的相对检测结果分别代入式(2)～(7)中，通过计算得到最后把这些值再代入式(1)中计算，得到三块平板的绝对面形误差A(x,y)、B(x,y)、C(x,y)的分布。

本发明的优点是：

1、通过设计标准型标准镜夹具相互替换，实现平面光学元件绝对面形的快速检测功能，提高了检测效率；

2、通过采用圆形光栅尺进行数字化精确角度旋转控制，减小了绝对面形检测的旋转误差，提高了检测结果的准确性；

3、采用标准镜框加持标准镜，减小了标准镜因加持应力引起的形变，提高了检测结果的准确性；

4、通过实验验证，实现了面形偏差PV值优于1/100波长，面形偏差RMS优于1/1000波长，面形偏差PSD1优于1/1000波长的测量，提高了检测精度。

5、本发明采用了一种基于N位旋转测量的方法，结合了传统三面互检法、奇偶函数法以及简单镜面对称法的思想，在传统三面互检四次检测的基础上，增加一组N次旋转测量，将波前函数分为偶偶、偶奇、奇偶、奇奇函数四个分量，前三个分量可通过传统四次测量获得；奇奇项利用N位平均近似思想，通过将其中一个面相对另一平面旋转N次获得，从而获得整个平面面形。与传统绝对检验方法相比，该方法既能够恢复整个波面又不需要对整个波面进行多项式拟合，且算法简单，保留了平面全频段信息，实现了平面全频端绝对检测。

附图说明

图1是本发明平面光学元件绝对面形检测装置的俯视图；

图2是透射镜二维调整系统的后视图；

图3为反射镜四维调整系统的主视图；

图4为平面光学元件夹具的主视图；

图5三平板互检相对位置示意图

图中：1-激光干涉仪、2-扩束准直系统、3-透射镜二维调整系统、4-反射镜四维调整系统、5-平面光学元件夹具、6-反射镜旋转电器控制系统、7-透射镜镜座、8-透射镜倾斜调整手轮、9-透射镜俯仰调整手轮、10-透射镜倾斜调整减速机、11-透射镜俯仰调整减速机、12-透射镜倾斜调整连接杆、13-透射镜俯仰调整连接杆、14-透射镜夹具挂板、15透射镜夹具挂靠定位销、16-透射镜座倾斜滑动连接块、17-透射镜座转动连接轴、18-反射镜镜座、19-反射镜旋转驱动轮、20-反射镜夹具挂靠定位销、21-反射镜夹具挂板、22-反射镜俯仰调整连接杆、23-反射镜倾斜调整连接杆、24-圆形光栅尺固定装置、25-圆形光栅尺、26-伺服驱动电机、27-反射镜夹具挂板升降减速机、28-反射镜夹具挂板升降调整手轮、29-反射镜倾斜调整减速机、30-反射镜倾斜调整手轮、31-反射镜俯仰调整减速机、32-反射镜俯仰调整手轮、33-反射镜座滑动连接块、34-反射镜座转动连接轴、35-滚珠丝杠、36-圆形光栅尺连接装置、37-3块标准镜夹具挂板、38-标准镜夹具异形定位孔、39可旋转标准镜夹持镜筒、40-旋转从动轮、41标准镜。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的变换范围。

先请参阅图1、图2、图3、图4，图1是本发明平面光学元件绝对面形检测装置的俯视图；图2是透射镜二维调整系统的后视图；图3为反射镜四维调整系统的主视图；图4为平面光学元件夹具的主视图；由图可见，本发明平面光学元件绝对面形检测装置的最佳实施例的构成包括激光干涉仪1、扩束准直系统2、透射镜二维调整系统3、反射镜四维调整系统4、3套平面光学元件夹具5和反射镜旋转电器控制系统6。所述的扩束准直系统2放置于激光干涉仪1激光出射端；所述的透射镜二维调整系统3放置于扩束准直系统2的激光出射端；所述的反射镜四维调整系统4放置于透射镜二维调整系统3的激光出射端；所述的第一、第二、第三加持平面光学元件的平面光学元件夹具5可分别挂在透射镜二维调整系统3和反射镜四维调整系统4上；所述的反射镜旋转电器控制系统6的输出端与反射镜四维调整系统4上的私服电机26相连，所述的反射镜旋转电器控制系统6的输入端与圆形光栅尺25相连；

所述的透射镜二维调整系统3，包括透射镜镜座7、透射镜倾斜调整手轮8、透射镜俯仰调整手轮9、透射镜倾斜调整减速机10、透射镜俯仰调整减速机11、透射镜倾斜调整连接杆12、透射镜俯仰调整连接杆13、透射镜夹具挂板14、透射镜夹具挂靠定位销15、透射镜座倾斜滑动连接块16和透射镜座转动连接轴17，所述的透射镜倾斜调整减速机10固定在透射镜镜座7的右下方，所述的透射镜俯仰调整减速机11固定在透射镜镜座7的左上方，所述的透射镜夹具挂板14通过下端左右两侧的透射镜座倾斜滑动连接块16和透射镜座转动连接轴17与透射镜镜座7相连，所述的透射镜倾斜调整手轮8通过其连杆与所述的透射镜倾斜调整减速机10相连，所述的透射镜俯仰调整手轮9通过其连杆与透射镜俯仰调整减速机11相连，所述的透射镜倾斜调整减速机10通过透射镜倾斜调整连接杆12与透射镜座倾斜滑动连接块16相连，所述的透射镜俯仰调整减速机11通过透射镜俯仰调整连接杆13与透射镜夹具挂板14相连，所述的透射镜夹具挂靠定位销15固定在透射镜夹具挂板14左右两侧对称位置与夹持平面光学元件的平面光学元件夹具5上左右对称的标准镜夹具异形定位孔38耦合；

所述的反射镜四维调整系统4，包括反射镜镜座18、反射镜旋转驱动轮19、反射镜夹具挂靠定位销20、反射镜夹具挂板21、反射镜俯仰调整连接杆22、反射镜倾斜调整连接杆23、圆形光栅尺固定装置24、圆形光栅尺25、伺服驱动电机26、反射镜夹具挂板升降减速机27、反射镜夹具挂板升降调整手轮28、反射镜倾斜调整减速机29、反射镜倾斜调整手轮30、反射镜俯仰调整减速机31、反射镜俯仰调整手轮32、反射镜座滑动连接块33、反射镜座转动连接轴34、滚珠丝杠35、圆形光栅尺连接装置36，所述的反射镜倾斜调整减速机29固定在反射镜镜座18后方的左下方，所述的反射镜俯仰调整减速机31固定在反射镜镜座18后方的右上方，所述的反射镜夹具挂板升降减速机27固定在反射镜镜座18的右上方，所述的反射镜夹具挂板21通过下端左右两侧的反射镜座滑动连接块33和反射镜座转动连接轴34与反射镜镜座18相连，所述的反射镜倾斜调整手轮30通过其连杆与反射镜倾斜调整减速机29相连，所述的反射镜俯仰调整手轮32通过其连杆与反射镜俯仰调整减速机31相连，所述的反射镜夹具挂板升降调整手轮28通过其连杆与反射镜夹具挂板升降减速机27相连，所述的反射镜倾斜调整减速机29通过反射镜倾斜调整连接杆23与反射镜座滑动连接块33相连，所述的反射镜俯仰调整减速机31通过反射镜俯仰调整连接杆22与反射镜夹具挂板21相连，所述的反射镜夹具挂板升降减速机27通过滚珠丝杠35与固定在反射镜夹具挂板21上的轴套相连，所述的伺服驱动电机26固定在反射镜夹具挂板21正上方的中轴线上，所述的反射镜旋转驱动轮19固定在伺服驱动电机26的旋转轴上，所述的圆形光栅尺25通过圆形光栅尺固定装置24固定在反射镜夹具挂板21的中心轴上，所述的圆形光栅尺连接装置36固定在圆形光栅尺25的旋转轴上与所述的夹持平面光学元件的平面光学元件夹具5上的可旋转标准镜夹持镜筒39的边缘相连，所述的反射镜夹具挂靠定位销20固定在反射镜夹具挂板21左右两侧对称位置与夹持平面光学元件的平面光学元件夹具5上左右对称的标准镜夹具异形定位孔38耦合；

所述的3套夹持平面光学元件的平面光学元件夹具5为同规格的标准镜夹具，包括3块标准镜夹具挂板37、标准镜夹具异形定位孔38、3个可旋转标准镜夹持镜筒39、3套旋转从动轮40、3块标准镜41。所述的标准镜夹具异形定位孔38位于标准镜夹具挂板37上端左右两侧对称分布；所述的旋转从动轮40固定在标准镜夹具挂板37下方左右两侧，所述的可旋转标准镜夹持镜筒39通过旋转从动轮40固定在标准镜夹具挂板37中心位置，所述的标准镜41固定在可旋转标准镜夹持镜筒39中心。

所述的3套夹持平面光学元件的平面光学元件夹具5顶端设置有一对吊环，两侧设置有一对把手；

所述的透射镜二维调整系统3顶端设置有一对吊环，底部设置有气浮装置；

所述的反射镜四维调整系统4顶端设置有一对吊环，底部设置有气浮装置。

所述的激光干涉仪1出射小口径准直光束，通过扩束准直系统2扩束准直后出射大口径平行光束，扩束后的准直光束通过与所述的透射镜二维调整系统3相连的第一持平面光学元件的平面光学元件夹具5后一部分光束原路返回形成参考光束，一部分光束透过第一持平面光学元件的平面光学元件夹具5传播至与所述的反射镜四维调整系统4相连的第二持平面光学元件的平面光学元件夹具5的前表面后原路返回形成测试光束，参考光束与测试光束在激光干涉仪1内的CCD上相遇并形成明暗相间的干涉条纹实现干涉检测。第一、第二、第三持平面光学元件的平面光学元件夹具5以不同的相对位置两两组合，分别作为透射镜及反射镜，互检四次后，再增加一组N次旋转测量即可求得相对面形误差。将相对面形误差函数分为偶偶、偶奇、奇偶、奇奇函数四个分量，前三个分量可通过四次测量获得，奇奇项利用N位平均近似思想，通过将其中一个面相对另一平面旋转N次获得，经过数据处理后可获得三个平板各自的绝对面形误差。

平面光学元件绝对面形检测装置的主要技术优势是平面元件全口径的绝对面形检测，提高了检测精度，更能有标志性的定量评价加工水平，为加工精度的进一步突破实现了指导意义。

本专利所述的平面光学元件绝对面形检测装置实现了平面光学元件的绝对面形检测功能，经过实际的光学检测实验，所测得的Φ300mm口径的平面光学元件的面形偏差PV值优于1/100波长，面形偏差RMS优于1/1000波长，面形偏差PSD1优于1/1000波长，大大提高了仪器的检测口径及检测精度。

实验证明，本发明顺利完成将会对国家重大专项所需的高精度光学元件的高精度检测提供技术支持，提供高精度的测试结果，高置信度的测试数据，更能有标志性的定量加工水平，为加工精度的进一步突破实现指导意义。同时本发明的实施将有力促进相关单元元件的自主研发能力，突破国内外现有现况并产生巨大的经济效益和社会效益。

Claims (4)

1.一种平面光学元件绝对面形检测装置，其特征在于，包括激光干涉仪(1)、扩束准直系统(2)、透射镜二维调整系统(3)、反射镜四维调整系统(4)、3套平面光学元件夹具(5)和反射镜旋转电器控制系统(6)，沿所述的激光干涉仪(1)的激光出射方向依次是同光轴的扩束准直系统(2)、透射镜二维调整系统(3)和反射镜四维调整系统(4)，所述的反射镜旋转电器控制系统(6)的输出端与所述的反射镜四维调整系统(4)上的伺服电机(26)相连，所述的反射镜旋转电器控制系统(6)的输入端与圆形光栅尺(25)相连；

所述的透射镜二维调整系统(3)，包括透射镜镜座(7)，所述的透射镜倾斜调整减速机(10)固定在所述的透射镜镜座(7)的右下方，所述的透射镜俯仰调整减速机(11)固定在透射镜镜座(7)的左上方，所述的透射镜夹具挂板(14)是具有中央通光圆孔的方形板，所述的透射镜夹具挂板(14)通过下端左右两侧的透射镜座倾斜滑动连接块(16)和透射镜座转动连接轴(17)与所述的透射镜镜座(7)相连，所述的透射镜倾斜调整手轮(8)通过其连杆与所述的透射镜倾斜调整减速机(10)相连，所述的透射镜俯仰调整手轮(9)通过其连杆与所述的透射镜俯仰调整减速机(11)相连，所述的透射镜倾斜调整减速机(10)通过透射镜倾斜调整连接杆(12)与透射镜座倾斜滑动连接块(16)相连，所述的透射镜俯仰调整减速机(11)通过透射镜俯仰调整连接杆(13)与透射镜夹具挂板(14)相连，所述的透射镜夹具挂靠定位销(15)固定在所述的透射镜夹具挂板(14)的上部的左右两对称位置，与所述的平面光学元件夹具(5)上左右对称的异形定位孔(38)相对应耦合；

所述的反射镜四维调整系统(4)，包括反射镜座(18)、反射镜旋转驱动轮(19)、反射镜夹具挂靠定位销(20)、反射镜夹具挂板(21)、反射镜俯仰调整连接杆(22)、反射镜倾斜调整连接杆(23)、圆形光栅尺固定装置(24)、圆形光栅尺(25)、伺服驱动电机(26)、反射镜夹具挂板升降减速机(27)、反射镜夹具挂板升降调整手轮(28)、反射镜倾斜调整减速机(29)、反射镜倾斜调整手轮(30)、反射镜俯仰调整减速机(31)、反射镜俯仰调整手轮(32)、反射镜座滑动连接块(33)、反射镜座转动连接轴(34)、滚珠丝杠(35)、圆形光栅尺连接装置(36)，所述的反射镜倾斜调整减速机(29)固定在反射镜镜座(18)后方的左下方，所述的反射镜俯仰调整减速机(31)固定在反射镜镜座(18)后方的右上方，所述的反射镜夹具挂板升降减速机(27)固定在反射镜镜座(18)的右上方，所述的反射镜夹具挂板(21)通过下端左右两侧的反射镜座滑动连接块(33)和反射镜座转动连接轴(34)与反射镜镜座(18)相连，所述的反射镜倾斜调整手轮(30)通过其连杆与反射镜倾斜调整减速机(29)相连，所述的反射镜俯仰调整手轮(32)通过其连杆与反射镜俯仰调整减速机(31)相连，所述的反射镜夹具挂板升降调整手轮(28)通过其连杆与反射镜夹具挂板升降减速机(27)相连，所述的反射镜倾斜调整减速机(29)通过反射镜倾斜调整连接杆(23)与反射镜座滑动连接块(33)相连，所述的反射镜俯仰调整减速机(31)通过反射镜俯仰调整连接杆(22)与反射镜夹具挂板(21)相连，所述的反射镜夹具挂板升降减速机(27)通过滚珠丝杠(35)与固定在反射镜夹具挂板(21)上的轴套相连，所述的伺服驱动电机(26)固定在反射镜夹具挂板(21)正上方的中轴线上，所述的反射镜旋转驱动轮(19)固定在伺服驱动电机(26)的旋转轴上，所述的圆形光栅尺(25)通过圆形光栅尺固定装置(24)固定在反射镜夹具挂板(21)的中心轴上，所述的圆形光栅尺连接装置(36)固定在圆形光栅尺(25)的旋转轴上与所述的夹持平面光学元件的平面光学元件夹具(5)上的可旋转标准镜夹持镜筒(39)的边缘相连，所述的反射镜夹具挂靠定位销(20)固定在反射镜夹具挂板(21)左右两侧对称位置与夹持平面光学元件的平面光学元件夹具(5)上左右对称的标准镜夹具异形定位孔(38)耦合；

所述的3套平面光学元件夹具(5)为同规格的夹具，每套平面光学元件夹具(5)包括夹具挂板(37)、异形定位孔(38)、可旋转标准镜夹持镜筒(39)、旋转从动轮(40)、待测的平面光学元件(41)，所述的异形定位孔(38)位于夹具挂板(37)上端左右两侧对称分布；所述的旋转从动轮(40)固定在夹具挂板(37)下方左右两侧，所述的可旋转夹持镜筒(39)通过旋转从动轮(40)固定在夹具挂板(37)中心位置，所述的待测的平面光学元件(41)固定在可旋转夹持镜筒(39)中心。

2.根据权利要求1所述的平面光学元件绝对面形检测装置，其特征在于，所述的3套平面光学元件夹具(5)的顶端设置有一对吊环，两侧设置有一对把手。

3.根据权利要求1所述的平面光学元件绝对面形检测装置，其特征在于，所述的透射镜二维调整系统(3)顶端设置有一对吊环，底部设有气浮装置。

4.根据权利要求1所述的平面光学元件绝对面形检测装置，其特征在于，所述的反射镜四维调整系统(4)顶端设置有一对吊环，底部设有气浮装置。